JPH0465992U - - Google Patents

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JPH0465992U
JPH0465992U JP10682890U JP10682890U JPH0465992U JP H0465992 U JPH0465992 U JP H0465992U JP 10682890 U JP10682890 U JP 10682890U JP 10682890 U JP10682890 U JP 10682890U JP H0465992 U JPH0465992 U JP H0465992U
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JP
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gas bearing
compression stage
high frequency
blade
frequency motor
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JP10682890U
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  • Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案に係わる真空ポンプの一実施例
を示す縦断側面図、第２図は軸流式圧縮段とジー
グバーン式圧縮段との特性を比較した説明図、第
３図は軸流式圧縮段とジーグバーン式圧縮段とを
もつ複合型真空ポンプとジーグバーン式圧縮段を
もつ真空ポンプとの特性を比較した説明図、第４
図は本考案に係わる真空ポンプの他の実施例を示
す縦断側面図、第５図は同真空ポンプの全体を示
す縦断側面図、第６図は軸流式圧縮段とジーグバ
ーン式圧縮段との特性を比較した説明図、第７図
は軸流式圧縮段とジーグバーン式圧縮段とをもつ
複合型真空ポンプとジーグバーン式圧縮段をもつ
真空ポンプとの特性を比較した説明図、第８図は
各圧縮段の回転数と駆動力との関係を示した説明
図、第９図は本件出願人が既に提案した真空ポン
プを示す縦断側面図である。 １……回転体、１ａ……回転デイスク、１ｂ…
…回転軸、１ｃ……高周波モータロータ、１ｄ…
…ジーグバーン式圧縮段の動翼、２ｂ１，２ｂ２
……ジーグバーン式圧縮段の静翼、３ａ〜３ｊ…
…スラスト気体軸受、４，４ａ〜４ｃ……上部ラ
ジアル気体軸受、５，５ａ〜５ｃ……下部ラジア
ル気体軸受、６……モータステータ、８……ハウ
ジング、２０ａ……軸流式圧縮段の動翼、２０ｂ
……軸流式圧縮段の静翼、３０……円筒状静止部
材、３１……円筒状リング。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 多段に組み合わせて配置して気体を圧縮す
    るための翼列を吸気口と排気口との間に形成する
    動翼及び回転体と静翼及びハウジングのうち、動
    翼と回転体と静翼とをセラミツクスにより構成し
    、同静翼を２分割可能な静翼部材と一体構造のス
    ペーサリングとを多段に積み重ねてハウジングに
    取付けることにより各段で軸方向の真空シールを
    可能とし、上記回転体をスラスト気体軸受と上部
    ラジアル気体軸受と下部ラジアル気体軸受とによ
    り回転可能に支持するとともに、同各気体軸受を
    静圧型気体軸受と動圧型気体軸受とも組み合わせ
    て得たセラミツク製複合気体軸受により構成し、
    上記回転体を回転するための高周波モータを上記
    下部ラジアル気体軸受よりも下方の回転体の下端
    部周りに配設して、同高周波モータの周りのハウ
    ジングに高周波モータを外側から冷却する冷却手
    段を設けた真空ポンプにおいて、前記翼列を、吸
    気口側に配置した軸流式圧縮段と、その下流側に
    配置したジーグバーン式圧縮段とにより構成した
    ことを特徴とする真空ポンプ。 (2) 前記軸流式圧縮段を、回転体に設けた軸流
    式動翼と、同軸流式動翼の最外部に設けた円筒状
    リングと、同円筒状リングに対向してハウジング
    部分に設けたスパイラル溝を有する円筒状静止部
    材とにより構成したことを特徴とする請求項１記
    載の真空ポンプ。
JP10682890U 1990-10-15 1990-10-15 Pending JPH0465992U (ja)

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