JPS62153423U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１〜第３図は本考案の実施例を示す縦断面図
、第４図ａは、電磁軸受式完全浮上形ロータの概
略図、ｂは剛体モード、ｃはロータの曲げモード
、ｄは羽根の曲げモードを示す線図、第５図は、
回転に対する応答線図、第６ａ図は、コントロー
ラのゲイン、ｂは位相特性を示す線図、第７図は
、従来のターボ分子ポンプの縦断面図である。 １……つり鐘ロータ、２……動翼、３……ケー
シング、４……静翼、５……ロータシヤフト、６
……駆動モータ、７……吸込口、８……吐出口、
９……ラジアル軸受、１０……スラスト軸受、１
０ａ……スラストヨーク、１０ｂ……下ステータ
、１０ｃ……上ステータ、１１ａ，１１ｂ……ラ
ジアル変位センサ、１２……スラスト変位センサ
、１３……端板、１４……円板、１５……ボルト
、１６……Ｏリング、１７……ハウジンゲ、１８
……リング、１９……カバー。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 １ ロータと羽根車あるいは翼を備え、前記回転
   体を磁気的な径方向軸受と磁気的な軸方向軸受で
   支承し、駆動モータで前記ロータを高速回転させ
   るようにした高速回転体において、ロータ回転部
   に機械的なダイナミツクダンパを設けたことを特
   徴とする高速回転体のダイナミツクダンパ。 ２ 前記高速回転体はケーシング内にその軸線方
   向に沿つて多段に設けた静翼と、前記静翼間に位
   置しかつケーシングの中心に位置するロータ外周
   に設けられた動翼とを備え、前記ロータを磁気的
   な軸受で支承し、駆動モータで前記ロータを高速
   回転させるようにしたターボ分子ポンプであるこ
   とを特徴とする第１項記載の高速回転体のダイナ
   ミツクダンパ。