JPH0299290U - - Google Patents

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JPH0299290U
JPH0299290U JP1989006980U JP698089U JPH0299290U JP H0299290 U JPH0299290 U JP H0299290U JP 1989006980 U JP1989006980 U JP 1989006980U JP 698089 U JP698089 U JP 698089U JP H0299290 U JPH0299290 U JP H0299290U
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JP
Japan
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disk
stage
stationary
housing
rotating
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Application number
JP1989006980U
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Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D17/00—Radial-flow pumps, e.g. centrifugal pumps; Helico-centrifugal pumps
    • F04D17/08—Centrifugal pumps
    • F04D17/16—Centrifugal pumps for displacing without appreciable compression
    • F04D17/168—Pumps specially adapted to produce a vacuum

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案に係わるジーグバーン型真空ポ
ンプの一実施例を示す縦断側面図、第２図は遠
心圧縮ポンプ段の固定円板に設けたスパイラル状
溝を示す平面図、第２図は同固定円板に設けた
スパイラル状溝を示す縦断側面図、第３図はジ
ーグバン圧縮ポンプ段の静止側デイスクに設けた
スパイラル状溝を示す平面図、第３図は同静止
側デイスクに設けたスパイラル状溝を示す縦断側
面図、第４図は遠心圧縮ポンプ段の固定円板に設
けたスパイラル状溝の他の例を示す平面図、第５
図はジーグバン圧縮ポンプ段の静止側デイスクに
設けたスパイラル状溝の他の例を示す平面図、第
６図乃至第９図は本考案のジーグバーン型真空ポ
ンプの作用説明図、第１０図は境界要素法による
流動解析の説明図、第１１図は従来のジーグバー
ン型真空ポンプを示す縦断側面図、第１２図はジ
ーグバーン圧縮ポンプ段の静止側デイスクに設け
たスパイラル状溝を示す平面図、第１３図は同静
止側デイスクと回転デイスクとのギヤツプとの関
係を示す縦断側面図である。 １……回転軸、１ａ１……遠心圧縮ポンプ段の
羽根車、１ｂ１……ジーグバーン圧縮ポンプ段の
回転デイスク、２……静止円筒体、２ａ１……遠
心圧縮ポンプ段の固定円板（または静止翼）、２
ｂ１……ジーグバーン圧縮ポンプ段の静止側デイ
スク、４ａ，４ｂ……上部ラジアル気体軸受、５
ａ，５ｂ……下部ラジアル気体軸受、６ａ……ス
ラスト気体軸受、６ａ１，６ａ２……スラスト気
体軸受６ａの静止側上部スラストデイスク、６ａ
３，６ａ４……スラスト気体軸受６ａの回転側上
部スラストデイスク、６ｂ……スラスト気体軸受
の静止側中間スラストデイスク、６ｃ……スラス
ト気体軸受の静止側下部スラストデイスク、７…
…スラスト気体軸受の回転側スラストデイスク、
１０ａ，１０ｂ……上部ハウジング、１１……下
部ハウジング、８ａ……モータロータ、８ｂ……
モータステータ、９ａ……冷却水路壁、９ｂ……
冷却水路、１２……吸入口、１３……排気口、１
４ａ……気体Ｂ１の給気口、１４ｂ……気体Ｂ２
の給気口、１４ｃ……気体Ｂ３の給気口、Ａ１，
Ａ２……気体、Ｇ……スパイラル状溝の溝部、Ｒ
……スパイラル状溝のランド部、α……スパイラ
ル状溝の溝角度、Ｂｂ……スパイラル状溝の溝深
さ、δ……回転デイスク１ｂ１と静止側デイスク
２ｂ１との間のギヤツプ、Ｓ……溝巾、Ｐ……溝
ピツチ。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 吸入口と排気口とを設けたハウジングと、同ハ
    ウジング内に軸受により回転可能に支持した回転
    軸と、同回転軸に取付けた多段の回転デイスクと
    、上記ハウジングの内壁面に固定した多段の静止
    側デイスクとを有し、同各回転デイスク及び同各
    静止側デイスクを上記吸入口と上記排出口との間
    の上記ハウジング内に配設し、同各回転デイスク
    及び同各静止側デイスクの少なくとも一方にスパ
    イラル状溝を設けて多段のジーグバーン圧縮段と
    したジーグバーン型真空ポンプにおいて、前記デ
    イスクの半径方向の直線に対して直交した直線と
    の間のスパイラル状溝の溝角度をデイスクの中心
    部側から外周部側に向かつて変化させたことを特
    徴とするジーグバーン型真空ポンプ。
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