JPH0174398U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0174398U JPH0174398U JP1987170051U JP17005187U JPH0174398U JP H0174398 U JPH0174398 U JP H0174398U JP 1987170051 U JP1987170051 U JP 1987170051U JP 17005187 U JP17005187 U JP 17005187U JP H0174398 U JPH0174398 U JP H0174398U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pump stage
- vacuum pump
- housing
- compound vacuum
- view
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 12
- 230000006835 compression Effects 0.000 claims description 5
- 238000007906 compression Methods 0.000 claims description 5
Landscapes
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Description
第１図は本考案に係わる複合型真空ポンプの一
実施例を示す縦断側面図、第２図は同複合型真空
ポンプのねじ溝式ポンプ段の静止円板を示す平面
図、第３図は本考案に係わる複合型真空ポンプの
他の実施例を示す縦断側面図、第４図は本考案に
係わる複合型真空ポンプの他の実施例を示す縦断
側面図、第５図は本考案に係わる複合型真空ポン
プの他の実施例を示す縦断側面図、第６，７図は
同複合型真空ポンプのハウジング側静止円板を示
す平面図、第８図は本考案に係わる複合型真空ポ
ンプの他の実施例を示す縦断側面図、第９図は同
複合型真空ポンプのハウジング側静止円板を示す
平面図、第１０図は本考案に係わる複合型真空ポ
ンプのさらに他の実施例を示す縦断側面図、第１
１図は同複合型真空ポンプの遠心圧縮ポンプ段の
動翼を示す平面図、第１２図は従来の複合型真空
ポンプを示す縦断側面図、第１３図は同複合型真
空ポンプのねじ溝式ポンプ段の静止円板を示す平
面図である。 １…軸流圧縮ポンプ段の動翼、２…遠心圧縮ポ
ンプ段の動翼、３…ねじ溝式ポンプ段の回転円板
、４…回転軸、８…バランスデイスク、１５…吸
気口、１６…排気口、１８，１９…ハウジング。
実施例を示す縦断側面図、第２図は同複合型真空
ポンプのねじ溝式ポンプ段の静止円板を示す平面
図、第３図は本考案に係わる複合型真空ポンプの
他の実施例を示す縦断側面図、第４図は本考案に
係わる複合型真空ポンプの他の実施例を示す縦断
側面図、第５図は本考案に係わる複合型真空ポン
プの他の実施例を示す縦断側面図、第６，７図は
同複合型真空ポンプのハウジング側静止円板を示
す平面図、第８図は本考案に係わる複合型真空ポ
ンプの他の実施例を示す縦断側面図、第９図は同
複合型真空ポンプのハウジング側静止円板を示す
平面図、第１０図は本考案に係わる複合型真空ポ
ンプのさらに他の実施例を示す縦断側面図、第１
１図は同複合型真空ポンプの遠心圧縮ポンプ段の
動翼を示す平面図、第１２図は従来の複合型真空
ポンプを示す縦断側面図、第１３図は同複合型真
空ポンプのねじ溝式ポンプ段の静止円板を示す平
面図である。 １…軸流圧縮ポンプ段の動翼、２…遠心圧縮ポ
ンプ段の動翼、３…ねじ溝式ポンプ段の回転円板
、４…回転軸、８…バランスデイスク、１５…吸
気口、１６…排気口、１８，１９…ハウジング。
Claims (1)
- 吸気口と排気口とを有するハウジング内に回転
可能に支持された回転軸と、軸流圧縮ポンプ段と
、遠心圧縮ポンプ段と、ねじ溝式ポンプ段と、バ
ランスデイスクとを具え、同各ポンプ段及び同バ
ランスデイスクを上記吸気口から上記排気口まで
の間の上記ハウジング内に上記の順に配設したこ
とを特徴とする複合型真空ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987170051U JPH0174398U (ja) | 1987-11-09 | 1987-11-09 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987170051U JPH0174398U (ja) | 1987-11-09 | 1987-11-09 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0174398U true JPH0174398U (ja) | 1989-05-19 |
Family
ID=31460650
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987170051U Pending JPH0174398U (ja) | 1987-11-09 | 1987-11-09 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0174398U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009235922A (ja) * | 2008-03-26 | 2009-10-15 | Ebara Corp | ターボ型真空ポンプ |
| WO2018147191A1 (ja) * | 2017-02-08 | 2018-08-16 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ、真空ポンプに備わる回転部、およびアンバランス修正方法 |
-
1987
- 1987-11-09 JP JP1987170051U patent/JPH0174398U/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009235922A (ja) * | 2008-03-26 | 2009-10-15 | Ebara Corp | ターボ型真空ポンプ |
| WO2018147191A1 (ja) * | 2017-02-08 | 2018-08-16 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ、真空ポンプに備わる回転部、およびアンバランス修正方法 |
| JP2018127950A (ja) * | 2017-02-08 | 2018-08-16 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ、真空ポンプに備わる回転部、およびアンバランス修正方法 |
| CN110199127A (zh) * | 2017-02-08 | 2019-09-03 | 埃地沃兹日本有限公司 | 真空泵、真空泵所具备的旋转部及不平衡修正方法 |
| KR20190111032A (ko) * | 2017-02-08 | 2019-10-01 | 에드워즈 가부시키가이샤 | 진공 펌프, 진공 펌프에 구비되는 회전부, 및 언밸런스 수정 방법 |
| CN110199127B (zh) * | 2017-02-08 | 2021-10-29 | 埃地沃兹日本有限公司 | 真空泵、真空泵所具备的旋转部及不平衡修正方法 |
| US11168697B2 (en) | 2017-02-08 | 2021-11-09 | Edwards Japan Limited | Vacuum pump, rotating portion included in vacuum pump, and imbalance correction method |