JPH0452998U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0452998U JPH0452998U JP9624190U JP9624190U JPH0452998U JP H0452998 U JPH0452998 U JP H0452998U JP 9624190 U JP9624190 U JP 9624190U JP 9624190 U JP9624190 U JP 9624190U JP H0452998 U JPH0452998 U JP H0452998U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- motor
- rotor
- motor rotor
- stator
- axial direction
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Description
第1図は本考案に係るターボ分子ポンプを示す
断面図、第2図は同じく本考案におけるターボ分
子ポンプの運転状態を説明するための断面図、第
3図は従来のターボ分子ポンプを示す断面図であ
る。 1…ポンプケーシング、4…静翼、7…球面ス
パイラル溝軸受、9…回転軸、13…回転体、1
4…動翼、21…駆動機構、22…モータロータ
、23…モータステータ。
断面図、第2図は同じく本考案におけるターボ分
子ポンプの運転状態を説明するための断面図、第
3図は従来のターボ分子ポンプを示す断面図であ
る。 1…ポンプケーシング、4…静翼、7…球面ス
パイラル溝軸受、9…回転軸、13…回転体、1
4…動翼、21…駆動機構、22…モータロータ
、23…モータステータ。
Claims (1)
- 軸線方向に多段に設けられた静翼をその内部に
有するケポンプケーシングと、このポンプケーシ
ング内に回転自在に設けられかつ球面スパイラル
溝軸受によつて軸支された回転軸と、この回転軸
上に固定されたモータロータおよびこのモータロ
ータの周囲に設けられたモータステータからなる
駆動機構と、この駆動機構と同一の軸線上に設け
られかつ前記回転軸上に固定され前記静翼の一部
がその内側に臨む動翼を有する回転体とを備えた
ターボ分子ポンプにおいて、前記モータステータ
に対し前記モータロータを軸線方向に相対的にず
らして位置付けたことを特徴とするターボ分子ポ
ンプ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9624190U JPH0452998U (ja) | 1990-09-13 | 1990-09-13 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9624190U JPH0452998U (ja) | 1990-09-13 | 1990-09-13 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0452998U true JPH0452998U (ja) | 1992-05-06 |
Family
ID=31835604
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9624190U Pending JPH0452998U (ja) | 1990-09-13 | 1990-09-13 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0452998U (ja) |
-
1990
- 1990-09-13 JP JP9624190U patent/JPH0452998U/ja active Pending