JPH0452997U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0452997U JPH0452997U JP9551090U JP9551090U JPH0452997U JP H0452997 U JPH0452997 U JP H0452997U JP 9551090 U JP9551090 U JP 9551090U JP 9551090 U JP9551090 U JP 9551090U JP H0452997 U JPH0452997 U JP H0452997U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- drum
- motor rotor
- rotating shaft
- shaft
- flange
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Description
第１図は本考案に係るターボ分子ポンプを示す
断面図、第２図は従来のターボ分子ポンプを示す
断面図である。 １…ポンプケーシング、４…静翼、７…球面ス
パイラル溝軸受、１０…駆動機構、１１…モータ
ロータ、１２…モータロータ、２１…回転軸、２
２…凹部、２３…フランジ、２４…回転体、２５
…動翼、２６…ボルト、２７…凸部。
断面図、第２図は従来のターボ分子ポンプを示す
断面図である。 １…ポンプケーシング、４…静翼、７…球面ス
パイラル溝軸受、１０…駆動機構、１１…モータ
ロータ、１２…モータロータ、２１…回転軸、２
２…凹部、２３…フランジ、２４…回転体、２５
…動翼、２６…ボルト、２７…凸部。
Claims (1)
- 軸線方向に多段に設けられた静翼をその内部に
有するポンプケーシングと、このポンプケーシン
グ内に回転自在に設けられた回転軸と、この回転
軸上に固定されたモータロータおよびこのモータ
ロータの周囲に設けられたモータステータからな
る駆動機構と、この駆動機構と同一の軸線上に設
けられ前記静翼の一部がその内側に臨む動翼を有
する回転体とを備え、この回転体を前記回転軸の
先端部がその底面中央部に嵌合するキヤツプ状の
ドラムによつて形成し、このドラムの底面外周部
に対接するフランジを前記回転軸の先端部に設け
、このフランジを締結部材によつて前記ドラムに
固定したことを特徴とするターボ分子ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9551090U JPH0452997U (ja) | 1990-09-13 | 1990-09-13 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9551090U JPH0452997U (ja) | 1990-09-13 | 1990-09-13 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0452997U true JPH0452997U (ja) | 1992-05-06 |
Family
ID=31834270
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9551090U Pending JPH0452997U (ja) | 1990-09-13 | 1990-09-13 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0452997U (ja) |
-
1990
- 1990-09-13 JP JP9551090U patent/JPH0452997U/ja active Pending