JPS63151993U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS63151993U JPS63151993U JP4598187U JP4598187U JPS63151993U JP S63151993 U JPS63151993 U JP S63151993U JP 4598187 U JP4598187 U JP 4598187U JP 4598187 U JP4598187 U JP 4598187U JP S63151993 U JPS63151993 U JP S63151993U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotor
- bearing
- casing
- supported
- wall surface
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims 1
- 239000013589 supplement Substances 0.000 claims 1
Landscapes
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Description
図面は本考案をインナーロータ型のターボ分子
ポンプに適用した実施例を示す縦断側面図である
。 1……ケーシング、2……ステータ翼、3……
ロータ、4……ロータ翼、5,15……ベース、
6……高周波モータ、7……支持プレート、10
,11……永久磁石、12,13……ロータシヤ
フト、14……スパイラルグルーブベアリング、
16……軸受台、17……凹部、18……滑り軸
受、19……空間部。
ポンプに適用した実施例を示す縦断側面図である
。 1……ケーシング、2……ステータ翼、3……
ロータ、4……ロータ翼、5,15……ベース、
6……高周波モータ、7……支持プレート、10
,11……永久磁石、12,13……ロータシヤ
フト、14……スパイラルグルーブベアリング、
16……軸受台、17……凹部、18……滑り軸
受、19……空間部。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 ケーシング内壁面に取り付けられたステータ翼
と、上記ケーシング内に配置されたロータの外壁
面に取り付けられたロータ翼とを、ロータの軸方
向に交互に配設してなるターボ分子ポンプにおい
て、 前記ロータの上部は永久磁石、電磁石等の磁気
軸受により支持され、かつ、ロータの下部は、ロ
ータシヤフト下端に設けられたスパイラルグルー
ブベアリングによりロータの径方向、軸方向にお
ける支持を行なうとともに、ロータシヤフトの大
径部に滑り軸受等の保護用軸受を配置して、ロー
タの径方向における支持を補完したことを特徴と
するターボ分子ポンプ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4598187U JPS63151993U (ja) | 1987-03-27 | 1987-03-27 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4598187U JPS63151993U (ja) | 1987-03-27 | 1987-03-27 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63151993U true JPS63151993U (ja) | 1988-10-05 |
Family
ID=30865220
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4598187U Pending JPS63151993U (ja) | 1987-03-27 | 1987-03-27 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63151993U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009209827A (ja) * | 2008-03-05 | 2009-09-17 | Ulvac Japan Ltd | 真空ポンプ、及び真空ポンプの製造方法 |
-
1987
- 1987-03-27 JP JP4598187U patent/JPS63151993U/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009209827A (ja) * | 2008-03-05 | 2009-09-17 | Ulvac Japan Ltd | 真空ポンプ、及び真空ポンプの製造方法 |