JP4667043B2 - 真空ポンプ排出装置 - Google Patents
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Description
公知の真空ポンプ排出装置は、分子ドラグポンプ排出機構と直列に連結されたターボ分子ポンプ排出機構を有し、分子ドラグポンプ排出機構は、任意適当な形式、例えばホルベック(Holweck)型又はゲーデ(Gaede)型ポンプ排出機構であるのがよい。バッキングポンプは一般に、真空ポンプ排出装置の排気部のところの圧力を減少させるために用いられ、このバッキングポンプは、任意適当な形式のもの、例えば再生ポンプ又はクロー(claw)ポンプであるのがよい。 ターボ分子ポンプ排出機構は、全体として円筒形のロータ本体のところに支持された傾斜羽根の1以上の周方向アレイを有している。通常の作動中、駆動シャフトに結合されているロータは、20,000〜200,000回毎分で回転し、その間、ロータ羽根は、ガス中の分子と衝突し、これら分子をポンプ出口に向かって押す。分子ドラグポンプ排出機構は、ターボ分子ポンプ排出機構と同時に回転できるよう駆動シャフトに結合されたロータを有し、このロータは、ホルベック型ポンプ排出機構中の中空シリンダを有する場合がある。分子ドラグポンプ排出機構の回転により、ターボ分子ポンプ排出機構の排気部から、シリンダの周囲に対し接線方向に且つステータとシリンダとの間でドラグ出口寄りに形成された螺旋チャネルに沿って分子ドラグポンプ排出機構に入るガス分子に速度が当たえられる。
改良型真空ポンプ排出装置を提供することが望ましい。
本発明は、真空ポンプ排出装置であって、直列に連結されたターボ分子ポンプ排出機構と分子ドラグポンプ排出機構を有し、分子ドラグポンプ排出機構のロータは、ターボ分子ポンプ排出機構のロータ羽根によって支持されていることを特徴とする真空ポンプ排出装置を提供する。
本発明の他の特徴は、添付の特許請求の範囲に記載されている。
図1を参照すると、真空ポンプ排出装置10が示されており、この真空ポンプ排出装置は、分子ポンプ排出機構12及びバッキングポンプ排出機構14を有する。分子ポンプ排出機構は、直列状態のターボ分子ポンプ排出手段16と、分子ドラグ又は摩擦ポンプ排出手段18とから成っている。バッキングポンプ排出機構14は、再生ポンプ排出機構から成り、この再生ポンプ排出機構は、図示のように提供されていて、分子ポンプ排出機構と同一の駆動シャフトに取り付けられた状態で駆動される。変形例として、バッキングポンプを分子ポンプ排出機構とは別個のユニットとして設けてもよい。別の分子ドラグポンプ排出機構20を分子ドラグポンプ排出機構18と再生ポンプ排出機構14との間に設けることができる。分子ドラグポンプ排出機構20は、直列状態の3つのドラグポンプ排出段から成り、これに対し分子ドラグポンプ排出機構18は、並列状態の2つのドラグポンプ排出段を有している。
部品26は、端ぐり凹部28を備え、この端ぐり凹部は、駆動シャフト32を支持する潤滑式軸受30を受け入れる。軸受30を例えばグリースで潤滑するのがよい。というのは、これは、ポンプ排出装置の入口から見て遠くに位置するポンプ排出装置10の一部の中に位置しているからである。ポンプ排出装置の入口は、クリーンな環境が必要である半導体処理チャンバと流体連結関係にある場合がある。
駆動シャフト32は、図示のようにハウジングの部品22,24で支持されたモータ34によって駆動される。モータ34を真空ポンプ排出装置内の任意の有利な位置で支持するのがよい。モータ34は、再生ポンプ排出機構14、分子ドラグポンプ排出機構20及び分子ポンプ排出機構12に同時に動力供給できるようになっている。一般的に、再生ポンプ排出機構は、分子ポンプ排出機構よりも大きな作動のための動力を必要とし、再生ポンプ排出機構は、風損及び空気抵抗が比較的高い大気圧に近い圧力で動作する。ターボ分子ポンプ排出機構又は分子ドラグポンプ排出機構は、必要とする作動のための動力が比較的小さく、したがって、再生ポンプ排出機構に動力供給するために選択されたモータも又、一般に分子ポンプ排出機構に動力供給するのに適している。
概略的に示された分子ドラグポンプ排出機構20は、ホルベック型ドラグポンプ排出機構であり、かかるホルベック型では、ステータ部分48は、ハウジング部品24の内面とドラグシリンダ46との間に螺旋の溝を構成している。3つのドラグ段が示されており、これらドラグ段の各々は、ロータとステータとの間にガスの螺旋流路を備えている。ガスの流れは、直列状態のドラグ段を連続的に通って流れる曲がりくねった経路を辿る。
円周方向アレイ状に配置された傾斜ロータ羽根58が、ロータ本体52から半径方向外方に延びている。ロータ羽根の半径方向長さに沿うほぼ半分のところに、環状支持リング60が設けられており、この環状支持リングには、分子ドラグポンプ排出機構18のドラグシリンダ又はロータ62が固定されており、したがって、ターボ分子ポンプ排出機構のロータ羽根が分子ドラグポンプ排出機構のロータを支持するようになっている。分子ドラグポンプ排出機構18は、単一のドラグシリンダ62と並列に設けられた2つのドラグ段を有し、1つの段は、その半径方向内方に位置し、もう1つの段は、その半径方向外方に位置している。段は各々、ステータ部分64を有し、ハウジング22のテーパした内壁66は、螺旋分子ガス流れチャネルを形成している。ガスを分子ドラグポンプ排出機構18から排出するための出口68が設けられている。
本発明の別の実施形態を以下に説明する。簡潔にするために、これら別の実施形態を、第1の実施形態とは異なるその部分に関してのみ説明し、同一部品には同一の符号が用いられる。
上述の実施形態の改造例では、分子ドラグポンプ排出機構18は、ターボ分子ポンプ排出機構16のロータ羽根38によって支持された2以上のドラグシリンダ又はロータ62を有している。したがって、ターボ分子ポンプ排出機構のロータ羽根は、ドラグポンプロータがそれぞれ固定された半径方向に間隔を置いて位置する環状リングを備えるのがよい。この構成では、例えば、3つのドラグポンプロータが存在している場合、最高6つの相互並列状態のドラグポンプ段を設けることができ、2つの並列のポンプ排出経路が、各ロータの半径方向内方及び半径方向外方に延びる。
Claims (10)
- 真空ポンプ排出装置であって、直列に連結されたターボ分子ポンプ排出機構と分子ドラグポンプ排出機構を有し、分子ドラグポンプ排出機構のロータは、ターボ分子ポンプ排出機構のロータ本体から半径方向外方に延びる傾斜したロータ羽根によって支持され、分子ドラグポンプ排出機構のロータには2つの互いに平行なポンプ排出経路が設けられ、前記ポンプ排出経路は、ロータの半径方向内方のポンプ排出経路と、ロータの半径方向外方のポンプ排出経路とから成り、前記ロータ羽根は、分子ドラグポンプ排出機構の前記ロータが固定された環状リングを備え、前記環状リングは、前記ロータ羽根の上流側から下流側に延び且つ下流側端部から更に下流に突出していることを特徴とする真空ポンプ排出装置。
- ターボ分子ポンプ排出機構は、複数の段を有し、少なくとも最後の段のロータ羽根は、前記環状リングを備えていることを特徴とする請求項1記載の真空ポンプ排出装置。
- 分子ドラグポンプ排出機構のロータは、ターボ分子ポンプ排出機構のロータ羽根の半径方向長さに沿ってほぼ半分のところで支持されていることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の真空ポンプ排出装置。
- 分子ドラグポンプ排出機構は、前記ターボ分子ポンプ排出機構の前記ロータ羽根によって支持された複数のロータを有することを特徴とする請求項1記載の真空ポンプ排出装置。
- 複数のロータ羽根は、それぞれの半径方向に間隔を置いて設けられた環状リングに固定され、前記環状リングは、ターボ分子ポンプ排出機構のロータ羽根を備えていることを特徴とする請求項4記載の真空ポンプ排出装置。
- 分子ドラグポンプ排出機構は、ホルベック(Holweck)型のものであることを特徴とする請求項1〜5のうちいずれか一に記載の真空ポンプ排出装置。
- 第2の分子ドラグポンプ排出機構と、前記第2の分子ドラグポンプ排出機構の下流側に設けられる再生ポンプ排出排気機構と、を更に有し、前記再生ポンプ排出排気機構は、駆動シャフトに固定されたロータ本体と、前記ロータ本体に固定されたロータ羽根とを有し、前記第2の分子ドラグポンプ排出機構のロータは、前記再生ポンプ排出排気機構の前記ロータ本体により支持されていることを特徴とする請求項1〜6のうちいずれか一に記載の真空ポンプ排出装置。
- 全ての分子ドラグポンプ排出機構のロータは、炭素繊維複合材料で作られていることを特徴とする請求項1〜7のうちいずれか一に記載の真空ポンプ排出装置。
- ターボ分子ポンプ排出機構のロータ羽根は、アルミニウムで作られていることを特徴とする請求項1〜8のうちいずれか一に記載の真空ポンプ排出装置。
- 環状リングは、アルミニウムで作られていることを特徴とする請求項1記載の真空ポンプ排出装置。
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