JPH05332286A - 真空ポンプ - Google Patents
真空ポンプInfo
- Publication number
- JPH05332286A JPH05332286A JP13843392A JP13843392A JPH05332286A JP H05332286 A JPH05332286 A JP H05332286A JP 13843392 A JP13843392 A JP 13843392A JP 13843392 A JP13843392 A JP 13843392A JP H05332286 A JPH05332286 A JP H05332286A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- casing
- rotor
- intake port
- stator
- pump element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/70—Suction grids; Strainers; Dust separation; Cleaning
- F04D29/701—Suction grids; Strainers; Dust separation; Cleaning especially adapted for elastic fluid pumps
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 金網を使用してポンプ性能を低下させたりす
ることなく、ボルトやウエハーの破片などの異物がポン
プ要素４側に侵入するのを阻止して、ポンプ要素４の破
損事故を防止できるようにする。 【構成】 ステータ２とロータ３とから成るポンプ要素
４を内装したケーシング１の上面を閉鎖して、ケーシン
グ１の上部一側面に吸気口１１を横方向に向けて開設
し、この吸気口１１の内方に、該吸気口１１に対向する
遮断壁７を設けることにより、異物が吸気口１１側に誘
引されてケーシング１内に侵入しても、この異物のポン
プ要素４側への侵入を防止する。
ることなく、ボルトやウエハーの破片などの異物がポン
プ要素４側に侵入するのを阻止して、ポンプ要素４の破
損事故を防止できるようにする。 【構成】 ステータ２とロータ３とから成るポンプ要素
４を内装したケーシング１の上面を閉鎖して、ケーシン
グ１の上部一側面に吸気口１１を横方向に向けて開設
し、この吸気口１１の内方に、該吸気口１１に対向する
遮断壁７を設けることにより、異物が吸気口１１側に誘
引されてケーシング１内に侵入しても、この異物のポン
プ要素４側への侵入を防止する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造分野などで
使用される真空ポンプに関する。
使用される真空ポンプに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種真空ポンプは、例えば実開
平１−８０６９６号公報に記載されている。この従来の
真空ポンプは図３で示したように、ケーシングＡの上面
と下部とに、それぞれ吸気口Ｂと排気口Ｃとを開設し、
これら吸気口Ｂと排気口Ｃとの間で前記ケーシングＡの
内部に、ステータＤとロータＥとから成るポンプ要素Ｆ
を配設すると共に、前記ロータＥを前記ケーシングＡ内
に設けたモータＧから延びるロータシャフトＨに連動連
結させている。そして、前記ケーシングＡの吸気口Ｂを
半導体製造室などに接続し、前記シャフトＨの駆動に伴
い前記ロータＥを高速回転させて、前記吸気口Ｂから排
気口Ｃに向けて排気することにより、前記半導体製造室
などの真空引きを行うようにしている。
平１−８０６９６号公報に記載されている。この従来の
真空ポンプは図３で示したように、ケーシングＡの上面
と下部とに、それぞれ吸気口Ｂと排気口Ｃとを開設し、
これら吸気口Ｂと排気口Ｃとの間で前記ケーシングＡの
内部に、ステータＤとロータＥとから成るポンプ要素Ｆ
を配設すると共に、前記ロータＥを前記ケーシングＡ内
に設けたモータＧから延びるロータシャフトＨに連動連
結させている。そして、前記ケーシングＡの吸気口Ｂを
半導体製造室などに接続し、前記シャフトＨの駆動に伴
い前記ロータＥを高速回転させて、前記吸気口Ｂから排
気口Ｃに向けて排気することにより、前記半導体製造室
などの真空引きを行うようにしている。
【０００３】また、以上の真空ポンプのように、前記ケ
ーシングＡの上面に前記吸気口Ｂを開設して、該吸気口
Ｂを、前記ケーシングＡから上方に向かって延びる吸気
配管を介して前記半導体製造室などに接続する構成とす
る場合は、この半導体製造室などに各種部品を組付けた
り前記真空ポンプの保守点検作業を行うようなとき、前
記半導体製造室に脱落した取付ボルトやウエハーの破片
などの異物が前記吸気口Ｂに誘引されて、該吸気口Ｂか
ら前記ポンプ要素ＦのステータＤとロータＥとの間に侵
入し、該ポンプ要素Ｆを破損したりすることがある。そ
こで、前述した従来の真空ポンプでは、図３に示すよう
に前記ケーシング上部の吸気口Ｂに金網Ｉを張設して、
前記半導体製造室などの室から誘引された異物を前記金
網Ｉで受止め、前記異物がポンプ要素Ｆ側に侵入するの
を阻止するようにしている。
ーシングＡの上面に前記吸気口Ｂを開設して、該吸気口
Ｂを、前記ケーシングＡから上方に向かって延びる吸気
配管を介して前記半導体製造室などに接続する構成とす
る場合は、この半導体製造室などに各種部品を組付けた
り前記真空ポンプの保守点検作業を行うようなとき、前
記半導体製造室に脱落した取付ボルトやウエハーの破片
などの異物が前記吸気口Ｂに誘引されて、該吸気口Ｂか
ら前記ポンプ要素ＦのステータＤとロータＥとの間に侵
入し、該ポンプ要素Ｆを破損したりすることがある。そ
こで、前述した従来の真空ポンプでは、図３に示すよう
に前記ケーシング上部の吸気口Ｂに金網Ｉを張設して、
前記半導体製造室などの室から誘引された異物を前記金
網Ｉで受止め、前記異物がポンプ要素Ｆ側に侵入するの
を阻止するようにしている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】所が、以上のように、
前記ケーシングＡの吸気口Ｂに前記金網Ｉを張設すると
きには、構造複雑となってコスト高となるばかりか、前
記半導体製造室などの真空引きを行うときに、該半導体
製造室側で生成された反応生成物などが前記金網Ｉに付
着し、該金網Ｉが目詰まりを起こして通過抵抗が大とな
り、前記ポンプ要素Ｆの性能低下を招く問題があった。
前記ケーシングＡの吸気口Ｂに前記金網Ｉを張設すると
きには、構造複雑となってコスト高となるばかりか、前
記半導体製造室などの真空引きを行うときに、該半導体
製造室側で生成された反応生成物などが前記金網Ｉに付
着し、該金網Ｉが目詰まりを起こして通過抵抗が大とな
り、前記ポンプ要素Ｆの性能低下を招く問題があった。
【０００５】本発明は以上のような問題に鑑みてなした
もので、その目的は、金網を使用したりすることなく、
取付ボルトやウエハーの破片などの異物がポンプ要素側
に侵入するのを阻止できて、該ポンプ要素の破損事故を
防止できる真空ポンプを提供することにある。
もので、その目的は、金網を使用したりすることなく、
取付ボルトやウエハーの破片などの異物がポンプ要素側
に侵入するのを阻止できて、該ポンプ要素の破損事故を
防止できる真空ポンプを提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明では、ステータ２と、該ステータ２に対し回
転可能なロータ３とから成るポンプ要素４を内装するケ
ーシング１の上部に吸気口１１を、下部に排気口１２を
それぞれ設けて成る真空ポンプにおいて、前記ケーシン
グ１の上面を閉鎖して、前記吸気口１１を、前記ケーシ
ング１の上部一側面に、横方向に向けて開設すると共
に、この吸気口１１の内方に、該吸気口１１に対向する
遮断壁７を設けたものである。
め、本発明では、ステータ２と、該ステータ２に対し回
転可能なロータ３とから成るポンプ要素４を内装するケ
ーシング１の上部に吸気口１１を、下部に排気口１２を
それぞれ設けて成る真空ポンプにおいて、前記ケーシン
グ１の上面を閉鎖して、前記吸気口１１を、前記ケーシ
ング１の上部一側面に、横方向に向けて開設すると共
に、この吸気口１１の内方に、該吸気口１１に対向する
遮断壁７を設けたものである。
【０００７】また、前記ロータ３としては、外周面にス
クリュー溝３５を設けたねじロータを用い、該ねじロー
タの外径をケーシング１より小径として、このねじロー
タ３６の外回りに、該ロータ３６の外周面に対向する内
周面をもったステータ２５を配設し、該ステータ２５の
外周面と前記ケーシング１の内周面との間に吸気チャン
バー１３を形成し、この吸気チャンバー１３に吸気口１
１を開設するようにしてもよい。
クリュー溝３５を設けたねじロータを用い、該ねじロー
タの外径をケーシング１より小径として、このねじロー
タ３６の外回りに、該ロータ３６の外周面に対向する内
周面をもったステータ２５を配設し、該ステータ２５の
外周面と前記ケーシング１の内周面との間に吸気チャン
バー１３を形成し、この吸気チャンバー１３に吸気口１
１を開設するようにしてもよい。
【０００８】
【作用】以上の真空ポンプでは、前記ケーシング１の上
面が閉鎖されて、該ケーシング１の上部一側面に半導体
製造室などに接続される吸気口１１が横方向に向けて開
設されているため、前記半導体製造室などの室に脱落し
たボルトやウエハーの破片などの異物が誘引されて横向
きとされた前記吸気口１１からケーシング１内に侵入す
ることがあっても、このケーシング１内における前記吸
気口１１との対向部位には、前記遮断壁７が設けられて
いるため、該遮断壁７で異物の前記ポンプ要素４側への
侵入を阻止できるのであり、従って、異物の侵入による
前記ポンプ要素４の破損事故を防止できる。また、前記
真空ポンプでは、従来のもののように、金網を使用した
りすることなく、異物のポンプ要素４側への侵入を阻止
する構成としているため、前記金網が反応生成物などで
目詰まりを起こすことによる前記ポンプ要素４の性能低
下を招くことがなく、しかも、構造簡単でコストを低廉
にできるのである。
面が閉鎖されて、該ケーシング１の上部一側面に半導体
製造室などに接続される吸気口１１が横方向に向けて開
設されているため、前記半導体製造室などの室に脱落し
たボルトやウエハーの破片などの異物が誘引されて横向
きとされた前記吸気口１１からケーシング１内に侵入す
ることがあっても、このケーシング１内における前記吸
気口１１との対向部位には、前記遮断壁７が設けられて
いるため、該遮断壁７で異物の前記ポンプ要素４側への
侵入を阻止できるのであり、従って、異物の侵入による
前記ポンプ要素４の破損事故を防止できる。また、前記
真空ポンプでは、従来のもののように、金網を使用した
りすることなく、異物のポンプ要素４側への侵入を阻止
する構成としているため、前記金網が反応生成物などで
目詰まりを起こすことによる前記ポンプ要素４の性能低
下を招くことがなく、しかも、構造簡単でコストを低廉
にできるのである。
【０００９】また、前記ロータ３として、外周面にスク
リュー溝３５を設けたねじロータを用い、このねじロー
タ３６の外径を前記ケーシング１より小径として、前記
ロータ３６の外回りに、該ロータ３６の外周面に対向す
る内周面をもったステータ２５を配設し、このステータ
２５の外周面と前記ケーシング１の内周面との間に吸気
チャンバー１３を形成し、該吸気チャンバー１３に前記
吸気口１１を横向状に開設するときには、前記ねじロー
タ３６と対向されるステータ２５で、前述した遮断壁７
と同等の作用効果を発揮させ得るのであり、従って、前
記ケーシング１の外径寸法を変更したりすることなく、
異物の前記ポンプ要素４側への侵入を防止できる。
リュー溝３５を設けたねじロータを用い、このねじロー
タ３６の外径を前記ケーシング１より小径として、前記
ロータ３６の外回りに、該ロータ３６の外周面に対向す
る内周面をもったステータ２５を配設し、このステータ
２５の外周面と前記ケーシング１の内周面との間に吸気
チャンバー１３を形成し、該吸気チャンバー１３に前記
吸気口１１を横向状に開設するときには、前記ねじロー
タ３６と対向されるステータ２５で、前述した遮断壁７
と同等の作用効果を発揮させ得るのであり、従って、前
記ケーシング１の外径寸法を変更したりすることなく、
異物の前記ポンプ要素４側への侵入を防止できる。
【００１０】
【実施例】図１に示した真空ポンプは、半導体製造室な
どの真空引きに使用するものであって、その基本的な構
成を概略説明すると、上面１ａと下面１ｂとをもち、内
部を中空としたケーシング１の上部に吸気口１１を設
け、かつ、前記ケーシング１の下面外周側に排気口１２
を設けると共に、前記ケーシング１内に、該ケーシング
１に固定されるステータ２と、該ステータ２に対し相対
回転されるロータ３とを備えたポンプ要素４を内装する
一方、前記ケーシング１の下面１ｂに、モ−タ５を内装
したモ−タハウジング１０を取付け、前記モータ５から
延びるロータシャフト６を前記ロータ３に連動連結させ
て、前記モータ５に伴うロータシャフト６の回転で、前
記ロータ３を前記ステータ２に対し高速回転させること
により、前記ケーシング１の吸気口１１から排気口１２
への真空引きを行って、前記吸気口１２に接続される前
記半導体製造室内などを真空にするようにしている。
どの真空引きに使用するものであって、その基本的な構
成を概略説明すると、上面１ａと下面１ｂとをもち、内
部を中空としたケーシング１の上部に吸気口１１を設
け、かつ、前記ケーシング１の下面外周側に排気口１２
を設けると共に、前記ケーシング１内に、該ケーシング
１に固定されるステータ２と、該ステータ２に対し相対
回転されるロータ３とを備えたポンプ要素４を内装する
一方、前記ケーシング１の下面１ｂに、モ−タ５を内装
したモ−タハウジング１０を取付け、前記モータ５から
延びるロータシャフト６を前記ロータ３に連動連結させ
て、前記モータ５に伴うロータシャフト６の回転で、前
記ロータ３を前記ステータ２に対し高速回転させること
により、前記ケーシング１の吸気口１１から排気口１２
への真空引きを行って、前記吸気口１２に接続される前
記半導体製造室内などを真空にするようにしている。
【００１１】また、同図１に示した真空ポンプは、前記
ポンプ要素４としてジグバーン形の高真空段ポンプ要素
４Ａとジグバーン形の低真空段ポンプ要素４Ｂとを備
え、これら各ポンプ要素４Ａ，４Ｂをそれぞれ上下に配
設したものを示しており、前記高真空段ポンプ要素４Ａ
は、径大な静翼２１を備えたステータ２２と、前記静翼
２１間に介装される径大な動翼３１を備えたロータ３２
とを設けており、また、前記低真空段ポンプ要素４Ｂ
は、径小な複数枚の静翼２３を備えたステータ２４と、
前記静翼２３間に介装される径小な複数枚の動翼３３を
備えたロータ３４とを設けている。
ポンプ要素４としてジグバーン形の高真空段ポンプ要素
４Ａとジグバーン形の低真空段ポンプ要素４Ｂとを備
え、これら各ポンプ要素４Ａ，４Ｂをそれぞれ上下に配
設したものを示しており、前記高真空段ポンプ要素４Ａ
は、径大な静翼２１を備えたステータ２２と、前記静翼
２１間に介装される径大な動翼３１を備えたロータ３２
とを設けており、また、前記低真空段ポンプ要素４Ｂ
は、径小な複数枚の静翼２３を備えたステータ２４と、
前記静翼２３間に介装される径小な複数枚の動翼３３を
備えたロータ３４とを設けている。
【００１２】しかして本発明は、以上の真空ポンプにお
いて、図１で明らかにしたように、前記ケーシング１の
上面１ａを閉鎖し、このケーシング１の上部一側面に前
記吸気口１１を横方向に向けて開設すると共に、前記ケ
ーシング１における上面１ａと前記ポンプ要素４Ａとの
間に、前記吸気口１１が開口する吸気チャンバー１３を
形成し、該吸気チャンバー１３の内部で前記高真空段ポ
ンプ要素４Ａにおけるステータ２２の外周部上面に、ス
テータ２２から上方に向かって延び前記吸気口１１に対
向する対向面をもった前記ロータ３２より大径の円筒状
の遮断壁７を取付けたのである。また、前記吸気口１１
に、径大な取付フランジ１１ａを垂直状に設けると共
に、この取付フランジ１１ａの外周複数箇所に取付孔１
１ｂを設けて、該取付孔１１ｂに挿通する固定ボルト
（図示せず）により、前記吸気口１１を半導体製造室に
直接、または吸気配管を介して連通させるようにしてい
る。
いて、図１で明らかにしたように、前記ケーシング１の
上面１ａを閉鎖し、このケーシング１の上部一側面に前
記吸気口１１を横方向に向けて開設すると共に、前記ケ
ーシング１における上面１ａと前記ポンプ要素４Ａとの
間に、前記吸気口１１が開口する吸気チャンバー１３を
形成し、該吸気チャンバー１３の内部で前記高真空段ポ
ンプ要素４Ａにおけるステータ２２の外周部上面に、ス
テータ２２から上方に向かって延び前記吸気口１１に対
向する対向面をもった前記ロータ３２より大径の円筒状
の遮断壁７を取付けたのである。また、前記吸気口１１
に、径大な取付フランジ１１ａを垂直状に設けると共
に、この取付フランジ１１ａの外周複数箇所に取付孔１
１ｂを設けて、該取付孔１１ｂに挿通する固定ボルト
（図示せず）により、前記吸気口１１を半導体製造室に
直接、または吸気配管を介して連通させるようにしてい
る。
【００１３】以上のように前記吸気口１１は、前記ケー
シング１の上部一側面に横方向に向けて開設されている
ため、前記半導体製造室などの室に脱落した取付ボルト
とか、ウエハーの破片などの異物が前記吸気口１１側に
誘引されて、該吸気口１１からケーシング１内に侵入す
ることがあっても、このケーシング１における前記吸気
チャンバー１３の内部には、前記吸気口１１と対向状に
前記遮断壁７が設けられているため、前記吸気口１１か
らケーシング１内に侵入した異物を前記遮断壁７で受止
めて、それ以上内方に侵入するのを阻止できるのであ
り、つまり、遮断壁７で異物の前記ポンプ要素４側への
侵入を阻止できるのであり、従って、異物の侵入による
前記ポンプ要素４の破損事故を防止できる。
シング１の上部一側面に横方向に向けて開設されている
ため、前記半導体製造室などの室に脱落した取付ボルト
とか、ウエハーの破片などの異物が前記吸気口１１側に
誘引されて、該吸気口１１からケーシング１内に侵入す
ることがあっても、このケーシング１における前記吸気
チャンバー１３の内部には、前記吸気口１１と対向状に
前記遮断壁７が設けられているため、前記吸気口１１か
らケーシング１内に侵入した異物を前記遮断壁７で受止
めて、それ以上内方に侵入するのを阻止できるのであ
り、つまり、遮断壁７で異物の前記ポンプ要素４側への
侵入を阻止できるのであり、従って、異物の侵入による
前記ポンプ要素４の破損事故を防止できる。
【００１４】しかも、以上の真空ポンプでは、従来のも
ののように、金網を使用したりすることなく、前記異物
の前記ポンプ要素４側への侵入を阻止する構成としてい
るため、前記金網が前記半導体製造室側で生成される反
応生成物などで目詰まりを起こすことによる前記ポンプ
要素４の性能低下を招くことがなく、その上、構造簡単
でコストを低廉にできるのである。
ののように、金網を使用したりすることなく、前記異物
の前記ポンプ要素４側への侵入を阻止する構成としてい
るため、前記金網が前記半導体製造室側で生成される反
応生成物などで目詰まりを起こすことによる前記ポンプ
要素４の性能低下を招くことがなく、その上、構造簡単
でコストを低廉にできるのである。
【００１５】また、以上の実施例では、前記ポンプ要素
４として、ジグバーン形の高真空段及び低真空段ポンプ
要素４Ａ，４Ｂを用いたものを示したが、本発明では、
図２で示したように、前記ポンプ要素４として、スクリ
ュー形の高真空段ポンプ要素４Ｃとジグバーン形の低真
空段ポンプ要素４Ｄとを備え、これら各ポンプ要素４
Ｃ，４Ｄをそれぞれ上下に配設した複合型のものに適用
することもできる。即ち、前記高真空段ポンプ要素４Ｃ
は、外周面にスクリュー溝３５をもち、前記ケーシング
１より小径とされたねじロータ３６と、このねじロータ
３６の外回りに前記スクリュー溝３５と対向状に配設さ
れ、内周が面一状とされた円筒状のステータ２５とから
構成され、また、前記低真空段ポンプ要素４Ｄは、前述
した低真空段ポンプ要素４Ｂと同様に、複数の動翼３７
をもつロータ３８と、前記動翼３７間に介装される複数
の静翼２６を備えたステータ２７とから構成する。
４として、ジグバーン形の高真空段及び低真空段ポンプ
要素４Ａ，４Ｂを用いたものを示したが、本発明では、
図２で示したように、前記ポンプ要素４として、スクリ
ュー形の高真空段ポンプ要素４Ｃとジグバーン形の低真
空段ポンプ要素４Ｄとを備え、これら各ポンプ要素４
Ｃ，４Ｄをそれぞれ上下に配設した複合型のものに適用
することもできる。即ち、前記高真空段ポンプ要素４Ｃ
は、外周面にスクリュー溝３５をもち、前記ケーシング
１より小径とされたねじロータ３６と、このねじロータ
３６の外回りに前記スクリュー溝３５と対向状に配設さ
れ、内周が面一状とされた円筒状のステータ２５とから
構成され、また、前記低真空段ポンプ要素４Ｄは、前述
した低真空段ポンプ要素４Ｂと同様に、複数の動翼３７
をもつロータ３８と、前記動翼３７間に介装される複数
の静翼２６を備えたステータ２７とから構成する。
【００１６】そして、以上の構成とされたスクリュー形
の高真空段ポンプ要素４Ｃを構成する前記ステータ２５
の外周面と前記ケーシング１の内周面との間に吸気チャ
ンバー１３を形成し、この吸気チャンバー１３に、図１
で示す実施例と同様に、前記取付フランジ１１ａをもつ
吸気口１１を横方向に向けて開設させ、前記ステータ２
５を前記吸気口１１に対向させ、該ステータ２５を、前
記遮断壁７とするのである。
の高真空段ポンプ要素４Ｃを構成する前記ステータ２５
の外周面と前記ケーシング１の内周面との間に吸気チャ
ンバー１３を形成し、この吸気チャンバー１３に、図１
で示す実施例と同様に、前記取付フランジ１１ａをもつ
吸気口１１を横方向に向けて開設させ、前記ステータ２
５を前記吸気口１１に対向させ、該ステータ２５を、前
記遮断壁７とするのである。
【００１７】以上の構成とするときには、保守点検作業
時や前記半導体製造室などの室に各種部品を組付けるよ
うな場合に、前記吸気口１１が前記吸気チャンバー１３
に対し横方向に向けて開設されていることから、前記ボ
ルトやウエハーの破片などの異物が前記吸気口１１側に
誘引されて、該吸気口１１からケーシング１内の吸気チ
ャンバー１３に侵入することがあっても、前記吸気口１
１と対向状に設けた前記スクリュー形ポンプ要素４Ｃの
ステータ２５が前記遮断壁７を兼ねるから、このステー
タ２５により、前記異物の前記ポンプ要素４側への侵入
を阻止することができる。従って、前記スクリュー形ポ
ンプ要素４Ｃの前記ステータ２５を利用することによ
り、前記ケーシング１の外径寸法を別途変更したり、特
別の遮断壁を設けたりすることなく、前記ポンプ要素４
の破損事故を防止できるのである。
時や前記半導体製造室などの室に各種部品を組付けるよ
うな場合に、前記吸気口１１が前記吸気チャンバー１３
に対し横方向に向けて開設されていることから、前記ボ
ルトやウエハーの破片などの異物が前記吸気口１１側に
誘引されて、該吸気口１１からケーシング１内の吸気チ
ャンバー１３に侵入することがあっても、前記吸気口１
１と対向状に設けた前記スクリュー形ポンプ要素４Ｃの
ステータ２５が前記遮断壁７を兼ねるから、このステー
タ２５により、前記異物の前記ポンプ要素４側への侵入
を阻止することができる。従って、前記スクリュー形ポ
ンプ要素４Ｃの前記ステータ２５を利用することによ
り、前記ケーシング１の外径寸法を別途変更したり、特
別の遮断壁を設けたりすることなく、前記ポンプ要素４
の破損事故を防止できるのである。
【００１８】
【発明の効果】以上説明したように、本発明では、ステ
ータ２と、該ステータ２に対し回転可能なロータ３とか
ら成るポンプ要素４を内装するケーシング１の上部に吸
気口１１を、下部に排気口１２を設けた真空ポンプにお
いて、前記ケーシング１の上面を閉鎖して、このケーシ
ング１の上部一側面に前記吸気口１１を横方向に向けて
開設すると共に、この吸気口１１の内方に、該吸気口１
１と対向する遮断壁７を設けたから、前記半導体製造室
などの室に脱落したボルトやウエハーの破片などの異物
が誘引されて前記吸気口１１からケーシング１内に侵入
することがあっても、このケーシング１内における前記
吸気口１１との対向部位に設けた前記遮断壁７によっ
て、前記異物の前記ポンプ要素４側への侵入を阻止でき
るのであり、従って、異物の侵入による前記ポンプ要素
４の破損事故を防止できる。また、以上の真空ポンプで
は、従来のもののように、金網を使用したりすることな
く、異物のポンプ要素４側への侵入を阻止できることか
ら、前記金網が反応生成物などで目詰まりを起こすこと
による前記ポンプ要素４の性能低下を招くことがなく、
しかも、構造簡単でコストを低廉にできるのである。
ータ２と、該ステータ２に対し回転可能なロータ３とか
ら成るポンプ要素４を内装するケーシング１の上部に吸
気口１１を、下部に排気口１２を設けた真空ポンプにお
いて、前記ケーシング１の上面を閉鎖して、このケーシ
ング１の上部一側面に前記吸気口１１を横方向に向けて
開設すると共に、この吸気口１１の内方に、該吸気口１
１と対向する遮断壁７を設けたから、前記半導体製造室
などの室に脱落したボルトやウエハーの破片などの異物
が誘引されて前記吸気口１１からケーシング１内に侵入
することがあっても、このケーシング１内における前記
吸気口１１との対向部位に設けた前記遮断壁７によっ
て、前記異物の前記ポンプ要素４側への侵入を阻止でき
るのであり、従って、異物の侵入による前記ポンプ要素
４の破損事故を防止できる。また、以上の真空ポンプで
は、従来のもののように、金網を使用したりすることな
く、異物のポンプ要素４側への侵入を阻止できることか
ら、前記金網が反応生成物などで目詰まりを起こすこと
による前記ポンプ要素４の性能低下を招くことがなく、
しかも、構造簡単でコストを低廉にできるのである。
【００１９】また、前記ロータ３として、外周面にスク
リュー溝３５を設けたねじロータを用い、このねじロー
タ３６の外径を前記ケーシング１より小径として、前記
ロータ３６の外回りに、該ロータ３６の外周面に対向す
る内周面をもったステータ２５を配設し、このステータ
２５の外周面と前記ケーシング１の内周面との間に吸気
チャンバー１３を形成し、該吸気チャンバー１３に前記
吸気口１１を横方向に向けて開設するときには、前記ね
じロータ３６と対向されるステータ２５で、前述した遮
断壁７を兼用させることができるから、前記ケーシング
１の外径寸法を変更したり、特別の遮断壁を設けたりす
ることなく、前記異物の前記ポンプ要素４側への侵入を
防止することができる。
リュー溝３５を設けたねじロータを用い、このねじロー
タ３６の外径を前記ケーシング１より小径として、前記
ロータ３６の外回りに、該ロータ３６の外周面に対向す
る内周面をもったステータ２５を配設し、このステータ
２５の外周面と前記ケーシング１の内周面との間に吸気
チャンバー１３を形成し、該吸気チャンバー１３に前記
吸気口１１を横方向に向けて開設するときには、前記ね
じロータ３６と対向されるステータ２５で、前述した遮
断壁７を兼用させることができるから、前記ケーシング
１の外径寸法を変更したり、特別の遮断壁を設けたりす
ることなく、前記異物の前記ポンプ要素４側への侵入を
防止することができる。
【図１】本発明の真空ポンプを示す縦断面図である。
【図２】他の実施例を示す縦断面図である。
【図３】従来の真空ポンプを示す縦断面図である。
１ ケーシング １１ 吸気口 １２ 排気口 １３ 吸気チャンバー ２ ステータ ２５ ステータ ３ ロータ ３５ スクリュー溝 ３６ ねじロータ ４ ポンプ要素 ７ 遮断壁
Claims (2)
- 【請求項１】 ステータ２と、該ステータ２に対し回転
可能なロータ３とから成るポンプ要素４を内装するケー
シング１の上部に吸気口１１を、下部に排気口１２をそ
れぞれ設けて成る真空ポンプにおいて、前記ケーシング
１の上面を閉鎖して、前記吸気口１１を、前記ケーシン
グ１の上部一側面に、横方向に向けて開設すると共に、
この吸気口１１の内方に、該吸気口１１に対向する遮断
壁７を設けたことを特徴とする真空ポンプ。 - 【請求項２】 ロータ３は、その外周面にスクリュー溝
３５を設けたねじロータから成り、該ねじロータの外径
をケーシング１より小径として、このロータ３６の外回
りに、該ロータ３６の外周面に対向する内周面をもった
ステータ２５を配設し、該ステータ２５の外周面と前記
ケーシング１の内周面との間に吸気チャンバー１３を形
成し、この吸気チャンバー１３に吸気口１１を開設して
いる請求項１記載の真空ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13843392A JP3099516B2 (ja) | 1992-05-29 | 1992-05-29 | 真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13843392A JP3099516B2 (ja) | 1992-05-29 | 1992-05-29 | 真空ポンプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05332286A true JPH05332286A (ja) | 1993-12-14 |
| JP3099516B2 JP3099516B2 (ja) | 2000-10-16 |
Family
ID=15221865
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13843392A Expired - Fee Related JP3099516B2 (ja) | 1992-05-29 | 1992-05-29 | 真空ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3099516B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006509951A (ja) * | 2002-12-17 | 2006-03-23 | ザ ビーオーシー グループ ピーエルシー | 真空ポンプ排出装置 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07194484A (ja) * | 1993-12-29 | 1995-08-01 | Tiger Vacuum Bottle Co Ltd | 炊飯ジャー |
-
1992
- 1992-05-29 JP JP13843392A patent/JP3099516B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006509951A (ja) * | 2002-12-17 | 2006-03-23 | ザ ビーオーシー グループ ピーエルシー | 真空ポンプ排出装置 |
| JP4667043B2 (ja) * | 2002-12-17 | 2011-04-06 | エドワーズ リミテッド | 真空ポンプ排出装置 |
| US8727751B2 (en) | 2002-12-17 | 2014-05-20 | Edwards Limited | Vacuum pumping arrangement |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3099516B2 (ja) | 2000-10-16 |
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