JP3995419B2

JP3995419B2 - デュアルインレット真空ポンプ

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Publication number: JP3995419B2
Application number: JP2000597555A
Authority: JP
Inventors: ハブラニアン，マースベッド
Original assignee: Varian Inc
Current assignee: Varian Inc
Priority date: 1999-02-02
Filing date: 2000-02-01
Publication date: 2007-10-24
Anticipated expiration: 2020-02-01
Also published as: EP1068456B1; EP1068456A1; DE60023216T2; US6193461B1; DE60023216D1; JP2002536583A; WO2000046508A1

Description

【０００１】
【発明の分野】
この発明は、真空エンクロージャを真空にするために用いられる高真空ポンプに関し、特に、真空エンクロージャの異なるチャンバを真空にするために用いられるデュアルインレット真空ポンプに関する。この発明は、ターボ分子真空ポンプおよび拡散ポンプにおいて実施されてもよいが、これらのタイプの真空ポンプに限定されるものではない。
【０００２】
【発明の背景】
従来のターボ分子真空ポンプは、インレットポートと、複数の軸流ポンピングステージを含む内部チャンバと、排出ポートとを有するハウジングを含む。排出ポートは、通常、ラフィング真空ポンプに取り付けられる。各軸流ポンピングステージは、傾斜ブレードを有するステータと、傾斜ブレードを有するロータとを含む。ロータおよびステータのブレードは、反対方向に傾斜している。ロータのブレードは、インレットポートと排出ポートとの間でガスをポンピングするために高速で回転される。通常のターボ分子真空ポンプは、９個から１２個程度の軸流ポンピングステージを含む場合がある。
【０００３】
従来のターボ分子真空ポンプの変形は、先行技術において公知である。ある先行技術の構成では、１ないし複数個の軸流ポンピングステージが、高速で回転し分子ドラッグステージとして機能するディスクと共に配置される。この変形は、１９９３年８月２４日にカサロ他に発行された米国特許第５，２３８，３６２号に開示されている。共通のハウジング内に軸流ターボ分子コンプレッサと分子ドラッグコンプレッサとを含むターボ分子真空ポンプは、ヴァリアン・アソシエイト株式会社により、モデルＮｏ．９６９９００７で販売されている。分子ドラッグディスクおよび渦流インペラーを利用したターボ分子真空ポンプは、１９９０年１月１８日に公開されたドイツ特許第３，９１９，５２９号に開示されている。
【０００４】
分子ドラッグコンプレッサは、回転ディスクとステータとを含む。ステータは、正接流路と、正接流路の入口および出口とを規定する。ストリッパと呼ばれる据付のバッフルは、入口と出口とを分ける正接流路内に配置される。先行技術において公知のように、回転ディスクの運動量は、正接流路の範囲内でガス分子に伝達され、その結果、分子を出口に向け、ガスを汲み上げる。
いくつかの手段および処理システムは、異なる圧力レベルで作動することが好ましい２つ以上の真空チャンバを有する。チャンバは、異なる圧力レベルの確立を許容するのに十分な程度に小さい１つ以上の穴を通って接続されている。具体例は、多数のスペクトロメータと、分子ビームシステムと、イオンビームシステムとを含む。１つのアプローチは、分離した真空ポンプを各真空チャンバに接続することである。通常より経済的な他のアプローチは、１つの真空ポンプにおいて異なる箇所に接続された２つ以上の入口を有する１つの真空ポンプを利用することである。これらの入口は異なる真空チャンバに接続される。
【０００５】
先行技術のデュアルインレットターボ分子真空ポンプ１０の一例を図４に示す。ターボ分子真空ポンプ（ターボポンプ）１０は、第１ポンピング部１２と、第２ポンピング部１４と、ポンピング部１２、１４間に介在するインターステージ領域１６とを含む。第１ポンピング部１２は軸流ポンピングステージ２０、２２などを含み、第２ポンピング部１４は軸流ポンピングステージ３０、３２などを含む。ハウジング４０は、第１真空ポンピング部１２の入口に連結された第１インレットポート４２と、管４６を介してインターステージ領域１６に連結された第２インレットポート４４と、第２真空ポンピング部１４の出口５０に連結された排出ポート４８とを有する。各軸ポンピングステージ２０、２２、３０、３２などは、傾斜ブレードを有するステータと、傾斜ブレードを有するロータとを含む。各軸ポンピングステージのロータは、シャフト５２によりモータ５４に接続されている。
【０００６】
使用する場合、第１インレットポート４２は、第１真空チャンバ（図示せず）に比較的低い圧力で接続されていて、第２インレットポートは、第２真空チャンバ（図示せず）に比較的高い圧力レベルで接続される。第１および第２チャンバは、ターボポンプ１０により同時に真空にされる。
図４に示すターボポンプの構成は、通常、十分な性能を備えているものの、ある不利益を有している。インターステージ領域１６は、第２インレットポート４４と第２ポンピング部１４との間に十分なガスコンダクタンスを供給するために、シャフト５２に平行な比較的大きな軸寸法を有する。これは、同等のシングルインレットターボポンプと同じ性能を供給するために、シャフト５２を長くすることを要する。この結果、ターボポンプのサイズが大きくなり、そのコストが高くなる。これに加えて、シャフトおよびロータはターボポンプの端であるモータから通常片持ちされるので、シャフトの長さの増加により、高速運転のためのターボポンプの釣り合いおよびベアリングの寿命の減少などの問題が生じるおそれがある。
【０００７】
したがって、１つ以上の上記不利益を克服する真空ポンプの構成を提供することが望まれている。
【０００８】
【発明の要旨】
この発明の第１の側面によれば、真空ポンプが供給される。この真空ポンプは、直列に連結された第１真空ポンプ部および第２真空ポンプ部と、それらの間に介装されたインターステージ領域とを含む。この真空ポンプは、第１および第２真空ポンプ部を収容しているハウジングと、ハウジングから外側に突出し、インターステージ領域の全部または一部を取り囲む高コンダクタンスの周縁ダクトを含む。ハウジングは、第１真空ポンプ部の入口に連結された第１インレットポートと、周縁ダクトに連結された第２インレットポートと、第２真空ポンプ部の出口に連結された排出ポートとを規定する。この真空ポンプは、第１真空ポンプ部が１ないし複数個の軸流ポンピングステージを含み、第２真空ポンプ部が１ないし複数個の軸流ポンピングステージを含むターボ分子真空ポンプを含む。ハウジングは、インターステージ領域に隣接する環状ギャップを有するほぼ円筒状の壁を含み、周縁ダクトは、環状ギャップを取り囲み、環状ギャップを介してインターステージ領域に連結された環状ダクトを含む。
この発明の第２の側面によれば、真空ポンプが供給される。この真空ポンプは、直列に連結された第１真空ポンプ部および第２真空ポンプ部と、それらの間に介装されたインターステージ領域とを含む。この真空ポンプは、第１および第２真空ポンプ部を収容しているハウジングと、ハウジングから外側に突出し、インターステージ領域の全部または一部を取り囲む高コンダクタンスの周縁ダクトを含む。ハウジングは、第１真空ポンプ部の入口に連結された第１インレットポートと、周縁ダクトに連結された第２インレットポートと、第２真空ポンプ部の出口に連結された排出ポートとを規定する。第１真空ポンプ部は、少なくとも１つの蒸気ジェット真空ポンピングステージを含み、第２真空ポンプ部は、少なくとも１つの蒸気ジェット真空ポンピングステージを含む。ハウジングは、インターステージに隣接する環状ギャップを有するほぼ円筒状の壁を含み、周縁ダクトは、環状ギャップを取り囲み、環状ギャップを介してインターステージ領域に連結された環状ダクトを含む。
【０００９】
この発明の第３の側面によれば、真空ポンプは、直列に連結された２つ以上の軸流ステージと、モータと、シャフトと、軸流ステージを収容しているハウジングとを備える。軸流ステージは、第１ポンプ部と、第１ポンプ部からインターステージ領域により分離される第２ポンプ部とに分けられる。シャフトは、各軸流ステージのモータとロータとの間で連結される。この真空ポンプは、ハウジングから外側に突出し、インターステージ領域の全部または一部を取り囲む高コンダクタンスの周縁ダクトを有する。ハウジングは、第１ポンプ部の入口に連結された第１インレットポートと、周縁ダクトに連結された第２インレットポートと、第２ポンプ部の出口に連結された排出ポートとを規定する。ハウジングは、インターステージ領域に隣接する環状ギャップを有するほぼ円筒状の壁を含み、周縁ダクトは、環状ギャップを取り囲み、環状ギャップを介してインターステージ領域に連結された環状ダクトを含む。第２ポンプ部は、１つ以上の分子ドラッグステージを選択的に含んでいてもよい。
【００１０】
この発明の第４の側面によれば、拡散ポンプは、直列に連結された２つ以上の蒸気ジェットステージと、蒸気ジェットステージに蒸気を供給するための蒸気源と、蒸気ジェットステージを含むハウジングとを備える。蒸気ジェットステージは、第１ポンプ部と、それらの間にインターステージ領域を有する第２ポンプ部とに分けられる。この拡散ポンプは、ハウジングから外側に突出し、インターステージ領域の全部または一部を取り囲む高コンダクタンスの周縁ダクトを含む。ハウジングは、第１ポンプ部の入口に連結された第１インレットポートと、周縁ダクトに連結された第２インレットポートと、第２ポンプ部の出口に連結された排出ポートとを規定する。ハウジングは、インターステージ領域に隣接する環状ギャップを有するほぼ円筒状の壁を含み、周縁ダクトは、環状ギャップを取り囲み、環状ギャップを介してインターステージ領域に連結された環状ダクトを含む。
【００１２】
【発明の実施の形態の詳細な説明】
図１は、本発明にかかるデュアルインレット真空ポンプの一実施形態を示す断面模式図である。真空ポンプ１１０は、第１ポンプ部１１２と、第２ポンプ部１１４と、第１ポンプ部１１２と第２ポンプ部１１４との間に介在するインターステージ領域１１６とを含む。第１ポンプ部１１２および第２ポンプ部１１４には、それぞれ以下に示すような真空ポンピングステージが１つ以上含まれていてもよい。ハウジング１２０は、壁１２２を含む。真空ポンプ１１０は、ハウジング１２０から外側に突出し、インターステージ領域１１６の全部または一部を取り囲み、インターステージ領域１１６と共に流体伝達手段をなす周縁ダクト１２４を含む。ハウジング１２０には、第１ポンプ部１１２の入口に連結された第１インレットポート１３０と、管１３４を介して周縁ダクト１２４に連結された第２インレットポート１３２と、第２ポンプ部１１４の出口１３８に連結された排出ポート１３６とが備えられている。ポンプ部１１２、１１４は、インレットポート１３０と排出ポート１３６との間で直列に連結されていて、第１ポンプ部１１２の出口は、インターステージ領域１１６を介して第２ポンプ部１１４の入口に連結されている。真空ポンプ１１０は、本発明の範囲内で２つ以上のインレットポートを有するように構成されていてもよい。
【００１３】
周縁ダクト１２４は、ハウジング１２０の壁１２２の全部または選択された部分を取り囲んでおり、比較的高いガスコンダクタンスを供給する断面構造を有している。壁１２２は、通常、その外形が円筒状であって、インターステージ領域１１６に隣接してギャップ１４０を有している。壁１２２が円筒状の場合には、ギャップ１４０は環状であってもよい。ギャップ１４０は、周縁ダクト１２４とインターステージ領域１１６との間で、比較的高いコンダクタンスでの通過を実現する。管１３４の断面積および長さ、周縁ダクト１２４の断面積および長さ、ならびにギャップ１４０の寸法は、第２インレットポート１３２とインターステージ領域１１６との間で所望のガスコンダクタンスが達成されるように選択される。上述のように、周縁ダクト１２４は、壁１２２の全部または選択された部分を取り囲んでいてもよい。周縁ダクト１２４が壁１２２の全周にわたって延びていない場合、ギャップ１４０は、周縁ダクト１２４により囲まれるように寸法が決められる。先行技術のターボポンプ１０におけるインターステージ領域１６の比較的大きな軸寸法は、図１の真空ポンプ内において比較的小さい軸寸法を有するインターステージ領域１１６に置き換えられる。管１３２から第２ポンプ部１１４までの十分なガスコンダクタンスは、周縁ダクト１２４およびギャップ１４０により達成される。
【００１４】
運転中、ガスは第１インレットポート１３０から、第１ポンプ部１１２および第２ポンプ部１１４を介して、排出ポート１３６へと汲み上げられる。さらに、ガスは第２インレットポートから、第２ポンプ部１１４を介して、排出ポート１３６へと汲み上げられる。この結果、インレットポート１３０は比較的低い圧力を有し、第２インレットポート１３２およびインターステージ領域１１６は中程度の圧力を有し、排出ポート１３６は比較的高い圧力を有する。このように、インレットポート１３０、１３２は、異なる圧力レベルで異なる真空チャンバに連結されてもよい。
【００１５】
本発明の第１実施形態を図２に示す。デュアルインレットターボ分子真空ポンプ２１０は、第１ポンプ部２１２と、第２ポンプ部２１４と、ポンプ部２１２、２１４間に介在するインターステージ領域２１６とを含む。ハウジング２２０は、第１ポンプ部２１２と第２ポンプ部２１４とインターステージ領域２１６とを含む内部チャンバを規定する。ハウジング２２０は、ほぼ円筒形状の壁２２２と、ターボポンプ２１０を真空チャンバ（図示せず）に対して密封して真空にするための真空フランジ２２６とを含んでいてもよい。周縁ダクト２２４は、インターステージ領域２１６の全部または一部を取り囲んでいる。ハウジング２２０は、第１ポンプ部２１２の入口に連結された第１インレットポート２３０と、管２３４を介して周縁ダクト２２４に連結された第２インレットポート２３２と、管２３９を介して第２ポンプ部２１４の出口２３８に連結された排出ポート２３６とをさらに含む。排出ポート２３６は、通常、バッキング真空ポンプ（図示せず）に連結されている。ターボポンプが大気圧に排出できる場合には、バッキングポンプは必要ない。ターボポンプ２１０は、本発明の範囲内で２つ以上のインレットポートを有していてもよい。
【００１６】
第１ポンプ部２１２および第２ポンプ部２１４は、それぞれステージ２４０、２４２、２４４などの軸流真空ポンピングステージを１つ以上含んでいてもよい。各軸流ステージは、ロータ２５０およびステータ２５２を含む。通常、ターボ分子真空ポンプは９個から１２個程度のステージを有している。
各ロータ２５０は、シャフト２６０に取り付けられる中心ハブと、その周囲を取り囲む傾斜ブレードとを含む。シャフト２６０は、モータ２６２により図２に矢印２６４で示す方向に高速で回転される。ガス分子は、インレットポート２３２、２３２から排出ポート２３６までの各軸ポンピングステージにより、通常、軸方向に向けられる。各ステータはシャフト２６０のための開口を有する中心ハブを含む。ステータハブは、シャフト２６０と接触しない。ステータは、傾斜ブレードをさらに含む。ロータのブレードおよびステータのブレードは、逆方向に傾斜されている。軸流ステージの構造は、この分野における技術者に公知である。
【００１７】
従来のターボポンプでは、インターステージ領域２１６は、比較的短い軸寸法を有し、１つ以上のステータが省略されることにより形成されていてもよい。インターステージ領域２１６は、例えば０．７５から１．５インチ（ポンプのサイズによる）の範囲の軸寸法を有していてもよい。環状ギャップ２７０は、ハウジング２２０の円筒壁２２２に備えられている。環状ギャップ２７０は、インターステージ領域２１６と整合していて、円筒壁２２２の外側からインターステージ領域２１６への通路を提供している。周縁ダクト２２４は、インターステージ領域２１６の全部または一部を取り囲んでおり、環状ギャップ２７０と整合して設けられている。環状ギャップ２７０は、例えば０．２５から０．７５インチ（ポンプのサイズによる）の範囲の軸寸法を有していてもよい。
【００１８】
周縁ダクト２２４と環状ギャップ２７０との結合は、管２３４とインターステージ領域２１６との間に高ガスコンダクタンス路を提供する。このようにして、第２インレットポート２３２を介して汲み上げられたガスは、管２３４を通って周縁ダクト２２４へと向かう。ガスは、周縁ダクト２２４の周りを流れて、周縁ダクト２２４から環状ギャップ２７０を介してインターステージ領域２１６へと向かう。このようにして、環状ギャップ２７０は軸寸法が小さいが、周縁ダクト２２４および環状ギャップ２７０の円周方向の長さにより高コンダクタンスが達成される。上述のように、インレットポート２３２とインターステージ領域２１６との間で所望のガスコンダクタンスを達成するために、周縁ダクト２２４および環状ギャップ２７０は、円筒壁２２２の円周全体に延在していてもよいし、あるいは円筒壁２２２の選択された一部に延在していてもよい。ガスは、図４に示す先行技術のターボポンプのように１つの開口を通ってというよりは、むしろインターステージ領域２１６の外周の全部または一部からインターステージ領域２１６内に流れ込む。インターステージ領域２１６は、環状ギャップ２７０を介してガスを受け取ると共に、第１ポンプ部２１２の出口からもガスを受け取ると解される。その後、ガスは第２ポンプ部２１４により排出ポート２３６へと汲み上げられる。好適な実施形態においては、第２ポンプ部２１４の第１軸流ポンピングステージのロータ２７４は、高いポンピング速度を達成するために、比較的高いブレード角度を有している。
【００１９】
ターボポンプ２１０の１つ以上の軸流ポンピングステージは、分子ドラッグステージに置き換えられてもよい。通常、排出ポート２３６近傍の軸流ステージは、分子ドラッグステージに置き換えられる。しかしながら、一般的に、ポンプ部２１２、２１４のうち一方または両方の１つ以上の軸流ステージは、本発明の範囲内で分子ドラッグステージに置き換えられてもよい。
周縁ダクト２２４は、円筒壁２２２に密封されていてもよいし、円筒壁２２２の一部であってもよい。同様に、周縁ダクト２２４は、管２３４に密封されていてもよいし、管２３４の一部であってもよい。ハウジング２２０は、円筒壁２２２と、周縁ダクト２２４と、フランジ２２６と、管２３４と、管２３９とを含むが、本発明の範囲内で１つ以上の部品として組み立てられていてもよい。周縁ダクト２２４が円筒壁２２２を取り囲む部分において、ダクト２２４は通常環状をなしている。周縁ダクト２２４の内部断面積は、管２３４とインターステージ領域２１６との間に所望のガスコンダクタンスを提供するために選択される。通常、周縁ダクト２２４は、適用するサイズおよびコストの制約の範囲内で、実用的な大きさの断面積を有するべきである。
【００２０】
本発明の第２実施形態を図３に示す。デュアルインレット拡散真空ポンプ３１０は、第１蒸気ジェットステージ３１２と、第２蒸気ジェットステージ３１４と、第３蒸気ジェットステージ３１６と、第４蒸気ジェットステージ３７１とを含む。インターステージ領域３１８は、第１ステージ３１２と第２ステージ３１４との間に配置されている。図３の実施形態において、蒸気ジェットステージ３１２は第１ポンプ部を構成し、蒸気ジェットステージ３１４、３１６、３７１は第２ポンプ部を構成している。拡散ポンプ３１０は、ほぼ円筒形状の壁３２２を有するハウジング３２０を含む。周縁ダクト３２４は、インターステージ領域３１８を取り囲む。第１インレットポート３３０は、第１蒸気ジェットステージ３１２の入口に連結されている。第２インレットポート３３２は、管３３４を介して周縁ダクト３２４に連結されており、排出ポート３３６は、管３３８を介して第３蒸気ジェットステージ３１６および第４蒸気ジェットステージ３７１の出口に連結されている。拡散ポンプ３１０は、本発明の範囲内で２つ以上のインレットポートを含んでいてもよい。
【００２１】
ボイラー３４０は、ハウジング３２０の底部に配置されていて、蒸気ジェットステージ３１２、３１４，３１６、３１７への蒸気源をなしている。ボイラー３４０は、ボイラーシェル３４２と、ヒータ３４６と、液体タンク３４８とを含む。ヒータ３４６は、タンク３４８内の液体を、ジェット組立体３５２の内部領域３５０を通過する蒸気として蒸発させる。
ジェット組立体３５２は、第１蒸気ジェットステージ３１２を形成するために蒸気が円錐状の霧となって通過する環状口３６０と、第２蒸気ジェットステージ３１４を形成するために蒸気が円錐状の霧となって通過する第２環状口３６２と、第３蒸気ジェットステージ３１６を形成するために蒸気が円錐状の霧となって通過する第３環状口３６４とを有する。この蒸気ジェットステージ３１２、３１４、３１６、３７１を形成するジェット組立体３５２の外形は、拡散ポンプにおいて通常のものである。各蒸気ジェットステージは、蒸気を蒸気源から排出ポート３３６の方向に向けるノズルを含む。蒸気は、ハウジング３２０の冷却された円筒壁３２２により凝縮され、凝縮された蒸気は再利用のためタンク３４８に戻る。
【００２２】
周縁ダクト３２４は、ハウジング３２０の円筒壁３２２の全部または一部を取り囲み、円筒壁３２２の環状ギャップ３７０を介して管３３４とインターステージ領域３１８との間に高コンダクタンス路を提供する。周縁ダクト３２４は、拡散ポンプ３１０の長さの実質的な増加を要することなく、第２インレットポート３２２からインターステージ領域３１８まで高コンダクタンス路を提供する。ハウジング３２０は壁３２２、周縁ダクト３２４、管３３４、３３８を含むが、本発明の範囲内で１つ以上の部品として組み立てられていてもよい。
【００２３】
現時点において本発明の好適な実施形態と考えられるものを示して説明したが、請求項により規定される本発明の範囲から逸脱することなく種々の変更および修正が可能であることは、当業者にとって明らかであろう。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明にかかるデュアルインレット真空ポンプの一実施形態を示す断面模式図である。
【図２】本発明の第１実施形態にかかるデュアルインレットターボ分子真空ポンプの概略断面図である。
【図３】本発明の第２実施形態にかかるデュアルインレット拡散ポンプの概略断面図である。
【図４】先行技術のデュアルインレットターボ分子真空ポンプの断面図である。

Claims

直列に連結され、それらの間にインターステージ領域を有する第１真空ポンプ部および第２真空ポンプ部と、
上記第１および第２真空ポンプ部を収容しているハウジングと、
上記ハウジングから外側に突出し、上記インターステージ領域の全部または一部を取り囲む高コンダクタンスの周縁ダクトとを含む高真空ポンプであって、
上記ハウジングが、上記第１真空ポンプ部の入口に連結された第１インレットポートと、上記周縁ダクトに連結された第２インレットポートと、上記第２真空ポンプ部の出口に連結された排出ポートとを規定しており、
当該高真空ポンプはターボ分子真空ポンプを含み、
上記第１真空ポンプ部が１ないし複数個の軸流ポンピングステージを含み、上記第２真空ポンプ部が１ないし複数個の軸流ポンピングステージを含み、
上記ハウジングは、上記インターステージ領域に隣接する環状ギャップを有するほぼ円筒状の壁を含み、上記周縁ダクトは、上記環状ギャップを取り囲み、上記環状ギャップを介して上記インターステージ領域に連結された環状ダクトを含む高真空ポンプ。
上記インターステージ領域は、上記軸流ポンピングステージの１つ以上の軸寸法を有する請求項１記載の高真空ポンプ。
上記各軸流ポンピングステージはロータおよびステータを含み、ステータはモータに連結されたシャフトに固定され、上記シャフトは上記インターステージ領域を提供するように選択された長さを有する請求項１記載の高真空ポンプ。
直列に連結され、それらの間にインターステージ領域を有する第１真空ポンプ部および第２真空ポンプ部と、
上記第１および第２真空ポンプ部を収容しているハウジングと、
上記ハウジングから外側に突出し、上記インターステージ領域の全部または一部を取り囲む高コンダクタンスの周縁ダクトとを含み、
上記ハウジングが、上記第１真空ポンプ部の入口に連結された第１インレットポートと、上記周縁ダクトに連結された第２インレットポートと、上記第２真空ポンプ部の出口に連結された排出ポートとを規定しており、
上記第１真空ポンプ部は、少なくとも１つの蒸気ジェット真空ポンピングステージを含み、上記第２真空ポンプ部は、少なくとも１つの蒸気ジェット真空ポンピングステージを含み、
上記ハウジングは、上記インターステージに隣接する環状ギャップを有するほぼ円筒状の壁を含み、上記周縁ダクトは、上記環状ギャップを取り囲み、上記環状ギャップを介して上記インターステージ領域に連結された環状ダクトを含む高真空ポンプ。
直列に連結された２つ以上の軸流ステージであって、第１ポンプ部と、インターステージ領域により上記第１ポンプ部から分離された第２ポンプ部とに分けられ、それぞれロータおよびステータを含む軸流ステージと、
モータと、
上記モータと上記各軸流ステージとの間に連結されたシャフトと、
上記軸流ステージを収容しているハウジングと、
上記ハウジングから外側に突出し、上記インターステージ領域の全部または一部を取り囲む高コンダクタンスの周縁ダクトとを含み、
上記ハウジングが、上記第１ポンプ部の入口に連結された第１インレットポートと、上記周縁ダクトに連結された第２インレットポートと、上記第２ポンプ部の出口に連結された排出ポートとを規定しており、
上記ハウジングは、上記インターステージ領域に隣接する環状ギャップを有するほぼ円筒状の壁を含み、上記周縁ダクトは、上記環状ギャップを取り囲み、上記環状ギャップを介して上記インターステージ領域に連結された環状ダクトを含む高真空ポンプ。
上記第２ポンプ部は、１つ以上の分子ドラッグステージをさらに含む請求項５記載の高真空ポンプ。
直列に連結された２つ以上の蒸気ジェットステージであって、第１ポンプ部と第２ポンプ部とに分けられ、それらの間にインターステージ領域を有する蒸気ジェットステージと、
上記蒸気ジェットステージに蒸気を供給するための蒸気源と、
上記蒸気ジェットステージを収容しているハウジングと、
上記ハウジングから外側に突出し、上記インターステージ領域の全部または一部を取り囲む高コンダクタンスの周縁ダクトを含み、
上記ハウジングが、上記第１ポンプ部の入口に連結された第１インレットポートと、上記周縁ダクトに連結された第２インレットポートと、上記第２ポンプ部の出口に連結された排出ポートとを規定しており、
上記ハウジングは、上記インターステージ領域に隣接する環状ギャップを有するほぼ円筒状の壁を含み、上記周縁ダクトは、上記環状ギャップを取り囲み、上記環状ギャップを介して上記インターステージ領域に連結された環状ダクトを含む拡散ポンプ。
直列に連結された１つ以上の軸流ステージおよび１つ以上の分子ドラッグステージであって、第１ポンプ部と、インターステージ領域により上記第１ポンプ部から分離された第２ポンプ部とに分けられ、それぞれロータおよびステータを含む軸流ステージおよび分子ドラッグステージと、
モータと、
上記モータと上記軸流ステージおよび上記分子ドラッグステージのロータとの間を連結するシャフトと、
上記軸流ステージおよび上記分子ドラッグステージを収容しているハウジングと、
上記ハウジングから外側に突出し、上記インターステージ領域の全部または一部を取り囲む高コンダクタンスの周縁ダクトを含み、
上記ハウジングが、上記第１ポンプ部の入口に連結された第１インレットポートと、上記周縁ダクトに連結された第２インレットポートと、上記第２ポンプ部の出口に連結された排出ポートとを規定しており、
上記ハウジングは、上記インターステージ領域に隣接する環状ギャップを有するほぼ円筒状の壁を含み、上記周縁ダクトは、上記環状ギャップを取り囲み、上記環状ギャップを介して上記インターステージ領域に連結された環状ダクトを含む高真空ポンプ。