JP3766138B2 - 分子吸引ポンプ - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、分子ポンプに関する。
【０００２】
詳細には、本発明は、ロータとステータを備え、少なくとも交互になったロータとステータのフィン付きの段（stage ）を含み、ロータが釣り鐘型で、ステータが、ステータフィンを担持する少なくとも一つの外側部分と、釣り鐘型ロータ中に貫入する少なくとも一つの内側部分とを含むタイプの分子吸引ポンプに関する。
【０００３】
通常このアセンブリは、外部ケーシング内に置かれ、その外部ケーシングは一端において真空にするエンクロージャに接続される固定フランジを含む吸込口を形成し、他端がステータの前記内側部分にその内側部分の周囲リムに固定されている。このケーシングはまた、フィン付きディスクとスペーサが交互にスタックする構成のフィンを支持する外側部分を保持する働きをしている。
【０００４】
しかし、既知の解決策は、このケーシングを前記アセンブリに固定せず、反対に真空にするチャンバまたはエンクロージャに付属させるものである。そのような状況の下では、ケーシングなしのポンプアセンブリは真空室と連結された「ケーシング」にはめこまれ、その「ケーシング」がポンプに関連するケーシングの機能の全てを遂行する。その利点は、ポンプがそれ自体のケーシングを有する場合には、ケーシングの吸込み端に位置するポンプフランジと、真空にすべきチャンバに前記ポンプを固定するフランジとの間を封止する必要があるために必要である、ガスケットが吸込端で不要になることである。残念ながら、そのガスケットがエラストマでできている場合には、ひどいガス漏れを生じ、そのため残留ガスの圧力を増加させるという欠点があり、また金属ガスケットで構成される場合には、密封性を確保するのに大きな圧縮力を要し、そのためかなりの大きさのフランジを必要とする欠点がある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
したがって、本発明の目的は、真空にするチャンバに付属するケーシングに挿入するのに適した、しかし勿論、真空にする囲壁に提供するだけの目的ならば、独立したケーシングと係合してそれを固定することも可能な、上記で定義したタイプの分子吸引ポンプを提供することにある。このポンプはそれ自体の「一体化されたケーシング」を含まず、従来の標準の連結フランジのみを有する。これに関連して、本発明では、より大きい直径のロータフィンの第一段を備える、現在知られているよりも大きいケーシングの吸入径を提供することにある。もう一つの目的はケーシングとそのアセンブリを簡単にすることである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
したがって本発明は、ロータとステータを備え、少なくとも交互になったロータとステータのフィン付き段を含み、ロータが釣り鐘型で、ステータが、ステータフィンを支持する少なくとも一つの外側部分と釣り鐘型ロータ中に貫入する少なくとも一つの内側部分とを含み、前記内側部分がポンプをその放出端で閉じ、フランジを形成する外周リムを有するタイプの分子吸収ポンプであって、ステータピンを支持するステータの前記外側部分が径面で合体する二つの半ステータからなり、各半ステータが単一部分であって、ステータの前記内側部分の相補型円形溝にはまる支持面を吸入端とは反対側の端部に有することによって軸方向に配置され、ロータの第一フィン付き段の吸入端における外径が、動作クリアランスを無視すればステータの外側部分の外径に一致する。
【０００７】
次に、本発明の一実施例について、添付の図面を参照して説明する。
【０００８】
【発明の実施の形態】
図１に、ロータ１とステータ２を備える分子吸引ポンプが示す。
【０００９】
ロータ１は複数のフィン付き段１Ａ〜１Ｇを備え、釣り鐘型で、中心シャフト３を担持している。ステータ２は、外側部分２’と内側部分２”を含む。
【００１０】
外側部分２’もまた複数のフィン付き段２Ａ〜２Ｆを含み、これらの段はロータの段と交互になっている。ステータの内側部分２”はロータ中に貫入し、ポンプをその放出端で閉じると共にフランジを形成する外周リム４を含む部分を含む。この部分を放出口５が貫通している。ロータ１はステータ２の内部で二つのベアリング６及び７によって支持され、ステータ８とロータ９を備える電気モータによって回転される。ステータの外側部分２”は、分離していて径面１０で合体する二つの半ステータ２’Ａ及び２’Ｂ（図２及び３）からなる。各半ステータ２’Ａ及び２’Ｂは、全体として単一部品を構成する種々のフィン付き段２Ａ〜２Ｆと支持用半シリンダとを備える単一部分で、二つの半ロータも単一のシリンダを径面１０で二つに切って得られる。
【００１１】
ステータ２の内側部分２”は円形の溝１１を有し、その溝は各半ステータ２’Ａ及び２’Ｂを軸方向に配置する働きをする。この目的で、各半ステータはその吸入端とは反対側の端部に断面が溝１１と相補形の支持面１２を有する。
【００１２】
したがって、この二つの半ステータ２’Ａ及び２’Ｂは、支持面１２を溝１１に「引っかける（hooking ）」ことによって組み立てられる。アセンブリ全体は図２に示すような本物のケーシング１３、あるいは図３に示すような何らかの機械１６のチャンバ１５に付属するシリンダ１４のみで構成される、ケーシングの役目をする対合するシリンダに挿入することによって結合される。この場合、ポンプはその放出端にあるポンプのフランジ４によって機械１６に固定され、このブラシはポンプの軸に直角に延びるシリンダ１４の平らな端表面１９に係合する。
【００１３】
図２に示す例では、ケーシング１３もフランジ４に固定され、その吸入端に、真空にするエンクロージャと連結するためのフランジ１７を含む。ガスケット１８が、フランジ４とケーシング１３またはシリンダ１４との間に配置される。
【００１４】
最後に、ロータ１の吸入端にある第一フィン付き段は、ロータを回転させるのに必要な動作クリアランスを無視すれば、ステータの外側部分２’の外径、またはシリンダ１４の外径、またはポンプを挿入するフランジケーシング１３の外径に一致する外径を有する。
【００１５】
このように、本発明により、吸入口と第一ロータ段１Ａの直径は（クリアランスを無視すれば）ほぼ同じであり、この外径は、先行技術におけるよりも当然かなり大きい。なぜなら、先行技術においては、このケーシングが交互になったフィン付きディスクとスペーサのスタックからなるステータを締め付け組み立てるのに使用され、したがってケーシングの吸入端がステータの上端を支持する肩部を有し、そのため、吸入口とロータの第一フィン付き段１Ａの直径をより小さくする必要があるからである。組立ても大いに単純化され、ケーシング１３及びシリンダ１４も同様である。なぜなら、ポンプの軸に垂直な平らな表面１９で終端しフランジ４に固定される同一直径の滑らかな孔一つしか必要でないからである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の分子吸引ポンプの軸方向断面図である。
【図２】独立なケーシングを備える本発明の分子吸引ポンプを示す図である。
【図３】真空にするチャンバに付属するケーシングに挿入した本発明の分子吸引ポンプを示す図である。
【符号の説明】
１ ロータ
２ ステータ
２’ 外側部分
２” 内側部分
２’Ａ 半ステータ
２’Ｂ 半ステータ
２Ａ、２Ｆ フィン付き段
１Ａ、１Ｇ フィン付き段
３ 中央軸
４ 外周リム
５ 放出口
６ ベアリング
７ ベアリング
８ ステータ
９ ロータ
１１ 溝
１２ 支持面
１８ ガスケット

Claims (3)

1. ロータとステータを備え、少なくとも交互になったロータとステータのフィン付き段を含み、ロータが釣り鐘型であり、ステータはステータフィンを支持する少なくとも一つの外側部分と、釣り鐘型ロータ中に貫入する少なくとも一つの内側部分を含み、前記内側部分がポンプをその放出端で閉じ、フランジを形成する外周リムを含むタイプの分子吸引ポンプであって、ステータピンを支持するステータの前記外側部分が径面で合体する二つの半ステータからなり、各半ステータが単一部分で、ステータの前記内側部分の相補的円形溝にはまる支持面を吸入端とは反対側に持つことによって軸方向に配置され、ロータの第一フィン付き段の吸入端における外径が、動作クリアランスを無視すればステータの外側部分の外径に一致する分子吸引ポンプ。
2. ステータの外側部分の外径上に締りばめで係合し、前記フランジに固定され、その吸入端に固定用フランジを含むケーシングを含む請求項１に記載の分子吸引ポンプ。
3. ステータの外側部分の外径に適合する同一直径のシリンダに挿入され、真空にする何かの機械のチャンバに付属する、前記シリンダの外側表面が、フランジに固定するためのポンプの軸に垂直な平らな面を含む請求項１に記載の分子吸引ポンプ。

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