JP2002536583A - デュアルインレット真空ポンプ - Google Patents
デュアルインレット真空ポンプInfo
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D25/00—Pumping installations or systems
- F04D25/16—Combinations of two or more pumps ; Producing two or more separate gas flows
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04F—PUMPING OF FLUID BY DIRECT CONTACT OF ANOTHER FLUID OR BY USING INERTIA OF FLUID TO BE PUMPED; SIPHONS
- F04F9/00—Diffusion pumps
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】小サイズ化および低コスト化に有利な真空ポンプを提供する。
【解決手段】高真空ポンプ１１０は、直列に連結された第１真空ポンプ部１１２および第２真空ポンプ部１１４と、それらの間に介装されたインターステージ領域１１６とを含む。真空ポンプ１１０は、第１および第２真空ポンプ部１１２、１１４を備えるハウジング１２０をさらに含む。ハウジング１２０は、インターステージ領域１１６の全部または一部を取り囲み、インターステージ領域１１６に連結された高コンダクタンスの周縁ダクト１２４を含む。ハウジング１２０は、第１真空ポンプ部１１２の入口に連結された第１インレットポート１３０と、周縁ダクト１２４に連結された第２インレットポート１３２と、第２真空ポンプ部１１４の出口に連結された排出ポート１３６とを規定する。本発明にかかる高真空ポンプ１１０の実施形態は、ターボ分子真空ポンプと、拡散ポンプと、軸流ステージおよび分子ドラッグステージの両方を備えた混合真空ポンプとを含む。
Description
【０００１】
この発明は、真空エンクロージャを真空にするために用いられる高真空ポンプ
に関し、特に、真空エンクロージャの異なるチャンバを真空にするために用いら
れるデュアルインレット真空ポンプに関する。この発明は、ターボ分子真空ポン
プおよび拡散ポンプにおいて実施されてもよいが、これらのタイプの真空ポンプ
に限定されるものではない。
に関し、特に、真空エンクロージャの異なるチャンバを真空にするために用いら
れるデュアルインレット真空ポンプに関する。この発明は、ターボ分子真空ポン
プおよび拡散ポンプにおいて実施されてもよいが、これらのタイプの真空ポンプ
に限定されるものではない。
【０００２】
従来のターボ分子真空ポンプは、インレットポートと、複数の軸流ポンピング
ステージを含む内部チャンバと、排出ポートとを有するハウジングを含む。排出
ポートは、通常、ラフィング真空ポンプに取り付けられる。各軸流ポンピングス
テージは、傾斜ブレードを有するステータと、傾斜ブレードを有するロータとを
含む。ロータおよびステータのブレードは、反対方向に傾斜している。ロータの
ブレードは、インレットポートと排出ポートとの間でガスをポンピングするため
に高速で回転される。通常のターボ分子真空ポンプは、９個から１２個程度の軸
流ポンピングステージを含む場合がある。
ステージを含む内部チャンバと、排出ポートとを有するハウジングを含む。排出
ポートは、通常、ラフィング真空ポンプに取り付けられる。各軸流ポンピングス
テージは、傾斜ブレードを有するステータと、傾斜ブレードを有するロータとを
含む。ロータおよびステータのブレードは、反対方向に傾斜している。ロータの
ブレードは、インレットポートと排出ポートとの間でガスをポンピングするため
に高速で回転される。通常のターボ分子真空ポンプは、９個から１２個程度の軸
流ポンピングステージを含む場合がある。
【０００３】 従来のターボ分子真空ポンプの変形は、先行技術において公知である。ある先
行技術の構成では、１ないし複数個の軸流ポンピングステージが、高速で回転し
分子ドラッグステージとして機能するディスクと共に配置される。この変形は、
１９９３年８月２４日にカサロ他に発行された米国特許第５，２３８，３６２号
に開示されている。共通のハウジング内に軸流ターボ分子コンプレッサと分子ド
ラッグコンプレッサとを含むターボ分子真空ポンプは、ヴァリアン・アソシエイ
ト株式会社により、モデルＮｏ．９６９９００７で販売されている。分子ドラッ
グディスクおよび渦流インペラーを利用したターボ分子真空ポンプは、１９９０
年１月１８日に公開されたドイツ特許第３，９１９，５２９号に開示されている
。
行技術の構成では、１ないし複数個の軸流ポンピングステージが、高速で回転し
分子ドラッグステージとして機能するディスクと共に配置される。この変形は、
１９９３年８月２４日にカサロ他に発行された米国特許第５，２３８，３６２号
に開示されている。共通のハウジング内に軸流ターボ分子コンプレッサと分子ド
ラッグコンプレッサとを含むターボ分子真空ポンプは、ヴァリアン・アソシエイ
ト株式会社により、モデルＮｏ．９６９９００７で販売されている。分子ドラッ
グディスクおよび渦流インペラーを利用したターボ分子真空ポンプは、１９９０
年１月１８日に公開されたドイツ特許第３，９１９，５２９号に開示されている
。
【０００４】 分子ドラッグコンプレッサは、回転ディスクとステータとを含む。ステータは
、正接流路と、正接流路の入口および出口とを規定する。ストリッパと呼ばれる
据付のバッフルは、入口と出口とを分ける正接流路内に配置される。先行技術に
おいて公知のように、回転ディスクの運動量は、正接流路の範囲内でガス分子に
伝達され、その結果、分子を出口に向け、ガスを汲み上げる。 いくつかの手段および処理システムは、異なる圧力レベルで作動することが好
ましい２つ以上の真空チャンバを有する。チャンバは、異なる圧力レベルの確立
を許容するのに十分な程度に小さい１つ以上の穴を通って接続されている。具体
例は、多数のスペクトロメータと、分子ビームシステムと、イオンビームシステ
ムとを含む。１つのアプローチは、分離した真空ポンプを各真空チャンバに接続
することである。通常より経済的な他のアプローチは、１つの真空ポンプにおい
て異なる箇所に接続された２つ以上の入口を有する１つの真空ポンプを利用する
ことである。これらの入口は異なる真空チャンバに接続される。
、正接流路と、正接流路の入口および出口とを規定する。ストリッパと呼ばれる
据付のバッフルは、入口と出口とを分ける正接流路内に配置される。先行技術に
おいて公知のように、回転ディスクの運動量は、正接流路の範囲内でガス分子に
伝達され、その結果、分子を出口に向け、ガスを汲み上げる。 いくつかの手段および処理システムは、異なる圧力レベルで作動することが好
ましい２つ以上の真空チャンバを有する。チャンバは、異なる圧力レベルの確立
を許容するのに十分な程度に小さい１つ以上の穴を通って接続されている。具体
例は、多数のスペクトロメータと、分子ビームシステムと、イオンビームシステ
ムとを含む。１つのアプローチは、分離した真空ポンプを各真空チャンバに接続
することである。通常より経済的な他のアプローチは、１つの真空ポンプにおい
て異なる箇所に接続された２つ以上の入口を有する１つの真空ポンプを利用する
ことである。これらの入口は異なる真空チャンバに接続される。
【０００５】 先行技術のデュアルインレットターボ分子真空ポンプ１０の一例を図４に示す
。ターボ分子真空ポンプ（ターボポンプ）１０は、第１ポンピング部１２と、第
２ポンピング部１４と、ポンピング部１２、１４間に介在するインターステージ
領域１６とを含む。第１ポンピング部１２は軸流ポンピングステージ２０、２２
などを含み、第２ポンピング部１４は軸流ポンピングステージ３０、３２などを
含む。ハウジング４０は、第１真空ポンピング部１２の入口に連結された第１イ
ンレットポート４２と、管４６を介してインターステージ領域１６に連結された
第２インレットポート４４と、第２真空ポンピング部１４の出口５０に連結され
た排出ポート４８とを有する。各軸ポンピングステージ２０、２２、３０、３２
などは、傾斜ブレードを有するステータと、傾斜ブレードを有するロータとを含
む。各軸ポンピングステージのロータは、シャフト５２によりモータ５４に接続
されている。
。ターボ分子真空ポンプ（ターボポンプ）１０は、第１ポンピング部１２と、第
２ポンピング部１４と、ポンピング部１２、１４間に介在するインターステージ
領域１６とを含む。第１ポンピング部１２は軸流ポンピングステージ２０、２２
などを含み、第２ポンピング部１４は軸流ポンピングステージ３０、３２などを
含む。ハウジング４０は、第１真空ポンピング部１２の入口に連結された第１イ
ンレットポート４２と、管４６を介してインターステージ領域１６に連結された
第２インレットポート４４と、第２真空ポンピング部１４の出口５０に連結され
た排出ポート４８とを有する。各軸ポンピングステージ２０、２２、３０、３２
などは、傾斜ブレードを有するステータと、傾斜ブレードを有するロータとを含
む。各軸ポンピングステージのロータは、シャフト５２によりモータ５４に接続
されている。
【０００６】 使用する場合、第１インレットポート４２は、第１真空チャンバ（図示せず）
に比較的低い圧力で接続されていて、第２インレットポートは、第２真空チャン
バ（図示せず）に比較的高い圧力レベルで接続される。第１および第２チャンバ
は、ターボポンプ１０により同時に真空にされる。 図４に示すターボポンプの構成は、通常、十分な性能を備えているものの、あ
る不利益を有している。インターステージ領域１６は、第２インレットポート４
４と第２ポンピング部１４との間に十分なガスコンダクタンスを供給するために
、シャフト５２に平行な比較的大きな軸寸法を有する。これは、同等のシングル
インレットターボポンプと同じ性能を供給するために、シャフト５２を長くする
ことを要する。この結果、ターボポンプのサイズが大きくなり、そのコストが高
くなる。これに加えて、シャフトおよびロータはターボポンプの端であるモータ
から通常片持ちされるので、シャフトの長さの増加により、高速運転のためのタ
ーボポンプの釣り合いおよびベアリングの寿命の減少などの問題が生じるおそれ
がある。
に比較的低い圧力で接続されていて、第２インレットポートは、第２真空チャン
バ（図示せず）に比較的高い圧力レベルで接続される。第１および第２チャンバ
は、ターボポンプ１０により同時に真空にされる。 図４に示すターボポンプの構成は、通常、十分な性能を備えているものの、あ
る不利益を有している。インターステージ領域１６は、第２インレットポート４
４と第２ポンピング部１４との間に十分なガスコンダクタンスを供給するために
、シャフト５２に平行な比較的大きな軸寸法を有する。これは、同等のシングル
インレットターボポンプと同じ性能を供給するために、シャフト５２を長くする
ことを要する。この結果、ターボポンプのサイズが大きくなり、そのコストが高
くなる。これに加えて、シャフトおよびロータはターボポンプの端であるモータ
から通常片持ちされるので、シャフトの長さの増加により、高速運転のためのタ
ーボポンプの釣り合いおよびベアリングの寿命の減少などの問題が生じるおそれ
がある。
【０００７】 したがって、１つ以上の上記不利益を克服する真空ポンプの構成を提供するこ
とが望まれている。
とが望まれている。
【０００８】
この発明の第１の側面によれば、真空ポンプが供給される。この真空ポンプは
、直列に連結された第１真空ポンプ部および第２真空ポンプ部と、それらの間に
介装されたインターステージ領域とを含む。この真空ポンプは、第１および第２
真空ポンプ部を含むハウジングをさらに備える。ハウジングは、インターステー
ジ領域の全部または一部を取り囲み、インターステージ領域に連結された高コン
ダクタンスの周縁ダクトを含む。ハウジングは、第１真空ポンプ部の入口に連結
された第１インレットポートと、周縁ダクトに連結された第２インレットポート
と、第２真空ポンプ部の出口に連結された排出ポートとを規定する。
、直列に連結された第１真空ポンプ部および第２真空ポンプ部と、それらの間に
介装されたインターステージ領域とを含む。この真空ポンプは、第１および第２
真空ポンプ部を含むハウジングをさらに備える。ハウジングは、インターステー
ジ領域の全部または一部を取り囲み、インターステージ領域に連結された高コン
ダクタンスの周縁ダクトを含む。ハウジングは、第１真空ポンプ部の入口に連結
された第１インレットポートと、周縁ダクトに連結された第２インレットポート
と、第２真空ポンプ部の出口に連結された排出ポートとを規定する。
【０００９】 第１実施形態では、真空ポンプはターボ分子真空ポンプを備える。第２実施形
態では、真空ポンプは拡散ポンプを備える。第３実施形態では、真空ポンプは軸
流ステージおよび分子ドラッグステージの両方を含む混合真空ポンプを備える。 この発明の第２の側面によれば、真空ポンプは、直列に連結された２つ以上の
軸流ステージと、モータと、シャフトと、軸流ステージを含むハウジングとを備
える。軸流ステージは、第１ポンプ部と、第１ポンプ部からインターステージ領
域により分離される第２ポンプ部とに分けられる。シャフトは、各軸流ステージ
のモータとロータとの間で連結される。ハウジングは、インターステージ領域の
全部または一部を取り囲み、インターステージ領域に連結された高コンダクタン
スの周縁ダクトを有する。ハウジングは、第１ポンプ部の入口に連結された第１
インレットポートと、周縁ダクトに連結された第２インレットポートと、第２ポ
ンプ部の出口に連結された排出ポートとを規定する。第２ポンプ部は、１つ以上
の分子ドラッグステージを選択的に含んでいてもよい。
態では、真空ポンプは拡散ポンプを備える。第３実施形態では、真空ポンプは軸
流ステージおよび分子ドラッグステージの両方を含む混合真空ポンプを備える。 この発明の第２の側面によれば、真空ポンプは、直列に連結された２つ以上の
軸流ステージと、モータと、シャフトと、軸流ステージを含むハウジングとを備
える。軸流ステージは、第１ポンプ部と、第１ポンプ部からインターステージ領
域により分離される第２ポンプ部とに分けられる。シャフトは、各軸流ステージ
のモータとロータとの間で連結される。ハウジングは、インターステージ領域の
全部または一部を取り囲み、インターステージ領域に連結された高コンダクタン
スの周縁ダクトを有する。ハウジングは、第１ポンプ部の入口に連結された第１
インレットポートと、周縁ダクトに連結された第２インレットポートと、第２ポ
ンプ部の出口に連結された排出ポートとを規定する。第２ポンプ部は、１つ以上
の分子ドラッグステージを選択的に含んでいてもよい。
【００１０】 この発明の第３の側面によれば、拡散ポンプは、直列に連結された２つ以上の
蒸気ジェットステージと、蒸気ジェットステージに蒸気を供給するための蒸気源
と、蒸気ジェットステージを含むハウジングとを備える。蒸気ジェットステージ
は、第１ポンプ部と、それらの間にインターステージ領域を有する第２ポンプ部
とに分けられる。ハウジングは、インターステージ領域の全部または一部を取り
囲み、インターステージ領域に連結された高コンダクタンスの周縁ダクトを含む
。ハウジングは、第１ポンプ部の入口に連結された第１インレットポートと、周
縁ダクトに連結された第２インレットポートと、第２ポンプ部の出口に連結され
た排出ポートとを規定する。
蒸気ジェットステージと、蒸気ジェットステージに蒸気を供給するための蒸気源
と、蒸気ジェットステージを含むハウジングとを備える。蒸気ジェットステージ
は、第１ポンプ部と、それらの間にインターステージ領域を有する第２ポンプ部
とに分けられる。ハウジングは、インターステージ領域の全部または一部を取り
囲み、インターステージ領域に連結された高コンダクタンスの周縁ダクトを含む
。ハウジングは、第１ポンプ部の入口に連結された第１インレットポートと、周
縁ダクトに連結された第２インレットポートと、第２ポンプ部の出口に連結され
た排出ポートとを規定する。
【００１１】 各実施形態において、ハウジングは、インターステージ領域に隣接する環状ギ
ャップを有するほぼ円筒状の壁を含んでいてもよい。周縁ダクトは、環状ギャッ
プを取り囲み、環状ギャップを介してインターステージ領域に連結されていても
よい。
ャップを有するほぼ円筒状の壁を含んでいてもよい。周縁ダクトは、環状ギャッ
プを取り囲み、環状ギャップを介してインターステージ領域に連結されていても
よい。
【００１２】
図１は、本発明にかかるデュアルインレット真空ポンプの一実施形態を示す断
面模式図である。真空ポンプ１１０は、第１ポンプ部１１２と、第２ポンプ部１
１４と、第１ポンプ部１１２と第２ポンプ部１１４との間に介在するインタース
テージ領域１１６とを含む。第１ポンプ部１１２および第２ポンプ部１１４には
、それぞれ以下に示すような真空ポンピングステージが１つ以上含まれていても
よい。ハウジング１２０は、壁１２２と、インターステージ領域１１６の全部ま
たは一部を取り囲み、インターステージ領域１１６と共に流体伝達手段をなす周
縁ダクト１２４とを含む。ハウジング１２０には、第１ポンプ部１１２の入口に
連結された第１インレットポート１３０と、管１３４を介して周縁ダクト１２４
に連結された第２インレットポート１３２と、第２ポンプ部１１４の出口１３８
に連結された排出ポート１３６とが備えられている。ポンプ部１１２、１１４は
、インレットポート１３０と排出ポート１３６との間で直列に連結されていて、
第１ポンプ部１１２の出口は、インターステージ領域１１６を介して第２ポンプ
部１１４の入口に連結されている。真空ポンプ１１０は、本発明の範囲内で２つ
以上のインレットポートを有するように構成されていてもよい。
面模式図である。真空ポンプ１１０は、第１ポンプ部１１２と、第２ポンプ部１
１４と、第１ポンプ部１１２と第２ポンプ部１１４との間に介在するインタース
テージ領域１１６とを含む。第１ポンプ部１１２および第２ポンプ部１１４には
、それぞれ以下に示すような真空ポンピングステージが１つ以上含まれていても
よい。ハウジング１２０は、壁１２２と、インターステージ領域１１６の全部ま
たは一部を取り囲み、インターステージ領域１１６と共に流体伝達手段をなす周
縁ダクト１２４とを含む。ハウジング１２０には、第１ポンプ部１１２の入口に
連結された第１インレットポート１３０と、管１３４を介して周縁ダクト１２４
に連結された第２インレットポート１３２と、第２ポンプ部１１４の出口１３８
に連結された排出ポート１３６とが備えられている。ポンプ部１１２、１１４は
、インレットポート１３０と排出ポート１３６との間で直列に連結されていて、
第１ポンプ部１１２の出口は、インターステージ領域１１６を介して第２ポンプ
部１１４の入口に連結されている。真空ポンプ１１０は、本発明の範囲内で２つ
以上のインレットポートを有するように構成されていてもよい。
【００１３】 周縁ダクト１２４は、ハウジング１２０の壁１２２の全部または選択された部
分を取り囲んでおり、比較的高いガスコンダクタンスを供給する断面構造を有し
ている。壁１２２は、通常、その外形が円筒状であって、インターステージ領域
１１６に隣接してギャップ１４０を有している。壁１２２が円筒状の場合には、
ギャップ１４０は環状であってもよい。ギャップ１４０は、周縁ダクト１２４と
インターステージ領域１１６との間で、比較的高いコンダクタンスでの通過を実
現する。管１３４の断面積および長さ、周縁ダクト１２４の断面積および長さ、
ならびにギャップ１４０の寸法は、第２インレットポート１３２とインターステ
ージ領域１１６との間で所望のガスコンダクタンスが達成されるように選択され
る。上述のように、周縁ダクト１２４は、壁１２２の全部または選択された部分
を取り囲んでいてもよい。周縁ダクト１２４が壁１２２の全周にわたって延びて
いない場合、ギャップ１４０は、周縁ダクト１２４により囲まれるように寸法が
決められる。先行技術のターボポンプ１０におけるインターステージ領域１６の
比較的大きな軸寸法は、図１の真空ポンプ内において比較的小さい軸寸法を有す
るインターステージ領域１１６に置き換えられる。管１３２から第２ポンプ部１
１４までの十分なガスコンダクタンスは、周縁ダクト１２４およびギャップ１４
０により達成される。
分を取り囲んでおり、比較的高いガスコンダクタンスを供給する断面構造を有し
ている。壁１２２は、通常、その外形が円筒状であって、インターステージ領域
１１６に隣接してギャップ１４０を有している。壁１２２が円筒状の場合には、
ギャップ１４０は環状であってもよい。ギャップ１４０は、周縁ダクト１２４と
インターステージ領域１１６との間で、比較的高いコンダクタンスでの通過を実
現する。管１３４の断面積および長さ、周縁ダクト１２４の断面積および長さ、
ならびにギャップ１４０の寸法は、第２インレットポート１３２とインターステ
ージ領域１１６との間で所望のガスコンダクタンスが達成されるように選択され
る。上述のように、周縁ダクト１２４は、壁１２２の全部または選択された部分
を取り囲んでいてもよい。周縁ダクト１２４が壁１２２の全周にわたって延びて
いない場合、ギャップ１４０は、周縁ダクト１２４により囲まれるように寸法が
決められる。先行技術のターボポンプ１０におけるインターステージ領域１６の
比較的大きな軸寸法は、図１の真空ポンプ内において比較的小さい軸寸法を有す
るインターステージ領域１１６に置き換えられる。管１３２から第２ポンプ部１
１４までの十分なガスコンダクタンスは、周縁ダクト１２４およびギャップ１４
０により達成される。
【００１４】 運転中、ガスは第１インレットポート１３０から、第１ポンプ部１１２および
第２ポンプ部１１４を介して、排出ポート１３６へと汲み上げられる。さらに、
ガスは第２インレットポートから、第２ポンプ部１１４を介して、排出ポート１
３６へと汲み上げられる。この結果、インレットポート１３０は比較的低い圧力
を有し、第２インレットポート１３２およびインターステージ領域１１６は中程
度の圧力を有し、排出ポート１３６は比較的高い圧力を有する。このように、イ
ンレットポート１３０、１３２は、異なる圧力レベルで異なる真空チャンバに連
結されてもよい。
第２ポンプ部１１４を介して、排出ポート１３６へと汲み上げられる。さらに、
ガスは第２インレットポートから、第２ポンプ部１１４を介して、排出ポート１
３６へと汲み上げられる。この結果、インレットポート１３０は比較的低い圧力
を有し、第２インレットポート１３２およびインターステージ領域１１６は中程
度の圧力を有し、排出ポート１３６は比較的高い圧力を有する。このように、イ
ンレットポート１３０、１３２は、異なる圧力レベルで異なる真空チャンバに連
結されてもよい。
【００１５】 本発明の第１実施形態を図２に示す。デュアルインレットターボ分子真空ポン
プ２１０は、第１ポンプ部２１２と、第２ポンプ部２１４と、ポンプ部２１２、
２１４間に介在するインターステージ領域２１６とを含む。ハウジング２２０は
、第１ポンプ部２１２と第２ポンプ部２１４とインターステージ領域２１６とを
含む内部チャンバを規定する。ハウジング２２０は、ほぼ円筒形状の壁２２２と
、ターボポンプ２１０を真空チャンバ（図示せず）に対して密封して真空にする
ための真空フランジ２２６とを含んでいてもよい。周縁ダクト２２４は、インタ
ーステージ領域２１６の全部または一部を取り囲んでいる。ハウジング２２０は
、第１ポンプ部２１２の入口に連結された第１インレットポート２３０と、管２
３４を介して周縁ダクト２２４に連結された第２インレットポート２３２と、管
２３９を介して第２ポンプ部２１４の出口２３８に連結された排出ポート２３６
とをさらに含む。排出ポート２３６は、通常、バッキング真空ポンプ（図示せず
）に連結されている。ターボポンプが大気圧に排出できる場合には、バッキング
ポンプは必要ない。ターボポンプ２１０は、本発明の範囲内で２つ以上のインレ
ットポートを有していてもよい。
プ２１０は、第１ポンプ部２１２と、第２ポンプ部２１４と、ポンプ部２１２、
２１４間に介在するインターステージ領域２１６とを含む。ハウジング２２０は
、第１ポンプ部２１２と第２ポンプ部２１４とインターステージ領域２１６とを
含む内部チャンバを規定する。ハウジング２２０は、ほぼ円筒形状の壁２２２と
、ターボポンプ２１０を真空チャンバ（図示せず）に対して密封して真空にする
ための真空フランジ２２６とを含んでいてもよい。周縁ダクト２２４は、インタ
ーステージ領域２１６の全部または一部を取り囲んでいる。ハウジング２２０は
、第１ポンプ部２１２の入口に連結された第１インレットポート２３０と、管２
３４を介して周縁ダクト２２４に連結された第２インレットポート２３２と、管
２３９を介して第２ポンプ部２１４の出口２３８に連結された排出ポート２３６
とをさらに含む。排出ポート２３６は、通常、バッキング真空ポンプ（図示せず
）に連結されている。ターボポンプが大気圧に排出できる場合には、バッキング
ポンプは必要ない。ターボポンプ２１０は、本発明の範囲内で２つ以上のインレ
ットポートを有していてもよい。
【００１６】 第１ポンプ部２１２および第２ポンプ部２１４は、それぞれステージ２４０、
２４２、２４４などの軸流真空ポンピングステージを１つ以上含んでいてもよい
。各軸流ステージは、ロータ２５０およびステータ２５２を含む。通常、ターボ
分子真空ポンプは９個から１２個程度のステージを有している。 各ロータ２５０は、シャフト２６０に取り付けられる中心ハブと、その周囲を
取り囲む傾斜ブレードとを含む。シャフト２６０は、モータ２６２により図２に
矢印２６４で示す方向に高速で回転される。ガス分子は、インレットポート２３
２、２３２から排出ポート２３６までの各軸ポンピングステージにより、通常、
軸方向に向けられる。各ステータはシャフト２６０のための開口を有する中心ハ
ブを含む。ステータハブは、シャフト２６０と接触しない。ステータは、傾斜ブ
レードをさらに含む。ロータのブレードおよびステータのブレードは、逆方向に
傾斜されている。軸流ステージの構造は、この分野における技術者に公知である
。
２４２、２４４などの軸流真空ポンピングステージを１つ以上含んでいてもよい
。各軸流ステージは、ロータ２５０およびステータ２５２を含む。通常、ターボ
分子真空ポンプは９個から１２個程度のステージを有している。 各ロータ２５０は、シャフト２６０に取り付けられる中心ハブと、その周囲を
取り囲む傾斜ブレードとを含む。シャフト２６０は、モータ２６２により図２に
矢印２６４で示す方向に高速で回転される。ガス分子は、インレットポート２３
２、２３２から排出ポート２３６までの各軸ポンピングステージにより、通常、
軸方向に向けられる。各ステータはシャフト２６０のための開口を有する中心ハ
ブを含む。ステータハブは、シャフト２６０と接触しない。ステータは、傾斜ブ
レードをさらに含む。ロータのブレードおよびステータのブレードは、逆方向に
傾斜されている。軸流ステージの構造は、この分野における技術者に公知である
。
【００１７】 従来のターボポンプでは、インターステージ領域２１６は、比較的短い軸寸法
を有し、１つ以上のステータが省略されることにより形成されていてもよい。イ
ンターステージ領域２１６は、例えば０．７５から１．５インチ（ポンプのサイ
ズによる）の範囲の軸寸法を有していてもよい。環状ギャップ２７０は、ハウジ
ング２２０の円筒壁２２２に備えられている。環状ギャップ２７０は、インター
ステージ領域２１６と整合していて、円筒壁２２２の外側からインターステージ
領域２１６への通路を提供している。周縁ダクト２２４は、インターステージ領
域２１６の全部または一部を取り囲んでおり、環状ギャップ２７０と整合して設
けられている。環状ギャップ２７０は、例えば０．２５から０．７５インチ（ポ
ンプのサイズによる）の範囲の軸寸法を有していてもよい。
を有し、１つ以上のステータが省略されることにより形成されていてもよい。イ
ンターステージ領域２１６は、例えば０．７５から１．５インチ（ポンプのサイ
ズによる）の範囲の軸寸法を有していてもよい。環状ギャップ２７０は、ハウジ
ング２２０の円筒壁２２２に備えられている。環状ギャップ２７０は、インター
ステージ領域２１６と整合していて、円筒壁２２２の外側からインターステージ
領域２１６への通路を提供している。周縁ダクト２２４は、インターステージ領
域２１６の全部または一部を取り囲んでおり、環状ギャップ２７０と整合して設
けられている。環状ギャップ２７０は、例えば０．２５から０．７５インチ（ポ
ンプのサイズによる）の範囲の軸寸法を有していてもよい。
【００１８】 周縁ダクト２２４と環状ギャップ２７０との結合は、管２３４とインターステ
ージ領域２１６との間に高ガスコンダクタンス路を提供する。このようにして、
第２インレットポート２３２を介して汲み上げられたガスは、管２３４を通って
周縁ダクト２２４へと向かう。ガスは、周縁ダクト２２４の周りを流れて、周縁
ダクト２２４から環状ギャップ２７０を介してインターステージ領域２１６へと
向かう。このようにして、環状ギャップ２７０は軸寸法が小さいが、周縁ダクト
２２４および環状ギャップ２７０の円周方向の長さにより高コンダクタンスが達
成される。上述のように、インレットポート２３２とインターステージ領域２１
６との間で所望のガスコンダクタンスを達成するために、周縁ダクト２２４およ
び環状ギャップ２７０は、円筒壁２２２の円周全体に延在していてもよいし、あ
るいは円筒壁２２２の選択された一部に延在していてもよい。ガスは、図４に示
す先行技術のターボポンプのように１つの開口を通ってというよりは、むしろイ
ンターステージ領域２１６の外周の全部または一部からインターステージ領域２
１６内に流れ込む。インターステージ領域２１６は、環状ギャップ２７０を介し
てガスを受け取ると共に、第１ポンプ部２１２の出口からもガスを受け取ると解
される。その後、ガスは第２ポンプ部２１４により排出ポート２３６へと汲み上
げられる。好適な実施形態においては、第２ポンプ部２１４の第１軸流ポンピン
グステージのロータ２７４は、高いポンピング速度を達成するために、比較的高
いブレード角度を有している。
ージ領域２１６との間に高ガスコンダクタンス路を提供する。このようにして、
第２インレットポート２３２を介して汲み上げられたガスは、管２３４を通って
周縁ダクト２２４へと向かう。ガスは、周縁ダクト２２４の周りを流れて、周縁
ダクト２２４から環状ギャップ２７０を介してインターステージ領域２１６へと
向かう。このようにして、環状ギャップ２７０は軸寸法が小さいが、周縁ダクト
２２４および環状ギャップ２７０の円周方向の長さにより高コンダクタンスが達
成される。上述のように、インレットポート２３２とインターステージ領域２１
６との間で所望のガスコンダクタンスを達成するために、周縁ダクト２２４およ
び環状ギャップ２７０は、円筒壁２２２の円周全体に延在していてもよいし、あ
るいは円筒壁２２２の選択された一部に延在していてもよい。ガスは、図４に示
す先行技術のターボポンプのように１つの開口を通ってというよりは、むしろイ
ンターステージ領域２１６の外周の全部または一部からインターステージ領域２
１６内に流れ込む。インターステージ領域２１６は、環状ギャップ２７０を介し
てガスを受け取ると共に、第１ポンプ部２１２の出口からもガスを受け取ると解
される。その後、ガスは第２ポンプ部２１４により排出ポート２３６へと汲み上
げられる。好適な実施形態においては、第２ポンプ部２１４の第１軸流ポンピン
グステージのロータ２７４は、高いポンピング速度を達成するために、比較的高
いブレード角度を有している。
【００１９】 ターボポンプ２１０の１つ以上の軸流ポンピングステージは、分子ドラッグス
テージに置き換えられてもよい。通常、排出ポート２３６近傍の軸流ステージは
、分子ドラッグステージに置き換えられる。しかしながら、一般的に、ポンプ部
２１２、２１４のうち一方または両方の１つ以上の軸流ステージは、本発明の範
囲内で分子ドラッグステージに置き換えられてもよい。 周縁ダクト２２４は、円筒壁２２２に密封されていてもよいし、円筒壁２２２
の一部であってもよい。同様に、周縁ダクト２２４は、管２３４に密封されてい
てもよいし、管２３４の一部であってもよい。ハウジング２２０は、円筒壁２２
２と、周縁ダクト２２４と、フランジ２２６と、管２３４と、管２３９とを含む
が、本発明の範囲内で１つ以上の部品として組み立てられていてもよい。周縁ダ
クト２２４が円筒壁２２２を取り囲む部分において、ダクト２２４は通常環状を
なしている。周縁ダクト２２４の内部断面積は、管２３４とインターステージ領
域２１６との間に所望のガスコンダクタンスを提供するために選択される。通常
、周縁ダクト２２４は、適用するサイズおよびコストの制約の範囲内で、実用的
な大きさの断面積を有するべきである。
テージに置き換えられてもよい。通常、排出ポート２３６近傍の軸流ステージは
、分子ドラッグステージに置き換えられる。しかしながら、一般的に、ポンプ部
２１２、２１４のうち一方または両方の１つ以上の軸流ステージは、本発明の範
囲内で分子ドラッグステージに置き換えられてもよい。 周縁ダクト２２４は、円筒壁２２２に密封されていてもよいし、円筒壁２２２
の一部であってもよい。同様に、周縁ダクト２２４は、管２３４に密封されてい
てもよいし、管２３４の一部であってもよい。ハウジング２２０は、円筒壁２２
２と、周縁ダクト２２４と、フランジ２２６と、管２３４と、管２３９とを含む
が、本発明の範囲内で１つ以上の部品として組み立てられていてもよい。周縁ダ
クト２２４が円筒壁２２２を取り囲む部分において、ダクト２２４は通常環状を
なしている。周縁ダクト２２４の内部断面積は、管２３４とインターステージ領
域２１６との間に所望のガスコンダクタンスを提供するために選択される。通常
、周縁ダクト２２４は、適用するサイズおよびコストの制約の範囲内で、実用的
な大きさの断面積を有するべきである。
【００２０】 本発明の第２実施形態を図３に示す。デュアルインレット拡散真空ポンプ３１
０は、第１蒸気ジェットステージ３１２と、第２蒸気ジェットステージ３１４と
、第３蒸気ジェットステージ３１６と、第４蒸気ジェットステージ３７１とを含
む。インターステージ領域３１８は、第１ステージ３１２と第２ステージ３１４
との間に配置されている。図３の実施形態において、蒸気ジェットステージ３１
２は第１ポンプ部を構成し、蒸気ジェットステージ３１４、３１６、３７１は第
２ポンプ部を構成している。拡散ポンプ３１０は、ほぼ円筒形状の壁３２２を有
するハウジング３２０を含む。周縁ダクト３２４は、インターステージ領域３１
８を取り囲む。第１インレットポート３３０は、第１蒸気ジェットステージ３１
２の入口に連結されている。第２インレットポート３３２は、管３３４を介して
周縁ダクト３２４に連結されており、排出ポート３３６は、管３３８を介して第
３蒸気ジェットステージ３１６および第４蒸気ジェットステージ３７１の出口に
連結されている。拡散ポンプ３１０は、本発明の範囲内で２つ以上のインレット
ポートを含んでいてもよい。
０は、第１蒸気ジェットステージ３１２と、第２蒸気ジェットステージ３１４と
、第３蒸気ジェットステージ３１６と、第４蒸気ジェットステージ３７１とを含
む。インターステージ領域３１８は、第１ステージ３１２と第２ステージ３１４
との間に配置されている。図３の実施形態において、蒸気ジェットステージ３１
２は第１ポンプ部を構成し、蒸気ジェットステージ３１４、３１６、３７１は第
２ポンプ部を構成している。拡散ポンプ３１０は、ほぼ円筒形状の壁３２２を有
するハウジング３２０を含む。周縁ダクト３２４は、インターステージ領域３１
８を取り囲む。第１インレットポート３３０は、第１蒸気ジェットステージ３１
２の入口に連結されている。第２インレットポート３３２は、管３３４を介して
周縁ダクト３２４に連結されており、排出ポート３３６は、管３３８を介して第
３蒸気ジェットステージ３１６および第４蒸気ジェットステージ３７１の出口に
連結されている。拡散ポンプ３１０は、本発明の範囲内で２つ以上のインレット
ポートを含んでいてもよい。
【００２１】 ボイラー３４０は、ハウジング３２０の底部に配置されていて、蒸気ジェット
ステージ３１２、３１４，３１６、３１７への蒸気源をなしている。ボイラー３
４０は、ボイラーシェル３４２と、ヒータ３４６と、液体タンク３４８とを含む
。ヒータ３４６は、タンク３４８内の液体を、ジェット組立体３５２の内部領域
３５０を通過する蒸気として蒸発させる。 ジェット組立体３５２は、第１蒸気ジェットステージ３１２を形成するために
蒸気が円錐状の霧となって通過する環状口３６０と、第２蒸気ジェットステージ
３１４を形成するために蒸気が円錐状の霧となって通過する第２環状口３６２と
、第３蒸気ジェットステージ３１６を形成するために蒸気が円錐状の霧となって
通過する第３環状口３６４とを有する。この蒸気ジェットステージ３１２、３１
４、３１６、３７１を形成するジェット組立体３５２の外形は、拡散ポンプにお
いて通常のものである。各蒸気ジェットステージは、蒸気を蒸気源から排出ポー
ト３３６の方向に向けるノズルを含む。蒸気は、ハウジング３２０の冷却された
円筒壁３２２により凝縮され、凝縮された蒸気は再利用のためタンク３４８に戻
る。
ステージ３１２、３１４，３１６、３１７への蒸気源をなしている。ボイラー３
４０は、ボイラーシェル３４２と、ヒータ３４６と、液体タンク３４８とを含む
。ヒータ３４６は、タンク３４８内の液体を、ジェット組立体３５２の内部領域
３５０を通過する蒸気として蒸発させる。 ジェット組立体３５２は、第１蒸気ジェットステージ３１２を形成するために
蒸気が円錐状の霧となって通過する環状口３６０と、第２蒸気ジェットステージ
３１４を形成するために蒸気が円錐状の霧となって通過する第２環状口３６２と
、第３蒸気ジェットステージ３１６を形成するために蒸気が円錐状の霧となって
通過する第３環状口３６４とを有する。この蒸気ジェットステージ３１２、３１
４、３１６、３７１を形成するジェット組立体３５２の外形は、拡散ポンプにお
いて通常のものである。各蒸気ジェットステージは、蒸気を蒸気源から排出ポー
ト３３６の方向に向けるノズルを含む。蒸気は、ハウジング３２０の冷却された
円筒壁３２２により凝縮され、凝縮された蒸気は再利用のためタンク３４８に戻
る。
【００２２】 周縁ダクト３２４は、ハウジング３２０の円筒壁３２２の全部または一部を取
り囲み、円筒壁３２２の環状ギャップ３７０を介して管３３４とインターステー
ジ領域３１８との間に高コンダクタンス路を提供する。周縁ダクト３２４は、拡
散ポンプ３１０の長さの実質的な増加を要することなく、第２インレットポート
３２２からインターステージ領域３１８まで高コンダクタンス路を提供する。ハ
ウジング３２０は壁３２２、周縁ダクト３２４、管３３４、３３８を含むが、本
発明の範囲内で１つ以上の部品として組み立てられていてもよい。
り囲み、円筒壁３２２の環状ギャップ３７０を介して管３３４とインターステー
ジ領域３１８との間に高コンダクタンス路を提供する。周縁ダクト３２４は、拡
散ポンプ３１０の長さの実質的な増加を要することなく、第２インレットポート
３２２からインターステージ領域３１８まで高コンダクタンス路を提供する。ハ
ウジング３２０は壁３２２、周縁ダクト３２４、管３３４、３３８を含むが、本
発明の範囲内で１つ以上の部品として組み立てられていてもよい。
【００２３】 現時点において本発明の好適な実施形態と考えられるものを示して説明したが
、請求項により規定される本発明の範囲から逸脱することなく種々の変更および
修正が可能であることは、当業者にとって明らかであろう。
、請求項により規定される本発明の範囲から逸脱することなく種々の変更および
修正が可能であることは、当業者にとって明らかであろう。
【図１】 本発明にかかるデュアルインレット真空ポンプの一実施形態を示す断面模式図
である。
である。
【図２】 本発明の第１実施形態にかかるデュアルインレットターボ分子真空ポンプの概
略断面図である。
略断面図である。
【図３】 本発明の第２実施形態にかかるデュアルインレット拡散ポンプの概略断面図で
ある。
ある。
【図４】 先行技術のデュアルインレットターボ分子真空ポンプの断面図である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3H031 DA00 DA01 DA02 EA00 FA01 FA31 FA36 FA37 3H034 AA01 AA02 AA12 BB01 BB08 BB11 CC01 CC03 CC07 DD01 DD02 DD20 DD27 DD28 DD30 EE18
Claims (17)
- 【請求項１】 直列に連結され、それらの間にインターステージ領域を有する第１真空ポンプ
部および第２真空ポンプ部と、 上記第１および第２真空ポンプ部を含むハウジングであって、上記インタース
テージ領域の全部または一部を取り囲み、上記インターステージ領域に連結され
た高コンダクタンスの周縁ダクトを含み、上記第１真空ポンプ部の入口に連結さ
れた第１インレットポートと、上記周縁ダクトに連結された第２インレットポー
トと、上記第２真空ポンプ部の出口に連結された排出ポートとを規定するハウジ
ングと を含む高真空ポンプ。 - 【請求項２】 上記第１および第２真空ポンプ部は、それぞれ１ないし複数個の軸流ポンピン
グステージを含む請求項１記載の高真空ポンプ。 - 【請求項３】 上記第１真空ポンプ部は、１ないし複数個の軸流ポンピングステージを含み、
上記第２真空ポンプ部は、１ないし複数個の分子ドラッグステージを含む請求項
１記載の高真空ポンプ。 - 【請求項４】 上記ハウジングは、上記インターステージ領域に隣接したギャップを有する壁
を含み、上記周縁ダクトは、上記ギャップを取り囲み、上記ギャップを介して上
記インターステージ領域に連結される請求項１記載の高真空ポンプ。 - 【請求項５】 上記第１真空ポンプ部が１ないし複数個の軸流ポンピングステージを含み、上
記第２真空ポンプ部が１ないし複数個の軸流ポンピングステージを含むターボ分
子真空ポンプを備えた請求項１記載の高真空ポンプ。 - 【請求項６】 上記ハウジングは、上記インターステージ領域に隣接する環状ギャップを有す
るほぼ円筒状の壁を含み、上記周縁ダクトは、上記環状ギャップを取り囲み、上
記環状ギャップを介して上記インターステージ領域に連結された環状ダクトを含
む請求項５記載の高真空ポンプ。 - 【請求項７】 上記インターステージ領域は、上記軸流ポンピングステージの１つ以上の軸寸
法を有する請求項５記載の高真空ポンプ。 - 【請求項８】 上記各軸流ポンピングステージはロータおよびステータを含み、ステータはモ
ータに連結されたシャフトに固定され、上記シャフトは上記インターステージ領
域を提供するように選択された長さを有する請求項５記載の高真空ポンプ。 - 【請求項９】 上記第１真空ポンプ部は、少なくとも１つの蒸気ジェット真空ポンピングステ
ージを含み、上記第２真空ポンプ部は、少なくとも１つの蒸気ジェット真空ポン
ピングステージを含む請求項１記載の高真空ポンプ。 - 【請求項１０】 上記ハウジングは、上記インターステージに隣接する環状ギャップを有するほ
ぼ円筒状の壁を含み、上記周縁ダクトは、上記環状ギャップを取り囲み、上記環
状ギャップを介して上記インターステージ領域に連結された環状ダクトを含む請
求項９記載の高真空ポンプ。 - 【請求項１１】 直列に連結された２つ以上の軸流ステージであって、第１ポンプ部と、インタ
ーステージ領域により上記第１ポンプ部から分離された第２ポンプ部とに分けら
れ、それぞれロータおよびステータを含む軸流ステージと、 モータと、 上記モータと上記各軸流ステージとの間に連結されたシャフトと、 上記軸流ステージを含むハウジングであって、上記インターステージ領域の全
部または一部を取り囲み、上記インターステージ領域に連結された高コンダクタ
ンスの周縁ダクトを含み、上記第１ポンプ部の入口に連結された第１インレット
ポートと、上記周縁ダクトに連結された第２インレットポートと、上記第２ポン
プ部の出口に連結された排出ポートとを規定するハウジングと を含む高真空ポンプ。 - 【請求項１２】 上記ハウジングは、上記インターステージ領域に隣接する環状ギャップを有す
るほぼ円筒状の壁を含み、上記周縁ダクトは、上記環状ギャップを取り囲み、上
記環状ギャップを介して上記インターステージ領域に連結された環状ダクトを含
む請求項１１記載の高真空ポンプ。 - 【請求項１３】 上記第２ポンプ部は、１つ以上の分子ドラッグステージをさらに含む請求項１
１記載の高真空ポンプ。 - 【請求項１４】 直列に連結された２つ以上の蒸気ジェットステージであって、第１ポンプ部と
第２ポンプ部とに分けられ、それらの間にインターステージ領域を有する蒸気ジ
ェットステージと、 上記蒸気ジェットステージに蒸気を供給するための蒸気源と、 上記蒸気ジェットステージを含むハウジングであって、上記インターステージ
領域の全部または一部を取り囲み、上記インターステージ領域に連結された高コ
ンダクタンスの周縁ダクトを含み、上記第１ポンプ部の入口に連結された第１イ
ンレットポートと、上記周縁ダクトに連結された第２インレットポートと、上記
第２ポンプ部の出口に連結された排出ポートとを規定するハウジングと を含む拡散ポンプ。 - 【請求項１５】 上記ハウジングは、上記インターステージ領域に隣接する環状ギャップを有す
るほぼ円筒状の壁を含み、上記周縁ダクトは、上記環状ギャップを取り囲み、上
記環状ギャップを介して上記インターステージ領域に連結された環状ダクトを含
む請求項１４記載の拡散ポンプ。 - 【請求項１６】 直列に連結された１つ以上の軸流ステージおよび１つ以上の分子ドラッグステ
ージであって、第１ポンプ部と、インターステージ領域により上記第１ポンプ部
から分離された第２ポンプ部とに分けられ、それぞれロータおよびステータを含
む軸流ステージおよび分子ドラッグステージと、 モータと、 上記モータと上記軸流ステージおよび上記分子ドラッグステージのロータとの
間を連結するシャフトと、 上記軸流ステージおよび上記分子ドラッグステージを含むハウジングであって
、上記インターステージ領域の全部または一部を取り囲み、上記インターステー
ジ領域に連結された高コンダクタンスの周縁ダクトを含み、上記第１ポンプ部の
入口に連結された第１インレットポートと、上記周縁ダクトに連結された第２イ
ンレットポートと、上記第２ポンプ部の出口に連結された排出ポートとを規定す
るハウジングと を含む高真空ポンプ。 - 【請求項１７】 上記ハウジングは、上記インターステージ領域に隣接する環状ギャップを有す
るほぼ円筒状の壁を含み、上記周縁ダクトは、上記環状ギャップを取り囲み、上
記環状ギャップを介して上記インターステージ領域に連結された環状ダクトを含
む請求項１６記載の高真空ポンプ。
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US09/241,899 | 1999-02-02 | ||
| US09/241,899 US6193461B1 (en) | 1999-02-02 | 1999-02-02 | Dual inlet vacuum pumps |
| PCT/US2000/002583 WO2000046508A1 (en) | 1999-02-02 | 2000-02-01 | Dual inlet vacuum pumps |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002536583A true JP2002536583A (ja) | 2002-10-29 |
| JP3995419B2 JP3995419B2 (ja) | 2007-10-24 |
Family
ID=22912618
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000597555A Expired - Fee Related JP3995419B2 (ja) | 1999-02-02 | 2000-02-01 | デュアルインレット真空ポンプ |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6193461B1 (ja) |
| EP (1) | EP1068456B1 (ja) |
| JP (1) | JP3995419B2 (ja) |
| DE (1) | DE60023216T2 (ja) |
| WO (1) | WO2000046508A1 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| DE10032607B4 (de) * | 2000-07-07 | 2004-08-12 | Leo Elektronenmikroskopie Gmbh | Teilchenstrahlgerät mit einer im Ultrahochvakuum zu betreibenden Teilchenquelle und kaskadenförmige Pumpanordnung für ein solches Teilchenstrahlgerät |
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