DE58905785D1 - Gasreibungspumpe mit mindestens einer auslassseitigen gewindestufe. - Google Patents
Gasreibungspumpe mit mindestens einer auslassseitigen gewindestufe.Info
- Publication number
- DE58905785D1 DE58905785D1 DE89113318T DE58905785T DE58905785D1 DE 58905785 D1 DE58905785 D1 DE 58905785D1 DE 89113318 T DE89113318 T DE 89113318T DE 58905785 T DE58905785 T DE 58905785T DE 58905785 D1 DE58905785 D1 DE 58905785D1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- thread level
- gas friction
- friction pump
- outlet thread
- outlet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/66—Combating cavitation, whirls, noise, vibration or the like; Balancing
- F04D29/68—Combating cavitation, whirls, noise, vibration or the like; Balancing by influencing boundary layers
- F04D29/681—Combating cavitation, whirls, noise, vibration or the like; Balancing by influencing boundary layers especially adapted for elastic fluid pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
- F04D19/044—Holweck-type pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F05—INDEXING SCHEMES RELATING TO ENGINES OR PUMPS IN VARIOUS SUBCLASSES OF CLASSES F01-F04
- F05B—INDEXING SCHEME RELATING TO WIND, SPRING, WEIGHT, INERTIA OR LIKE MOTORS, TO MACHINES OR ENGINES FOR LIQUIDS COVERED BY SUBCLASSES F03B, F03D AND F03G
- F05B2250/00—Geometry
- F05B2250/20—Geometry three-dimensional
- F05B2250/25—Geometry three-dimensional helical
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F05—INDEXING SCHEMES RELATING TO ENGINES OR PUMPS IN VARIOUS SUBCLASSES OF CLASSES F01-F04
- F05D—INDEXING SCHEME FOR ASPECTS RELATING TO NON-POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES OR ENGINES, GAS-TURBINES OR JET-PROPULSION PLANTS
- F05D2260/00—Function
- F05D2260/60—Fluid transfer
- F05D2260/607—Preventing clogging or obstruction of flow paths by dirt, dust, or foreign particles
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S415/00—Rotary kinetic fluid motors or pumps
- Y10S415/914—Device to control boundary layer
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
EP89113318A EP0408792B1 (de) | 1989-07-20 | 1989-07-20 | Gasreibungspumpe mit mindestens einer auslassseitigen Gewindestufe |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE58905785D1 true DE58905785D1 (de) | 1993-11-04 |
Family
ID=8201651
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE89113318T Expired - Fee Related DE58905785D1 (de) | 1989-07-20 | 1989-07-20 | Gasreibungspumpe mit mindestens einer auslassseitigen gewindestufe. |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5051060A (de) |
EP (1) | EP0408792B1 (de) |
JP (1) | JP2994005B2 (de) |
DE (1) | DE58905785D1 (de) |
Families Citing this family (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4216237A1 (de) * | 1992-05-16 | 1993-11-18 | Leybold Ag | Gasreibungsvakuumpumpe |
JPH0886298A (ja) * | 1994-09-19 | 1996-04-02 | Hitachi Ltd | ドライターボ真空ポンプ |
DE19508566A1 (de) * | 1995-03-10 | 1996-09-12 | Balzers Pfeiffer Gmbh | Molekularvakuumpumpe mit Kühlgaseinrichtung und Verfahren zu deren Betrieb |
DE29516599U1 (de) * | 1995-10-20 | 1995-12-07 | Leybold AG, 50968 Köln | Reibungsvakuumpumpe mit Zwischeneinlaß |
DE19632874A1 (de) * | 1996-08-16 | 1998-02-19 | Leybold Vakuum Gmbh | Reibungsvakuumpumpe |
DE19804768B4 (de) * | 1998-02-06 | 2006-08-24 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Rotorlagerung für eine Gasreibungspumpe |
DE19809957A1 (de) * | 1998-03-07 | 1999-09-09 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Mehrwellenvakuumpumpe |
FR2783883B1 (fr) * | 1998-09-10 | 2000-11-10 | Cit Alcatel | Procede et dispositif pour eviter les depots dans une pompe turbomoleculaire a palier magnetique ou gazeux |
US6193461B1 (en) * | 1999-02-02 | 2001-02-27 | Varian Inc. | Dual inlet vacuum pumps |
DE19933332A1 (de) * | 1999-07-16 | 2001-01-18 | Leybold Vakuum Gmbh | Reibungsvakuumpumpe für den Einsatz in einem System zur Druckregelung sowie Druckregelungssystem mit einer Reibungsvakuumpumpe dieser Art |
US7025576B2 (en) * | 2001-03-30 | 2006-04-11 | Chaffee Robert B | Pump with axial conduit |
DE60133382T2 (de) * | 2000-05-17 | 2009-04-02 | Robert B. Boston Chaffee | Aufblasbare vorrichtung mit integriertem durchflussregler und verbesserter verstellvorrichtung |
DE60211696T2 (de) | 2001-07-10 | 2007-05-16 | Robert B. Boston Chaffee | Konfigurierbare aufblasbare unterstützvorrichtung |
DE10136022B4 (de) * | 2001-07-24 | 2006-01-12 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zur Vermeidung oder Beseitigung von Ausscheidungen im Abgasbereich einer Vakuumanlage |
ATE333618T1 (de) | 2002-05-03 | 2006-08-15 | Robert B Chaffee | Selbstschliessendes ventil mit elektromechanischer vorrichtung zur betätigung des ventils |
WO2004045343A1 (en) | 2002-11-18 | 2004-06-03 | Chaffee Robert B | Inflatable device |
CA2528332A1 (en) * | 2003-06-09 | 2005-01-06 | Aero International Products, Inc. | Reversible inflation system |
US7588425B2 (en) * | 2005-03-18 | 2009-09-15 | Aero Products International, Inc. | Reversible inflation system |
US20070077153A1 (en) * | 2005-09-30 | 2007-04-05 | Austen Timothy F | Rechargeable AC/DC pump |
US8033797B2 (en) * | 2007-05-17 | 2011-10-11 | The Coleman Company, Inc. | Pump with automatic deactivation mechanism |
US9336990B2 (en) * | 2013-08-29 | 2016-05-10 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Semiconductor process pumping arrangements |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CH428072A (de) * | 1965-11-19 | 1967-01-15 | Bbc Brown Boveri & Cie | Einrichtung an Verdichtern zur Verhinderung des Pumpens |
DE2526164A1 (de) * | 1975-06-12 | 1976-12-30 | Leybold Heraeus Gmbh & Co Kg | Turbomolekularvakuumpumpe mit zumindest teilweise glockenfoermig ausgebildetem rotor |
DE2821052C2 (de) * | 1978-05-13 | 1986-08-21 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart | Dosier- und Abfüllvorrichtung für flüssige Medien |
JPS62153597A (ja) * | 1985-12-27 | 1987-07-08 | Hitachi Ltd | 真空ポンプ |
DE3705912A1 (de) * | 1987-02-24 | 1988-09-01 | Alcatel Hochvakuumtechnik Gmbh | Hochvakuumpumpe mit einem glockenfoermigen rotor |
DE3722164C2 (de) * | 1987-07-04 | 1995-04-20 | Balzers Pfeiffer Gmbh | Turbomolekularpumpe |
DE3826710A1 (de) * | 1987-08-07 | 1989-02-16 | Japan Atomic Energy Res Inst | Vakuumpumpe |
JPS6456987A (en) * | 1987-08-26 | 1989-03-03 | Hitachi Ltd | Turbo-vacuum pump |
-
1989
- 1989-07-20 EP EP89113318A patent/EP0408792B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1989-07-20 DE DE89113318T patent/DE58905785D1/de not_active Expired - Fee Related
-
1990
- 1990-07-19 US US07/554,721 patent/US5051060A/en not_active Expired - Fee Related
- 1990-07-20 JP JP2190867A patent/JP2994005B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2994005B2 (ja) | 1999-12-27 |
JPH0357898A (ja) | 1991-03-13 |
EP0408792B1 (de) | 1993-09-29 |
US5051060A (en) | 1991-09-24 |
EP0408792A1 (de) | 1991-01-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE58905785D1 (de) | Gasreibungspumpe mit mindestens einer auslassseitigen gewindestufe. | |
DE68923787D1 (de) | Zahnanker mit gewinde. | |
DE69012654D1 (de) | Handpumpenzerstäuber mit einer Sicherungsvorrichtung. | |
DE69019705D1 (de) | Multimeter mit automatischer Funktionswahl. | |
DE69300846D1 (de) | Fritiergerät mit einer Öl-Überlaufalarmanlage. | |
DE59105949D1 (de) | Organosilsesquioxane mit mindestens einer mesogenen Seitengruppe. | |
DE58907244D1 (de) | Reibungspumpe mit glockenförmigem Rotor. | |
DE68903062D1 (de) | Wasserabstossende stoffe mit niedriger fluechtigkeit. | |
DE69402206D1 (de) | Kreiselpumpe mit auslaufstufe | |
DE69003186D1 (de) | Brennstoffeinspritzpumpe mit Rückstromentlüftung. | |
DE69103090D1 (de) | Schraubengewindekonstruktion. | |
DE68924883D1 (de) | Mikroprozessor mit Befehlspipeline. | |
DE69625850D1 (de) | Pumpe mit mindestens einer Welle | |
FR2653839B1 (fr) | Insert filete. | |
DE69005179D1 (de) | Anordnungen mit einer asymmetrischen Delta-Dotierung. | |
DE69006194D1 (de) | Kraftstoffpumpenvorrichtung. | |
DE58903643D1 (de) | Selbsttragendes flaechengebilde mit wenigstens einer struckturierten oberflaeche. | |
DE3766446D1 (de) | Anordnung mit einer einspritzpumpe. | |
DE69004665D1 (de) | Kraftstoffpumpvorrichtung. | |
DE59001831D1 (de) | Fluessigkristallkomponenten mit einer trans-3-cyclohexylallyloxygruppe. | |
DE69008209D1 (de) | Changierfadenführer. | |
DE59006429D1 (de) | Gasreibungspumpe. | |
DE69005962D1 (de) | Präzessionspumpe mit komplett eingebautem Motor. | |
DE69110682D1 (de) | Teil mit gewindeloch. | |
DE69000904D1 (de) | Kraftstoffpumpenvorrichtung. |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |