DE60313493T2 - Vakuumpumpe - Google Patents
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- 238000005086 pumping Methods 0.000 claims abstract description 55
- 230000001172 regenerating effect Effects 0.000 claims description 16
- 229920000049 Carbon (fiber) Polymers 0.000 claims description 3
- 239000004917 carbon fiber Substances 0.000 claims description 3
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims description 3
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims 2
- 238000000429 assembly Methods 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 239000004519 grease Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000037452 priming Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
- F04D19/046—Combinations of two or more different types of pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D17/00—Radial-flow pumps, e.g. centrifugal pumps; Helico-centrifugal pumps
- F04D17/08—Centrifugal pumps
- F04D17/16—Centrifugal pumps for displacing without appreciable compression
- F04D17/168—Pumps specially adapted to produce a vacuum
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
- F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
- F04D19/044—Holweck-type pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D23/00—Other rotary non-positive-displacement pumps
- F04D23/008—Regenerative pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/02—Selection of particular materials
- F04D29/023—Selection of particular materials especially adapted for elastic fluid pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/26—Rotors specially for elastic fluids
- F04D29/32—Rotors specially for elastic fluids for axial flow pumps
- F04D29/321—Rotors specially for elastic fluids for axial flow pumps for axial flow compressors
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F05—INDEXING SCHEMES RELATING TO ENGINES OR PUMPS IN VARIOUS SUBCLASSES OF CLASSES F01-F04
- F05D—INDEXING SCHEME FOR ASPECTS RELATING TO NON-POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES OR ENGINES, GAS-TURBINES OR JET-PROPULSION PLANTS
- F05D2300/00—Materials; Properties thereof
- F05D2300/10—Metals, alloys or intermetallic compounds
- F05D2300/12—Light metals
- F05D2300/121—Aluminium
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F05—INDEXING SCHEMES RELATING TO ENGINES OR PUMPS IN VARIOUS SUBCLASSES OF CLASSES F01-F04
- F05D—INDEXING SCHEME FOR ASPECTS RELATING TO NON-POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES OR ENGINES, GAS-TURBINES OR JET-PROPULSION PLANTS
- F05D2300/00—Materials; Properties thereof
- F05D2300/60—Properties or characteristics given to material by treatment or manufacturing
- F05D2300/603—Composites; e.g. fibre-reinforced
Description
- Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Vakuumpumpenanordnung, bestehend aus einem Turbomolekularpumpenmechanismus und einem Molekularpumpenmechanismus, die in Reihe geschaltet sind.
- Eine bekannte Vakuumpumpenanordnung umfasst einen Turbomolekularpumpenmechanismus, der in Reihe mit einem Molekularpumpenmechanismus geschaltet ist, wobei der letztere von irgendeiner geeigneten Bauart sein kann, wie beispielsweise ein Holweck- oder ein Gaede-Pumpenmechanismus. Eine Vorpumpe wird im allgemeinen vorgesehen, um den Druck am Auslaß der Anordnung abzusenken, und kann von irgendeiner geeigneten Bauart sein, wie beispielsweise eine regenerative Pumpe oder eine Klauenpumpe.
- Der Turbomolekularpumpenmechanismus umfasst eine oder mehrere umfangsmäßige Anordnungen abgewinkelter Blätter, die von einem etwa zylindrischen Rotorkörper getragen werden. Während des normalen Betriebs wird der mit einer Antriebswelle gekuppelte Rotor mit zwischen 20.000 und 200.000 Umdrehungen pro Minute gedreht, wobei die Rotorblätter mit Molekülen in einem Gas kollidieren, was diese gegen den Pumpenauslaß drängt. Der Molekularpumpenmechanismus umfasst einen Rotor, der einen Hohlzylinder in einem Pumpenmechanismus der Holweck-Bauart umfassen kann, der mit der Antriebswelle für gleichzeitige Drehung mit dem Turbomolekularpumpenmechanismus gekuppelt ist. Die Drehung des Molekularpumpenmechanismus teilt den Gasmolekülen, die vom Auslaß des Turbomolekularpumpenmechanismus darin eintreten, eine Geschwindigkeit tangential zum Umfang des Zylinders und entlang spiraliger Kanäle mit, die zwischen einem Stator und dem Zylinder zum Pumpenauslaß hin gebildet sind.
- Der Zylinder eines Holweck-Pumpenmechanismus verläuft etwa axial mit einem Umfang um die Achse der Antriebswelle und wird durch eine radial von der Antriebswelle zwischen dem Turbomolekularpumpenmechanismus und dem Zylinder wegragenden, mit einer Öffnung versehenen Platte getragen. Daher gelangt im Betrieb Gas vom Auslaß des Turbomolekularpumpenmechanismus durch die mit der Öffnung versehenen Platte hindurch und den Molekularpumpenmechanismus.
- Die
US-6 168 374 beschreibt eine Reibungsvakuumpumpe mit einer Turbomelukularpumpenstufe, die von einer Schraubenpumpenstufe gefolgt wird. - Es ist wünschenswert, eine verbesserte Vakuumpumpenanordnung zu schaffen.
- Die vorliegende Erfindung schafft eine Pumpenanordnung, die einen Turbomolekularpumpenmechanismus und einen Molekularpumpenmechanismus in Reihenschaltung umfasst, dadurch gekennzeichnet, dass ein Rotor des Molekularpumpenmechanismus durch die Rotorblätter des Turbomolekularpumpenmechanismus getragen wird.
- Weitere Aspekte der vorliegenden Erfindung sind in den anliegenden Ansprüchen definiert.
- Damit die vorliegende Erfindung gut verständlich ist, werden zwei Ausführungsformen hiervon, die nur beispielshalber angegeben sind, nunmehr mit Bezug auf die anliegenden Zeichnungen beschrieben, in denen:
-
1 eine Schnittdarstellung einer Vakuumpumpenanordnung zeigt, die schematisch dargestellt ist, -
2 eine perspektivische Ansicht von oben und einer Seite eines Rotors eines Turbomolekularpumpenmechanismus zeigt, -
3 eine perspektivische Ansicht von unten und einer Seite des Rotors in2 zeigt, -
4 einen Aufriß des Rotors in2 zeigt, -
5 eine Draufsicht des Rotors in2 zeigt, und -
6 eine Schnittdarstellung einer weiteren Pumpenanordnung zeigt, die schematisch dargestellt ist. - Gemäß
1 ist eine Vakuumpumpenanordnung10 gezeigt, die einen Molekularpumpenmechanismus12 und einen Vorpumpenmechanismus14 umfaßt. Der Molekularpum penmechanismus12 besteht aus einem Turbomolekularpumpenmechanismus16 und einem Molekular- oder Reibungspumpenmechanismus18 , die in Reihe angeordnet sind. Der Vorpumpenmechanismus14 umfaßt einen regenerativen Pumpenmechanismus der, wie dargestellt, auf derselben Antriebswelle angeordnet ist und angetrieben wird wie der Molekularpumpenmechanismus. Alternativ kann eine Vorpumpe als seperate Einheit getrennt vom Molekularpumpenmechanismus vorgesehen sein. Ein weiterer Molekularpumpenmechanismus20 kann zwischen dem Molekularpumpenmechanismus18 und dem regenerativen Pumpenmechanismus14 vorgesehen sein. Der Molekularpumpenmechanismus20 umfaßt drei Molekularpumpenstufen in Reihe, während der Molekularpumpenmechanismus18 zwei Molekularpumpenstufen parallel zueinander umfasst. - Die Vakuumpumpenanordnung
10 weist ein Gehäuse mit drei separaten Teilen22 ,24 ,26 auf. Die Teile22 und24 können die Innenwandflächen des Molekularpumpenmechanismus12 und des Molekularpumpenmechanismus20 bilden, wie dargestellt. Das Teil26 kann den Stator des regenerativen Pumpenmechanismus14 bilden. - Das Teil
26 bildet eine angesenkte Aussparung28 , die ein geschmiertes Lager30 zum Abstützen einer Antriebswelle32 aufnimmt. Das Lager30 kann beispielsweise mit Fett geschmiert werden, da es in einem Teil der Pumpenanordnung10 ist, der vom Einlaß der Pumpenanordnung entfernt ist. Der Einlaß der Pumpenanordnung kann in Strömungsverbindung mit einer Halbleiterverarbeitungskammer stehen, in welcher eine saubere bzw. ölfreie Umgebung verlangt wird. - Die Antriebswelle
32 wird von einem Motor34 angetrieben, der, wie dargestellt, von den Teilen22 und24 des Gehäuses abgestütz wird. Der Motor kann in irgendeiner zweckmäßigen Position in der Vakuumpumpenanordnung abgestützt sein. Der Motor34 ist dafür ausgelegt, den regenerativen Pumpenmechanismus14 , den Molekularpumpenmechanismus20 und dem Molekularpumpenmechanismus12 anzutreiben. Im allgemeinen erfordert ein regenerativer Pumpenmechanismus mehr Betriebsleistung als ein Molekularpumpenmechanismus, da der regenerative Pumpenmechanismus bei Drücken nahe Atmosphärendruck betrieben wird, wo Wind- und Luftwiderstand relativ hoch sind. Ein Turbomolekularpumpenmechanismus oder Molekularpumpenmechanismus braucht relativ weniger Betriebsleistung, und daher ist ein zum Betreiben einer regenerativen Pumpe gewählter Motor im allgemeinen auch zum Antreiben eines Turbomolekularpumpenmechanismus oder Molekularpumpenmechanismus geeignet. Der regenerative Pumpenmechanismus umfasst einen Rotor, der relativ zur Antriebswelle32 ist. Wie dargestellt, umfasst der regenerative Pumpenmechanismus14 drei Pumpenstufen, und für jede Stufe verläuft eine umfangsmäßige Anordnung von Rotorblättern38 im wesentlichen orthogonal von einer Fläche des Rotorkörpers36 . Die Rotorblätter38 der Teilanordnungen laufen axial in jeweils umfangsmäßige Pumpenkanäle40 hinein, die konzentrisch im Teil26 angeordnet sind, das den Stator des regenerativen Pumpenmechanismus14 bildet. Im Betrieb dreht die Antriebswelle32 den Rotorkörper36 , was bewirkt, dass die Rotorblätter38 durch die Pumpenkanäle hindurchlaufen und Gas vom Einlaß42 der Reihe nach durch den radial äußeren Pumpenkanal, den radial mittleren Pumpenkanal und den radial inneren Pumpenkanal fördern, wo es aus dem Auslaß44 bei Drücken nahe oder mit Atmosphärendruck ausgestoßen wird. - Zwei zylindrische Molekularpumpenzylinder
46 , die zusammen die Rotoren des Molekularpumpenmechanismus20 bilden, verlaufen orthogonal vom Rotorkörper36 . Die Molekularpumpenzylinder46 sind aus Kohlefaserkompositmaterial hergestellt, das sowohl fest als auch leicht ist. Die Verringerung der Masse bei Verwendung von Kohlefaserkompositmaterial-Molekularpumpenzylindern erzeugt weniger Trägheit, wenn der Molekularpumpenmechanismus sich in Betrieb befindet. Dementsprechend lässt sich die Drehzahl des Molekularpumpenmechanismus leichter beherrschen. - Der schematisch dargestellte Molekularpumpenmechanismus
20 ist eine Holweck-Molekularpumpe, bei welcher Statorteile48 einen spiraligen Kanal zwischen der Innenwandfläche des Gehäuseteils24 und dem Pumpenzylinder46 bilden. Es sind drei PUmpenstufen dargestellt, von denen jede einen spiraligen Pfad für Gas bildet, das zwischen dem Rotor und dem Stator strömt. Die Gasströmung folgt einem Pfad, der aufeinanderfolgend durch die Molekularpumpenstufe in Reihe verläuft. - Der Molekularpumpenmechanismus
12 wird an einem Ende der Antriebswelle32 distal von dem regenerativen Pumpenmechanismus14 angetrieben. Die Antriebswelle32 kann gegebenenfalls durch Hilfslager abgestützt sein. Ein magnetisches Lager54 ist zwischen dem Rotorkörper52 und einem zylindrischen Teil56 vorgesehen, der relativ zum Gehäuse22 feststeht. Ein passives magnetisches Lager ist dargestellt, bei welchem gleiche Pole eines Magneten einander abstoßen, was einer Radialbewegung des Rotorkörpers52 relativ zu der zentralen Achse A entgegenwirkt. Andere Arten geeigneter Lager können nach Bedarf eingesetzt werden. Eine umfangsmäßige Anordnung abgewinkelter Rotorblätter58 verläuft radial auswärts vom Rotorkörper52 . Bei etwa der halben radialen Länge der Rotorblätter ist ein ringförmiger Stützring60 vorgesehen, an welchem der Molekularpumpenzylinder bzw. Rotor62 des Molekularpumpenmechanismus18 befestigt ist, so dass die Rotorblätter des Turbomolekularpumpenmechanismus den Rotor des Molekularpumpenmechanismus tragen. Der Molekularpumpenmechanismus18 weist zwei Stufen in Parallelschaltung mit einem einzigen Molekularpumpenzylinder62 auf, wobei eine Stufe radial innerhalb desselben und eine Stufe radial außerhalb desselben angeordnet ist. Jede der Stufen umfasst Statorteile64 mit sich verjüngenden inneren Wänden66 des Gehäuses22 , die einen spiraligen Molekulargasströmungskanal bilden. Ein Auslaß68 ist zum Ausstoßen von Gas aus dem Molekularpumpenmechanismus18 vorgesehen. - Die Verwendung der Rotorblätter des Turbomolekularpumpenmechanismus
16 zum Tragen des Rotors des Molekularpumpenmechanismus18 vermeidet die Notwendigkeit des Vorsehens einer separaten Tragplatte für den Rotor des Molekularpumpenmechanismus, wie sie bei dem oben beschriebenen Stand der Technik benutzt wird. Daher ist der Molekularpumpenmechanismus weniger kompliziert und kompakter als im Stand der Technik. Es versteht sich außerdem, dass die Tragplatte, obwohl eine mit Öffnungen versehene Tragplatte, in gewissem Maße die Gasströmung zwischen dem Turbomolekularpumpenmechanismus und dem Molekularpumpenmechanismus reduziert und daher als Behinderung der Effizienz wirkt. Bei der Anordnung nach1 besteht keine solche Behinderung, wo Gas frei aus dem Turbomolekularpumpenmechanismus in den Molekularpumpenmechanismus strömen kann. - Die
2 bis5 zeigen den Rotor des Turbomolekularpumpenmechanismus16 mehr im einzelnen. Der Rotor umfasst den Rotorkörper52 , der eine Nabe zur Verbindung mit der Antriebswelle32 (in diesen Figuren nicht dargestellt) bildet. Radial vom Rotorkörper52 verläuft die Mehrzahl abgewinkelter Rotorblätter58 . Einstückig mit den Rotorblättern58 ausgebildet ist der Ring60 , der an einem mittigen radialen Teil der Rotorblätter oder auf etwa ihrer halben Länge angeordnet ist. Der Rotor oder Zylinder des Molekularpumpenmechanismus ist an dem Ring mittels eines geeigneten Verfahrens befestigt, so dass die Rotorblätter den Rotor des Molekularpumpenmechanismus tragen können. - Während des normalen Betriebs ist der Einlaß
70 der Pumpenanordnung10 mit einer Kammer verbunden, deren Druck abgesenkt werden soll. Der Motor34 dreht die Antriebswelle32 , die wiederum den Rotorkörper36 und den Rotorkörper52 antreibt. Gas in molekularen Strömungsbedingungen wird durch den Einlaß70 in den Turbomolekularpumpenmechanismus16 eingesaugt, wo es durch die Rotorblätter58 entlang der beiden parallelen Molekularpumpenstufen18 und durch den Auslaß68 gedrängt wird. Gas wird dann durch die drei in Reihe angeordneten Stufen des Molekularpumpenmechanismus20 eingesaugt und durch den Einlaß42 in den regenerativen Pumpenmechanismus. Gas wird auf atmosphärischem Druck oder ungefähr da durch die Auslassöffnung44 ausgestoßen. - Es folgt nun eine Beschreibung einer weiteren Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Der Kürze halber wird die weitere Ausfürhungsform nur in Bezug auf diejenigen Teile erörtert, die verschieden von der ersten Ausführungsform sind, und für gleiche Teile werden gleiche Bezugszahlen verwendet.
-
6 zeigt eine Vakuumpumpenanordnung100 , bei welcher der Molekularpumpenmechanismus12 einen Turbomolekularpumpenmechanismus16 mit zwei in Reihe angeordneten Pumpenstufen hat. Zwei Anordnungen abgewinkelter Rotorblätter58 verlaufen radial auswärts von der Nabe des Rotorkörpers52 , wobei eine Statorformation72 zwischen den Anordnungen angeordnet ist. Die Rotorblätter der stromabwärtigen oder letzten Stufe des Turbomolekularpumpenmechanismus tragen den Rotor des Molekularpumpenmechanismus und sind mit dem Ring60 versehen, an welchem der Rotor des Molekularpumpenmechanismus befestigt. - Bei einer Modifizierung der oben beschriebenen Ausführungsformen umfasst der Molekularpumpenmechanismus
18 mehr als einen Molekularpumpenzylinder oder Rotor62 , der von den Rotorblättern38 des Turbomolekularpumpenmechanismus16 getragen wird. Die Turboblätter können daher mit radial beabstandeten Ringen versehen sein, an denen entsprechenden Molekularpumpenrotoren befestigt sind. Bei dieser Anordnung, wenn beispielsweise drei Molekularpumpenrotoren vorhanden sind, können bis zu sechs parallele Molekularpumpenstufen vorhanden sein, wobei zwei parallele Pumpenpfade radial einwärts und radial auswärts jedes Rotors verlaufen. - Obwohl die vorliegende Erfindung mit Bezug auf die
1 und6 beschrieben worden sind, in welchen der Molekularpumpenmechanismus12 durch eine gemeinsame Welle mit dem regenerativen Pumpenmechanismus14 angetrieben wird und die zusammen eine Pumpeneinheit bilden, ist die vorliegende Erfindung nicht in dieser Weise beschränkt. Alternativ kann der Molekularpumpenmechanismus eine Pumpeneinheit bilden, die vom regenerativen Pumpenmechanismus getrennt ist, und die beide durch separate Motoren und separate Antriebswellen angetrieben werden.
Claims (12)
- Vakuumpumpenanordnung (
10 ), die einen Turbomolekularpumpenmechanismus (16 ) und einen Molekularpumpenmechanismus (18 ) in Reihe umfasst, dadurch gekennzeichnet, dass ein Rotor (62 ) des Molekularpumpenmechanismus (18 ) durch die Rotorblätter (48 ) des Turbomolekularpumpenmechanismus (16 ) getragen wird. - Vakuumpumpenanordnung (
10 ) nach Anspruch 1, wobei die Rotorblätter (58 ) mit einem Ring (60 ) mit Kreisquerschnitt versehen sind, an welchem die Rotor (62 ) des Molekularpumpenmechanismus (18 ) befestigt ist. - Vakuumpumpenanordnung (
10 ) nach Anspruch 2, wobei der Turbomolekularpumpenmechanismus (16 ) eine Mehrzahl von Stufen aufweist und die Rotorblätter (58 ) mindestens der letzten Stufe mit dem Ring (60 ) mit Kreisquerschnitt versehen sind. - Vakuumpumpenanordnung (
10 ) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei der Rotor (62 ) des Molekularpumpenmechanismus (18 ) etwa über die Hälfte der radialen Länge der Rotorblätter (58 ) des Turbomolekularpumpenmechanismus (16 ) getragen wird. - Vakuumpumpenanordnung (
10 ) nach Anspruch 1, wobei der Molekularpumpenmechanismus (18 ) eine Mehrzahl von Rotoren (62 ) aufweist, die durch die Rotorblätter (58 ) des Turbomolekularpumpenmechanismus (16 ) getragen werden. - Vakuumpumpenanordnung (
10 ) nach Anspruch 5, wobei die Mehrzahl von Rotoren (62 ) an jeweiligen radial beabstandeten Ringen (60 ) mit Kreisquerschnitt befestigt sind, mit denen die Rotorblätter (58 ) des Turbomolekularpumpenmechanismus (16 ) ausgestattet sind. - Vakuumpumpenanordnung (
10 ) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei der oder jeder Rotor (62 ) des Molekularpumpenmechanismus (18 ) zwei parallele Pumpen pfade zugeordnet hat, die einen Pumpenpfad radial einwärts des oder jedes Rotors (62 ) und einen Pumpenpfad radial auswärts des oder jedes Rotors (62 ) umfassen. - Vakuumpumpenanordnung (
10 ) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei der Molekularpumpenmechanismus (18 ) der Holweck-Bauart angehört. - Vakuumpumpenanordnung (
10 ) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, die weiter einen zweiten Molekularpumpenmechanismus (20 ) aufweist, dessen Rotor durch den Rotor (36 ) eines regenerativen Pumpenausstoßmechanismus getragen wird. - Vakuumpumpenanordnung (
10 ) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei der Rotor des oder jedes Molekularpumpenmechanismus (18 ,20 ) aus Kohlefaser-Kompositmaterial hergestellt ist. - Vakuumpumpenanordnung (
10 ) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Rotorblätter (58 ) des Turbomolekularpumpenmechanismus (16 ) aus Aluminium hergestellt sind. - Vakuumpumpenanordnung (
10 ) nach Anspruch 2, wobei der Ring (60 ) mit Kreisquerschnitt aus Aluminium hergestellt ist.
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
GB0229355 | 2002-12-17 | ||
GBGB0229355.3A GB0229355D0 (en) | 2002-12-17 | 2002-12-17 | Vacuum pumping arrangement |
PCT/GB2003/005370 WO2004055375A1 (en) | 2002-12-17 | 2003-12-09 | Vacuum pumping arrangement |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE60313493D1 DE60313493D1 (de) | 2007-06-06 |
DE60313493T2 true DE60313493T2 (de) | 2008-01-03 |
Family
ID=9949816
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE60313493T Expired - Lifetime DE60313493T2 (de) | 2002-12-17 | 2003-12-09 | Vakuumpumpe |
Country Status (9)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8727751B2 (de) |
EP (1) | EP1573204B1 (de) |
JP (1) | JP4667043B2 (de) |
AT (1) | ATE360756T1 (de) |
AU (1) | AU2003295099A1 (de) |
DE (1) | DE60313493T2 (de) |
GB (1) | GB0229355D0 (de) |
TW (1) | TWI335959B (de) |
WO (1) | WO2004055375A1 (de) |
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- 2003-12-09 AU AU2003295099A patent/AU2003295099A1/en not_active Abandoned
- 2003-12-09 US US10/536,781 patent/US8727751B2/en active Active
- 2003-12-09 DE DE60313493T patent/DE60313493T2/de not_active Expired - Lifetime
- 2003-12-09 WO PCT/GB2003/005370 patent/WO2004055375A1/en active IP Right Grant
- 2003-12-09 EP EP03786099A patent/EP1573204B1/de not_active Expired - Lifetime
- 2003-12-09 JP JP2004559871A patent/JP4667043B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 2003-12-09 AT AT03786099T patent/ATE360756T1/de not_active IP Right Cessation
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Publication number | Publication date |
---|---|
DE60313493D1 (de) | 2007-06-06 |
EP1573204A1 (de) | 2005-09-14 |
TW200419074A (en) | 2004-10-01 |
JP4667043B2 (ja) | 2011-04-06 |
ATE360756T1 (de) | 2007-05-15 |
GB0229355D0 (en) | 2003-01-22 |
US8727751B2 (en) | 2014-05-20 |
EP1573204B1 (de) | 2007-04-25 |
TWI335959B (en) | 2011-01-11 |
US20060140795A1 (en) | 2006-06-29 |
JP2006509951A (ja) | 2006-03-23 |
WO2004055375A1 (en) | 2004-07-01 |
AU2003295099A1 (en) | 2004-07-09 |
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