JP2585265Y2 - 排気ポンプ - Google Patents
排気ポンプInfo
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- JP2585265Y2 JP2585265Y2 JP1249493U JP1249493U JP2585265Y2 JP 2585265 Y2 JP2585265 Y2 JP 2585265Y2 JP 1249493 U JP1249493 U JP 1249493U JP 1249493 U JP1249493 U JP 1249493U JP 2585265 Y2 JP2585265 Y2 JP 2585265Y2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この考案は気体等の流体を排気す
る排気ポンプに関し、特に、その排気性能と信頼性を向
上させるように構成したものである。
る排気ポンプに関し、特に、その排気性能と信頼性を向
上させるように構成したものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の排気ポンプとしては例え
ばドラッグポンプや図４ないし図６に示すようないわゆ
る複合型ターボ分子ポンプ等が知られており、図４に示
す複合型ターボ分子ポンプは円筒状のハウジング２０内
に収納された一端開口型の円筒状ロータ２１を有し、こ
のロータ２１はその外周面が２つの領域Ｂ，Ｃに区分さ
れていると共に、これらの各領域Ｂ，Ｃはロータ２１の
軸方向に沿って階層的に配置されており、その領域Ｂつ
まりロータ２１の開口端（一端）側にはその外周面にね
じ溝２２が形成されている一方、領域Ｃつまりロータ２
１の他端側にはその外周面と一体に複数の回転翼２３，
２３…が設けられている。
ばドラッグポンプや図４ないし図６に示すようないわゆ
る複合型ターボ分子ポンプ等が知られており、図４に示
す複合型ターボ分子ポンプは円筒状のハウジング２０内
に収納された一端開口型の円筒状ロータ２１を有し、こ
のロータ２１はその外周面が２つの領域Ｂ，Ｃに区分さ
れていると共に、これらの各領域Ｂ，Ｃはロータ２１の
軸方向に沿って階層的に配置されており、その領域Ｂつ
まりロータ２１の開口端（一端）側にはその外周面にね
じ溝２２が形成されている一方、領域Ｃつまりロータ２
１の他端側にはその外周面と一体に複数の回転翼２３，
２３…が設けられている。
【０００３】また、上記ハウジング２０の全内周面のう
ち、ロータ２１の領域Ｂ、即ちねじ溝２２と対向する部
分はフラットな曲面に形成されている一方、回転軸２１
の領域Ｃ、即ち複数の回転翼２３，２３…と対向する部
分には複数の固定翼２４，２４が取り付けられており、
この各固定翼２４と各回転翼２３とは交互に配設されて
いる。
ち、ロータ２１の領域Ｂ、即ちねじ溝２２と対向する部
分はフラットな曲面に形成されている一方、回転軸２１
の領域Ｃ、即ち複数の回転翼２３，２３…と対向する部
分には複数の固定翼２４，２４が取り付けられており、
この各固定翼２４と各回転翼２３とは交互に配設されて
いる。
【０００４】図５に示す複合型ターボ分子ポンプの基本
的な構造は図４に示す複合型ターボ分子ポンプと同様で
あり、それと異なる点は、ねじ溝２２をロータ２１側で
なくハウジング２０側に形成した点にある、即ちロータ
２１の開口端（一端）側はその外周面が何等凹凸のない
フラットな曲面に形成されており、また、ハウジング２
０の全内周面のうち、上記のようなロータ２１のフラッ
トな曲面と対向する部分にはねじ溝２２を有するように
構成されている。
的な構造は図４に示す複合型ターボ分子ポンプと同様で
あり、それと異なる点は、ねじ溝２２をロータ２１側で
なくハウジング２０側に形成した点にある、即ちロータ
２１の開口端（一端）側はその外周面が何等凹凸のない
フラットな曲面に形成されており、また、ハウジング２
０の全内周面のうち、上記のようなロータ２１のフラッ
トな曲面と対向する部分にはねじ溝２２を有するように
構成されている。
【０００５】つまり、上記のような各種の複合型ターボ
分子ポンプは、いずれもロータ２１がその軸心回りに回
転したとき、所定の回転数以下では、ねじ溝２２の部分
がポンプとしての役割を果たし、ロータ２１の他端２１
ｂ側から一端２１ａ側の方向に向かって気体等の流体を
排気すると共に、所定の回転数以上では、特に回転翼２
３と固定翼２４との間で分子流が誘発され、上記と同様
な方向に気体等の流体を排気するように構成されてい
る。
分子ポンプは、いずれもロータ２１がその軸心回りに回
転したとき、所定の回転数以下では、ねじ溝２２の部分
がポンプとしての役割を果たし、ロータ２１の他端２１
ｂ側から一端２１ａ側の方向に向かって気体等の流体を
排気すると共に、所定の回転数以上では、特に回転翼２
３と固定翼２４との間で分子流が誘発され、上記と同様
な方向に気体等の流体を排気するように構成されてい
る。
【０００６】
【考案が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の排気ポンプにおいて、図４に示す複合型ター
ボ分子ポンプにあっては、円筒状ロータ２１は一端開口
型の形状で、しかも、この開口端側にはその外周面にね
じ溝２２が形成されているため、ロータ２１の回転によ
る遠心力で、ロータ２１の開口端側における応力が最も
大きくなり、かつロータ２１の開口端側が径方向に最大
に拡大変形することは避けられず、その拡大変形が最大
となる部分にもねじ溝２２を有する、つまり応力集中が
生じる部分が存在するので、この応力集中による金属疲
労でロータ２１が開口端側から破壊するおそれがあり、
信頼性が低いだけでなく、そのような破壊を避けるため
にも、低い回転数でしかロータ２１を回転させることが
できず、排気性能も低い。
うな従来の排気ポンプにおいて、図４に示す複合型ター
ボ分子ポンプにあっては、円筒状ロータ２１は一端開口
型の形状で、しかも、この開口端側にはその外周面にね
じ溝２２が形成されているため、ロータ２１の回転によ
る遠心力で、ロータ２１の開口端側における応力が最も
大きくなり、かつロータ２１の開口端側が径方向に最大
に拡大変形することは避けられず、その拡大変形が最大
となる部分にもねじ溝２２を有する、つまり応力集中が
生じる部分が存在するので、この応力集中による金属疲
労でロータ２１が開口端側から破壊するおそれがあり、
信頼性が低いだけでなく、そのような破壊を避けるため
にも、低い回転数でしかロータ２１を回転させることが
できず、排気性能も低い。
【０００７】なお、従来より、ねじ溝２２の終端の頂点
２２ａをＲ形状として応力集中を減少させることも提案
されているが（図６参照）、これだけではロータ２１の
開口端側で応力集中が生じる部分を完全に除去すること
は不可能であり、ロータ２１の開口端側には応力集中の
生じる部分が存在するので、高い信頼性と排気性能を有
する排気ポンプは得られない。
２２ａをＲ形状として応力集中を減少させることも提案
されているが（図６参照）、これだけではロータ２１の
開口端側で応力集中が生じる部分を完全に除去すること
は不可能であり、ロータ２１の開口端側には応力集中の
生じる部分が存在するので、高い信頼性と排気性能を有
する排気ポンプは得られない。
【０００８】一方、図５に示す複合型ターボ分子ポンプ
にあっては、ねじ溝２２がロータ２１側でなくハウジン
グ２０側に形成されているため、ねじ溝２２をロータ２
１側に形成したもの、即ち図４に示す複合型ターボ分子
ポンプと同じ条件（同一外形及び同一回転数）で比較す
ると、排気性能、特に流量特性が劣ることは避けられ
ず、ロータ２１の回転数が低い領域から効率よく気体等
の流体を大量に排気することができず、排気性能が低
い。
にあっては、ねじ溝２２がロータ２１側でなくハウジン
グ２０側に形成されているため、ねじ溝２２をロータ２
１側に形成したもの、即ち図４に示す複合型ターボ分子
ポンプと同じ条件（同一外形及び同一回転数）で比較す
ると、排気性能、特に流量特性が劣ることは避けられ
ず、ロータ２１の回転数が低い領域から効率よく気体等
の流体を大量に排気することができず、排気性能が低
い。
【０００９】この考案は上述の事情に鑑みてなされたも
ので、その目的とするところは排気性能と信頼性に優れ
た排気ポンプを提供することにある。
ので、その目的とするところは排気性能と信頼性に優れ
た排気ポンプを提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記のような目的を達成
するために、この考案は、開口端側の外周面はフラット
な曲面に形成されかつ他端側の外周面には第１のねじ溝
を有する一端開口型の筒状ロータと、そのフラットな曲
面の部分と対向する位置には第２のねじ溝を有すると共
に上記第１のねじ溝と対向する位置はフラットな曲面に
形成されたハウジングと、上記ロータをその軸心回りに
回転させる駆動手段とを具備することを特徴とする。
するために、この考案は、開口端側の外周面はフラット
な曲面に形成されかつ他端側の外周面には第１のねじ溝
を有する一端開口型の筒状ロータと、そのフラットな曲
面の部分と対向する位置には第２のねじ溝を有すると共
に上記第１のねじ溝と対向する位置はフラットな曲面に
形成されたハウジングと、上記ロータをその軸心回りに
回転させる駆動手段とを具備することを特徴とする。
【００１１】
【作用】この考案によれば、ロータの回転による遠心力
で、ロータの開口端側における応力が最も大きくなり、
かつロータの開口端側が径方向に最大に拡大変形した場
合でも、ロータの開口端側には、応力集中が生じる部分
はなく、応力が均等に生じるので、応力集中による金属
疲労でロータが開口端側から破壊するのを防止できる。
で、ロータの開口端側における応力が最も大きくなり、
かつロータの開口端側が径方向に最大に拡大変形した場
合でも、ロータの開口端側には、応力集中が生じる部分
はなく、応力が均等に生じるので、応力集中による金属
疲労でロータが開口端側から破壊するのを防止できる。
【００１２】また、この考案によると、上記のような破
壊を避けるために低い回転数でロータを回転させる必要
はなく、ロータの回転数を高く設定することが可能とな
ると共に、特にロータの他端側に有する第１のねじ溝の
部分で気体等の流体を効率よく排気することができる。
壊を避けるために低い回転数でロータを回転させる必要
はなく、ロータの回転数を高く設定することが可能とな
ると共に、特にロータの他端側に有する第１のねじ溝の
部分で気体等の流体を効率よく排気することができる。
【００１３】
【実施例】以下、この考案を複合型ターボ分子ポンプや
ドラッグポンプに適用した実施例について図１ないし図
３を基に詳細に説明する。
ドラッグポンプに適用した実施例について図１ないし図
３を基に詳細に説明する。
【００１４】図１はこの考案を複合型ターボ分子ポンプ
に適用した例を示すもので、同図に示す複合型ターボ分
子ポンプは円筒状ハウジング１内に一端開口型の円筒状
ロータ２を有すると共に、このロータ２の一端（開口
端）２ａ側はその外周面がフラットな曲面に形成されて
いる、つまり何等凹凸のない単なる円筒形状の領域Ａと
して設けられている。
に適用した例を示すもので、同図に示す複合型ターボ分
子ポンプは円筒状ハウジング１内に一端開口型の円筒状
ロータ２を有すると共に、このロータ２の一端（開口
端）２ａ側はその外周面がフラットな曲面に形成されて
いる、つまり何等凹凸のない単なる円筒形状の領域Ａと
して設けられている。
【００１５】また、上記領域Ａ以外、即ちロータ２の他
端２ｂ側はその外周面が２つの領域Ｂ，Ｃに区分されて
いると共に、これらの両領域Ｂ，Ｃはロータ２の軸方向
に沿って階層的に配置されており、その下側の領域Ｂは
ロータ２の外周面に第１のねじ溝３が形成されている一
方、上側の領域Ｃにはロータ２の外周面と一体に複数の
回転翼４，４…が設けられている。
端２ｂ側はその外周面が２つの領域Ｂ，Ｃに区分されて
いると共に、これらの両領域Ｂ，Ｃはロータ２の軸方向
に沿って階層的に配置されており、その下側の領域Ｂは
ロータ２の外周面に第１のねじ溝３が形成されている一
方、上側の領域Ｃにはロータ２の外周面と一体に複数の
回転翼４，４…が設けられている。
【００１６】さらに、上記ハウジング１の全内周面のう
ち、上記ロータ２の領域Ａ、即ちフラットな曲面と対向
する部分には第２のねじ溝５が設けられており、また、
ロータ２の領域Ｂ、即ち第１のねじ溝３と対向する部分
は何等凹凸のない単なるフラットな曲面に形成されてい
る。
ち、上記ロータ２の領域Ａ、即ちフラットな曲面と対向
する部分には第２のねじ溝５が設けられており、また、
ロータ２の領域Ｂ、即ち第１のねじ溝３と対向する部分
は何等凹凸のない単なるフラットな曲面に形成されてい
る。
【００１７】なお、上記ハウジング１の内周面のうち、
ロータ２の領域Ｃ、即ち複数の回転翼３，３…と対向す
る部分には複数の固定翼６，６…が取り付けられている
と共に、この各固定翼６と上記各回転翼３とはロータ２
の軸方向に沿って交互に配設されている。
ロータ２の領域Ｃ、即ち複数の回転翼３，３…と対向す
る部分には複数の固定翼６，６…が取り付けられている
と共に、この各固定翼６と上記各回転翼３とはロータ２
の軸方向に沿って交互に配設されている。
【００１８】また、上記ロータ２の内周面側にはロータ
２をその軸心回りに回転させる駆動手段７を具備すると
共に、この駆動手段７は軸８とステータコラム９とを備
えており、その軸８はロータ２と同一軸心の状態で先端
がロータ２の他端１ｂ内側に一体に取り付けられている
一方、ステータコラム９には図示しない磁気軸受と非接
触型の駆動モータ等が内蔵されている。
２をその軸心回りに回転させる駆動手段７を具備すると
共に、この駆動手段７は軸８とステータコラム９とを備
えており、その軸８はロータ２と同一軸心の状態で先端
がロータ２の他端１ｂ内側に一体に取り付けられている
一方、ステータコラム９には図示しない磁気軸受と非接
触型の駆動モータ等が内蔵されている。
【００１９】なお、上記磁気軸受は軸８と一体にロータ
２をその径方向及び軸方向に非接触の状態で支持するよ
うに構成されており、上記駆動モータはロータ２と一体
に軸８をその軸心回りに回転させるように構成されてい
る。
２をその径方向及び軸方向に非接触の状態で支持するよ
うに構成されており、上記駆動モータはロータ２と一体
に軸８をその軸心回りに回転させるように構成されてい
る。
【００２０】次に、上記の如く構成された複合型ターボ
分子ポンプの動作について図１を基に説明する。
分子ポンプの動作について図１を基に説明する。
【００２１】この複合型ターボ分子ポンプによれば、ス
テータコラム９内の磁気軸受（図示省略）と駆動モータ
を起動すると、軸８と一体にロータ２がその径方向及び
軸方向に非接触に支持された状態でその軸心回りに回転
する。
テータコラム９内の磁気軸受（図示省略）と駆動モータ
を起動すると、軸８と一体にロータ２がその径方向及び
軸方向に非接触に支持された状態でその軸心回りに回転
する。
【００２２】ここで、ロータ２の回転数が所定の回転数
以下では、第１及び第２のねじ溝３，５の部分がポンプ
としての役割を果たし、ロータ２の他端２ｂ側から一端
２ａ側の方向に向かって気体等の流体を排気する一方、
ロータ２の回転数が所定の回転数以上では、特に固定翼
６と回転翼３との間で分子流が誘発され、上記と同様な
方向に気体等の流体を排気する。
以下では、第１及び第２のねじ溝３，５の部分がポンプ
としての役割を果たし、ロータ２の他端２ｂ側から一端
２ａ側の方向に向かって気体等の流体を排気する一方、
ロータ２の回転数が所定の回転数以上では、特に固定翼
６と回転翼３との間で分子流が誘発され、上記と同様な
方向に気体等の流体を排気する。
【００２３】この際、上記のようなロータ２は一端開口
型の形状であるため、ロータ２の開口端２ａ側はロータ
２の回転による遠心力で応力が最も大きくなり、かつ径
方向に最大に拡大変形するが、このように変形した場合
でも、ロータ２の開口端２ａ側においては、その外周面
がフラットな曲面に形成されているので、応力集中が生
じる部分はなく、応力が均等に生じる。
型の形状であるため、ロータ２の開口端２ａ側はロータ
２の回転による遠心力で応力が最も大きくなり、かつ径
方向に最大に拡大変形するが、このように変形した場合
でも、ロータ２の開口端２ａ側においては、その外周面
がフラットな曲面に形成されているので、応力集中が生
じる部分はなく、応力が均等に生じる。
【００２４】図２もこの考案を複合型ターボ分子ポンプ
に適用した例を示すもので、同図に示す複合型ターボ分
子ポンプの基本的な構成は上記実施例と同様なため、同
一部材には同一符号を付し、その詳細説明は省略する。
に適用した例を示すもので、同図に示す複合型ターボ分
子ポンプの基本的な構成は上記実施例と同様なため、同
一部材には同一符号を付し、その詳細説明は省略する。
【００２５】同図に示す複合型ターボ分子ポンプはハウ
ジング１の内周面側に逆流防止リング１０が配設されて
いると共に、この逆流防止リング１０はその外周縁側が
ハウジング１の内周面に一体に固定された状態で、ロー
タ２の領域Ａと領域Ｂとの境目、即ちロータ２の外周面
がフラットな曲面に形成された部分と、ロータ２の外周
面に第１のねじ溝３を有する部分との境目に設けられて
いると共に、気体等の流体がロータ２の一端（開口端）
２ａ側から他端２ｂ側に逆流するのを阻止するように構
成されている。
ジング１の内周面側に逆流防止リング１０が配設されて
いると共に、この逆流防止リング１０はその外周縁側が
ハウジング１の内周面に一体に固定された状態で、ロー
タ２の領域Ａと領域Ｂとの境目、即ちロータ２の外周面
がフラットな曲面に形成された部分と、ロータ２の外周
面に第１のねじ溝３を有する部分との境目に設けられて
いると共に、気体等の流体がロータ２の一端（開口端）
２ａ側から他端２ｂ側に逆流するのを阻止するように構
成されている。
【００２６】図３はこの考案をドラッグポンプに適用し
た例を示すもので、同図に示すドラッグポンプは円筒状
ハウジング１内に一端開口型の円筒状ロータ２を有し、
このロータ２はその外周面が２つの領域Ａ，Ｂに区分さ
れていると共に、これらの各領域Ａ，Ｂはロータ２の軸
方向に沿って階層的に配置されており、領域Ａつまりロ
ータ２の開口端（一端）側はその外周面が何等凹凸のな
いフラットな曲面に形成されている一方、領域Ｂつまり
ロータ２の他端側には第１のねじ溝３が設けられてい
る。
た例を示すもので、同図に示すドラッグポンプは円筒状
ハウジング１内に一端開口型の円筒状ロータ２を有し、
このロータ２はその外周面が２つの領域Ａ，Ｂに区分さ
れていると共に、これらの各領域Ａ，Ｂはロータ２の軸
方向に沿って階層的に配置されており、領域Ａつまりロ
ータ２の開口端（一端）側はその外周面が何等凹凸のな
いフラットな曲面に形成されている一方、領域Ｂつまり
ロータ２の他端側には第１のねじ溝３が設けられてい
る。
【００２７】また、上記ハウジング１の全内周面のう
ち、上記ロータ２の領域Ａ、即ちフラットな曲面と対向
する部分には第２のねじ溝５が設けられており、また、
ロータ２の領域Ｂ、即ち第１のねじ溝３と対向する部分
は何等凹凸のない単なるフラットな曲面に形成されてい
る。
ち、上記ロータ２の領域Ａ、即ちフラットな曲面と対向
する部分には第２のねじ溝５が設けられており、また、
ロータ２の領域Ｂ、即ち第１のねじ溝３と対向する部分
は何等凹凸のない単なるフラットな曲面に形成されてい
る。
【００２８】なお、ロータ２の内周面側にはロータ２を
その軸心回りに回転させる駆動手段７を具備すること
は、上記実施例と同様なため、その詳細説明は省略す
る。
その軸心回りに回転させる駆動手段７を具備すること
は、上記実施例と同様なため、その詳細説明は省略す
る。
【００２９】ところで、上記の如く構成されたドラッグ
ポンプによれば、ロータ２がその軸心回りに回転する
と、第１及び第２のねじ溝３，５の部分がポンプとして
の役割を果たし、ロータ２の一端２ａ側から他端２ｂ側
に気体等の流体を排気する。
ポンプによれば、ロータ２がその軸心回りに回転する
と、第１及び第２のねじ溝３，５の部分がポンプとして
の役割を果たし、ロータ２の一端２ａ側から他端２ｂ側
に気体等の流体を排気する。
【００３０】この際、上記のようなロータ２は一端開口
型の形状であるため、ロータ２の開口端２ａ側はロータ
２の回転による遠心力で応力が最も大きくなり、かつ径
方向に最大に拡大変形するが、このように変形した場合
でも、ロータ２の開口端２ａ側においては、その外周面
がフラットな曲面に形成されているので、応力集中が生
じる部分はなく、応力が均等に生じる。
型の形状であるため、ロータ２の開口端２ａ側はロータ
２の回転による遠心力で応力が最も大きくなり、かつ径
方向に最大に拡大変形するが、このように変形した場合
でも、ロータ２の開口端２ａ側においては、その外周面
がフラットな曲面に形成されているので、応力集中が生
じる部分はなく、応力が均等に生じる。
【００３１】したがって、上記実施例の複合型ターボ分
子ポンプやドラッグポンプにあっては、ロータの回転に
よる遠心力で、ロータの開口端側における応力が最も大
きくなり、かつロータの開口端側が径方向に最大に拡大
変形した場合でも、ロータの開口端側においては、その
外周面がフラットな曲面に形成されているので、応力集
中が生じる部分はなく、応力が均等に生じるので、応力
集中による金属疲労でロータが開口端側から破壊するの
を防止でき、信頼性が向上することは勿論のこと、その
破壊を避けるために低い回転数でロータを回転させる必
要はなく、ロータの回転数を高く設定することが可能と
なると共に、特にロータの他端側に有する第１のねじ溝
の部分で効率よく気体等の流体を排気することができる
ので、排気性能も向上する。
子ポンプやドラッグポンプにあっては、ロータの回転に
よる遠心力で、ロータの開口端側における応力が最も大
きくなり、かつロータの開口端側が径方向に最大に拡大
変形した場合でも、ロータの開口端側においては、その
外周面がフラットな曲面に形成されているので、応力集
中が生じる部分はなく、応力が均等に生じるので、応力
集中による金属疲労でロータが開口端側から破壊するの
を防止でき、信頼性が向上することは勿論のこと、その
破壊を避けるために低い回転数でロータを回転させる必
要はなく、ロータの回転数を高く設定することが可能と
なると共に、特にロータの他端側に有する第１のねじ溝
の部分で効率よく気体等の流体を排気することができる
ので、排気性能も向上する。
【００３２】特に、ハウジング１の内周面側に逆流防止
リングを設けた場合には、その逆流防止リングにより気
体等の流体がロータ２の一端（開口端）２ａ側から他端
２ｂ側に逆流するのを阻止できるので、より一層、排気
性能の向上が図れる。
リングを設けた場合には、その逆流防止リングにより気
体等の流体がロータ２の一端（開口端）２ａ側から他端
２ｂ側に逆流するのを阻止できるので、より一層、排気
性能の向上が図れる。
【００３３】
【考案の効果】この考案に係る排気ポンプにあっては、
上記の如く開口端側の外周面はフラットな曲面に形成さ
れかつ他端側の外周面には第１のねじ溝を有する一端開
口型のロータと、そのフラットな曲面の部分と対向する
位置には第２のねじ溝を有すると共に上記第１のねじ溝
と対向する位置はフラットな曲面に形成されたハウジン
グとを具備するように構成したため、ロータの回転によ
る遠心力で、ロータの開口端側における応力が最も大き
くなり、かつロータの開口端側が径方向に最大に拡大変
形した場合でも、ロータの開口端側には応力集中が生じ
る部分はなく、応力が均等に生じるので、応力集中によ
る金属疲労でロータが開口端側から破壊するのを防止で
きることは勿論のこと、その破壊を避けるために低い回
転数でロータを回転させる必要はなく、ロータの回転数
を高く設定することが可能となると共に、特にロータの
他端側に有する第１のねじ溝の部分で気体等の流体を効
率よく排気することができるので、信頼性及び排気性能
に優れた排気ポンプが得られる。
上記の如く開口端側の外周面はフラットな曲面に形成さ
れかつ他端側の外周面には第１のねじ溝を有する一端開
口型のロータと、そのフラットな曲面の部分と対向する
位置には第２のねじ溝を有すると共に上記第１のねじ溝
と対向する位置はフラットな曲面に形成されたハウジン
グとを具備するように構成したため、ロータの回転によ
る遠心力で、ロータの開口端側における応力が最も大き
くなり、かつロータの開口端側が径方向に最大に拡大変
形した場合でも、ロータの開口端側には応力集中が生じ
る部分はなく、応力が均等に生じるので、応力集中によ
る金属疲労でロータが開口端側から破壊するのを防止で
きることは勿論のこと、その破壊を避けるために低い回
転数でロータを回転させる必要はなく、ロータの回転数
を高く設定することが可能となると共に、特にロータの
他端側に有する第１のねじ溝の部分で気体等の流体を効
率よく排気することができるので、信頼性及び排気性能
に優れた排気ポンプが得られる。
【図１】この考案を複合型ターボ分子ポンプに適用した
一実施例を示す断面図。
一実施例を示す断面図。
【図２】この考案を複合型ターボ分子ポンプに適用した
他の実施例を示す断面図。
他の実施例を示す断面図。
【図３】この考案をドラッグポンプに適用した実施例を
示す断面図。
示す断面図。
【図４】従来の排気ポンプの断面図。
【図５】従来の排気ポンプの断面図。
【図６】従来の排気ポンプの断面図。
１ ハウジング ２ ロータ ３ 第１のねじ溝 ５ 第２のねじ溝 ７ 駆動手段
Claims (1)
- 【請求項１】 開口端側の外周面はフラットな曲面に形
成されかつ他端側の外周面には第１のねじ溝を有する一
端開口型の筒状ロータと、そのフラットな曲面の部分と
対向する位置には第２のねじ溝を有すると共に上記第１
のねじ溝と対向する位置はフラットな曲面に形成された
ハウジングと、上記ロータをその軸心回りに回転させる
駆動手段とを具備することを特徴とする排気ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1249493U JP2585265Y2 (ja) | 1993-03-19 | 1993-03-19 | 排気ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1249493U JP2585265Y2 (ja) | 1993-03-19 | 1993-03-19 | 排気ポンプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0673395U JPH0673395U (ja) | 1994-10-18 |
| JP2585265Y2 true JP2585265Y2 (ja) | 1998-11-18 |
Family
ID=11806941
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1249493U Expired - Fee Related JP2585265Y2 (ja) | 1993-03-19 | 1993-03-19 | 排気ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2585265Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102667169A (zh) * | 2009-12-11 | 2012-09-12 | 埃地沃兹日本有限公司 | 螺纹槽排气部的筒形固定部件以及使用该部件的真空泵 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20120141254A1 (en) * | 2009-08-28 | 2012-06-07 | Edwards Japan Limited | Vacuum pump and member used for vacuum pump |
-
1993
- 1993-03-19 JP JP1249493U patent/JP2585265Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102667169A (zh) * | 2009-12-11 | 2012-09-12 | 埃地沃兹日本有限公司 | 螺纹槽排气部的筒形固定部件以及使用该部件的真空泵 |
| CN102667169B (zh) * | 2009-12-11 | 2016-03-02 | 埃地沃兹日本有限公司 | 螺纹槽排气部的筒形固定部件以及使用该部件的真空泵 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0673395U (ja) | 1994-10-18 |
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