JP4136402B2 - ターボ分子ポンプ - Google Patents
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- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、ターボ分子ポンプに関する。
【0002】
【従来の技術】
ターボ分子ポンプでは、複数段の回転翼が形成されたロータと複数段の固定翼とがポンプケーシング内に設けられている。これらの回転翼および固定翼は交互に配設されており、ロータを高速回転することにより気体をポンプ吸気口からポンプ排気口側に排気することができる。各固定翼の軸方向間隔は、スペーサリングによって所定値に保たれている。
【0003】
従来のターボ分子ポンプでは、数万rpmで高速回転するロータが破壊した場合のことを考慮して、ポンプケーシングを頑丈に設計し、たとえロータが破壊してもポンプケーシング自体は破壊されないように構成されている。しかしながら、ポンプケーシングを頑丈にすると衝撃力がポンプケーシングで吸収されず、ポンプが取り付けられた装置に伝達されることになる。その結果、衝撃により装置がダメージを受けてしまうという問題があった。
【0004】
そのため、特開平11−62879号公報に開示されているターボ分子ポンプでは、装置への衝撃を低減するためにポンプケーシングを内外の2重構造としている。そして、ロータ破片の回転エネルギーを、内部ケーシングの変形、内部ケーシング固定部の破損および内部ケーシングの回転により吸収するようにしている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、特開平11−62879号公報に記載されているターボ分子ポンプでは、内部ケーシングがポンプベース部にボルト固定されており、ロータ破片の衝撃によって生じる内部ケーシングの回転力によりボルトが剪断破壊されるような構造となっている。そのため、ボルトが剪断破壊される際の衝撃が、ポンプベース部および外側のケーシングを介して装置に伝達されてしまうという欠点があった。
【0006】
本発明の目的は、ロータ破壊時の装置への衝撃伝達を低減することができるターボ分子ポンプを提供することにある。
【0008】
請求項1の発明は、回転翼を有するロータと、固定翼と、固定翼を位置決めするスペーサリングと、スペーサリングの径方向周囲を囲むとともに、一端側には真空装置接続用フランジを設けるとともに、他端側にはその内周面にリング状凸部を設けた外側ケーシングと、外側ケーシングを他端側で固定するベース部と、外側ケーシングおよびスペーサリングの各々との間に径方向にそれぞれと隙間を設けて配設され、外側ケーシングおよびベース部により回転軸方向に沿って挟持される筒状内側ケーシングと、ベース部と内側ケーシングとの間で回転軸方向に挟持されて弾性変形することにより内部ケーシングを弾性支持するとともに、リング状凸部により外周面が押圧されるリング状弾性部材とを備え、内側ケーシングと弾性部材、リング状凸部と弾性部材、およびベース部と弾性部材がそれぞれ接触する面においてポンプ内部を真空シールすることを特徴とする。
【0009】
【発明の実施の形態】
以下、図を参照して本発明の実施の形態を説明する。
−第1の実施の形態−
図1は本発明によるターボ分子ポンプの断面図であり、ターボ分子ポンプの要部を示したものである。図1に示すターボ分子ポンプは、ターボ分子ポンプ部TPとドラッグポンプ部DPとを備える複合型ターボ分子ポンプである。ベース1には軸受およびモータを有する軸受・モータ部2が設けられている。ロータ3は、軸受・モータ部2によって支持および回転駆動される。ロータ3を支持する軸受には、メカニカルベアリングや磁気軸受け等が用いられる。これらのモータや磁気軸受は、コネクタ14を介して不図示のコントローラと接続される。
【0010】
ロータ3には軸方向に沿って回転翼4が複数段形成され、回転翼4の図示下側にはドラッグポンプ回転部5が形成されている。上下に隣り合った2組の回転翼4の間には固定翼6がそれぞれ配設されている。これらの固定翼6は、上下方向に積層された複数のスペーサリング7によって位置決め及び固定されている。回転翼4および固定翼6にはタービン翼が形成されている。また、ベース1には、ドラッグポンプ回転部5を微小な隙間を隔てて囲む円筒状のドラッグポンプ固定部8が配設されている。ドラッグポンプ回転部5およびドラッグポンプ固定部8の対向面の少なくとも一方には、ねじ溝等が形成されている。上述したターボ分子ポンプ部TPは複数段の回転翼4と複数段の固定翼6とで構成され、ドラッグポンプ部DPはドラッグポンプ回転部5とドラッグポンプ固定部8とで構成されている。
【0011】
スペーサリング7の外側には、二重構造のケーシング9,10が設けられている。外側ケーシング9は従来の分子ポンプのケーシングや外筒に相当するものであり、真空シール装着溝11aを有するフランジ11を備えている。外側ケーシング9はボルト12によってベース1に固定されている。16は外側ケーシング9とベース1との接続部に設けられた真空シールであり、Oリング等が用いられる。ターボ分子ポンプを真空装置に装着する場合には、外側ケーシング9のフランジ11を装置側のフランジに固定する。また、スペーサリング7と外側ケーシング9との間には内側ケーシング10が設けられている。内側ケーシング10は、スペーサリング7および外側ケーシング9の各々と隙間を設けて配設されている。
【0012】
モータによりロータ3を高速回転して回転翼4およびドラッグポンプ回転部5を固定翼6およびドラッグポンプ固定部8に対して回転させると、それぞれ排気作用が生じる。その結果、真空装置側の気体が、矢印Rのように吸気口からベース1に設けられた排気ポート13側へと排気される。排気ポート13には補助ポンプである油回転ポンプやドライポンプ等(不図示)が接続される。
【0013】
図2はケーシング9,10の部分の拡大図である。積層されたスペーサリング7は、符号Dで示す部分において、下端が下側のスペーサリング7の上端に形成された溝7aに嵌合している。そのため、積層されたスペーサリング7は、上端および下端がそれぞれ上下に隣り合ったスペーサリング7の下端および上端と勘合して一体となり、径方向にずれることはない。スペーサリング7が積層されると隙間23が形成され、この隙間23内に固定翼6の外周端部が挟み込まれる。上述したように外側ケーシング9をボルト12を用いてベース1に固定すると、積層されたスペーサリング7が外側ケーシング9のフランジ11とベース1との間に挟まれる。積層されて一体となったスペーサリング7の径方向の位置決めは、ベース1の周面1aとフランジ11の内周面11aとの嵌合によって行われる。さらに、外側ケーシング9の径方向位置決めは、ベース1の周面1bと外側ケーシング9の内周面との嵌合によって行われる。
【0014】
内側ケーシング10とベース1との間にはOリング等の弾性部材20が設けられている。外側ケーシング9をベース1に固定すると、内側ケーシング10の上端面は外側ケーシング9のフランジ11に当接し、図示下方に付勢されて弾性部材20を圧縮する。すなわち、内側ケーシング10の下端は弾性支持されている。そのため、内側ケーシング10は弾性材20の弾性力によって回転軸線に沿ってフランジ11側に付勢されているので、がたつくことはない。
【0015】
スペーサリング7と内側ケーシング10との間、および、内側ケーシング10と外側ケーシング9との間には、それぞれ隙間21,22が形成されている。隙間21とポンプ内部空間とは、スペーサリング7の一つに形成された貫通穴7aを介して連通している。同様に、隙間21と隙間22とは、内側ケーシング10に形成された貫通穴10aを介して連通している。ターボ分子ポンプが作動するとポンプ内部は大気圧よりも低い真空状態となるが、ポンプ内部圧力は複数ある回転翼4および固定翼6の下段になるほど高くなる。そのため、貫通穴7a,10aを介してポンプ内空間と連通している隙間21,22の圧力は、穴付きスペーサリング7が設けられている部分の圧力とほぼ等しくなる。外側ケーシング9とベース1との接続部分には、隙間22に大気が侵入しないように真空シール16が設けられている。
【0016】
本実施の形態では、外側ケーシング9はポンプ内を真空に保つためのケーシングであり、従来のターボ分子ポンプのケーシングや外筒と同様の機能を有している。一方、内側ケーシング10は、高速回転中にロータ3が破壊したときの衝撃吸収のために設けられている。高速回転中にロータ3が破壊すると、回転翼4の部分のロータ破片は遠心力によりスペーサリング7を膨張させながら内側ケーシング10に衝突する。なお、ロータ破壊時の衝撃の大部分はロータ4のターボ分子ポンプ部TPがケーシング9,10に与えるものであり、本実施の形態では固定翼部分のケーシング構造に特徴がある。
【0017】
ロータ破片は径方向に関する運動エネルギーと回転方向に関する運動エネルギーを有しているので、内側ケーシング10には遠心力方向だけでなく回転方向にも衝撃が加わる。上述したように、内側ケーシング10の下部は弾性部材20により弾性的に支持されているので、破片衝突による回転方向の衝撃が加わると回転を始める。すなわち、内側ケーシング10は回転しながら径方向に塑性変形する。その結果、破片のエネルギーは内側ケーシング10の塑性変形と、内側ケーシング10の回転による摩擦力により吸収され、ターボ分子ポンプが装着されている装置への衝撃力を大幅に緩和することができる。
【0018】
隙間22のギャップ寸法G2は、塑性変形した内側ケーシング10が外側ケーシング9に接触しないように、衝撃力による内側ケーシング10の塑性変形量よりも大きく設定されている。一方、隙間21のギャップ寸法G1については、スペーサリング7の外側に内側ケーシング10を配設する際の組み付け易さを考慮して設定すれば良く、内側ケーシング10の内面加工については精度が要求されない。そのため、内側ケーシング10の内周面をスペーサリング7の外周面に密着させる構造に比べて、薄肉部材である内側ケーシング10の加工コストを低減することできる。
【0019】
[第1変形例]
図3は上述したターボ分子ポンプの第1変形例を示す図である。図3は内側ケーシング10の変形例であり、(a)は内側ケーシング100をフランジ11側から見た図であり、(b)は(a)のA−A断面図である。なお、その他の構成については上述したターボ分子ポンプと同様である。内側ケーシング100の場合には、上端部分を櫛歯状に切り欠いた凹凸形状としている。上端面には凹部100aと凸部100bとが交互に形成されており、平面状の端面の場合に比べてフランジ11との接触面積を低減することができる。そのため、内側ケーシング10が衝撃力により回転する際の摩擦力を小さくすることができ、フランジ11に伝わる回転方向の衝撃力をより低減することができる。
【0020】
また、摩擦係数の小さなフッ素樹脂を含んだ弾性体を弾性部材20に用いたり、内側ケーシング10,100の上端面にフッ素樹脂層を形成したりしても良く、それによって内側ケーシング10,100が回転する際の摩擦力が小さくなる。
【0021】
[第2変形例]
図4は上述したターボ分子ポンプの第2変形例を示す図である。図4は上述した図2に対応する図であり、第2変形例では外側ケーシング90とベース101との接続部の構造が異なるだけで、その他の構造は図1に示したターボ分子ポンプと同様である。上述した図1のターボ分子ポンプでは、真空シール16を面シールとした。しかし、図4に示す第2変形例では、真空シール16を軸シールとし、ベース101の周面101bに装着する構造とした。そのため、ベース外径を小さくすることができ、ポンプの小型軽量化を図ることができる。なお、外側ケーシング90の径方向の位置決めは、外側ケーシング90の内周面90aとベース101の周面101cとの嵌合によって行われる。
【0022】
[第3変形例]
図5は上述したターボ分子ポンプの第3変形例を示す図である。図5において、(a)は図4と同様の部分を示す図であり、(b)は(a)のB部拡大図である。第3変形例では、弾性部材20は内側ケーシング10の弾性支持機能とともに、外側ケーシング91とベース102との接続部の真空シール機能も兼ね備えている。弾性部材20には、例えば、Oリングシールが用いられる。
【0023】
外側ケーシング91の下端部内周面側にはシール面92aを有するリング状凸部92が形成されている。外側ケーシング91をベース102に固定すると弾性部材20が圧縮変形され、図5(b)に示すように、ベース面102dとの間にシール部S1が形成され、リング状凸部92のシール面92aとの間にシール部S2が形成され、内側ケーシング10の下端面10bとの間にシール部S3が形成される。その結果、シール部S1〜S3によってポンプ内とポンプ外とが遮断される。
【0024】
また、内側ケーシング10の径方向の位置決めは、内側ケーシング10の内周面10cとベース102の周面102cとの嵌合によって行われる。さらに、外側ケーシング91の径方向の位置決めは、外側リング状凸部92のシール面92aが内側ケーシング10の外周面10aと嵌合することにより行われる。このように、第3変形例における弾性部材20は、図4に示した弾性部材20の機能と真空シール16の機能とを兼ね備えている。その結果、部品点数および組立工数の低減を図ることができる。
【0025】
[第4変形例]
図6は上述したターボ分子ポンプの第4変形例を示す図である。図6において、(a)は外側ケーシング93とベース102との接続部分を示したものであり、(b)は(a)のC1部拡大図、(c)は(a)のC2部拡大図である。上述した第3変形例では、図5(b)に示すように外側ケーシング91の内周面92aと内側ケーシング10の外周面10aとの嵌合によって、外側ケーシング91の径方向位置決めを行っていた。
【0026】
一方、第4変形例では、図6(c)に示すように外側ケーシング93の下端外周部分に位置決め部94を形成し、位置決め部94の内周面94aとベース102の周面102fとの嵌合によって、外側ケーシング93の径方向位置決めを行う。そのため、外側ケーシング93のリング状凸部95は、その内周面95aが弾性部材20とだけ接触するような形状とされている。シール部S1〜S3によってポンプ内とポンプ外とが遮断される構造などのその他の構成は、第3変形例と同様である。
【0027】
上述した第4変形例では、外側ケーシング93の下端部分における内側ケーシング10との嵌合を省略しているため、外側ケーシング93に伝達される衝撃を第3変形例よりも低減することができる。
【0028】
上述したように、本実施の形態のターボ分子ポンプでは、図2に示すように内側ケーシング10を外側ケーシング9のフランジ11とベース1との間に挟持するとともに、内側ケーシング10とベース1との間に弾性部材20を配設した。すなわち、衝撃吸収用の内側ケーシング10は一端が弾性的に支持されているため、内側ケーシング10にロータ破片の衝撃が加わった際に、ベース1や外側ケーシング9に衝撃をほとんど与えること無く回転することができる。
【0029】
なお、上述した実施の形態では弾性部材20を内側ケーシング10とベース1との間に設けたが、内側ケーシング10とフランジ11との間に設けても良い。さらに、弾性部材20を内側ケーシング10の上下両端に設けても良い。また、上述した実施の形態では複合型のターボ分子ポンプを例に説明したが、本発明は全翼タイプのターボ分子ポンプにも同様に適用することができる。
【0030】
以上説明したように、本発明によれば、弾性部材を設けたことにより内側ケーシングは外側ケーシングとベース部との間に弾性的に支持され、内側ケーシングにロータ破片の衝撃が加わった際に、内側ケーシングは容易に回転をすることができる。その結果、ベース部や外側ケーシングを介して装置側に伝達される衝撃を大幅に低減することができる。
また、弾性部材が真空シール機能を兼ねているので、部品点数の増加を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明によるターボ分子ポンプの断面図である。
【図2】ケーシング9,10の部分の拡大図である。
【図3】ターボ分子ポンプの第1変形例を示す図であり、(a)は内側ケーシング100をフランジ11側から見た図であり、(b)は(a)のA−A断面図である。
【図4】ターボ分子ポンプの第2変形例を示す図である。
【図5】ターボ分子ポンプの第3変形例を示す図であり、(a)は図4と同様の部分を示す図であり、(b)は(a)のB部拡大図である。
【図6】ターボ分子ポンプの第4変形例を示す図であり、(a)は外側ケーシング93とベース102との接続部分を示したものであり、(b)は(a)のC1部拡大図、(c)は(a)のC2部拡大図である。
【符号の説明】
1,101,102 ベース
3 ロータ
4 回転翼
5 ドラッグポンプ回転部
6 固定翼
7 スペーサリング
8 ドラッグポンプ固定部
9,91,93 外側ケーシング
10,100,101,102 内側ケーシング
11 フランジ
20 弾性部材
Claims (1)
- 回転翼を有するロータと、
固定翼と、
前記固定翼を位置決めするスペーサリングと、
前記スペーサリングの径方向周囲を囲むとともに、一端側には真空装置接続用フランジを設けるとともに、他端側にはその内周面にリング状凸部を設けた外側ケーシングと、
前記外側ケーシングを前記他端側で固定するベース部と、
前記外側ケーシングおよび前記スペーサリングの各々との間に径方向にそれぞれと隙間を設けて配設され、前記外側ケーシングおよび前記ベース部により回転軸方向に沿って挟持される筒状内側ケーシングと、
前記ベース部と前記内側ケーシングとの間で前記回転軸方向に挟持されて弾性変形することにより前記内部ケーシングを弾性支持するとともに、前記リング状凸部により外周面が押圧されるリング状弾性部材とを備え、
前記内側ケーシングと前記弾性部材、前記リング状凸部と前記弾性部材、および前記ベース部と前記弾性部材がそれぞれ接触する面においてポンプ内部を真空シールすることを特徴とするターボ分子ポンプ。
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