JPH1037889A - ターボ分子ポンプ - Google Patents
ターボ分子ポンプInfo
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- JPH1037889A JPH1037889A JP8191990A JP19199096A JPH1037889A JP H1037889 A JPH1037889 A JP H1037889A JP 8191990 A JP8191990 A JP 8191990A JP 19199096 A JP19199096 A JP 19199096A JP H1037889 A JPH1037889 A JP H1037889A
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- bearing
- rotor shaft
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- thrust magnetic
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-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C2360/00—Engines or pumps
- F16C2360/44—Centrifugal pumps
- F16C2360/45—Turbo-molecular pumps
Landscapes
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Abstract
トに取付ける交換作業だけで下部保護軸受によるロータ
シャフトの保護機能を元の正常な状態に回復できるター
ボ分子ポンプを提供する点にある。 【解決手段】 ロータ室2内に静翼3を設け、動翼5を
取付けたロータ4のシャフト4aを回転磁気軸受7a、
7bとスラスト磁気軸受8と上下の保護軸受9、10と
を介してロータ室2内に回転可能に支持し、ロータシャ
フト4aを高速回転させるモータ11をポンプ内に設け
たターボ分子ポンプにおいて、ロータシャフト4aの下
端部にスラスト磁気ディスク6を着脱可能に且つスラス
ト磁気軸受8に係合可能に取付け、スラスト磁気ディス
ク6に下部保護軸受10を越える軸方向長さのボス部6
aを設けて、同ボス部6aを下部保護軸受10のスラス
ト荷重面10a、10cとラジアル荷重面10bとに係
合させている。
Description
に関するものである。
より説明すると、図2の1が上半部1aと下半部1bと
よりなるターボ分子ポンプのケーシング、1cがケーシ
ング上半部1aに設けた吸気口、1dがケーシング下半
部1bに設けた排気口、2がケーシング1内のロータ
室、3がケーシング上半部1aに固定した静翼、4がロ
ータ室2内に配設したロータ、5が同ロータ4に設けた
動翼、4aがロータ4のシャフト、6が同ロータシャフ
ト4aの下端部に設けたスラスト磁気ディスク、7a及
び7bがロータシャフト4aとケーシング下半部1bと
の対向面に設けた上下2組の回転磁気軸受、8がスラス
ト磁気ディスク6の上下面に対向して設けたスラスト磁
気軸受、9がロータシャフト4aの上端部に回転用上部
保護軸受として設けたボールベアリング、10がロータ
シャフト4aの下端ネック部に回転及びスラスト用下部
保護軸受(ボールベアリング)、11がケーシング下半
部1b内に設けたロータ回転駆動用モータである。
大して示す縦断側面図である。上記スラスト磁気ディス
ク6は、やや厚いボス部36aの周囲にディスク部36
bを形成し、ボス部36aをロータシャフト4aの下端
部にボルト36cにより固定している。回転及びスラス
ト用下部保護軸受10は、ロータシャフト4aの上向き
スラスト荷重面10aとラジアル荷重面10bとをロー
タシャフト4aの段部と周面とに対して間隔を置いて対
峙させ、下向きスラスト荷重面10cをボス部36aの
フランジ部に対して間隔を置いて対峙させている。
従来のターボ分子ポンプでは、ロータ回転駆動用モータ
11により、動翼5を有したロータ4及びロータシャフ
ト4aを高速回転させて、吸気口1cから流入するガス
を動翼5と静翼4との圧縮比により圧縮した後、排気口
1dへ導いて、吸気口1c側を真空状態まで減圧する。
気軸受7a及び7bとスラスト磁気軸受8とが正常に機
能して、ロータ4及びロータシャフト4aを非接触でス
ムースに回転させているが、運転中、例えば吸気側シス
テムの圧力が急に上昇するような異常事態が生じた場合
には、ポンプ内のガスの流力的挙動が急変して、ロータ
4に異常に大きな力及び振動が発生する。
間寸法よりも隙間寸法が小さい保護軸受9、10は、ラ
ジアル荷重面またはスラスト荷重面がロータシャフト部
4aに接触して、振動変位量を制限することにより、各
磁気軸受7a、7b、8とロータシャフト4aとの衝突
による損傷を防止するようにしている。しかし図3に示
す構成では、上記異常事態が発生したとき、下部保護軸
受10の上向きスラスト荷重面10aとラジアル荷重面
10bとがロータシャフト4aへ繰り返し衝突する。
変形が生じ、塑性変形が大きくなると、異常運転時に生
じる振動量が増大して、各磁気軸受7a、7b、8やモ
ータ11が損傷するという問題があった。本発明は前記
の問題点に鑑み提案するものであり、その目的とする処
は、新たなスラスト磁気ディスクをロータシャフトに取
付ける交換作業だけで下部保護軸受によるロータシャフ
トの保護機能を元の正常な状態に回復できるターボ分子
ポンプを提供しようとする点にある。
めに、本発明は、ロータ室内に静翼を設け、動翼を取付
けたロータのシャフトを回転磁気軸受とスラスト磁気軸
受と上下の保護軸受とを介してロータ室内に回転可能に
支持し、前記ロータシャフトを高速回転させるモータを
ポンプ内に設けたターボ分子ポンプにおいて、前記ロー
タシャフトの下端部にスラスト磁気ディスクを着脱可能
に且つ前記スラスト磁気軸受に係合可能に取付け、同ス
ラスト磁気ディスクに前記下部保護軸受を越える軸方向
長さのボス部を設けて、同ボス部を同下部保護軸受のス
ラスト荷重面とラジアル荷重面とに係合させている。
図1に示す一実施形態により説明すると、1bがケーシ
ング下半部、4aがロータシャフト、6がスラスト磁気
ディスク、6aがスラスト磁気ディスク6のボス部、6
bがスラスト磁気ディスク6のディスク部、6cがボル
ト、8が上下のスラスト磁気軸受、10が回転及びスラ
スト用下部保護軸受(ボールベアリング)、10aが下
部保護軸受10の上向きスラスト荷重面、10bが下部
保護軸受10のラジアル荷重面、10cが下部保護軸受
10の下向きスラスト荷重面である。
うにロータ室2内に静翼3が設けられ、動翼5を取付け
たロータ4のシャフト4aが回転磁気軸受7a、7bと
スラスト磁気軸受8と上下の保護軸受9、10とを介し
てロータ室2内に回転可能に支持され、ロータシャフト
4aを高速回転させるモータ11がポンプ内に設けら
れ、図1に示すようにロータシャフト4aの下端部にス
ラスト磁気ディスク6がボルト6cを介して着脱可能に
且つスラスト磁気軸受8に係合可能に取付けられ、スラ
スト磁気ディスク6に下部保護軸受10を越える軸方向
長さのボス部6aが設けられて、ボス部6aが下部保護
軸受10の上向きスラスト荷重面10a及び下向きスラ
スト荷重面10cとラジアル荷重面10bとに係合して
いる。
に説明する。ターボ分子ポンプの運転中、吸気側の圧力
が急に上昇するような異常が発生して、ロータ4及びロ
ータシャフト4aが振動するとき、ロータ4及びロータ
シャフト4aの下部保護軸受10がスラスト磁気ディス
ク6のボス部6aに衝突接触して、このボス部6aに圧
縮塑性変形が生じることになる。
変形が生じなくなり、ボス部6aに圧縮塑性変形の生じ
たスラスト磁気ディスク6をけをロータシャフト4aか
ら取り外して、新たなスラスト磁気ディスク6をロータ
シャフト4aに取付ける交換作業だけで下部保護軸受1
0によるロータシャフト4aの保護機能が元の正常な状
態に回復する。
を設け、動翼を取付けたロータのシャフトを回転磁気軸
受とスラスト磁気軸受と上下の保護軸受とを介してロー
タ室内に回転可能に支持し、ロータシャフトを高速回転
させるモータをポンプ内に設けたターボ分子ポンプにお
いて、ロータシャフトの下端部にスラスト磁気ディスク
を着脱可能に且つスラスト磁気軸受に係合可能に取付
け、スラスト磁気ディスクに下部保護軸受を越える軸方
向長さのボス部を設けて、ボス部を下部保護軸受のスラ
スト荷重面とラジアル荷重面とに係合させており、ター
ボ分子ポンプの運転中、吸気側の圧力が急に上昇するよ
うな異常が発生して、ロータ及びロータシャフトが振動
するとき、ロータ及びロータシャフトの下部保護軸受が
スラスト磁気ディスクのボス部に衝突接触して、このボ
ス部に圧縮塑性変形が生じる。このため、ロータシャフ
トには、塑性変形が生じなくなり、ボス部に圧縮塑性変
形の生じたスラスト磁気ディスクを塑性変形の生じない
ロータシャフトから取り外して、新たなスラスト磁気デ
ィスクをロータシャフトに取付ける交換作業だけで下部
保護軸受によるロータシャフトの保護機能を元の正常な
状態に回復できる。
縦断側面図である。
る。
分を拡大して示す縦断側面図である。
Claims (1)
- 【請求項1】 ロータ室内に静翼を設け、動翼を取付け
たロータのシャフトを回転磁気軸受とスラスト磁気軸受
と上下の保護軸受とを介してロータ室内に回転可能に支
持し、前記ロータシャフトを高速回転させるモータをポ
ンプ内に設けたターボ分子ポンプにおいて、前記ロータ
シャフトの下端部にスラスト磁気ディスクを着脱可能に
且つ前記スラスト磁気軸受に係合可能に取付け、同スラ
スト磁気ディスクに前記下部保護軸受を越える軸方向長
さのボス部を設けて、同ボス部を同下部保護軸受のスラ
スト荷重面とラジアル荷重面とに係合させたことを特徴
とするターボ分子ポンプ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19199096A JP3842848B2 (ja) | 1996-07-22 | 1996-07-22 | ターボ分子ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19199096A JP3842848B2 (ja) | 1996-07-22 | 1996-07-22 | ターボ分子ポンプ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH1037889A true JPH1037889A (ja) | 1998-02-13 |
JP3842848B2 JP3842848B2 (ja) | 2006-11-08 |
Family
ID=16283791
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP19199096A Expired - Fee Related JP3842848B2 (ja) | 1996-07-22 | 1996-07-22 | ターボ分子ポンプ |
Country Status (1)
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Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2010095218A1 (ja) * | 2009-02-18 | 2010-08-26 | 株式会社 島津製作所 | ターボ分子ポンプ |
CN106090009A (zh) * | 2015-04-29 | 2016-11-09 | 斯凯孚磁性机械技术公司 | 旋转机械 |
CN107959378A (zh) * | 2017-12-28 | 2018-04-24 | 南京磁谷科技有限公司 | 一种磁悬浮电机转子中分离式推力磁轴承结构 |
CN107994719A (zh) * | 2017-12-28 | 2018-05-04 | 南京磁谷科技有限公司 | 一种磁悬浮电机转子推力盘的防撞耐磨结构 |
CN110594294A (zh) * | 2019-08-28 | 2019-12-20 | 中国人民解放军海军工程大学 | 一种推力盘可拆卸的磁悬浮轴承系统 |
CN115898553A (zh) * | 2022-11-11 | 2023-04-04 | 东方电气集团东方汽轮机有限公司 | 一种拆装方便的磁悬浮透平结构 |
WO2024033309A1 (en) * | 2022-08-09 | 2024-02-15 | Leybold Gmbh | Vacuum pump with a magnetic bearing |
-
1996
- 1996-07-22 JP JP19199096A patent/JP3842848B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2010095218A1 (ja) * | 2009-02-18 | 2010-08-26 | 株式会社 島津製作所 | ターボ分子ポンプ |
CN106090009A (zh) * | 2015-04-29 | 2016-11-09 | 斯凯孚磁性机械技术公司 | 旋转机械 |
CN107959378A (zh) * | 2017-12-28 | 2018-04-24 | 南京磁谷科技有限公司 | 一种磁悬浮电机转子中分离式推力磁轴承结构 |
CN107994719A (zh) * | 2017-12-28 | 2018-05-04 | 南京磁谷科技有限公司 | 一种磁悬浮电机转子推力盘的防撞耐磨结构 |
CN107994719B (zh) * | 2017-12-28 | 2024-03-19 | 南京磁谷科技有限公司 | 一种磁悬浮电机转子推力盘的防撞耐磨结构 |
CN110594294A (zh) * | 2019-08-28 | 2019-12-20 | 中国人民解放军海军工程大学 | 一种推力盘可拆卸的磁悬浮轴承系统 |
WO2024033309A1 (en) * | 2022-08-09 | 2024-02-15 | Leybold Gmbh | Vacuum pump with a magnetic bearing |
CN115898553A (zh) * | 2022-11-11 | 2023-04-04 | 东方电气集团东方汽轮机有限公司 | 一种拆装方便的磁悬浮透平结构 |
CN115898553B (zh) * | 2022-11-11 | 2024-06-04 | 东方电气集团东方汽轮机有限公司 | 一种拆装方便的磁悬浮透平结构 |
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JP3842848B2 (ja) | 2006-11-08 |
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