JP2601803Y2 - ターボ分子ポンプ - Google Patents
ターボ分子ポンプInfo
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- JP2601803Y2 JP2601803Y2 JP1993060488U JP6048893U JP2601803Y2 JP 2601803 Y2 JP2601803 Y2 JP 2601803Y2 JP 1993060488 U JP1993060488 U JP 1993060488U JP 6048893 U JP6048893 U JP 6048893U JP 2601803 Y2 JP2601803 Y2 JP 2601803Y2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この考案は、ラジアル磁気軸受部
やアキシャル磁気軸受部のロータ支持機能が失われた非
常時に、ロータに生じる径方向の振れを可及的に減少さ
せ、その振れによる弊害、例えばこのような非常時にロ
ータを支持しかつ保護する保護ベアリングの摩耗等を防
止したターボ分子ポンプに関する。
やアキシャル磁気軸受部のロータ支持機能が失われた非
常時に、ロータに生じる径方向の振れを可及的に減少さ
せ、その振れによる弊害、例えばこのような非常時にロ
ータを支持しかつ保護する保護ベアリングの摩耗等を防
止したターボ分子ポンプに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種のターボ分子ポンプは図５
に示す如くケーシング１の内部に回転可能に配設された
筒状のロータ２を有し、ロータ２の外周面とケーシング
１の内壁面との間にはロータ２の軸線に沿ってステータ
翼３とロータ翼４とが交互に設けられており、ステータ
翼３はスペーサ５を介してケーシング１の内壁面に取り
付けられ、ロータ翼４はロータ２の外周面に配設されて
いる。
に示す如くケーシング１の内部に回転可能に配設された
筒状のロータ２を有し、ロータ２の外周面とケーシング
１の内壁面との間にはロータ２の軸線に沿ってステータ
翼３とロータ翼４とが交互に設けられており、ステータ
翼３はスペーサ５を介してケーシング１の内壁面に取り
付けられ、ロータ翼４はロータ２の外周面に配設されて
いる。
【０００３】上記ロータ２の内側にはロータシャフト６
が設けられていると共に、ロータシャフト６はロータ２
と同軸状に配設された状態で先端がロータ２に一体に取
り付けられており、このロータシャフト６とロータ２と
の間にはステータコラム７が配設されている。
が設けられていると共に、ロータシャフト６はロータ２
と同軸状に配設された状態で先端がロータ２に一体に取
り付けられており、このロータシャフト６とロータ２と
の間にはステータコラム７が配設されている。
【０００４】上記ステータコラム７とロータシャフト６
との間でロータシャフト６の先端外周面側にはラジアル
磁気軸受部８が配設されており、ラジアル磁気軸受部８
は径方向センサ８ａ及び径方向電磁石８ｂから形成され
ていると共に、径方向センサ８ａはロータシャフト６の
径方向変位量を検出し、径方向電磁石８ｂは径方向変位
センサ８ａでの検出結果に基づき励磁され、その励磁に
よる磁力でロータシャフト６を介し座標軸Ｘ及びこれと
交わる座標軸Ｙに沿ってロータ２を径方向に支持するよ
うに構成されている。
との間でロータシャフト６の先端外周面側にはラジアル
磁気軸受部８が配設されており、ラジアル磁気軸受部８
は径方向センサ８ａ及び径方向電磁石８ｂから形成され
ていると共に、径方向センサ８ａはロータシャフト６の
径方向変位量を検出し、径方向電磁石８ｂは径方向変位
センサ８ａでの検出結果に基づき励磁され、その励磁に
よる磁力でロータシャフト６を介し座標軸Ｘ及びこれと
交わる座標軸Ｙに沿ってロータ２を径方向に支持するよ
うに構成されている。
【０００５】上記ステータコラム７とロータシャフト６
との間でロータシャフト６の後端外周面側にはアキシャ
ル磁気軸受部９が設けられており、アキシャル磁気軸受
部９はスラストディスク９ａ、軸線方向センサ９ｂ、軸
線方向電磁石９ｃから形成されていると共に、スラスト
ディスク９ａはロータシャフト６の外周面に一体に取り
付けられており、軸線方向センサ９ｂはロータシャフト
６の軸線方向変位量を検出し、軸線方向電磁石９ｃはス
ラストディスク９ａの表面側に位置し、かつ軸線方向セ
ンサ９ｂでの検出結果に基づき励磁され、その励磁によ
る磁力でスラストディスク９ａ及びロータシャフト６を
介してロータ２を軸線方向（座標軸Ｚ方向）に支持する
ように構成されている。
との間でロータシャフト６の後端外周面側にはアキシャ
ル磁気軸受部９が設けられており、アキシャル磁気軸受
部９はスラストディスク９ａ、軸線方向センサ９ｂ、軸
線方向電磁石９ｃから形成されていると共に、スラスト
ディスク９ａはロータシャフト６の外周面に一体に取り
付けられており、軸線方向センサ９ｂはロータシャフト
６の軸線方向変位量を検出し、軸線方向電磁石９ｃはス
ラストディスク９ａの表面側に位置し、かつ軸線方向セ
ンサ９ｂでの検出結果に基づき励磁され、その励磁によ
る磁力でスラストディスク９ａ及びロータシャフト６を
介してロータ２を軸線方向（座標軸Ｚ方向）に支持する
ように構成されている。
【０００６】上記ロータ２の後端側にはアキシャル磁気
軸受部９の近傍に第１の振れ防止手段１０が設けられて
いると共に、第１の振れ防止手段１０はロータ２及びロ
ータシャフト６が径方向に振れるのを防止するもので、
かつ互いに反発し合う２組の永久磁石１０ａ，１０ｂか
ら形成されており、一方の永久磁石１０ａは上記スラス
トディスク９ａの裏面側に埋設され、他方の永久磁石１
０ｂはその一方の永久磁石１０ａと対向するように配設
されている。
軸受部９の近傍に第１の振れ防止手段１０が設けられて
いると共に、第１の振れ防止手段１０はロータ２及びロ
ータシャフト６が径方向に振れるのを防止するもので、
かつ互いに反発し合う２組の永久磁石１０ａ，１０ｂか
ら形成されており、一方の永久磁石１０ａは上記スラス
トディスク９ａの裏面側に埋設され、他方の永久磁石１
０ｂはその一方の永久磁石１０ａと対向するように配設
されている。
【０００７】上記ラジアル磁気軸受部８とアキシャル磁
気軸受部９との間にはモータ１１が配設されており、モ
ータ１１はロータシャフト６と一体にロータ２をその軸
心回りに回転させるように構成されている。
気軸受部９との間にはモータ１１が配設されており、モ
ータ１１はロータシャフト６と一体にロータ２をその軸
心回りに回転させるように構成されている。
【０００８】このようなターボ分子ポンプは、ロータ２
が高速で回転すると、ステータ翼３とロータ翼４との間
に分子流が誘発され、吸気口１ａから排気口１ｂに分子
を排気するという運転が行われ、また、その運転中の停
電あるいは故障等により、ラジアル磁気軸受部８又はア
キシャル磁気軸受部９におけるロータ２を径方向又は軸
線方向に支持する制御が不能となり、ラジアル磁気軸受
部８又はアキシャル磁気軸受部９のロータ支持機能が失
われると、ロータシャフト６の一部が保護ベアリング１
２に接し、かつこの保護ベアリング１２によりロータ２
を支持しかつ保護するように構成されている。
が高速で回転すると、ステータ翼３とロータ翼４との間
に分子流が誘発され、吸気口１ａから排気口１ｂに分子
を排気するという運転が行われ、また、その運転中の停
電あるいは故障等により、ラジアル磁気軸受部８又はア
キシャル磁気軸受部９におけるロータ２を径方向又は軸
線方向に支持する制御が不能となり、ラジアル磁気軸受
部８又はアキシャル磁気軸受部９のロータ支持機能が失
われると、ロータシャフト６の一部が保護ベアリング１
２に接し、かつこの保護ベアリング１２によりロータ２
を支持しかつ保護するように構成されている。
【０００９】
【考案が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような従来のターボ分子ポンプにあっては、ロータ２の
後端側に振れ防止手段１０を具備するのみであるため、
ラジアル磁気軸受部８又はアキシャル磁気軸受部９のロ
ータ支持機能が失われた非常時においては、ロータ２の
後端側はともかくとして、その先端側については何等径
方向の振れが防止されず、そのまま径方向に大きく振れ
るので、ロータ２に生じる径方向の振れが大きいという
不具合があるだけでなく、ロータ２と一体のロータシャ
フト６も径方向に大きく振れ、これによりロータシャフ
ト６の一部が保護ベアリング１２に勢いよく接するの
で、保護ベアリング１２の摩耗等が生じ易く、保護ベア
リング１２の寿命が短いという問題点もある。
ような従来のターボ分子ポンプにあっては、ロータ２の
後端側に振れ防止手段１０を具備するのみであるため、
ラジアル磁気軸受部８又はアキシャル磁気軸受部９のロ
ータ支持機能が失われた非常時においては、ロータ２の
後端側はともかくとして、その先端側については何等径
方向の振れが防止されず、そのまま径方向に大きく振れ
るので、ロータ２に生じる径方向の振れが大きいという
不具合があるだけでなく、ロータ２と一体のロータシャ
フト６も径方向に大きく振れ、これによりロータシャフ
ト６の一部が保護ベアリング１２に勢いよく接するの
で、保護ベアリング１２の摩耗等が生じ易く、保護ベア
リング１２の寿命が短いという問題点もある。
【００１０】この考案は上述の事情に鑑みてなされたも
ので、その目的とするところは、ラジアル磁気軸受部や
アキシャル磁気軸受部のロータ支持機能が失われた非常
時に、ロータに生じる径方向の振れを可及的に減少さ
せ、その振れによる弊害、例えばこのような非常時にロ
ータを支持しかつ保護する保護ベアリングの摩耗等を防
止することにある。
ので、その目的とするところは、ラジアル磁気軸受部や
アキシャル磁気軸受部のロータ支持機能が失われた非常
時に、ロータに生じる径方向の振れを可及的に減少さ
せ、その振れによる弊害、例えばこのような非常時にロ
ータを支持しかつ保護する保護ベアリングの摩耗等を防
止することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この考案は、ケーシングの内部に回転可能に配設さ
れたロータと、このロータの軸線に沿って交互に設けら
れると共に上記ケーシングの内壁面に固定されたステー
タ翼及び上記ロータの外周面に配設されたロータ翼と、
上記ロータを径方向に支持するラジアル磁気軸受部と、
上記ロータを軸線方向に支持するアキシャル磁気軸受部
と、上記ロータを軸心回りに回転させるモータと、上記
ロータの後端側に設けらた後端側保護ベアリングと、上
記ロータの後端側に設けられかつロータの径方向の振れ
を防止する第１の振れ防止手段と、上記ロータの先端側
に設けらた先端側保護ベアリングとを具備するターボ分
子ポンプにおいて、上記先端側保護ベアリングと同心
に、かつ、先端側保護ベアリングとロータの軸線方向に
関してほぼ同位置に配設され、ロータの径方向の振れを
防止する第２の振れ防止手段をロータ・ステータ間に設
けたことを特徴とする。
に、この考案は、ケーシングの内部に回転可能に配設さ
れたロータと、このロータの軸線に沿って交互に設けら
れると共に上記ケーシングの内壁面に固定されたステー
タ翼及び上記ロータの外周面に配設されたロータ翼と、
上記ロータを径方向に支持するラジアル磁気軸受部と、
上記ロータを軸線方向に支持するアキシャル磁気軸受部
と、上記ロータを軸心回りに回転させるモータと、上記
ロータの後端側に設けらた後端側保護ベアリングと、上
記ロータの後端側に設けられかつロータの径方向の振れ
を防止する第１の振れ防止手段と、上記ロータの先端側
に設けらた先端側保護ベアリングとを具備するターボ分
子ポンプにおいて、上記先端側保護ベアリングと同心
に、かつ、先端側保護ベアリングとロータの軸線方向に
関してほぼ同位置に配設され、ロータの径方向の振れを
防止する第２の振れ防止手段をロータ・ステータ間に設
けたことを特徴とする。
【００１２】
【作用】この考案によれば、ラジアル磁気軸受部又はア
キシャル磁気軸受部のロータ支持機能が失われた非常時
でも、ロータの先端側については第２の振れ防止手段
が、またロータの後端側については従来通り第１の振れ
防止手段がロータに生じる径方向の振れを防止する。
キシャル磁気軸受部のロータ支持機能が失われた非常時
でも、ロータの先端側については第２の振れ防止手段
が、またロータの後端側については従来通り第１の振れ
防止手段がロータに生じる径方向の振れを防止する。
【００１３】
【実施例】以下、この考案に係るターボ分子ポンプの実
施例について図１ないし図４を用いて詳細に説明する。
施例について図１ないし図４を用いて詳細に説明する。
【００１４】なお、図１に示すターボ分子ポンプの基本
的な構成、即ちケーシング１の内部には回転可能に配設
されたロータ２を有すること、ロータ２とケーシング１
との間にはロータ２の軸線に沿ってステータ翼３とロー
タ翼４とが交互に設けられており、ステータ翼３はケー
シング１の内壁面に固定され、またロータ翼４はロータ
２の外周面に配設されていること、ラジアル磁気軸受部
８や図示しないアキシャル磁気軸受部並びにモータを具
備し、ラジアル磁気軸受部８はロータ２を径方向に、ま
たアキシャル磁気軸受部はロータ２を軸線方向に支持
し、モータはロータ２を軸心回りに回転させるように構
成されていること、及び、ロータ２の後端側には図示し
ない第１の振れ防止手段が設けられており、第１の振れ
防止手段はロータ２の径方向の振れを防止するように構
成されていること等は、従来と同一であるため、同一部
材には同一符号を付し、その詳細説明は省略する。
的な構成、即ちケーシング１の内部には回転可能に配設
されたロータ２を有すること、ロータ２とケーシング１
との間にはロータ２の軸線に沿ってステータ翼３とロー
タ翼４とが交互に設けられており、ステータ翼３はケー
シング１の内壁面に固定され、またロータ翼４はロータ
２の外周面に配設されていること、ラジアル磁気軸受部
８や図示しないアキシャル磁気軸受部並びにモータを具
備し、ラジアル磁気軸受部８はロータ２を径方向に、ま
たアキシャル磁気軸受部はロータ２を軸線方向に支持
し、モータはロータ２を軸心回りに回転させるように構
成されていること、及び、ロータ２の後端側には図示し
ない第１の振れ防止手段が設けられており、第１の振れ
防止手段はロータ２の径方向の振れを防止するように構
成されていること等は、従来と同一であるため、同一部
材には同一符号を付し、その詳細説明は省略する。
【００１５】同図に示すターボ分子ポンプは、ロータ２
の先端側の先端側保護ベアリング１２と同心に、ロータ
２の軸線方向に関して、ほぼ同位置に配設された第２の
振れ防止手段１３を有すると共に、この第２の振れ防止
手段１３はステータコラム７の先端面とロータ２の内側
底面との間に位置し、かつ図２に示すように２組の永久
磁石１３ａ，１３ｂから形成されており、一方の永久磁
石１３ａはステータコラム７の先端面に一体に、また他
方の永久磁石１３ｂはロータシャフト６のフランジ部６
ａを介してロータ２の内側底面に一体に固定されてい
る。
の先端側の先端側保護ベアリング１２と同心に、ロータ
２の軸線方向に関して、ほぼ同位置に配設された第２の
振れ防止手段１３を有すると共に、この第２の振れ防止
手段１３はステータコラム７の先端面とロータ２の内側
底面との間に位置し、かつ図２に示すように２組の永久
磁石１３ａ，１３ｂから形成されており、一方の永久磁
石１３ａはステータコラム７の先端面に一体に、また他
方の永久磁石１３ｂはロータシャフト６のフランジ部６
ａを介してロータ２の内側底面に一体に固定されてい
る。
【００１６】上記２組の永久磁石１３ａ，１３ｂは異極
どうしが互いに向かい合うように設けられており、かつ
ロータシャフト６の外周面に沿って内外一対のリング状
に配設されている。
どうしが互いに向かい合うように設けられており、かつ
ロータシャフト６の外周面に沿って内外一対のリング状
に配設されている。
【００１７】つまり、この第２の振れ防止手段１３は２
組の永久磁石１３ａ，１３ｂにおける互いの吸引力によ
りロータ２を径方向に拘束し、かつロータ２に生じる径
方向の振れを防止するように構成されている。
組の永久磁石１３ａ，１３ｂにおける互いの吸引力によ
りロータ２を径方向に拘束し、かつロータ２に生じる径
方向の振れを防止するように構成されている。
【００１８】次に、上記の如く構成されたターボ分子ポ
ンプの動作について図１及び図２を基に図５を参照しな
がら説明する。
ンプの動作について図１及び図２を基に図５を参照しな
がら説明する。
【００１９】このターボ分子ポンプによれば、図１及び
図２に示すようにロータ２が高速で回転すると、ステー
タ翼３とロータ翼４との間に分子流が誘発され、吸気口
１ａから排気口１ｂ（図４参照）側に分子を排気すると
いう運転が行われる。
図２に示すようにロータ２が高速で回転すると、ステー
タ翼３とロータ翼４との間に分子流が誘発され、吸気口
１ａから排気口１ｂ（図４参照）側に分子を排気すると
いう運転が行われる。
【００２０】このような運転の途中で、停電あるいは故
障等により、ラジアル磁気軸受部８又はアキシャル磁気
軸受部９（図５参照）におけるロータ２を径方向又は軸
線方向に支持する制御が不能となり、ラジアル磁気軸受
部８又はアキシャル磁気軸受部９のロータ支持機能が失
われたときでも、ロータ２の先端側については第２の振
れ防止手段１３が、またロータ２の後端側については従
来通り第１の振れ防止手段１０（図５参照）がそれぞれ
ロータ２を径方向に拘束し、ロータ２に生じる径方向の
振れを防止する。
障等により、ラジアル磁気軸受部８又はアキシャル磁気
軸受部９（図５参照）におけるロータ２を径方向又は軸
線方向に支持する制御が不能となり、ラジアル磁気軸受
部８又はアキシャル磁気軸受部９のロータ支持機能が失
われたときでも、ロータ２の先端側については第２の振
れ防止手段１３が、またロータ２の後端側については従
来通り第１の振れ防止手段１０（図５参照）がそれぞれ
ロータ２を径方向に拘束し、ロータ２に生じる径方向の
振れを防止する。
【００２１】このため、ロータ２の後端側のみならず先
端側も径方向に大きく振れることはなく、ロータ２に生
じる径方向の振れが可及的に減少すると共に、ロータ２
と一体のロータシャフト６が径方向に大きく振れること
もなく、ロータシャフト６の一部が先端側および後端側
保護ベアリング１２に勢いよく接するという不具合が解
消され、保護ベアリング１２の摩耗等を防止することが
でき、保護ベアリング１２の長寿命化が図られる。
端側も径方向に大きく振れることはなく、ロータ２に生
じる径方向の振れが可及的に減少すると共に、ロータ２
と一体のロータシャフト６が径方向に大きく振れること
もなく、ロータシャフト６の一部が先端側および後端側
保護ベアリング１２に勢いよく接するという不具合が解
消され、保護ベアリング１２の摩耗等を防止することが
でき、保護ベアリング１２の長寿命化が図られる。
【００２２】図３はこの考案に係るターボ分子ポンプの
他の実施例を示すもので、同図に示すターボ分子ポンプ
の基本的な構成は上記実施例と同様なため、同一部材に
は同一符号を付し、その詳細説明は省略する。
他の実施例を示すもので、同図に示すターボ分子ポンプ
の基本的な構成は上記実施例と同様なため、同一部材に
は同一符号を付し、その詳細説明は省略する。
【００２３】このターボ分子ポンプはロータ２の先端側
に第２の振れ防止手段１３を有すると共に、第２の振れ
防止手段１３はステータコラム７の外周面とロータ２の
内周面との間に位置しかつ図４に示す如く２組の永久磁
石１３ａ，１３ｂから形成されており、一方の永久磁石
１３ａはステータコラム７の外周面に一体に、また他方
の永久磁石１３ｂはロータ２の内周面に一体に固定され
ている。
に第２の振れ防止手段１３を有すると共に、第２の振れ
防止手段１３はステータコラム７の外周面とロータ２の
内周面との間に位置しかつ図４に示す如く２組の永久磁
石１３ａ，１３ｂから形成されており、一方の永久磁石
１３ａはステータコラム７の外周面に一体に、また他方
の永久磁石１３ｂはロータ２の内周面に一体に固定され
ている。
【００２４】上記２組の永久磁石１３ａ，１３ｂは同極
どうしが互いに向かい合うように設けられており、かつ
ロータシャフト６の外周面に沿って内外一対のリング状
に配設されている。
どうしが互いに向かい合うように設けられており、かつ
ロータシャフト６の外周面に沿って内外一対のリング状
に配設されている。
【００２５】つまり、この実施例における第２の振れ防
止手段１３は２組の永久磁石１３ａ，１３ｂにおける互
いの反発力によりロータ２を径方向に拘束し、かつロー
タ２に生じる径方向の振れを防止するように構成されて
いる。
止手段１３は２組の永久磁石１３ａ，１３ｂにおける互
いの反発力によりロータ２を径方向に拘束し、かつロー
タ２に生じる径方向の振れを防止するように構成されて
いる。
【００２６】なお、このターボ分子ポンプにあっても、
その運転の途中で、停電あるいは故障等により、ラジア
ル磁気軸受部８又はアキシャル磁気軸受部９（図５参
照）のロータ支持機能が失われたときでも、ロータ２の
先端側については第２の振れ防止手段１３が、またロー
タ２の後端側については従来通り第１の振れ防止手段１
０（図５参照）がそれぞれロータ２を径方向に拘束し、
ロータ２に生じる径方向の振れを防止する。
その運転の途中で、停電あるいは故障等により、ラジア
ル磁気軸受部８又はアキシャル磁気軸受部９（図５参
照）のロータ支持機能が失われたときでも、ロータ２の
先端側については第２の振れ防止手段１３が、またロー
タ２の後端側については従来通り第１の振れ防止手段１
０（図５参照）がそれぞれロータ２を径方向に拘束し、
ロータ２に生じる径方向の振れを防止する。
【００２７】したがって、上記実施例のターボ分子ポン
プによれば、ラジアル磁気軸受部又はアキシャル磁気軸
受部のロータ支持機能が失われた非常時でも、ロータの
先端側については第２の振れ防止手段が、またロータの
後端側については従来通り第１の振れ防止手段がそれぞ
れロータに生じる径方向の振れを防止するので、ロータ
の後端側のみならず先端側も径方向に大きく振れること
はなく、ロータに生じる径方向の振れが可及的に減少す
ることは勿論のこと、ロータと一体のロータシャフトが
径方向に大きく振れることもなく、ロータシャフトの一
部が保護ベアリングに勢いよく接するという不具合が解
消され、保護ベアリングの摩耗等を防止することがで
き、保護ベアリングの長寿命化が図られる。
プによれば、ラジアル磁気軸受部又はアキシャル磁気軸
受部のロータ支持機能が失われた非常時でも、ロータの
先端側については第２の振れ防止手段が、またロータの
後端側については従来通り第１の振れ防止手段がそれぞ
れロータに生じる径方向の振れを防止するので、ロータ
の後端側のみならず先端側も径方向に大きく振れること
はなく、ロータに生じる径方向の振れが可及的に減少す
ることは勿論のこと、ロータと一体のロータシャフトが
径方向に大きく振れることもなく、ロータシャフトの一
部が保護ベアリングに勢いよく接するという不具合が解
消され、保護ベアリングの摩耗等を防止することがで
き、保護ベアリングの長寿命化が図られる。
【００２８】
【考案の効果】この考案に係るターボ分子ポンプにあっ
ては、上記の如くロータの先端側保護ベアリングと同心
に、かつ、先端側保護ベアリングとロータの軸線方向に
関してほぼ同位置に配設され、ロータの径方向の振れを
防止する第２の振れ防止手段をロータ・ステータ間に設
けるように構成したため、ラジアル磁気軸受部又はアキ
シャル磁気軸受部のロータ支持機能が失われた非常時で
も、ロータの先端側については第２の振れ防止手段が、
またロータの後端側については従来通り第１の振れ防止
手段がそれぞれロータに生じる径方向の振れを防止する
ので、ロータの後端側のみならず先端側も径方向に大き
く振れることはなく、ロータに生じる径方向の振れが可
及的に減少することは勿論のこと、その振れによる弊
害、例えば、このような非常時にロータを支持しかつ保
護する保護ベアリングの磨耗等を防止することができ
る。しかも、第２の振れ防止手段が先端側保護ベアリン
グとロータ軸線方向に関してほぼ同位置にあるため、タ
ーボ分子ポンプが振れ防止手段設置のために長くなるこ
ともなく、簡単な構造となり、保護ベアリングと（軸線
方向の）ほぼ同位置で振れ止め作用が働き、保護ベアリ
ングが支持した場合のロータの振動特性が変化すること
もなく、安定してロータ保持を継続することができる。
ては、上記の如くロータの先端側保護ベアリングと同心
に、かつ、先端側保護ベアリングとロータの軸線方向に
関してほぼ同位置に配設され、ロータの径方向の振れを
防止する第２の振れ防止手段をロータ・ステータ間に設
けるように構成したため、ラジアル磁気軸受部又はアキ
シャル磁気軸受部のロータ支持機能が失われた非常時で
も、ロータの先端側については第２の振れ防止手段が、
またロータの後端側については従来通り第１の振れ防止
手段がそれぞれロータに生じる径方向の振れを防止する
ので、ロータの後端側のみならず先端側も径方向に大き
く振れることはなく、ロータに生じる径方向の振れが可
及的に減少することは勿論のこと、その振れによる弊
害、例えば、このような非常時にロータを支持しかつ保
護する保護ベアリングの磨耗等を防止することができ
る。しかも、第２の振れ防止手段が先端側保護ベアリン
グとロータ軸線方向に関してほぼ同位置にあるため、タ
ーボ分子ポンプが振れ防止手段設置のために長くなるこ
ともなく、簡単な構造となり、保護ベアリングと（軸線
方向の）ほぼ同位置で振れ止め作用が働き、保護ベアリ
ングが支持した場合のロータの振動特性が変化すること
もなく、安定してロータ保持を継続することができる。
【図１】この考案に係るターボ分子ポンプの一実施例を
示す断面図。
示す断面図。
【図２】図１に示すＡ部周辺の拡大図。
【図３】この考案に係るターボ分子ポンプの他の実施例
を示す断面図。
を示す断面図。
【図４】図３に示すＢ部周辺の拡大図。
【図５】従来のターボ分子ポンプの断面図。
２ ロータ ３ ステータ翼 ４ ロータ翼 ８ ラジアル磁気軸受部 ９ アキシャル磁気軸受部 １０ 第１の振れ防止手段 １１ モータ １３ 第２の振れ防止手段
Claims (1)
- 【請求項１】 ケーシングの内部に回転可能に配設され
たロータと、このロータの軸線に沿って交互に設けられ
ると共に上記ケーシングの内壁面に固定されたステータ
翼及び上記ロータの外周面に配設されたロータ翼と、上
記ロータを径方向に支持するラジアル磁気軸受部と、上
記ロータを軸線方向に支持するアキシャル磁気軸受部
と、上記ロータを軸心回りに回転させるモータと、上記
ロータの後端側に設けらた後端側保護ベアリングと、上
記ロータの後端側に設けられかつロータの径方向の振れ
を防止する第１の振れ防止手段と、上記ロータの先端側
に設けらた先端側保護ベアリングとを具備するターボ分
子ポンプにおいて、上記先端側保護ベアリングと同心に、かつ、先端側保護
ベアリングとロータの軸線方向に関してほぼ同位置に配
設され、 ロータの径方向の振れを防止する第２の振れ防
止手段をロータ・ステータ間に設けたことを特徴とする
ターボ分子ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1993060488U JP2601803Y2 (ja) | 1993-11-10 | 1993-11-10 | ターボ分子ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1993060488U JP2601803Y2 (ja) | 1993-11-10 | 1993-11-10 | ターボ分子ポンプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0730399U JPH0730399U (ja) | 1995-06-06 |
| JP2601803Y2 true JP2601803Y2 (ja) | 1999-12-06 |
Family
ID=13143722
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1993060488U Expired - Fee Related JP2601803Y2 (ja) | 1993-11-10 | 1993-11-10 | ターボ分子ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2601803Y2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20190366453A1 (en) * | 2017-01-16 | 2019-12-05 | Seco Tools Ab | Rotary cutting tool |
| US20200156162A1 (en) * | 2018-11-15 | 2020-05-21 | Kennametal Inc. | Orbital drill with left-handed and right-handed flutes |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP7463332B2 (ja) * | 2021-11-16 | 2024-04-08 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ、真空ポンプの軸受保護構造、及び真空ポンプの回転体 |
-
1993
- 1993-11-10 JP JP1993060488U patent/JP2601803Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20190366453A1 (en) * | 2017-01-16 | 2019-12-05 | Seco Tools Ab | Rotary cutting tool |
| US20200156162A1 (en) * | 2018-11-15 | 2020-05-21 | Kennametal Inc. | Orbital drill with left-handed and right-handed flutes |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0730399U (ja) | 1995-06-06 |
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Legal Events
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