JPH02163497A - ターボ分子ポンプ - Google Patents
ターボ分子ポンプInfo
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- JPH02163497A JPH02163497A JP63317538A JP31753888A JPH02163497A JP H02163497 A JPH02163497 A JP H02163497A JP 63317538 A JP63317538 A JP 63317538A JP 31753888 A JP31753888 A JP 31753888A JP H02163497 A JPH02163497 A JP H02163497A
- Authority
- JP
- Japan
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- rotor
- electromagnet
- permanent magnet
- axial
- permanent magnets
- Prior art date
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- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 15
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 6
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005339 levitation Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/04—Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
- F16C32/0406—Magnetic bearings
- F16C32/0408—Passive magnetic bearings
- F16C32/0423—Passive magnetic bearings with permanent magnets on both parts repelling each other
- F16C32/0429—Passive magnetic bearings with permanent magnets on both parts repelling each other for both radial and axial load, e.g. conical magnets
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/04—Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
- F16C32/0406—Magnetic bearings
- F16C32/0408—Passive magnetic bearings
- F16C32/0423—Passive magnetic bearings with permanent magnets on both parts repelling each other
- F16C32/0425—Passive magnetic bearings with permanent magnets on both parts repelling each other for radial load mainly
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/04—Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
- F16C32/0406—Magnetic bearings
- F16C32/044—Active magnetic bearings
- F16C32/0474—Active magnetic bearings for rotary movement
- F16C32/0485—Active magnetic bearings for rotary movement with active support of three degrees of freedom
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C2360/00—Engines or pumps
- F16C2360/44—Centrifugal pumps
- F16C2360/45—Turbo-molecular pumps
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
この発明はターボ分子ポンプに係わり、特にロータの軸
受機構に関するものである。
受機構に関するものである。
（従来の技術）
従来、電子顕微鏡１分析機器等の真空装置としであるい
は半導体製造装置の真空装置としてターボ分子ポンプ（
以下「ポンプ」という）が用いられている。このポンプ
は略円筒状に形成されたケーシングの内壁面に複数のス
テータ翼がその円筒の軸方向に配設されており、その内
側に配置されたロータの外壁面に複数のロータ翼がステ
ータ翼と交互に位置されているととともに、そのロータ
がモータの回転子として作用するモータ機構とから構成
されている。
は半導体製造装置の真空装置としてターボ分子ポンプ（
以下「ポンプ」という）が用いられている。このポンプ
は略円筒状に形成されたケーシングの内壁面に複数のス
テータ翼がその円筒の軸方向に配設されており、その内
側に配置されたロータの外壁面に複数のロータ翼がステ
ータ翼と交互に位置されているととともに、そのロータ
がモータの回転子として作用するモータ機構とから構成
されている。
そして、モータ機構によりロータが回転させられ、ステ
ータ翼とロータ翼との間において分子流領域になると、
吸気口側のガスを排気口側へ排出して、吸気口側に高真
空が形成される。
ータ翼とロータ翼との間において分子流領域になると、
吸気口側のガスを排気口側へ排出して、吸気口側に高真
空が形成される。
ところで、ロータはいわゆる超高速回転させられている
ため、従来のボールベアリングを用いた軸受機構から最
近では磁気軸受が使用されるようになってきている。す
なわち、磁気軸受機構によりロータを浮」二保持し、非
接触で回転させるもので軸受寿命が大巾に延ばすことが
できる。この磁気軸受機構はロータ軸の半径方向および
軸方向を保持するラジアルおよびアキシャル電磁石を設
けるとともに、これら両方向位置を検出する位置センサ
を設け、この位置センサの検出信号をフィードバックし
てロータが目標の浮上位置となるように電磁石の励磁電
流が制御されている。
ため、従来のボールベアリングを用いた軸受機構から最
近では磁気軸受が使用されるようになってきている。す
なわち、磁気軸受機構によりロータを浮」二保持し、非
接触で回転させるもので軸受寿命が大巾に延ばすことが
できる。この磁気軸受機構はロータ軸の半径方向および
軸方向を保持するラジアルおよびアキシャル電磁石を設
けるとともに、これら両方向位置を検出する位置センサ
を設け、この位置センサの検出信号をフィードバックし
てロータが目標の浮上位置となるように電磁石の励磁電
流が制御されている。
（発明が解決しようとする課題）
しかしながら、磁気軸受に関しては、特開昭５７−１９
３２２１号公報、特公昭６２−２０４０７号公報等に開
示されているが、」二記従来の磁気軸受を使用したポン
プにおいて、ロータはラジアル電磁石およびアキシャル
電磁石により浮上保持されて軸受されているため、これ
らの電磁石でいわゆる３軸制御、４軸制御または５軸制
御する必要があった。すなわち、ラジアル電磁石による
半径方向のＸ、Ｙ軸制御と、アキシャル電磁石による軸
方向の２軸制御とが必要であった。
３２２１号公報、特公昭６２−２０４０７号公報等に開
示されているが、」二記従来の磁気軸受を使用したポン
プにおいて、ロータはラジアル電磁石およびアキシャル
電磁石により浮上保持されて軸受されているため、これ
らの電磁石でいわゆる３軸制御、４軸制御または５軸制
御する必要があった。すなわち、ラジアル電磁石による
半径方向のＸ、Ｙ軸制御と、アキシャル電磁石による軸
方向の２軸制御とが必要であった。
このため、制御手段が複雑となりコストアップとなる欠
点があるとともに、３軸、４軸または５軸とも全て電磁
石で浮上保持されているため、軸受機構が複雑化する欠
点があった。
点があるとともに、３軸、４軸または５軸とも全て電磁
石で浮上保持されているため、軸受機構が複雑化する欠
点があった。
（課題をか解決するための手段）
本発明は上記課題に鑑みてなされたものであって、その
目的とするところは磁気軸受制御の簡単なポンプの提供
にあり、その目的達成のためにその構成をケーシングの
内壁面に取り付けられたステータ翼と、前記ケーシング
の内部に配置されたロータの外壁面に取り付けられたロ
ータ翼とを、」１記ロータの軸方向に交互に配置すると
ともに、」１記ロータを回転するモータ機構を有し、上
記ロータを回転させてロータ軸の一方向から吸気し他方
向へ排気するターボ分子ポンプにおいて、」−記ロータ
は該ロータ軸の上下端側に設けられた永久磁石と、該ロ
ータの軸方向位置を調整する電磁石とにより軸支された
ことを特徴とするものである。
目的とするところは磁気軸受制御の簡単なポンプの提供
にあり、その目的達成のためにその構成をケーシングの
内壁面に取り付けられたステータ翼と、前記ケーシング
の内部に配置されたロータの外壁面に取り付けられたロ
ータ翼とを、」１記ロータの軸方向に交互に配置すると
ともに、」１記ロータを回転するモータ機構を有し、上
記ロータを回転させてロータ軸の一方向から吸気し他方
向へ排気するターボ分子ポンプにおいて、」−記ロータ
は該ロータ軸の上下端側に設けられた永久磁石と、該ロ
ータの軸方向位置を調整する電磁石とにより軸支された
ことを特徴とするものである。
（作用）
本発明におけるポンプの軸受機構は、ロータが永久磁石
により浮上保持されるとともに、電磁石の励磁電流調整
により軸方向の位置制御が行われる。
により浮上保持されるとともに、電磁石の励磁電流調整
により軸方向の位置制御が行われる。
（実施例）
以下、本発明を図示の実施例に基づいて説明する。
第１図は本発明に係わるポンプの第１の実施例を示す一
部切欠き正面図であって、略円筒状に形成されたケーシ
ング１の内壁面には複数のステータ翼２がその円筒の軸
方向に配設されており、その内側に配置されたロータ３
の外壁面には複数のロータ翼４がステータ翼２と交互に
軸方向に配設されている。
部切欠き正面図であって、略円筒状に形成されたケーシ
ング１の内壁面には複数のステータ翼２がその円筒の軸
方向に配設されており、その内側に配置されたロータ３
の外壁面には複数のロータ翼４がステータ翼２と交互に
軸方向に配設されている。
ロータ３の上部中央には円柱状の四部５が形成されてお
り、その側面には永久磁石６が設けられているとともに
、この永久磁石６に所定間隔保って対向する位置に永久
磁石７を有する円柱状の」二部支持部８が吸気口ａの側
壁にアーム９により固定されている。
り、その側面には永久磁石６が設けられているとともに
、この永久磁石６に所定間隔保って対向する位置に永久
磁石７を有する円柱状の」二部支持部８が吸気口ａの側
壁にアーム９により固定されている。
両永久磁石６および７の極性は互いに反発するように配
置され、従ってロータ３と」二部支持部８との間に反発
力が作用している。
置され、従ってロータ３と」二部支持部８との間に反発
力が作用している。
ロータ３の下部端面にはリング状の凹部１０が設けられ
ているとともに、その中央部からはモータ機構の回転子
１１およびその下側の下端面に永久磁石１２を有する円
錐状の凸部１３が設けられている。
ているとともに、その中央部からはモータ機構の回転子
１１およびその下側の下端面に永久磁石１２を有する円
錐状の凸部１３が設けられている。
ケーシング１の下部には排気口すを備えたフランジ１４
が設けられているとともに、そのフランジ中央部には下
部支持部１５が設けられていて、これによりフランジ１
４が密閉されている。
が設けられているとともに、そのフランジ中央部には下
部支持部１５が設けられていて、これによりフランジ１
４が密閉されている。
下部支持部１５には上記リング状凹部１０に先端が突入
する筒１６が突出して設けられている。
する筒１６が突出して設けられている。
その筒１６の側壁内側に上記回転子１１と所定間隔保っ
てモータ機構の固定子１７が対向して設けられていると
ともに、上記凸部１３の円錐面と所定間隔保って電磁石
１８が対向して設けられている。また、筒１６の底面に
は」二記永久磁石１２と所定間隔保って永久磁石１９が
設けられており、これら両永久磁石１２．１９の特性は
互いに吸引するように配置されている。
てモータ機構の固定子１７が対向して設けられていると
ともに、上記凸部１３の円錐面と所定間隔保って電磁石
１８が対向して設けられている。また、筒１６の底面に
は」二記永久磁石１２と所定間隔保って永久磁石１９が
設けられており、これら両永久磁石１２．１９の特性は
互いに吸引するように配置されている。
なお、図面では上、下部支持部８，１５およびロータ３
は図面を簡略化するため、それぞれ一体物として図示さ
れているが、組み立ておよび制作上から必要に応じて分
割されて構成されていることは勿論である。
は図面を簡略化するため、それぞれ一体物として図示さ
れているが、組み立ておよび制作上から必要に応じて分
割されて構成されていることは勿論である。
上記構成からなる本実施例の軸受機構は、ロータ３の上
部では永久磁石６および７の反発力により半径方向が浮
上保持され、また下部では永久磁石１２および１９によ
るアキシャル方向（図面ではロータ３が下方へ移動する
方向）の吸引力を、電磁石１８が凸部１３を吸引する磁
力で調整されて浮」二保持される。この際、凸部１３の
側面は円錐」二に形成されているので、電磁石１８によ
る吸引力はラジアル方向に分力として生じ、ロータ３の
下部のラジアル軸受としても作用する。
部では永久磁石６および７の反発力により半径方向が浮
上保持され、また下部では永久磁石１２および１９によ
るアキシャル方向（図面ではロータ３が下方へ移動する
方向）の吸引力を、電磁石１８が凸部１３を吸引する磁
力で調整されて浮」二保持される。この際、凸部１３の
側面は円錐」二に形成されているので、電磁石１８によ
る吸引力はラジアル方向に分力として生じ、ロータ３の
下部のラジアル軸受としても作用する。
また、電磁石１８の磁力調整はロータ３のアキシャル方
向位置を図示しない位置センサで検出し、この検出信号
を励磁電流制御手段（図示せず）によって処理してロー
タ３が所定の目標位置に浮上保持されるように電磁石１
８の励磁電流を制御して行われる。
向位置を図示しない位置センサで検出し、この検出信号
を励磁電流制御手段（図示せず）によって処理してロー
タ３が所定の目標位置に浮上保持されるように電磁石１
８の励磁電流を制御して行われる。
なお、図中２０および２１は、上部支持部８および下部
支持部１５に設けられたドライベアリングであって、ロ
ータ３のタッチダウン時にロータ３を支持できるように
構成されている。
支持部１５に設けられたドライベアリングであって、ロ
ータ３のタッチダウン時にロータ３を支持できるように
構成されている。
」二連のように浮上保持されて軸支されたロータ３は、
固定子１７のコイルに図示しないドライバーから電流が
供給されると回転磁界が発生し、これにより回転子１１
．すなわちロータ３が回転させられる。このロータ３の
回転によりステータ翼２とロータＮ４との間において分
子流領域で排気作用が生じ、これにより吸気口ａ側から
吸気が行われるとともに、排気口す側からは排気が行わ
れ、吸気口ａ側に高真空が得られる。
固定子１７のコイルに図示しないドライバーから電流が
供給されると回転磁界が発生し、これにより回転子１１
．すなわちロータ３が回転させられる。このロータ３の
回転によりステータ翼２とロータＮ４との間において分
子流領域で排気作用が生じ、これにより吸気口ａ側から
吸気が行われるとともに、排気口す側からは排気が行わ
れ、吸気口ａ側に高真空が得られる。
上述の実施例においては、ロータ３の」二下に各永久磁
石６． ７． １２および１９を配置するとともに、ロ
ータ３の下部の円錐壁面に望ませて電磁石１８を配置し
てロータ３を軸支するように構成したので、ロータ３の
上部の永久磁石６および７によりラジアル方向の軸支が
おこなわるとともに、ロータ３の下部の各永久磁石１２
および１９並びに電磁石１８によりロータ３の下部のラ
ジアル方向およびロータ３のアキシャル方向の軸支が行
われ、しかも、電磁石１８の励磁電流を調整するのみで
、所定の目標位置へ容易に浮上保持することができる。
石６． ７． １２および１９を配置するとともに、ロ
ータ３の下部の円錐壁面に望ませて電磁石１８を配置し
てロータ３を軸支するように構成したので、ロータ３の
上部の永久磁石６および７によりラジアル方向の軸支が
おこなわるとともに、ロータ３の下部の各永久磁石１２
および１９並びに電磁石１８によりロータ３の下部のラ
ジアル方向およびロータ３のアキシャル方向の軸支が行
われ、しかも、電磁石１８の励磁電流を調整するのみで
、所定の目標位置へ容易に浮上保持することができる。
第２図は本発明の第２の実施例に係わる一部切欠正面図
であって、上記第１図に示した第１の実施例と相違する
点は、ロータ３の上部軸受機構にある。
であって、上記第１図に示した第１の実施例と相違する
点は、ロータ３の上部軸受機構にある。
すなわち、ロータ３の四部１５の側壁面には永久磁石６
を略円錐状に配置するとともに、上部支持部８にはその
永久磁石６と所定間隔保って略円錐状に永久磁石７が配
置されてい・る。これら両永久磁石６および７の極性の
配置は」二記第１の実施例と同様に反発する方向に設け
られている。 従って、この実施例においてはロータ３
の−に部の軸支は両永久磁石６，７の側面によって生ず
る分力によりラジアル方向のみならずアキシャル方向の
軸受が可能となる。このため、この実施例ではロータ３
の」三下でラジアル方向およびアキシャル方向の軸支が
可能となり、より安定した軸受が達成できる効果がある
。
を略円錐状に配置するとともに、上部支持部８にはその
永久磁石６と所定間隔保って略円錐状に永久磁石７が配
置されてい・る。これら両永久磁石６および７の極性の
配置は」二記第１の実施例と同様に反発する方向に設け
られている。 従って、この実施例においてはロータ３
の−に部の軸支は両永久磁石６，７の側面によって生ず
る分力によりラジアル方向のみならずアキシャル方向の
軸受が可能となる。このため、この実施例ではロータ３
の」三下でラジアル方向およびアキシャル方向の軸支が
可能となり、より安定した軸受が達成できる効果がある
。
第３図は本発明の第３の実施例に係わる一部切欠正面図
であって、ロータ３の上、下のラジアル方向の軸受は上
記第１図で示した実施例と同様の構成となっているが、
アキシャル軸受は電磁石のみで構成されている。
であって、ロータ３の上、下のラジアル方向の軸受は上
記第１図で示した実施例と同様の構成となっているが、
アキシャル軸受は電磁石のみで構成されている。
すなわち、ロータ３の下部の軸受はロータ３の下部に上
記第１．２図で示した凸部１３の変わりに下端開口の筒
２２を設けるとともに、この筒２２の内壁に永久磁石２
３が設けられている。一方、下部支持部１５の底面から
は上記筒２２に突入する突起２５が突出して設けられ、
この突部２５の側壁周囲に上記永久磁石２３と所定間隔
保って永久磁石２４が設けられている。これら両永久磁
石２３および２４の極性は上部の永久磁石６．７と同様
に反発するように配置されている。従って、これら両永
久磁石２３．２４により下部のラジアル方向が軸支され
る。
記第１．２図で示した凸部１３の変わりに下端開口の筒
２２を設けるとともに、この筒２２の内壁に永久磁石２
３が設けられている。一方、下部支持部１５の底面から
は上記筒２２に突入する突起２５が突出して設けられ、
この突部２５の側壁周囲に上記永久磁石２３と所定間隔
保って永久磁石２４が設けられている。これら両永久磁
石２３および２４の極性は上部の永久磁石６．７と同様
に反発するように配置されている。従って、これら両永
久磁石２３．２４により下部のラジアル方向が軸支され
る。
この実施例におけるロータ３のアキシャル方向の軸受は
筒１６の内側に設けられた電磁石１８の磁力で筒２２の
上端部を吸引して行われる。
筒１６の内側に設けられた電磁石１８の磁力で筒２２の
上端部を吸引して行われる。
なお、この実施例におけるロータ３の回転はに２第１．
２図の実施例で示したインナーロータ型と異なりアウ
ターロータ型のポンプが示されている。このため、固定
子１２は筒１６の外周に配置されているとともに、回転
子１１はリング状四部の外側壁に設けられている。
２図の実施例で示したインナーロータ型と異なりアウ
ターロータ型のポンプが示されている。このため、固定
子１２は筒１６の外周に配置されているとともに、回転
子１１はリング状四部の外側壁に設けられている。
この実施例における軸受機構はロータ３の−Ｌ。
下側とも同じ形式の軸受とすることができ、より構成を
簡素化できる利益がある。
簡素化できる利益がある。
（効果）
本発明は、」二連のようにロータの４−下側に永久磁石
を配置するとともに、アキシャル方向位置を調整する電
磁石を配置してロータを軸支するように構成したので、
ロータの浮上位置調整は一つの電磁石の励磁電流の制御
のみで行なうことができ、いわゆる１軸制御で行なうこ
とができるので＄１９１１手段を大幅に簡素化すること
ができる。
を配置するとともに、アキシャル方向位置を調整する電
磁石を配置してロータを軸支するように構成したので、
ロータの浮上位置調整は一つの電磁石の励磁電流の制御
のみで行なうことができ、いわゆる１軸制御で行なうこ
とができるので＄１９１１手段を大幅に簡素化すること
ができる。
また、永久磁石が上下端側に配置されることによって組
立作業が容易となり、軸受スパン（距離）も最大にとれ
るので、回転時の安定性も高めることができる。
立作業が容易となり、軸受スパン（距離）も最大にとれ
るので、回転時の安定性も高めることができる。
さらに、電磁石の個数も削減できるので横進が簡単とな
りポンプコストを低減できる等の効果を得ることができ
る。
りポンプコストを低減できる等の効果を得ることができ
る。
第１〜３図は本発明に係わるポンプの第１〜３の各実施
例を示す一部切欠正面図である。 １・・・ケーシング ２・・・ステータ翼 ３・・・ロータ ４・・・ロータ翼 ８・・司−〕部支持部 ６、 ７． １２． １９． ２３． ２４・・・永久
磁石１１・・・回転子 １２・・・固定子 １５・・・下部支持部 １８・・・電磁石 ａ・・・吸気口 ｂ・・・排気口
例を示す一部切欠正面図である。 １・・・ケーシング ２・・・ステータ翼 ３・・・ロータ ４・・・ロータ翼 ８・・司−〕部支持部 ６、 ７． １２． １９． ２３． ２４・・・永久
磁石１１・・・回転子 １２・・・固定子 １５・・・下部支持部 １８・・・電磁石 ａ・・・吸気口 ｂ・・・排気口
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、ケーシングの内壁面に取り付けられたステータ翼と
、前記ケーシングの内部に配置されたロータの外壁面に
取り付けられたロータ翼とを、上記ロータの軸方向に交
互に配置するとともに、上記ロータを回転するモータ機
構を有し、上記ロータを回転させてロータ軸の一方向か
ら吸気し他方向へ排気するターボ分子ポンプにおいて、 上記ロータは該ロータ軸の上下端側に設けられた永久磁
石と、該ロータの軸方向位置を調整する電磁石とにより
軸支されたことを特徴とするターボ分子ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63317538A JP2805317B2 (ja) | 1988-12-15 | 1988-12-15 | ターボ分子ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63317538A JP2805317B2 (ja) | 1988-12-15 | 1988-12-15 | ターボ分子ポンプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02163497A true JPH02163497A (ja) | 1990-06-22 |
| JP2805317B2 JP2805317B2 (ja) | 1998-09-30 |
Family
ID=18089370
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63317538A Expired - Fee Related JP2805317B2 (ja) | 1988-12-15 | 1988-12-15 | ターボ分子ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2805317B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0653198A (ja) * | 1992-06-03 | 1994-02-25 | Hitachi Ltd | 洗浄剤、および、これを用いた半導体基板の洗浄方法 |
| WO2024033309A1 (en) * | 2022-08-09 | 2024-02-15 | Leybold Gmbh | Vacuum pump with a magnetic bearing |
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- 1988-12-15 JP JP63317538A patent/JP2805317B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| JP2805317B2 (ja) | 1998-09-30 |
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