JPH04209996A - 高速度回転真空ポンプの磁気軸受 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、高速度回転真空ポンプの磁気軸受、詳しくは
、ロータシャフトをもつポンプロータと、静止側部材に
支持され前記ロータを駆動するモータとを備えた高速度
回転真空ポンプの磁気軸受に関する。

（従来の技術） 従来、この種高速度回転真空ポンプでは、変位センサー
からの信号で動作する主として電磁石とその制御回路と
をもつ能動的磁気軸受を複数用いて３軸又は５軸制御形
構造とし、ポンプロータをステータ（静止部材）に対し
非接触で支持するようにした軸受構造が知られているが
、複数の磁気軸受を用いて構成しているため、真空ポン
プ全体の構造が複雑になり、コスト高になったり、その
上制御回路を収容する制御ユニットの寸法が大きくなり
、空間利用上不利となったりする問題があったし、また
、浮上支持のための電力が必要となり、エネルギー面で
も不利となる問題もあった。

この問題を解決するため、例えば特開平２−７２２１６
号公報に示され、また、第３図に示すように、１軸制御
形構造としたものが既に提案されている。

第３図に示した高速度回転真空ポンプでは、円筒状に形
成したケーシング（Ａ）の上部側に夏真空フランジ（Ｂ
）を設けると共に、該ケーシング（Ａ）には、固定子羽
根（Ｃ）間に介在する回転子羽根（Ｄ）をもった回転子
（Ｅ）を回転可能に内装して、モータ（Ｆ）の駆動によ
り前記回転子羽根（Ｄ）を高速度回転させ、前記高真空
フランジ（Ｂ）側を高真空にできるようにしているので
あって、上下二つの受動的磁気軸受（Ｇ）（Ｈ）及びソ
レノイドから成る一つの能動的磁気軸受（Ｉ）を介して
前記回転子（Ｅ）を非接触状に軸受している。そして、
これら二つの受動的磁気軸受（Ｇ）（Ｈ）は前記回転子
（Ｅ）に一体に設ける磁気軸受回転子（Ｊ）と前記ケー
シング（Ａ）に固定する磁気軸受固定子（Ｋ）とを用い
、これら回転子（Ｊ）及び固定子（Ｋ）を駆動軸（Ｍ）
の半径方向に対向させると共に、前記回転子（Ｊ）の内
周に円筒状の永久磁石（Ｐ）を一体的に固定し、また、
該磁気軸受回転子（Ｊ）の永久磁石（Ｐ）と極性を同じ
にする円筒状の永久磁石（Ｑ）を前記固定子（Ｋ）の外
周に一体的に固定して、これら磁気軸受固定子（Ｋ）と
磁気軸受回転子（Ｊ）とを同心状に位置するように配置
して構成している。

しかして、前記受動的磁気軸受（Ｇ）（Ｈ）では前記磁
気軸受回転子（Ｊ）と磁気軸受固定子（Ｋ）との間に作
用する磁力により、前記回転子（Ｅ）を半径方向に復心
させるようにすると共に、前記能動的磁気軸受（Ｉ）に
より前記回転子（Ｅ）の軸方向位置を制御できるように
して１軸制御により前記回転子（Ｅ）を非接触状態で前
記静止側部（Ｌ）に軸受するようにしている。

（発明が解決しようとする課題） ところが、前記受動的磁気軸受（Ｇ）（Ｈ）では、磁気
軸受固定子（Ｋ）と磁気軸受回転子（Ｊ）とを駆動軸（
Ｍ）を中心に同心状に配置して、前記永久磁石（Ｐ）（
Ｑ）を径方向に対向させ、これら永久磁石（Ｐ）（Ｑ）
の間の磁気反発力により前記回転子（Ｅ）が半径方向に
復心するように構成しているのであって、磁気軸受固定
子（Ｋ）と磁気軸受回転子（Ｊ）を通る磁力線は、これ
ら磁気軸受固定子（Ｋ）と磁気軸受回転子（Ｊ）の軸方
向両側では開放状になっているため、前記磁気軸受回転
子（Ｊ）及び磁気軸受固定子（Ｋ）の磁力は有効に利用
されていないのであって、エネルギーロスが大きくなる
と共に、回転子（Ｅ）の半径方向における軸受剛性が小
さくなる問題があり、この結果、例えば真空ポンプを横
置きにして使用する場合、回転子羽根（Ｄ）及び回転子
（Ｅ）に重力が半径方向に作用して該回転子（Ｅ）が重
力方向に変位することになり、回転子（Ｅ）を前記静止
側部材（Ｌ）に対して半径方向に非接触状態で軸受でき
なくなり、横置形真空ポンプには適用できない問題もあ
った。

本発明は以上の問題を解決するために発明したもので、
その主たる目的は、永久磁石を用いながら半径方向の軸
受剛性を向上でき、横置形にも適用できる高速度回転真
空ポンプの磁気軸受を提供する点にあり、また、他の目
的はスラスト方向の位置制御も可能にする磁気軸受を提
供する点にある。

（課題を解決するための手段） 上記目的を達成するために、本発明では、ロータシャフ
ト（２）をもつポンプロータ（３）と、静止側部材（４
）に支持され前記ロータ（３）を駆動するモータ（５）
とを備えた高速度回転真空ポンプの磁気軸受であって、
前記ロータシャフト（２）とともに回転する軸受回転子
（２０）と、この回転子（２０）を挟んで軸方向両側に
位置する１対の軸受部（７）（８）をもち、前記静止側
部材（４）に保持する軸受固定子（３０）とを備え、前
記軸受回転子（２０）の軸方向両側と前記軸受固定子（
３０）の各軸受部（７）（８）との軸方向各対向面には
、異極相互が対向する永久磁石（２１）（３１）（２２
）（３２）と、これら各永久磁石（２１）（３１）（２
２）（３２）の半径方向側方に位置するヨーク部（２３
）（３３）（２４）（３４）とを周設したのである。

また、軸受部（７）（８）の一方を通る磁束流れ方向と
、他方を通る磁束流れ方向とを逆方向にすると共に、ポ
ンプロータ（３）の軸方向変位を検出するセンサー（４
１）をもち、前記センサー（４１）からの検出結果で軸
受部（７）（８）及び軸受回転子（２０）に磁束流れを
発生させ、かつ、この磁束流れ方向を可逆制御する電磁
石（４０）を軸受固定子（３０）に備えるのが好ましい
（作用） 永久磁石（２１）（３１）及び、永久磁石（２２）（３
２）は、軸方向に対向し、かつ、異極相互を対向させて
いるので、これら永久磁石（２１）（３１）、（２２）
（３２）を通る磁力線は、それぞれ各永久磁石（２１）
（３１）及び前記ヨーク部（３３）（２３）を、また、
各永久磁石（２２）（３２）及び前記ヨーク部（３４）
（２４）を通る閉鎖状態のバイアス磁束ループを描くよ
うにでき、従って、各永久磁石（２１）（３１）及び（
２２）（３２）の磁力を有効に利用でき、それだけ軸受
回転子（２０）が半径方向にずれた場合中心方向に復心
する力は大きくできるのであって、永久磁石（２１）（
３１）（２２）（３２）を用いた受動的磁気軸受の構造
でありながら軸受回転子（２０）の半径方向における軸
受剛性を強くでき、真空ポンプを横置きにして用いる場
合でも適用できるのである。

また、前記軸受固定子（３ｏ）に前記電磁石（４０）を
設け、前記センサー（４１）の検出結果で前記軸受部（
７）（８）及び軸受回転子（２０）に前記電磁石（４０
）による磁束流れを発生させて制御磁束ループを形成し
、しかもこの制御磁束ループの磁束流れを可逆制御する
ことにより、前記制御磁束ループの磁束流れを、前記永
久磁石（２１）（３１）の間、及び永久磁石（２２）（
３２）の間を流れる磁束流れに加算したり、相殺させた
りして、前記永久磁石（２１）（３１）の間に作用する
吸引力と、前記永久磁石（２２）（３２）の間に作用す
る吸引力とに差を与えることができ、この吸引力の差に
より前記軸受回転子（２０）の軸方向位置を制御するこ
とができ、ラジアル、スラスト兼用の磁気軸受を構成で
きるのである。

（実施例） 第１図に示した高速度回転真空ポンプは、概略円筒形状
に形成したケーシング（１）の下部側にベース部材（１
１）を設けると共に、前記ケーシング（１）の上部側に
は、高真空にするチャンバー（図示しない）を接続する
ためのフランジ（１２）を設けており、このフランジ（
１２）の内（［１にポンプ吸気口（１３）を設けている
。

また、前記ケーシング（１）の内部には、前記ベース部
材（１１）に静止側部材を構成するステータ（以下静止
側部材という）（４）を固定して、この静止側部材（４
）の上部に後記する上部磁気軸受（１０）を、また、下
部には下部磁気軸受（５０）を設けると共に、上部及び
下部磁気軸受（１０）（５０）を貫通するようにロータ
シャフト（２）を挿通し、該ロータシャフト（２）の上
端部に、下端部が前記ベース部材（１１）近くまで延び
て排気口（１４）に臨むポンプロータ（３）を固定して
いる。

また、上部磁気軸受（１ｏ）と下部磁気軸受（５０）と
の間には、ブラシレスで、かつ、コアレス形式の直流モ
ータ（５）を配置して、該モータ（５）のステータ（５
ａ）を前記静止側部材（４）に固定すると共に、ロータ
（５ｂ）に前記ロータシャフト（２）を固定し、前記モ
ータ（５）の駆動で高速度回転する前記ロータシャフト
（２）を前記上部及び下部磁気軸受（１０）（５０）に
より非接触状に軸受するようにしている。そして、前記
ポンプロータ（３）の高速度回転により前記吸気口（１
３）から吸引する気体を前記ポンプロータ（３）とケー
シング（１）の内周面との間を介して、前記ケーシング
（１）の下部−側に設けた排気口（１４）へ排気するこ
とにより前記吸気口（１３）に接続する前記チャンバー
内を高真空にできるようにしている。

次に、以上の如く構成する真空ポンプに用いる本発明磁
気軸受の実施例を説明する。

第１図に示した真空ポンプでは、前記上部磁気軸受に適
用しているもので、前記ロータシャフト（２）における
、前記ロータシャフト（２）と前記ポンプロータ（３）
との回転系の重心（６）位置近くに、第２図に拡大しそ
示したように、前記ロータシャフト（２）から半径方向
に延びる軸受回転子（２０）を設けると共に、前記静止
側部材（４）の上端部に上下に対向する１対の軸受部（
７）（８）を備えた軸受固定子（３０）を保持して、１
対の軸受部（７）（８）を前記軸受回転子（２０）を軸
方向両側に対向させると共に、前記軸受回転子（２０）
の軸方向両側と前記軸受固定子（３０）の各軸受部（７
）（８）との軸方向各対向面には、それぞれ異極相互が
対向する永久磁石（２１）（３１）、（２２）（３２）
と、これら各永久磁石（２１）（３１）（２２）（３２
）の半径方向外側に位置する溝形ヨーク部（２３）（３
３）（２４）（３４）とを周設して構成している。

しかして、以上の構成において、前記永久磁石（２１）
（３１）及び永久磁石（２２）（３２）を通る磁力線に
よりそれぞれヨーク部（３３）（２３）及びヨーク部（
３４）（２４）を通る閉鎖状のバイアス磁束ループが形
成される。

また、第１．２−に示した実施例では、前記軸受固定子
（３０）における軸受部（７）（８）の一方、即ち第１
．２図において上方側に位置する軸受部（７）を通る磁
束流れ、つまり、永久磁石（２１）（３１）を通る磁束
流れを、第１図及び第２図に矢印で示したように上方に
向かうようにする一方、下方側に位置する前記軸受部（
８）を通る磁束流れ、つまり、永久磁石（２２）（３２
）を通る磁束流れを下方に向かうように、これら磁束流
れを逆方向にしており、また、前記軸受固定子（３０）
における前記ヨーク部（３４）の半径方向外方には、後
記する変位センサー（４１）からの検出結果で軸受部（
７）（８）及び軸受回転子（２０）に磁束流れを発生さ
せ、かつ、この磁束流れ方向を可逆制御する電磁石（４
０）を設けている。尚、前記変位センサー（４１）は、
前記ベース部材（１１）における前記ロータシャフト（
２）の下端面に対向する位置に設けており、前記ロータ
シャフト（２）の軸方向位置を検出するようにし、該セ
ンサー（４１）からの検出結果により前記電磁石（４０
）に通電する電気の流れ方向及び電流量を制御するよう
に構成するのである。

しかして、以上説明した実施例において、前記軸受固定
子（３０）の軸受部（７）（８）に設ける永久磁石（３
１）（３２）と前記軸受回転子（２０）の軸方向両側に
設ける永久磁石（２１）（２２）とは、それぞれ軸方向
に対向させ、かつ、異極相互を対向させて、軸方向に対
向する永久磁石（２１）（３１）及び（２２）（３２）
と、これら永久磁石（２１）（３１）、（２２）（３２
）の半径方向外側に位置するヨーク部（２３）（３３）
、（２４）（３４）とによりバイアス磁束ループを形成
するのであるから、前記軸受回転子（２０）は永久磁石
（２１）と（３１）との間に作用する磁気吸引力と、永
久磁石（２２）と（３２）との間に作用する磁気吸引力
とにより、前記ロータシャフト（２）は、半径方向所定
位置に保持されるように軸受されるのである。しかも、
前記永久磁石（２１）（３１）、及び、永久磁石（２２
）（３２）は、前記したように軸方向に異極相互を対向
させて前記バイアス磁束ループを形成するのであるから
、各永久磁石（２１）（３１）及び（２２）（３２）の
磁力は有効に利用できるのであって、それだけ軸受回転
子（２０）が半径方向にずれた場合、中心方向に復心す
る力は大きくできるのであり、永久磁石（２１）（３１
）（２２）（３２）を用いた受動的磁気軸受の構造であ
りながら軸受回転子（２０）の半径方向における軸受剛
性を強くできるのである。

従って、真空ポンプ全体を横置きにして前記ロータシャ
フト（２）及びポンプロータ（３）の半径方向に重力が
作用する場合でも、前記ロータシャフト（２）を半径方
向に偏心させることなく非接触吠態で軸受することがで
きるのである。尚、第１．２図の実施例では、前記軸受
回転子（２０）を前記ロータシャフト（２）及びポンプ
ロータ（３）の重心（６）位置近くに設けているから、
横置きに用いる場合、−層その浮上支持を確実に行うこ
とができる。

また、第１．２図の実施例では、前記軸受固定子（３０
）に、前記電磁石（４０）を設け、前記センサー（４１
）の検出結果により、前記軸受部（７）（８）及び前記
軸受回転子（２０）に前記電磁石（４０）による磁束流
れを発生させて制御磁束ループを形成し、しかも、この
磁束流れを可逆制御するようにしているから、前記ロー
タシャフト（２）が、例えば第１図の上方側に変位した
とき、前記センサー（４１）の検出結果に基づき前記制
御磁束ループの磁束流れを、第２図点線矢印で示したよ
うに制御して、永久磁石（２２）（３２）の間を流れる
磁束流れに加算し、また、前記永久磁石（２１）（３１
）の間を流れる磁束流れに対しては相殺させて、前記永
久磁石（２２）（３２）の間に作用する吸引力を、前記
永久磁石（２１）（３１）の間に作用する吸引力より太
き（するのである。この結果、前記吸引力の差により前
記軸受回転子（２０）は、その吸引力がバランスする位
置に制御され、その軸方向位置が制御されるのである。

また、前記ロータシャフト（２）が、第１図の下方に変
位した場合には、前記電磁石（４０）に前記した場合と
逆方向に電流を流すのであって、このときは、前記永久
磁石（２１）（３１）の間に作用する吸引力を、前記永
久磁石（２２）（３２）の間に作用する吸引力より大き
くするのである。

このように、前記センサー（４１）の検出結果に基づい
て前記電磁石（４０）による制御磁束ループを前記軸受
部（７）ＣＢ）及び軸受回転子（２０）に発生させるこ
とにより、前記永久磁石（２１）（３１）の間、及び永
久磁石（２２）（３２）の間に作用する吸引力を増減さ
せることができ、前記軸受回転子（２０）の軸方向位置
を制御することができる。従って、前記上部磁気軸受（
１０）をラジアル、スラスト兼用の磁気軸受として構成
できるし、また、前記軸受固定子（３０）に前記電磁石
（４０）を配置するだけで構成できるから、スラスト磁
気軸受を別に形成する場合に比較してコンパクトにでき
るし、部品の数を少なくでき構造も簡単にできるのであ
る。

又、以上の実施例において、前記ヨーク部（２３）（３
３）（２４）（３４）に溝形ヨークを用いたから、有効
磁束を増大でき、かつ、バイアス磁束の磁束流れに対す
る前記制御磁束ループの磁束流れによる制御性を向上で
きるのであるが、必ずしも溝形ヨークを用いる必要はな
い。

また、前記軸受固定子（３０）に前記電磁石（４０）を
設けて制御磁束ループにより前記ロータシャフト（２）
のスラスト方向の位置制御を可能にしたが、前記電磁石
（４０）を設けることなく前記永久磁石（２１）（３１
）（２２）（３２）及び前記ヨーク部（２３）（３３）
、（２４）（３４）によりラジアル方向のみの位置制御
を行うようにしてもよい。

又、以上の実施例では、第１図において上方に配置した
軸受部（７）を通る磁束流れを上方に向かうように、ま
た、下方に配置した前記軸受部（８）を通る磁束流れを
下方に向かうようにしたが、これらの方向をそれぞれ反
対にしてもよい。

又、第１図に示した真空ポンプの実施例では、前記下部
磁気軸受（５０）を次のように構成している。

即ち、前記ロータシャフト（２）における前記モータ（
５）の下方側には、１対の軸受回転子（５１）（５２）
を、軸受方向に所定間隔を置いて配設すると共に、前記
静止側部材（４）の下方に固定する軸受部材（５３）に
軸受固定子（５４）を設けて、前記軸受回転子（５１）
（５２）と軸受固定子（５４）との間に、軸方向に対向
する溝形ヨーク部（５１ａ）（５２ａ）　、（５４ａ）
（５４ｂ）を設け、そして前記軸受回転子（５１）（５
２）に永久磁石（５５）（５Ｂ）を設けて、これら永久
磁石（５５）（５１３）を、異極相互を対向させる一方
、これら永久磁石（５５）（５８）間に、前記軸受部材
（５３）に固定させ、主として銅製の円板から成るうず
電流ダンパ（５７）を介装している。

しかして、以上の構成において、前記軸受回転子（５１
）（５２）及び軸受固定子（５４）間には、第１図矢印
で示した磁束流れをもつバイアス磁束ループが形成され
、この磁束ループにより前記ロータシャフト（２）が半
径方向にずれた場合、中心方向に復心させられるのであ
って、ラジアル磁気軸受となるのである。また、前記ロ
ータシャフト（２）が半径方向に振動する場合、この振
動によりうず電流が前記ダンパ（５７）に流れ、前記振
動を熱エネルギーに変換して振動の抑制を行うのである
。

尚、第１図において（Ｅ３１）（６２）は、非常用軸受
である。

従って、第１図に示したように、真空ポンプにおいて、
ロータシャフト（２）の上部を、前記したバイアス磁束
ループと制御磁束ループとから成るラジアル、スラスト
兼用構造の上部磁気軸受（１０）を用い、また、前記ロ
ータシャフト（２）の下部を、前記したバイアス磁束ル
ープから成るラジアル磁気軸受構造で、かつ、うず電流
ダンパ（５７）を配設した構造の下部磁気軸受（５０）
を用いて非接触状に軸受することにより、前記上部磁気
軸受（１０）における電磁石（４０）を制御するだけの
所謂ｌ軸制御形軸受構造としなから５軸制御が可能と成
り、低速から高速まで安定した浮上支持が可能となるの
である。

この結果、３軸制御や５軸制御形軸受構造に比較して、
変位センサー及び制御系を最小にでき、それだけ構造を
簡単にでき、コストの面でもを利となるし、また、制御
回路も簡単にできるから制御ユニットも小形化できると
共に、制御系が少ないだけ消費電力も少なくでき、省エ
ネルギーも可能となるのである。

（発明の効果） 以上説明したように、本発明は、ロータシャフト（２）
をもつポンプロータ（３）と、静止側部材（４）に支持
され前記ロータ（３）を駆動するモータ（５）とを備え
た高速度回転真空ポンプの磁気軸受であって、前記ロー
タシャフト（２）とともに回転する軸受回転子（２０）
と、この回転子（２０）を挟んで軸方向両側に位置する
１対の軸受部（７）（８）をもち、前記静止側部材（４
）に保持する軸受固定子（３０）とを備え、前記軸受回
転子（２０）の軸方向両側と前記軸受固定子（３０）の
各軸受部（７）（８）との軸方向各対向面には、異極相
互が対向する永久磁石（２１）（３１）（２２）（３２
）と、これら各永久磁石（２１）（３１）（２２）（３
２）の半径方向側方に位置するヨーク部（２３）（３３
）（２４）（３４）とを周設しているから、永久磁石（
２１）（３１）、（２２）（３２）を通る磁力線は、そ
れぞれ各永久磁石（２１）（３１）及び前記ヨーク部（
３３）（２３）を、また、各永久磁石（２２）（３２）
及び前記ヨーク部（３４）（２４）を通る閉鎖状態のバ
イアス磁束ループを描くようにでき、従って、各永久磁
石（２１）（３１）及び（２２）（３２）の磁力を有効
に利用でき、それだけ軸受回転子（２０）が半径方向に
ずれた場合中心方向に復心する力は大きくできるのであ
って、永久磁石（２１）（３１）（２２）（３２）を用
いた受動的磁気軸受の構造でありながら軸受回転子（２
０）の半径方向における軸受剛性を強くでき、真空ポン
プを横置きにして用いる場合でも適用できるのである。

また、前記軸受固定子（３０）に前記電磁石（４０）を
設け、前記センサー（４１）の検出結果で前記軸受部（
７）（８）及び軸受回転子（２０）に前記電磁石（４０
）による磁束流れを発生させて制御磁束ループを形成す
ると共に、この制御磁束ループの磁束流れを可逆制御す
る場合には、前記制御磁束ループの磁束流れを、前記永
久磁石（２１）（３１）の間、及び永久磁石（２２）（
３２）の間を流れる磁束流れに加算したり、相殺させた
りして、前記永久磁石（２１）（３１）の間に作用する
吸引力と、前記永久磁石（２２）（３２）の間に作用す
る吸引力とに差を与えることができ、この吸引力の差に
より前記軸受回転子（２０）の軸方向位置を制御するこ
とができるのであって、前記電磁石（４０）を加えるだ
けの簡単な構成により、ラジアル、スラスト兼用の磁気
軸受を構成できるのである。この結果、本発明磁気軸受
を真空ポンプに適用することにより、複数の制御系を用
いた従来の３軸制御や５軸制御形軸受構造に比較して、
変位センサー及び制御系の数を最小にでき、それだけ構
造簡単にでき、コストの面でも有利となるし、また、制
御回路も簡単にできるから制御ユニットも小形化できる
と共に、制御系が少ないだけ消費電力も少なくでき、省
エネルギーも可能となるのである。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の磁気軸受を備える高速度回転真空ポ
ンプの概略断面図、第２図は要部拡大断面図、第３図は
従来例を示す断面図である。 （１）・・・・・・・・・ケーシング （２）・・・・・・・・・ロータシャフト（３）・・・
・・・・・・ポンプロータ（４）・・・・・・・・・静
止側部材 （５）・・・・・・・・・モータ （７）（８）・・・・・・・・・軸受部（２０）・・・
・・・・軸受回転子 （２１）（２２）・・・・・・・・・永久磁石（２３）
（２４）・・・・・・・・・ヨーク部（３０）・・・・
・・・軸受固定子

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １）ロータシャフト（２）をもつポンプロータ（３）と
   、静止側部材（４）に支持され前記ロータ（３）を駆動
   するモータ（５）とを備えた高速度回転真空ポンプの磁
   気軸受であって、前記ロータシャフト（２）とともに回
   転する軸受回転子（２０）と、この回転子（２０）を挟
   んで軸方向両側に位置する１対の軸受部（７）（８）を
   もち、前記静止側部材（４）に保持する軸受固定子（３
   ０）とを備え、前記軸受回転子（２０）の軸方向両側と
   前記軸受固定子（３０）の各軸受部（７）（８）との軸
   方向各対向面には、異極相互が対向する永久磁石（２１
   ）（３１）（２２）（３２）と、これら各永久磁石（２
   １）（３１）（２２）（３２）の半径方向側方に位置す
   るヨーク部（２３）（３３）（２４）（３４）とを周設
   していることを特徴とする高速度回転真空ポンプの磁気
   軸受２）軸受部（７）（８）の一方を通る磁束流れ方向
   と、他方を通る磁束流れ方向とを逆方向にすると共に、
   ポンプロータ（３）の軸方向変位を検出するセンサー（
   ４１）をもち、前記センサー（４１）からの検出結果で
   軸受部（７）（８）及び軸受回転子（２０）に磁束流れ
   を発生させ、かつ、この磁束流れ方向を可逆制御する電
   磁石（４０）を軸受固定子（３０）に備えている請求項
   １記載の高速度回転真空ポンプの磁気軸受。