JPS5993992A - 軸流分子ポンプ - Google Patents

軸流分子ポンプ

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JPS5993992A
JPS5993992A JP57203263A JP20326382A JPS5993992A JP S5993992 A JPS5993992 A JP S5993992A JP 57203263 A JP57203263 A JP 57203263A JP 20326382 A JP20326382 A JP 20326382A JP S5993992 A JPS5993992 A JP S5993992A
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    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、釣鐘型のロータを電磁石と永久磁石とで、あ
るいは電磁石のみで、無接触支持する磁気軸受を利用し
た軸流分子ポンプに関するものである。
放射状の翼のついたロータを高速で回転させる軸流分子
ポンプは、既に種々の形式のものが提案、発表さCてい
るが、ロータを高速で回転させるために、ロータの支持
部c軸受部〕に関係して、種々の問題が生じる。
従来から良く知らnている油滑側を要する機械軸受でロ
ータを支持するタイプの軸流分子ポンプは、ポンプの運
転時は吸気口側から排気口側への気体分子の流nによっ
て、油から分別さnる炭化水素は吸気口側へ逆流しない
けれども、運転中止時には、気体分子の流牡が失わnl
この炭化水素が不都合にも拡散によって、吸気口側へ達
する可能性がある。このような炭化水素は、表面物理等
の実験には許さしず、軸流分子ポンプの使用範囲を制限
したり、炭化水素の逆流を防ぐ高価なノくルブを必要と
するなどの原因となっている。ti軸流分子ポンプは、
翼を高速で回転させnはさせる程、その性能が増大する
特性を持っているが、軸受の寿命が、回転速度を速くす
る程短くなるために、ロータの回転速度には限界が存在
する。
また磁気的な1つの軸方同軸受と、磁気的な2つの径方
向軸受でロータを無接触支持する5軸制御型磁気軸受を
採用した軸流分子ポンプ(特公。
昭57−30998参照)が発表さnているが、この軸
流分子ポンプは、油潤滑の必要がないため、炭化水素の
吸気口側への逆流がないという利点をもっている反面、
ロータの自由度の回転以外の5自由度すべてを能動的に
制御する方式のため、位置センサー、ゲイン、位相補償
回路、電磁石駆動回路、電磁石などからなる制御ループ
を5組も必要とし、そのため軸受構造、回路が複雑にな
り、機械軸受方式に比べて、高価格、大型になる欠点を
持っている。また、無接触支持故に軸受の摩擦による寿
命の心配はないけ肚ども、回路の信頼性によって寿命が
規定さn1回路素子数が多いため七〇程軸受寿命が長く
ならない上に、この軸流分子ポンプは、アウターロータ
方式であるため、回転中に材料強度の弱い電磁鋼板に大
きな遠心力が働くようになり、回転速度を大きく上げら
nないなど、この方式は、磁気軸受の特性の一つである
無接触支持である事を十分に活用していない。
そのため、回転軸方向だけを能動的に制御して、他の径
方向4自由度を受動的に拘束する方式の構造も回路も簡
単な磁気軸受を採用した軸流分子ポンプ(特開、昭56
−12095参照)も提案さnているが、この方式の軸
受け、径方向の減衰がほとんどないので、ロータ回転速
度を上昇させてゆく時に、振n回りのために系の共振点
を通過できなかったり、外乱による振n回りが大きいな
どの問題のために実用化さtていない。
またロータ上方を磁気的な軸受、下方を機械軸受とした
軸流分子ポンプ(米国特許第3749528号参照)が
発表されているが、こnは磁気軸受を採用して、油潤滑
を不用にしたり、無接触でロータを支持するという磁気
軸受を採用する事の利点を無駄にしている。
本発明は、上記欠点を考慮して、ロータの回転以外の5
自由度のうち3自由度を能動的に制御し残りの2自由度
は受動的に拘束支持する磁気軸受を軸流分子ポンプに採
用し、インナーロータ方式でロータを回転させる事によ
り、従来の5軸制御型磁気軸受採用の場合に比べて、軸
受構造、回路を簡素化し、高信頼性、小型化、低コスト
化、高速回転化を実現すると伴に、オイルフリー、ロー
タの安定な回転も同時に実現する事を目的とするもので
ある。
第1図は、本発明の実施例の縦断面図である。
径方向変位センサー1により、シャブト3の径方向の平
衡点からの変位量を検出し、その信号をここでは図示し
ていないが、ゲイン、位相補償回路と電磁石駆動回路を
通して径方向電磁石2を駆動する事によって、安定にシ
ャフト3を径方向平衡点に引き戻し保持するようになっ
ている。径方向を能動的に制御するには、ある方向とそ
nに線型独立なもう一つの方向の2方回を制御する必要
があるので、上記ゲイン、位相補償回路と電磁石駆動回
路は、2組必要である。軸方向は、固定側永久磁石4と
回転側永久磁石5を互いに吸引し合うように配置し、シ
ャフト3が、常に固定側永久磁石4の方へ吸引さ匹るよ
うにする。そして軸方同変位センサー6により、シャフ
ト3の軸方向の平衡点からの変位量を検出し、その信号
をここでは図示していないが、ゲイン、位相補償回路と
電磁石駆動回路を通して、軸方同電磁石7に流すコイル
電流を制御する事により、シャフト3を固定側永久磁石
4と反対の方向へ吸引する力を制御して、シャフト3を
安定に軸方同平衡点に引き戻し保持するようになってい
る。この場合は、ゲイン、位相補償回路と電磁石駆動回
路は1組で良い。
従来の5軸制御型磁気軸受の場合は、こnらに加えて更
にもう一ケ所、径方向を能動的に制御するセンサー、電
磁石、回路などが必要であるが、本発明においては、上
記軸方同電磁石7、固定側永久磁石4、回転側永久磁石
5によって、七牡らの働きを兼させる。即ち平衡状態に
おいて、軸方向電磁石7の吸引力と固定側、回転側永久
磁石4゜5の吸引力が軸方向に互いに反対方向に作用し
ているので、シャフト3が径方向に平衡点から変位した
場合、了−マチュアディスク8と回転側永久磁石5の位
置が、軸方向電磁石7と固定側永久磁石4に対して径方
向にず肚、そ牡に比例して元の位置に戻そうとする復元
力が働く。この力によって、シャフト3の径方向位置を
平衡点に受動的に拘束保持するのである。この様にして
シャフト3を拘束保持する事により、従来の5軸制御型
磁気軸受の場合に比べて、構造面では、径方向電磁石と
径方向センサーが1組、回路面では、ゲイン。
位相補償回路と電磁石駆動回路が2組省略できる0その
ため1従来と比べて小型、低コスト化が可能になり、更
に回路部品数が、はぼ375程度になる事により、信頼
性も同上する。
磁気軸受により支持さtたシャフト3に、翼のついた釣
鐘形のロータ9をシャフト3と磁気軸受全体をおおう様
に取υ付け、こnを、径方向電磁石2と軸方向電磁石7
0間に配置したインナーロータ方式の駆動モータ10に
より高速回転させる。
高速で回転するロータ9の翼と固定翼13とで、吸気口
11から排気口12への気体分子の流nができ、真空ポ
ンプとして働く。ここで、ロータ9がシャフト3と磁気
軸受全体をおおう様に取り付けられているので、気体分
子の流nをさえぎる事もなく、また、ガスが発生する心
配のある電磁石やモータなどはすべて低真空側に配置さ
n、Lがも油潤滑の軸受をまったく使用していないので
、完全にオイルフリーな高品質の真空を効率良く作る事
ができる。
ロータ3を高速で回転させるために、駆動モータはイン
ナーロータ方式にして、回転子14の外径をできる限り
小さくシ、軸方向電磁石7のヨークは分割して、外側磁
極を軸方向電磁コモ径よりも内側磁極に近づけるように
して、了−マチュアディスク8の外径を小さくシ、回転
側永久磁石5は回転側永久磁石ホiダー15に圧入する
事により、永久磁石に予圧をかけ、高速回転時の遠心力
に耐える構造にしている。
この磁気軸受システムで安定な回転が実現できる事を第
2図を用いて説明する。第2図は、軸受部をバネとダン
パーを用いて模式的に示したものである。径方向変位セ
ンサー1、径方向電磁石2、回路からなる径方向磁気軸
受の働きは、径方向のバネ定数に1 と減衰定数d1が
2組で表現さnる。軸方向変位センサー6、軸方向電磁
石7、永久磁石4,59回路からなる軸方同軸受の働き
は、軸方向が、バネ定数に、と減衰定数d3で、径方向
が、バネ定数に念と減衰定数d2が2組で表現さnる。
ここでd、  とdaは、回路によって能動的に作らn
るめで十分大きな値にできるが、d2は軸方向電磁石7
の吸引力と固定側、回転側永久磁石4,5の吸引力から
作らnる受動的な径方向復元力の減衰成分のため、積極
的に減衰をかけていないので、’1  s d−3に比
べるとほとんど零Ccl* <dl  −da )であ
る。シャフト3の運動は、軸方向と径方向の運動に分離
でき、軸方向の運動は完全に能動的に制御しているので
、ここでは径方向の運動のみに限定する。シャフト3.
ロータ9、回転側永久磁石5、アーマチュアディスク8
、回転側永久磁石ホルダ−15等第1図において回転す
る部品全体を第2図では、回転体16で示す。回転体1
6の重心を01バネ定数に1の作用点をA1バネ定数に
、の作用点をB、GA間の距離を/、、、GB間の距離
をL2、回転速度をω、質量を常、半径方向の慣性モー
メントを工τ、軸方同の慣性モーメントを工αとし、適
当な直交座標軸πyzを取p、r;、y、z軸回りの回
転角をθX、θy、θごとし、回転体の重心Gの平衡点
からの変位量をZe’lleロータ軸の傾きをθ2.θ
1として、回転体の径方向の運動方程式をたてると以下
のようになる。
θ=02+りσy ここで−(kl+kl)/惧と−(dt+d宜)/惧が
重心Gの並進運動に対するバネ定数と減衰定数に対応し
、  Cks tt”+に* Ls”)Aτ+j工αω
/工rが重心回りの回転運動に対するバネ定数と減衰定
数に対応する。またーj Cksll  k@ L@ 
) /frLg  j (al tl  (12Lz)
/WLej (kx  Ls  kx At)工r /
 # 3(dt At  dl* Lx)/工rは、重
心の並進運動と重心回りの回転運動との相互作用に関係
する項である。
重心の並進運動と重心回りの回転運動の減衰定数がdl
とd、あるいはd、tt”とd、t、”の和に関係する
事から、d、がほとんど零であってもdlによって七〇
らの値を十分な値にできるので、本発明の方式の磁気軸
受によっても安定な回転が実現できる。更にに1t、=
に、t、なる関係になるように、回転体の重心Gの位置
と径方向軸受の径方向のバネ定数に、と軸方同軸受の受
動的な径方向のバネ定数に重とを適当に設定すると、即
ち、点GがAB間をに、、に1に内分するようにすると
、(1)式においてdl 、d、が零の場合を考えると
わかるように、重心の並進運動と重心回りの回転運動の
相互作用の項がなくなり、この系の2つの共振点がもつ
とも近づいた状態になる。
そのため、前記相互作用による振動がな(なり、まfc
2つの運αbモードに対する減衰率も近づいてくるので
、2つある某の共振点の通過が容易になる。その上、軸
流分子ポンプの姿勢t−第1図において90度回転させ
たようにした場合に、上記klt□=に、t、なる関係
に設定しておくと、シャフト3が水平に保持されるとい
う利点もある。
回転体を高速で回転させる場合、良(知らtているよう
に、回転体に内部減衰がおると自励振動が発生して、回
転体の回転が不安定になる事がある。この自励振動の生
じる回転速度は、回転体の慣性モーメントの化工a/工
τと回転体の内部減衰ηiと外部減衰η。の比η。/η
iに関係し、こ肚らの比が増大するに従って、自励振動
の生じる回転数が上昇する。ここで内部減衰とは、回転
体円部に生じるエネルギー消費に関係し、構成部品間の
摩擦や構成部品に流肚る渦電流などでおこり、反対に外
部減衰とは、回転体の運動によって回転体以外の固定側
に生じるエネルギー消費に関係し、回路によって能動的
に作る減衰や固定側に流nる渦電流などでおこる。そこ
で不発明においては渦電流による減衰に注目し、固定側
永久磁石4、軸方向電磁石71.駆動モータ10、径方
向電磁石2を支持している固定側支持体17に非磁性で
導電率の高いアルミ材などを用い、反対に回転側永久磁
石5を保持している回転側永久磁石ホルダー15と、シ
ャフト3のモータの回転子14と径方向電磁石回転部1
8と径方向変位センサーターゲット19以外の部分を非
磁性で導電率の低いステンレス材を用いて、 。/ i
を大きくシ、設定回転速底円で自励振動が発生しないよ
うにしている。本発明では、アルミ材とステンレス材を
用いたが、強度的に許さnる鹸囲で、非磁性で導電率が
でき兎限り高い材質と非磁性で導電率のできる限り低い
材質を用いるのが、自励振動の発生する回転速度を高く
するのに最適である。またシャフト3のモ−タ、電磁石
、センサーに関係しない部分を非磁材にする事によって
、軸方向電磁石7の漏n磁束による吸引力の影響をシャ
フト3が受けないようにしている。
第3図において、回転体の重心を01軸方向電磁石また
は永久磁石のある一つの対同位置をDとし、GD間の距
離をt、Gを通る平衡状態の回転軸重からGDへの角度
をθ、径方向の受動的な径方向バネ定数をkr、回転軸
1方間の不安定バネ定数をに1Lとすると、重心0回り
の回転に対する回転バネ定数器〇は、以下のようになる
事が知らルている。
従ってにθを大きくするには、Krを増大させる事はも
ちろんであるが、Lを長く、θを小さくす肚ば良い。そ
こで本発明においては、アーマチュアディスク8の外径
を小さくする所で説明したように、軸方同電磁石7のヨ
ークを分割した構造にする事により、外側磁極をできる
限り内側磁極に近づけ、各磁極位置の前述した角度θを
小さくするようにしてにθの増大化をはかつている。
以上により本発明の一実施例を説明したが、軸方向を能
動的に制御保持すると同時に径方向も受動的に拘束保持
する働きをする部分を、第4図に示すように、軸方向電
磁石7を2つ対問させた方式や、第5図に示すように、
永久磁石21を軸方向電磁石7のヨークに挿入してバイ
アス磁束を永久磁石で発生させる方式や、第6図に示す
ように、片側を本発明と同様に永久磁石を対問させ、も
う一方の軸方向電磁石7のヨークに永久磁石21を挿入
してバイアス磁束を永久磁石で発生させる方式なども考
えらnる。
以上説明したように、本発明によ几ば特許請求の範囲に
示すようにする事によυ、従来の5軸制御箆磁気軸受を
採用した軸流分子ポンプに比べて、軸受構造と回路が簡
単になり、また高速で安定な回転も実現できるので、オ
イルフリーでしかも高信頼性、小型、高性能、低コスト
の軸流分子ポンプが実現できる効果を有する。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明の一実施例である軸流分子ポンプの縦
断面図で、第2図は、本発明の磁気軸受システムを模式
的に表現した図で、第3図は、径方向バネ定数と軸方向
安定バネ定数と重心回りの回転バネ定数の関係を説明す
るための図で、第4図、第5図、第6図は、本発明の実
施例の構造の一部分の縦断面図である。 符号の説明 1、。゛径方向変位センサー、20.径方向電磁石、3
1.シャン)、4.、固定側永久磁石、506回転側永
久磁石、60.軸方向変位センサー7゜、軸方向電磁石
、80.アーマチュアディス7.9.。ロータ、100
.駆動モータ、110.吸気口、120.排気口、13
1.固定翼、14・・回転子、15.、回転側永久磁石
ホルダー、16.。回転体、17 、 、固定側支持体
、18.。径方向電磁石回転部、19 s *径方向変
位センサーターゲット、200.軸方向電磁コイル、2
1.、永久磁石、G。。 回転体の重心。 jlll  鴫 第2図    第3関 第4回 第、5″  図 fB 4 図 542−

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)磁気的な1組の径方向軸受と磁気的な1組の軸方
    向軸受により、シャフトの回転軸回りの回転以外の5自
    由度の内で3自由度を能動的に制御拘束し、残りの2自
    由度を受動的に拘束する磁気軸受により支持さnたシャ
    フトに釣鐘形のロータをシャフトと磁気軸受全体をおお
    う様に取りつけ、径方向軸受と軸方向軸受の間に配置し
    た、インナーロータ方式の駆動モータでロータを高速で
    回転させる事を特徴とする軸流分子ポンプ。
  2. (2)シャフトとロータなどから構成さnる回転体全体
    の重心位置が、径方向軸受の径方向バネ定数と軸方向軸
    受の受動的径方向バネ定数との比のほぼ逆比に、そr<
    −t’n、の軸受の作用点を内分するように、重心位置
    と径方向バネ定数を設定する事を特徴とする特許記求範
    囲第1項記載の軸流分子ポンプ。
  3. (3)軸方同軸受の回転側永久磁石を永久磁石支持体に
    圧入する事を特徴とする特許請求範囲第1項記載の軸流
    分子ポンプ。
  4. (4)固定側永久磁石と軸方同電磁石と駆動モータと径
    方向電磁石を支持している固定側支持体に非磁性で導電
    率の高いたとえばアルミ材などを用い、反対に回転側永
    久磁石を保持している回転側永久磁石ホルダーと、回転
    体のシャフトのモータ、電磁石、センサー、に関係しな
    い部分を非磁性で導電率の低いたとえばステンレス材な
    どを用いる事を特徴とする特許請求範囲第1項記載の軸
    流分子ポンプ。
  5. (5)軸方同電磁石のヨークを分割して組み立てる構造
    にする事により、軸方同電磁石の外側磁極を、軸方向電
    磁石コイルの外径よりも内側磁極に近づける事を特徴と
    する特許請求範囲第1項記載の軸流分子ポンプ。。
JP57203263A 1982-11-19 1982-11-19 軸流分子ポンプ Expired - Lifetime JPH0646036B2 (ja)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP57203263A JPH0646036B2 (ja) 1982-11-19 1982-11-19 軸流分子ポンプ
DE19833341716 DE3341716A1 (de) 1982-11-19 1983-11-18 Turbo-molekularpumpe
GB08330794A GB2130655B (en) 1982-11-19 1983-11-18 Rotor assembly for a turbo molecular pump
US06/553,180 US4609332A (en) 1982-11-19 1983-11-18 Turbo-molecular pump
FR8318474A FR2536473B1 (fr) 1982-11-19 1983-11-21 Pompe turbomoleculaire

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP57203263A JPH0646036B2 (ja) 1982-11-19 1982-11-19 軸流分子ポンプ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS5993992A true JPS5993992A (ja) 1984-05-30
JPH0646036B2 JPH0646036B2 (ja) 1994-06-15

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ID=16471133

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP57203263A Expired - Lifetime JPH0646036B2 (ja) 1982-11-19 1982-11-19 軸流分子ポンプ

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US (1) US4609332A (ja)
JP (1) JPH0646036B2 (ja)
DE (1) DE3341716A1 (ja)
FR (1) FR2536473B1 (ja)
GB (1) GB2130655B (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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