JPH01269722A - 磁気制御軸受ユニット - Google Patents

磁気制御軸受ユニット

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JPH01269722A
JPH01269722A JP63098182A JP9818288A JPH01269722A JP H01269722 A JPH01269722 A JP H01269722A JP 63098182 A JP63098182 A JP 63098182A JP 9818288 A JP9818288 A JP 9818288A JP H01269722 A JPH01269722 A JP H01269722A
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bearing
bearing holder
control circuit
rotating shaft
magnetically controlled
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JP63098182A
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English (en)
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Toshiro Higuchi
俊郎 樋口
Takeshi Sawamoto
沢本 毅
Hiromasa Fukuyama
寛正 福山
Takeshi Takizawa
滝沢 岳史
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NSK Ltd
Think Laboratory Co Ltd
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THINK LAB KK
NSK Ltd
Think Laboratory Co Ltd
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Publication date
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    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C32/00Bearings not otherwise provided for
    • F16C32/04Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
    • F16C32/0406Magnetic bearings
    • F16C32/044Active magnetic bearings
    • F16C32/0444Details of devices to control the actuation of the electromagnets
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C27/00Elastic or yielding bearings or bearing supports, for exclusively rotary movement
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C32/00Bearings not otherwise provided for
    • F16C32/04Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
    • F16C32/0406Magnetic bearings
    • F16C32/044Active magnetic bearings
    • F16C32/0474Active magnetic bearings for rotary movement

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本願の各発明(以下r本発明」という)は、ローラ支持
又は工作機減の主軸等を支える汎用軸受ユニットに関す
るものである。
(従来の技術) 従来、回転軸ないし中空のロールといった回転体を回転
又は揺動可能に支持する軸受ユニットとしてはピローブ
ロックがあった。これは第25図に示すように1本の回
転体をその両端で2台のとローブロックで支持する構成
から成り立つものである。
又、第27図に示す様な、モータのロータ軸を磁気的に
支える磁気軸受があった。こねは、回転軸の位置をラジ
アルセンサとアキシャルセンサで検出し、その信号で対
応するラジアル電磁極、アキシャル電磁極に流れる電流
を制御し各1磁極の吸引力を制御して、回転軸を所定の
位置に非接触状態で回転自在に支持するものである。
〔発明が解決しようとする課題〕
上述のピローブロックの場合、回転体−軸受−ハウジン
グで構成される振動系において減衰力は軸受の持つ減衰
力に大きく依存するが、通常ころがり軸受の減衰力は非
常に小さい。
従って、回転体に大きな不釣合があると回転中不釣合に
よる大きな遠心力が発生し、それがピローブロックの軸
受を介してビローブロック全体を大きく揺すり、結果と
してとロープロックを取付けた台座を振動させるという
不都合があった。
また、ピローブロックに支持された回転体は第26図に
示す形状主軸中心で支持され、任意にその回転位置を変
える例えば同図の慣性主軸中心で支持するということは
できなかった。
一方、上述の磁気軸受は、回転体を完全非接触状態で浮
上させ回転させる構造であるが、長く。
大きなロールを両端で支持しなければならない場合の様
に、取り付は誤差が大きくなると、回転体平衡を制御す
るための電流が多くなり、不経済である課題があった。
本発明は、これらの事情に鑑みなされたもので、a0回
転体を含む振動系における減衰力、バネ常数を変更させ
る、b、特定回転数域での回転軸の共振をさける、C0
軸受中心を回転軸の回転角に応じて周期的に変動させる
、d、慣性主軸中心で回転させ振動をハウジングに伝え
ない、e。
不釣合による回転体の揺れるまわりを押え形状主軸中心
で回転させるといった種々の回転軸の運動状態、撮動状
態を積極的に制御できる軸受ユニットを提供することを
目的とするものである。
〔課題を解決するための手段〕
上記目的を達成するため、本発明では、軸受ユニットを
磁気的に積極的に制御できるようつぎのように構成する
(1)回転軸と、該回転軸を支持する軸受と、該軸受を
保持する軸受保持体と、該軸受保持体を弾性体で懸架し
て支持する外側ハウジングと、該軸受保持体の外壁面に
間隔をおいて対向配置され該外側ハウジングに固定され
ている複数個の電6ft極と、該外側ハウジングまたは
該軸受保持体に取付けられて軸受保持体の動きを検出す
る複数個のセンサと、該センサの検出出力に応じて該電
磁極の吸引力の強さを制御する制御回路とを備えるよう
にする。
(2)ローラと、該ローラを支持する軸受と、該軸受の
内輪に嵌合して軸受を保持する軸受保持体と、該軸受保
持体を弾性体で懸架して支持する内側ハウジングと、該
軸受保持体内壁面に間隔をおいて対向配置され該内側ハ
ウジングに固定されている複数個の電磁極と、該内側ハ
ウドングまたは該軸受保持体に取付けられて軸受保持体
の動きを検出する複数個のセンサと、該センサの検出出
力に応じて該電磁極の吸引力の強さを制御する制御回路
とを備えるようにする。
(3)上記(1)または(2)において、制御回路は、
可変の回路常数のものであって、軸受保持体に可変のバ
衰力、バネ定数を与えるようにする。
(4)上記(1)または(2)において、制御回路は、
回転軸またはローラの特定回転数域に対応して回路常数
を変更する手段を有するようにする。
(5)上記(1)または(2)において、制御回路は、
回転軸またはローラの回転角に応じて各電磁極の目標位
置基準電圧を変更する手段を有するようにする。
(6)上記(1)または(2)において、制御回路は、
回転軸またはローラの回転数に対応する周波数成分のフ
ィードバックを阻止する中心周波数可変帯域除去フィル
タを有するようにする。
(7)上記(1)または(2)において、制御回路は、
回転軸またはローラの回転角情報とセンサよりの変位情
報より慣性主軸と形状主軸のずわを計算する手段と、そ
のずれ量に応じて各電磁極の目標位置基準電圧を回転体
が慣性主軸のまわりに回転できるように回転体の回転角
に応して周期的に変動させる手段とを有するようにする
(8)上記(7)において、各電磁極に供給する電流を
検出して軸受保持体の振れまわり用補正電流が最小にな
るように、各電磁極の目標位置基準電圧をさらに変更す
る手段を有するようにする。
(9)上記(7)において、外側ハウジングまたは内側
ハウジングの振動加速度を検出する手段と、その加速度
か最小になるように各電磁極の目標位置基準電圧をさら
に変更する手段とを有するようにする。
〔作用〕
上述の(1)、(2)の構成により、回転軸の運動状態
、振動状態が積極的に制御でき、(3)の構成で減衰力
、バネ定数か可変にでき、(4)の構成で特定回転数域
における回転軸の共振をさけることができ、(5)の構
成で軸受中心を回転軸の回転角に応じて周期的に変動さ
せることができ、(6)の構成で減衰力、バネ定数を所
定値に維持しながら慣性主軸中心で回転させることがで
き、(7)の構成で慣性主軸中心で回転させることがで
き、(8)(9)の構成でより正確に慣性主軸中心に回
転させることができる。
〔実施例〕
以下、本発明を実施例により説明する。
第1図、第2図は、本発明の第1の実施例である「磁気
制御軸受ユニット」の要部を示すもので、第1図は第2
図のB−Bよりみた横断面図、第2図は第1図のA−A
よりみた縦断面図である。第3〜9図は同実施例で用い
る部材の説明図である。
第1図、第2図において、回転軸1は、軸方向の2カ所
に配置された軸受2によって支持される。軸受2は磁性
体である軸受保持体3に固定されている。軸受保持体3
は軸方向に離れて2カ所に設置された板バネ4によって
半径方向に支持される。板バネ4は第3図に示すように
W字形の一体品である。板バネ4は、板バネ押え(■)
41によって外側ハウジング8に固定され、板バネ押え
(rf)42によフて軸受保持体3に連結している。板
バネ4は軸受保持体3に作用する荷重方向によって第4
図、第5図に示すように変形する。5は電磁極でその構
造は第6図のように、E字形のケイ素鋼板を積層し、そ
の中央部に巻線した構造になっている。6は、軸受保持
体3の位置を検出するセンサである。電磁極5とセンサ
6は、第7〜9図に示すように配置されている。電磁極
は対称に垂直方向に4個、水平方向に8測針12個であ
る。なお、第8図は第7図のA−A方向よりみた電極5
とセンサ6の配置図、第9図は第7図のB−B方向より
みた電磁極5とセンサ6の配置図、第7図は第8図のC
−Cよりみた縦断面図である。
図示のように、電磁極は、板バネ4の軸方向外側に、垂
直方向、水平方向に対向して設置してあり、外側ハウジ
ング8に固定しである。垂直方向には、電磁極(5−1
,5−2)と(5−3゜5−4)の対が、水平方向には
、(5−5,5−11)、(5−6,5−12)、(5
−7,5−9)、(5−8,5−10)の6対がある。
センサ6は、垂直方向に6−1.6−3、水平方向に6
−2.6−4.6−5と設置しである。センサ6−1.
6−3で軸受保持体3の垂直方向の変位と傾きを検出で
き、センサ6−1.6−2.6−4.6−5によって軸
受保持体3の水平方向の変位と傾きとねじれ(回転)を
検出する。
回転軸1に垂直方向に荷重が作用すると軸受2を介して
板バネ4に支持された軸受保持体3が荷重方向に変位し
ようとする。その変位量をセンサ6−1.6−3が検出
しセンサ出力に応じて図示していない制御回路を通して
制御電流が電磁極5−1.5−2の対と5−3.5−4
の対に供給されて回転fill11を垂直方向の目標位
置に位置決めする。
回転軸1に水平方向の荷重が作用した場合はセンサ6−
2.6−4.6−5の出力に応して電磁極5−5.5−
11の対、5−6.5−12の対、5−7.5−9の対
、5−8.5−10の対が作動して水平方向の目標位置
に位置決めする。
回転軸1が回転すると軸受2を介して軸受保持体3を回
転方向に回そうとするトルクが作用する。それに対して
第3図の板バネは踏ばり力を生じないが、軸受保持体3
の外側面に対向して配置されている電磁極5−5.5−
11の対、5−6.5−12の対、5−7.5−9の対
、5−8.5−10の対の動作によって軸受保持体3が
回転するのを防ぐ。
なお、板バネのかわりに、ねじり棒バネ、ゴム、空気バ
ネ等の弾性体を用いることができることはもちろんであ
る。
以上の構成により、制御回路の特性に応じた軸受の運動
状態、振動状態の積極的な制御が可能となる。
第10〜I2図は、本発明の第2の実施例である[磁気
制御軸受ユニット」の要部を示し、第10図はその横断
面図、第11図は第10図のB−Bよりみた側面図、第
12図は第10図のA−Aよりみた縦断面図である。
ローラ1−Aは軸受2−Aによって支持され、軸受2−
Aは軸受保持体3−Aに固定されている。軸受保持体3
−Aは、バネ4−Aによって半径方向に支持され、軸方
向には、軸方向位置決めピンが内側ハウジング8−Aに
設けられている軸方向位置決め溝にすきまを持って嵌合
することによって位置決めされる。バネ4〜Aはバネ止
め(I)41−Aによって内側ハウジング8−Aに止め
られ、バネ止め(1夏)42−Aによって軸受保持体3
−Aに連結している。電磁極が第1の実施例では外側ハ
ウジング8に取り付けられているのに対し第2実施例で
は内側ハウジング8−Aに取り付けられている他はその
構造、配置やセンサの配置及びそれらの機能は、第1の
実施例の場合と同様である。第1及び第2の実施例の磁
気制御軸受ユニットは、第13図に示すように片持ちで
或は第14図に示す両持ちのような形で使用される。
次に上述の各実施例における制御回路に関する実施例に
ついて説明する。
第15図、第16図は、本発明の第1及び第2の実施例
の制御回路に関する、「磁気制御軸受ユニットJの要部
を示すもので、第15図は制御回路全体を示すブロック
図であり、第16図は第15図のPID調節器の回路図
である。
図において、5−1.5−2は第1の実施例における同
符号の電磁極の対であり、6−1は同実施例の同符号の
センサである。
可動体(この場合軸受保持体3又は3−A)の変位状況
をセンサ6−1で検出し、その出力信号はノイズ除去用
のローパスフィルタを通って減算;計10に送られる。
減算15qIOのもう一つの入力は可動体の垂直方向の
目標位置を示す目標位置基17i1f圧V。(この場合
VV)である。前記減算器10の出力はPID調節器1
1に送られる。
PID調節器11の出力は2つに分けられ、その一方は
加算器12でバイアス電圧v1と加算さね、もう一方は
減算器13でバイアス電圧V2との差をとられてそわぞ
れパワーアンプ14.15に送られ、さらに電磁極5−
1.5−2の巻線に送られる。可動体は、減算器10の
出力が0になるまで、すなわち、可動体が基準位置にな
るまで制御される。ここでバイアス電圧vlとV2につ
いて述べると、vlとV2の差だけ7tt il極5−
1.5−2の巻線に流ねる電流の差を生じ、それが電磁
極5−1.5−2の吸引力の差を生む。それが可動体の
自重分に相当するように選ばれる。
この実施例の制御回路では、可動体の動きに減衰力を与
えるように位相を進める回路要素である微分回路要素を
PID調節器のD部に持っている。
第15図のPID調節器の例を第16図に示す。
第16図のRPI、 RP2.  r 、 OP 1で
比例部分くP部)を構成し、R,、C,、r、OF2で
積分部分(1部)を構成し、Co、Ro、r。
OR3で微分部分(D部)を構成し、RA、。
RA2.r、OR3でP部、II、D部の合算が行われ
て人力に対してPID制御された出力が得られる。電磁
極の他の対についても同様に構成されている。
ここで、可動体の質量または軸の回転数に応じて可動体
の動きに対する減衰力やバネ定数を変えたいときには、
第15図、第16図の制御回路の回路常数(V+ 、 
V2 、 RPl、 RP2. R1。
CI 、 Co 、 Ro 、 RAI、 RA2)な
どの中のいくつかを手動または自動で可変にすればよい
。こねによって可動体の動きの動剛性の周波数特性(振
動特性)を変えることができる。
その1例として、第17〜19図に示す本発明の第3及
び4の、実施例を説明する。第17図は、同実施例の要
部のブロック図、第18図は第17図の比較器17の回
路図、第19図は同実施例の回転数−振幅特性図である
可動体即ち軸受保持体3の周波数特性が第19図に示す
如くになる。制御回路の回路常数の定め方によって制御
系の利得が決まるが、利得か小さいときは軸受保持体の
回転数に対する振幅特性はCIの林になり、利得が大き
いときはC2の様になる。
C,、C,は制御系の常数を変化したとき、軸受のバネ
定数が変化したときの軸又は軸受保持体の振動特性を表
す。
回路常数を変えなければ、曲線C,或はC2に沿った振
幅特性を示す。曲線C1に沿った場合、危険速度での振
幅は小さいが高回転数のとき振幅が大きくなる。−力曲
線C2に沿った場合には高回転数のとき振幅は小さくな
るが危険速度での振幅が犬きくなる。いずれの場合も振
幅が太きなるときには基台の振動も大きくなる。
しかし、回転数がN、以下或はN2以上で曲線C2にな
る回路常数とし、回転数がN1〜N2の範囲の時は曲線
C3になる回路常数とすれば、回転数全域にわたって振
幅を比較的小さくでき、特に回転数N。におけるような
共垢状態を避けることができる。
この動作を実現するのが第17図に示す制御回路で、第
1図の回転軸1に付けたロータリーエンコーダ7により
回転数nを検出し、FVコンバータ18によってそれを
アナログ電圧出力VNに変換し、危険速度N。の近傍の
回転数N、、N2(NI<No <N2 )に対応する
Fvコンバータ出力相当分VJlll+ VN2と比較
し5回転数nが危険速度近傍のとき、すなわちvNl<
vH<VN2なるときと、危険速度近傍でないとき、す
なわちV N < V MlまたはVN>VN2のとき
とでアナログスイッチ16−A、16−B、16−Cを
切換え、PID調節器の回路定数を変える構成になフて
いる。
比較器17は、第18図の構成となっている。
即ち、FVコンバータ18からの入力vNは、vNl、
vN2トオペアンブOP5とOF2によって比較され、
抵抗rl+’2を通りダイオードとトランジスタより構
成されるインターフェースを通ってインバータとNOR
素子を通ってvNl< VN < VN2(Dトtk 
ニハh i g h(048号カッれ以外のときにはl
owの信号が出力され、それに応じてアナログスイッチ
16−A、16−B。
16−CはH,Lと切換えられ、回路常数が変更される
。こむにより、軸の回転数nがN、以下。
N2以上のときは曲線C2の特性が得られ、回転数nか
N、ないしN2のときは曲線C1の特性が得られる。
なお、第18図のダイオードは、オペアンプの電源電圧
が15V、トランジスタの電源電圧5vの場合のレベル
変換のためのものである。
第20図は、本発明の第5の実施例の要部を示すブロッ
ク図である。
この実施例は、回転体即ち、回転軸1或はローラ1−A
の回転角に応じて周期的に各電磁極に与える軸受保持体
の目標位置基準電圧を変更する手段である基準電圧設定
回路部を設けることにより回転体表面が回転に同期して
決められた変動をするようにするものである。第20図
において、第1図に示すロータリーエンコーダ7によっ
て回転体の回転角の出力信号が取り出されカウンタに送
られる。カウンタ出力信号はPROM21のアドレスに
入力される。PROM21にはあらかじめ、軸の回転角
度に対する目標軸中心座標値(360”分)のデータ(
テーブル)を入れておく。PROM21の出力をD/A
コンバータ22に入れ、D/Aコンバータ22の出力を
ローパスフィルタを通すと軸の目標位置データに相当す
る目標位置基準電圧vvに変換される。このような制御
方式でこの軸受ユニットの軸中心を所定のふれ回りに制
御でき断面真円形状品のみでなく、断面異形の形状品の
切削に適する旋盤主軸に用いることができる。
第21図は、本発明の第6の実施例の要部を示すブロッ
ク図である。
この実施例は、回転軸1の回転数に対応する周波数成分
のフィードバックを阻止して慣性主軸中心の回転をさせ
、軸の振動をハウジングなど外部に伝えなくするもので
ある。第21図に示す如く、ロータリーエンコーダ7に
よって回転軸1の回転数を検出し、カウンタ20.D/
Aコンバータ22を通して中心周波数可変形帯域除去フ
ィルタ23に入れ、回転数に対応した形で中心周波数可
変形帯域除去フィルタ23に入る減#PJ10の出力を
除去する。こうすることにより軸の回転数に対応した共
振周波数成分周波数時のフィードバック制御が働かない
。そのため、可動体(軸受保持体3)は、回転軸1が回
転すると回転に対応しては何ら規制力を発揮せずそのた
め、回転軸1はその不釣合いに基づいてその慣性主軸の
まわりに回転するがその時電磁極の電磁吸引力の変動分
が発生しないため、回転41の不釣合いによる加振は外
側ハウジングに伝達されない。
第22図は、本発明の第7の実施例の要部を示すブロッ
ク図である。
この実施例は、コンピュータで不釣合位置、不釣合量を
計算し、軸受保持体を電磁極によって意識的に運動させ
て軸を慣性主軸中心のまわりに回転をさせるものである
図示のように、ロータリーエンコーダ7からの回転角情
報と、センサ6よりの変位情報をコンピュータ24に人
力し、コンピュータ24において、回転軸の不釣合位置
に対する不釣合量を計算し、軸受保持体3位置における
慣性主軸と回転主軸のずれを計算する。例えば第21図
に示される様に、軸が慣性主軸で回転しているときの(
フィールドバックをかけない時)軸の回転角情報に対す
る軸受保持体3の変位情報すなわち軸の1回転当りの慣
性主軸座標情報を予め求め、現在回っている回転主軸の
回転角情報に対する軸受保持体3の変位情報すなわち回
転主軸座標情報との差をコンピュータ24を用い演算記
憶しておく。次いで、コンピュータ24は前記2つの座
標情報の差をなくする様に各電磁極の目標位置基準電圧
を周期的に変動するように出力する。又、前記慣性主軸
座標情報を求める他の方法として各型111g1の電流
値と、軸受保持体3の変位情報から各Ti磁極の吸引力
を求めこの値から求まる遠心力分布から計算によって求
めることもでき、この慣性主軸座標を用い前記した様に
2つの座標情報の差をなくする様に各電!!!極の目標
基準電圧をコンピュータ24により求め出力制御するこ
ともできる。そのコンピュータ出力をD/Aコンバータ
22、ローパスフィルタを通して減算器1oに目標位置
基準電圧として入力する。こうすることにより、Ith
受保持体3は減衰力とバネ力を持った状態で、かつ、回
転軸はその慣性主軸のまわりに回転できる。このことに
より回転軸の不釣合いにょる加振は外側ハウジングに伝
達されない。
第23図は、本発明の第8の実施例の要部を示すブロッ
ク図である。
この実施例では、第22図の制御回路において各電磁極
のコイルに流れる電流を検出し、それをコンピュータ2
4に人力し、各電磁極のコイルに流れる電流のうち軸受
保持体振れまわり用補正電流の実効値の和が最小になる
ように目標位置基準電圧を第22図の制御回路の場合か
らさらに修正する。
第23図の制御回路において、各電磁極に供給する電流
を検出するかわりに、外側ハウジング8または内側ハウ
ジング8−Aの振動加速度を検出し、その加速度が最小
になるように各電磁極の目標位置基準電圧をさらに変更
させる手段を設けてもよい。
第22図、第23図の各実施例の制御動作について、第
24図の軸受中心の軌跡図を参照しながら説明する。
本発明の目的の1つは、不釣合いを持つ回転軸が回転す
るときに発生する不釣合いに基づく加振力をハウジング
に伝達しないことである。そのために回転軸をその慣性
主軸のまわりに自由にまわれるようにする。そのために
、慣性主軸のまわりに回ったとき軸受部における回転軸
1の動きに合うように軸受2と一体になった軸受保持体
3を動かす。そわには軸受保持体3を自由支持に近い極
〈弱いバネで浮かせばよいが、その場合には静剛性が得
られず回転軸1に作用する力(例えば重力)によって大
きく変位してしまう。ということで、第22図、第23
図の実施例は、静剛性を持たせ、減衰力も与えて、かつ
、眞述のような軸受保持体3の動きを実現しようとする
ものである。
第24図において、実線は軸受保持体3自由支持の場合
の軸受中心の軌跡であり、点線は軸受保持体3の自由な
動きを抑え込んだ場合であり、破線は過大に振わ回らせ
た場合である。各電磁極に娠れ回り用補正電流を各電M
i極に流すとき、供給する電磁エネルギは実線の場合が
点線ないし破線の場合に比べ最小になる。
第22図の制御回路は軸受中心が第24図の実線の軌跡
に合うように目標位置基準電圧をコンピュータ24で計
算し、各電磁極に軸受保持体振れ回り用補正電流を流す
るようにしたものである。
第23図の制御回路は、第22図の制御回路において位
相遅れ等によって完全には軸受中心の動きが第24図の
実線に一致しないとき、より完全に一致するよう再補正
するものである。
上述の如く第23図における電流検出の代りに軸受保持
体3の振動加速度を検出し制御してもよい。
なお、制御回路に関する各実施例を第1の実施例の構成
により説明しているか、これは説明の都台上のことであ
フて、第2の実施例の構成においても同様に実施できる
又、各制御における実施例では2つの対となった電磁極
について説明したが、第1及び第2の実施例の対を形成
する他の複数組の電磁極についても同様の制御が可能で
あることは言うまでもない。
〔発明の効果〕
上述の如く、本発明によれば回転軸。
ローラー軸受−ハウジングで構成される振動系において
、減衰力とバネ定数を任意に設定でき、用途、使用条件
等に最適な振動系を実現できる。
また、回転角に応じて回転軸心または回転体表面を変動
させることができ、例えば断面異形の切削加工に利用で
きる。
また、回転軸またはローラをその慣性主軸のまわりに回
すことができ、回転軸またはローラを含む回転体の持つ
不釣合いによる加振力をハウジング、基台等に伝達させ
ないようにできる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の第1の実施例の要部横断面図、第2図
は同要部縦断面図、第3図は同実施例で用いる板バネの
斜視図、第4図、第5図は板バネの形状と荷重方向の関
係を示す図、第6図は第1の実施例で用いる電磁極の斜
視図、第7図。 第8図、第9図は同実施例の電磁極の配置を示す要部断
面図、第10図は第2の実施例の要部横断面図、第11
図は同要部側面図、第12図は同要部の縦断面図、第1
3図、第14図は第1の実施例および第2の実施例の使
用例を示す側面図、第15図は第1及び第2の実施例の
制御回路のブロック図、第16図は同制御回路のPID
調節器の回路図、第17図は第3及び第4の実施例の制
御回路のブロック図、第18図は同制御回路の比較器の
回路図、第19図は第3及び第4の実施例の特性説明図
、第20図は第5の実施例の制御回路のブロック図、第
21図は第6の実施例の制御回路のブロック図、第22
図は第7の実施例の制御回路のブロック図、第23図は
第8の実施例のii回路のブロック図、第24図は軸受
中心の軌跡図、第25図は従来例の概念図、第26図は
従来例の説明図、第27図は他の従来例の概念図である
。 図において、1は回転軸、1−Aはローラ、2.2−A
は軸受、3.3−Aは軸受保持体、4は板バネ、4−A
はバネ、5は電磁極、6はセンサ、7はロータリーエン
コーダ、8は外側ハウジング、8−Aは内側ハウジング
、11はPID調節器、16−A、16−8,16−C
はアナログスイッチ、19は基準電圧設定部、23は中
心周波数可変帯域除去フィルタである。

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)回転軸と、該回転軸を支持する軸受と、該軸受を
    保持する軸受保持体と、該軸受保持体を弾性体で懸架し
    て支持する外側ハウジングと、該軸受保持体の外壁面に
    間隔をおいて対向配置され該外側ハウジングに固定され
    ている複数個の電磁極と、該外側ハウジングまたは該軸
    受保持体に取付けられて軸受保持体の動きを検出する複
    数個のセンサと、該センサの検出出力に応じて該電磁極
    の吸引力の強さを制御する制御回路とを備えていること
    を特徴とする磁気制御軸受ユニット。
  2. (2)ローラと、該ローラを支持する軸受と、該軸受の
    内輪に嵌合して軸受を保持する軸受保持体と、該軸受保
    持体を弾性体で懸架して支持する内側ハウジングと、該
    軸受保持体内壁面に間隔をおいて対向配置され該内側ハ
    ウジングに固定されている複数個の電磁極と、該内側ハ
    ウドングまたは該軸受保持体に取付けられて軸受保持体
    の動きを検出する複数個のセンサと、該センサの検出出
    力に応じて該電磁極の吸引力の強さを制御する制御回路
    とを備えていることを特徴とする磁気制御軸受ユニット
  3. (3)制御回路は、可変の回路常数のものであって、軸
    受保持体に可変の減衰力、バネ定数を与えるものである
    ことを特徴とする請求項1または請求項2記載の磁気制
    御軸受ユニット。
  4. (4)制御回路は、回転軸またはローラの特定回転数域
    に対応して回路常数を変更する手段を有するものである
    ことを特徴とする請求項1または請求項2記載の磁気制
    御軸受ユニット。
  5. (5)制御回路は、回転軸またはローラの回転角に応じ
    て各電磁極の目標位置基準電圧を変更する手段を有する
    ことを特徴とする請求項1または請求項2記載の磁気制
    御軸受ユニット。
  6. (6)制御回路は、回転軸またはローラの回転数に対応
    する周波数成分のフィードバックを阻止する中心周波数
    可変帯域除去フィルタを有することを特徴とする請求項
    1または請求項2記載の磁気制御軸受ユニット。
  7. (7)制御回路は、回転軸またはローラの回転角情報と
    センサよりの変位情報より慣性主軸とのずれを計算する
    手段と、そのずれ量に応じて各電磁極の目標位置基準電
    圧を回転体が慣性主軸のまわりに回転できるように回転
    体の回転角に応じて周期的に変動させる手段とを有する
    ことを特徴とする請求項1または請求項2記載の磁気制
    御軸受ユニット。
  8. (8)各電磁極に供給する電流を検出して軸受保持体の
    振れまわり用補正電流が最小になるように、各電磁極の
    目標位置基準電圧をさらに変更する手段を有することを
    特徴とする請求項7記載の磁気制御軸受ユニット。
  9. (9)外側ハウジングまたは内側ハウジングの振動加速
    度を検出する手段と、その加速度が最小になるように各
    電磁極の目標位置基準電圧をさらに変更する手段とを有
    することを特徴とする請求項8記載の磁気制御軸受ユニ
    ット。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04327021A (ja) * 1991-04-26 1992-11-16 Seiko Seiki Co Ltd 軸受装置

Families Citing this family (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0720359B2 (ja) * 1990-03-16 1995-03-06 株式会社荏原製作所 回転体のアンバランス修正装置
US5053662A (en) * 1990-04-18 1991-10-01 General Electric Company Electromagnetic damping of a shaft
FR2672946B1 (fr) * 1991-02-20 1995-06-02 Framatome Sa Procede de commande numerique de moyens electromagnetiques de positionnement par sustentation magnetique active d'un organe flexible et dispositif pour sa mise en óoeuvre.
US5486729A (en) * 1992-03-09 1996-01-23 Hitachi, Ltd. Method and apparatus for controlling a magnetic bearing
JPH06134667A (ja) * 1992-10-26 1994-05-17 Seiko Seiki Co Ltd 砥石軸装置
JP3463218B2 (ja) * 1993-12-24 2003-11-05 光洋精工株式会社 磁気軸受装置
US5521448A (en) * 1994-08-01 1996-05-28 Mechanical Technology Incorporated Damping for passive magnetic bearings
US6154000A (en) * 1994-09-07 2000-11-28 Omnitek Research & Development, Inc. Apparatus for providing a controlled deflection and/or actuator apparatus
US5604413A (en) * 1994-09-07 1997-02-18 Polytechnic University Apparatus for improving operational performance of a machine or device
DE69730781T2 (de) * 1996-06-26 2005-09-29 Rolls-Royce Corp., Indianapolis Lagerkombination für eine Gasturbine
US5749700A (en) * 1996-07-17 1998-05-12 Allison Engine Company, Inc. High speed, high temperature hybrid magnetic thrust bearing
DE19637270A1 (de) 1996-09-13 1998-03-19 Schlafhorst & Co W Topfspinnvorrichtung
CN1124529C (zh) 1998-10-08 2003-10-15 西门子公司 对一个具有多个耦合的被调参数的系统进行调节的调节装置
DE19846447A1 (de) * 1998-10-08 2000-04-13 Siemens Ag Regeleinrichtung zur Regelung einer Strecke mit mehreren verkoppelten Regelgrößen
ITMI20040308A1 (it) * 2004-02-24 2004-05-24 Danieli Off Mecc Testa formaspire con dispositivo di smorzamento delle vibrazioni
RU2399803C2 (ru) * 2004-06-15 2010-09-20 Али ЭЛЬ-ШАФЕИ Способы управления неустойчивостью в гидродинамических подшипниках
EP1621785A1 (en) * 2004-07-30 2006-02-01 Mecos Traxler AG Method and apparatus for controlling a magnetic bearing device
US7240570B2 (en) * 2005-09-06 2007-07-10 The Timken Company Load-sensing bearing
JP2009507244A (ja) * 2005-09-06 2009-02-19 ザ ティムケン カンパニー 荷重検出ベアリング
US8760021B2 (en) * 2010-06-01 2014-06-24 Lawrence Livermore National Security, Llc Centrifugally decoupling touchdown bearings
US10612592B2 (en) * 2016-05-17 2020-04-07 Aly El-Shafei Integrated journal bearing
RU177341U1 (ru) * 2017-03-10 2018-02-16 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "ОРЛОВСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ имени И.С. ТУРГЕНЕВА" (ОГУ им. И.С. Тургенева) Подшипниковый узел
US11099589B1 (en) * 2020-03-16 2021-08-24 Alpha And Omega Semiconductor (Cayman) Ltd. Digitally programmable, fully differential error amplifier
US11585235B2 (en) 2020-11-18 2023-02-21 Rolls-Royce North American Technologies Inc. Magnetic shaft mode control

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1473903A1 (de) * 1965-04-20 1969-03-27 Beyerle Dr Ing Konrad Kreisellagerung
US3582162A (en) * 1969-11-03 1971-06-01 Max Baermann Temperature compensated permanent magnet bearing
GB1398083A (en) * 1971-06-15 1975-06-18 Sperry Rand Ltd Electro-mechanical transducer
DE2210995C2 (de) * 1972-03-08 1974-02-21 Teldix Gmbh, 6900 Heidelberg Magnetische Vorrichtung, insbesondere für ein Schwungrad
DE2213465C3 (de) * 1972-03-20 1986-02-13 Padana AG, Zug Elektromagnetisches Lagerelement
CH556919A (de) * 1972-08-17 1974-12-13 Rieter Ag Maschf Lagerung fuer einen spinnrotor einer offenend-spinnvorrichtung.
US4114960A (en) * 1973-01-18 1978-09-19 Societe Europeenne De Propulsion Radial displacement detector device for a magnetic bearing
US4182967A (en) * 1977-05-23 1980-01-08 Jordan Robert D Energy storage system
JPH0646036B2 (ja) * 1982-11-19 1994-06-15 セイコー電子工業株式会社 軸流分子ポンプ
CS232586B1 (en) * 1983-03-31 1985-02-14 Frantisek Starek Seating of rotating parts of a x-ray tube's anode
FR2561738B1 (fr) * 1984-03-26 1986-08-22 Europ Propulsion Procede et dispositif de reduction des vibrations des machines tournantes equipees d'une suspension magnetique active
US4723735A (en) * 1984-12-28 1988-02-09 The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. Energy storage attitude control and reference system
JPS61175314A (ja) * 1985-01-31 1986-08-07 Natl Aerospace Lab 磁気軸受
JPS61218355A (ja) * 1985-03-22 1986-09-27 Res Dev Corp Of Japan 回転位置決め機能を有する磁気浮上アクチユエ−タ
JPS61262225A (ja) * 1985-05-13 1986-11-20 Hitachi Ltd 電磁軸受制御装置
FR2613149B1 (fr) * 1987-03-26 1994-03-18 Etat Francais Delegue Armement Moyens de controle electromagnetique des vibrations dans les machines electriques
CA1283143C (en) * 1987-06-11 1991-04-16 Ralph L. Hollis, Jr. Magnetically levitated fine motion robot wrist with programmable compliance

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04327021A (ja) * 1991-04-26 1992-11-16 Seiko Seiki Co Ltd 軸受装置

Also Published As

Publication number Publication date
DE3913053C2 (de) 1995-11-23
DE3913053A1 (de) 1989-11-02
US5142177A (en) 1992-08-25

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