JP2020023949A - 真空ポンプ、及びこの真空ポンプに用いられる円筒部、並びにベース部 - Google Patents
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Abstract
Description
11 ケーシング(筐体)
11A 円筒部
11AC 内周面
11B ベース
12 ロータシャフト
13 ロータ
14 駆動モータ
15 ステータコラム
16 ガス吸気口
17 上方フランジ部
18 下方フランジ部
18a Oリング用凹部
19 Oリング
20 上部径方向位置決め部
20a 第1の環状壁部
20b 第2の環状壁部
21 下部径方向位置決め部
22 円筒ベース部
22a 外周面
22b 小径部
23 水平ベース部
24 ガス排気口
25 ボルト
26 回転翼
27 磁気軸受
28 ラジアル電磁石
28a ラジアル方向偏倚センサ
29 アキシャル電磁石
29a アキシャル方向変位センサ
30 タッチダウン軸受
31 ボス孔
32 ボルト
33 ロータフランジ
34 シャフトフランジ
35 回転子
36 固定子
37 ボルト
38 固定翼
38a 最上段の固定翼
38b 上から二番目の固定翼
39 スペーサ
39a 第1の径方向支持部
39b 第2の径方向支持部
39c 小径部(段部)
139 スペーサ
139a 第1の径方向支持部(下部径方向支持部)
139b 第2の径方向支持部(上部径方向支持部)
139d スペーサ部
238 最上段の固定翼
239 最上段のスペーサ
239a 第1の径方向支持部(下部径方向支持部)
239b 第2の径方向支持部(上部径方向支持部かつ径方向位置決め部)
40 気体移送機構
M 軸方向
R 径方向
G 気体
O1 軸線
Claims (9)
- 外部から気体を吸入するための吸気口と吸入された前記気体を外部に排気するための排気口を有するケーシング内に、軸方向に交互に多段配列された回転翼及び固定翼を有するターボ分子機構を備える真空ポンプであって、
段積みされて前記固定翼を軸方向に位置決めしている環状をした複数のスペーサと、
少なくとも段積みされた前記複数のスペーサの外周を囲って配置される円筒部と前記円筒部の下部に取り付けられるベース部の、2部品で構成された前記ケーシングと、
前記円筒部内の上下二つの位置に各々設けられて、段積みされた前記複数のスペーサの少なくとも最上段のスペーサと最下段のスペーサを同軸的に保持している径方向位置決め部と、
を備えることを特徴とする真空ポンプ。 - 前記円筒部内周面の上側の径方向位置決め部は、前記複数のスペーサの外周面に対応して設けられ、
前記円筒部内周面の下側の径方向位置決め部は、前記ベース部の側面に対応して設けられている、ことを特徴とする請求項1に記載の真空ポンプ。 - 前記上側の径方向位置決め部は、前記最上段のスペーサの外周面に対応して設けられている、ことを特徴とする請求項2に記載の真空ポンプ。
- 前記複数のスペーサは、
前記固定翼の外周面と前記円筒部の内周面との間に配設される径方向支持部と、
前記回転翼の外周側に対向して設けられ、段積みされた隣り合う前記複数のスペーサの前記径方向支持部の内周面に嵌合連結するスペーサ部と、
を備えていることを特徴とする請求項1、2又は3に記載の真空ポンプ。 - 前記最上段のスペーサは、
最上段の前記固定翼の外周面と前記円筒部の内周面との間に配設される上部径方向支持部と、
最上段の前記固定翼の下側に配設された前記固定翼の外周面と前記円筒部の内周面との間に配設される下部径方向支持部と、
最上段より二段目の前記回転翼の外周側に設けられ、前記上部径方向支持部と前記下部径方向支持部を接続するスペーサ部を備える、
ことを特徴とする請求項1、2、3又は4に記載の真空ポンプ。 - 前記最上段のスペーサは、最上段の前記固定翼であって、更に、最上段の前記回転翼の外周側に対向して設けられた前記径方向位置決め部を有する、ことを特徴とする請求項1、2又は3に記載の真空ポンプ。
- 前記ベース部は、
前記ケーシングの軸方向上側に延び、外周面が前記下側の径方向位置決め部の内面に当接する円筒ベース部と、
前記円筒ベース部の下部外周から外側に向かって鍔状に延設され、前記円筒部の下面に当接する水平ベース部と、
を備え、
前記水平ベース部と前記円筒部の下面との間に、前記ベース部と前記円筒部との間をシールするOリングを配設している、ことを特徴とする請求項2又は3に記載の真空ポンプ。 - 外部から気体を吸入するための吸気口と吸入された前記気体を外部に排気するための排気口と、
軸方向に交互に多段配列された回転翼及び固定翼と、
段積みされて前記固定翼を軸方向に位置決めしている環状をした複数のスペーサと、を有するターボ分子機構を備える真空ポンプの円筒部であって、
前記円筒部は、段積みされた前記複数のスペーサの外周を囲って配置され、
前記円筒部内周面の上下二つの位置に各々設けられて、段積みされた前記複数のスペーサの少なくとも最上段のスペーサと最下段のスペーサを同軸的に保持している径方向位置決め部と、
を備えることを特徴とする円筒部。 - 外部から気体を吸入するための吸気口と吸入された前記気体を外部に排気するための排気口と、
軸方向に交互に多段配列された回転翼及び固定翼と、
段積みされて前記固定翼を軸方向に位置決めしている環状をした複数のスペーサと、を有するターボ分子機構を備える真空ポンプのベース部であって、
前記ベース部は、段積みされた前記複数のスペーサの外周を囲って配置される円筒部の下部に取り付けられ、
前記円筒部と径方向の位置決めがされていること
を特徴とするベース部。
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