CN112469902B - 真空泵、以及在该真空泵中使用的圆筒部及底座部 - Google Patents

Abstract

提供做成即使将制造时的尺寸公差放松一些也能够确保间隔件的一定的定位精度、且能够降低真空泵的制造成本的构造的真空泵、以及在该真空泵中使用的圆筒部及底座部。一种真空泵，在壳体内具备气体移送机构，所述壳体具有用来将气体从外部吸入的气体吸气口和用来将被吸入的气体向外部排出的气体排气口，所述气体移送机构具有在轴向上交替地多层排列的旋转叶片及固定叶片，所述真空泵具备：多个间隔件，被层积而将固定叶片在轴向上定位，呈环状；壳体，具有将被层积的多个间隔件的外周包围而配置的圆筒部和被安装于圆筒部的下部处的底座；以及上部径向定位部及下部径向定位部，分别设置在圆筒部内的上下两个位置，将被层积的间隔件的至少最上层的间隔件和最下层的间隔件同轴地保持。

Description

真空泵、以及在该真空泵中使用的圆筒部及底座部

技术领域

本发明涉及真空泵、以及在该真空泵中使用的圆筒部及底座部，特别涉及在半导体制造装置、分析装置等中使用的真空泵、以及在该真空泵中使用的圆筒部及底座部。

背景技术

在存储器、集成电路等半导体装置的制造中，为了避免由空气中的灰尘等带来的影响，进行绝缘膜、金属膜、半导体膜等的成膜的处理、进行蚀刻的处理在高真空状态的处理腔室内进行。在该处理腔室内的排气中，使用例如涡轮分子泵等真空泵。

作为这样的真空泵，已知有在壳体内具备气体移送机构（涡轮分子机构）的真空泵，所述壳体具有将气体从外部吸入的吸气口和将被吸入的气体向外部排出的排气口，所述气体移送机构具有在轴向上交替地多层排列的旋转叶片及固定叶片（例如，参照专利文献1）。

图7～图9是说明在壳体内具备设置有在轴向上交替地多层排列的旋转叶片及固定叶片的气体移送机构的以往的真空泵的概略构造的图，图7是真空泵的垂直剖视图，图8是图7的H部的放大图，图9是说明在壳体内将固定叶片以规定的间隔在上下方向上定位的呈环状的间隔件的剖视图。

首先，在图7及图8所示的以往的真空泵100中，形成真空泵100的外装体的壳体101中，圆筒部102和设置在该圆筒部102的下部处的底座103一起形成真空泵100的箱体。在壳体101的内部，收纳着作为使真空泵100发挥排气功能的构造物的气体移送机构104。

该气体移送机构104大体上划分，由旋转自如地被支承的旋转部（转子部）105和相对于壳体101被固定的固定部（定子部）106构成。

气体移送机构104中的旋转部105具备作为旋转轴的轴杆107、配设于该轴杆107的转子108和设置于转子108的多片旋转叶片109。

在轴杆107的轴线方向中部，设置有马达部110，被定子柱111内包。进而，在定子柱111内，相对于轴杆107的马达部110在吸气口112侧和排气口113侧分别设置有用来将轴杆107在径向方向（径向）上非接触地支承的径向磁轴承装置114、115。此外，在轴杆107的下端，设置有用来将轴杆107在轴线方向（轴向方向）上非接触地支承的轴向磁轴承装置116。

气体移送机构104中的固定部106被形成在壳体101的内周侧。在该固定部106，配设有呈圆筒形状的间隔件117、和被该间隔件117相互保持轴线方向的间隔的多个固定叶片118。固定叶片118是相对于轴杆107的轴线O2成直角地以放射状延伸的圆板形状的板状部件。

间隔件117是呈大致圆筒形状的固定部件，沿着壳体101的轴向延伸，并且具备：第1径向支承部117a，与固定叶片118的外周面环绕对置，并且与圆筒部102的内周面抵接；以及第2径向支承部117b，与旋转叶片109的外周面环绕对置，且与第1径向支承部117a的内周面抵接。

而且，该真空泵100的固定叶片118和间隔件117的组装，是在将旋转部105固定于底座103上之后，首先将成为最下层的固定叶片118载置于底座103之上，接着将间隔件117和固定叶片118交替地依次堆叠。在该堆叠中，间隔件117在将固定叶片118收容于第1径向支承部117a的内周面的状态下，并且使第1径向支承部117a的内周面与小径部117c的外周面嵌合连结而堆叠，所述小径部117c在第2径向支承部117b的背面（外周面）形成有台阶部。此外，同时使旋转叶片109夹设在固定叶片118与固定叶片118之间，如果反复进行该作业，则组装形成具有将旋转叶片109及固定叶片118在轴向上交替地多层排列的旋转部105及筒状的固定部106的气体移送机构104。

在固定部106的组装后，为了将旋转部105及固定部106收纳到壳体101内，将壳体101从最上层的间隔件117侧的上方套上。由此，气体移送机构104被收纳在壳体101内。此外，收纳着气体移送机构104的壳体101其以台阶状形成于圆筒部102内的上部内周面的一部分的定位部102a被抵接于最上部的间隔件117的上表面及外周面，进行壳体101和气体移送机构104的轴向M的定位及宽度方向（推力方向）R的定位。

另一方面，壳体101的下部夹着在形成于底座103的外周的环状凹槽103a内配设的密封用的O形环119，在圆筒部102的内周面与底座103的外周面之间设置间隙S1而被抵接。然后，如果将圆筒部102与底座103之间用螺栓120固定，则壳体101和气体移送机构104被一体化。

顺便说一下，在如图7及图8所示的真空泵100那样将间隔件117和固定叶片118依次堆叠而做成多层的固定部106的构造中，如果图9所示的间隔件117的各种的尺寸A、尺寸B、尺寸C的加工精度不高，则在堆叠时，随着向上侧前进而较大地发生相对于气体移送机构104的轴线O2的倾斜、即径向R的移动（同轴度的偏差）。因而，在加工时，需要将尺寸A、尺寸B、尺寸C的精度分别提高（严格化）。另外，这里的尺寸A是第1径向支承部117a的内周尺寸，尺寸B是间隔件117的外周尺寸，尺寸C是小径部（台阶部）117c的外周尺寸。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2008-66327号公报。

发明内容

发明要解决的课题

如上述那样，在图7及图8所示的真空泵100中，在壳体101的圆筒部102，仅在上部一处设置有将收容于圆筒部102的气体移送机构104的固定部106定位的定位部102a。因此，如果间隔件117被堆叠的层数增加，则与层数成比例而固定部106侧的径向R的移动（同轴度的偏差）变大，向固定部106装接壳体101的作业变得困难。因而，需要严格化间隔件117的加工时的尺寸公差，所以有加工较难、制造成本变高的问题点。

所以，为了提供做成即使将制造时的尺寸公差放松也能够确保间隔件的一定的定位精度、且能够降低真空泵的制造成本的构造的真空泵、以及在该真空泵中使用的圆筒部及底座，产生了要解决的技术课题，本发明以解决该课题为目的。

用来解决课题的手段

本发明是为了达成上述目的而提出的，技术方案1所记载的发明提供一种真空泵，在壳体内具备涡轮分子机构，所述壳体具有用来将气体从外部吸入的吸气口和用来将被吸入的所述气体向外部排出的排气口，所述涡轮分子机构具有在轴向上交替地多层排列的旋转叶片及固定叶片，所述真空泵具备：多个间隔件，被层积而将所述固定叶片在轴向上定位，呈环状；所述壳体，至少由将被层积的所述多个间隔件的外周包围而配置的圆筒部和被安装于所述圆筒部的下部处的底座部这两个零件构成；以及径向定位部，分别设置在所述圆筒部内的上下两个位置，将被层积的所述多个间隔件的至少最上层的间隔件和最下层的间隔件同轴地保持。

根据该结构，如果在将固定叶片和旋转叶片交替地堆叠而多层排列的多个间隔件处将该间隔件的外周包围而套上壳体的圆筒部，则至少成为吸气口侧的最上层的间隔件和成为排气口侧的最下层的间隔件都被圆筒部内的定位部将轴向和径向（推力方向）定位。即，通过多层排列的上下两个间隔件被定位，抑制多层排列的间隔件的整体在径向上移动或倾斜。由此，即使将壳体及间隔件的制造时的加工精度（公差）放松一些，也能够抑制（减轻）径向的移动、倾斜而确保一定的定位精度，所以壳体及间隔件的制作等变得简单，能够降低制造成本。

技术方案2所记载的发明提供一种真空泵，在技术方案1所记载的结构中，所述圆筒部内周面的上侧的径向定位部对应于所述多个间隔件的外周面而设置；所述圆筒部内的下侧的径向定位部对应于所述底座部的侧面而设置。

根据该结构，如果在将固定叶片和旋转叶片交替地堆叠而多层排列的多个间隔件处将该间隔件的外周包围而套上壳体的圆筒部，则通过设置在成为上侧的吸气口侧的圆筒部内的上侧的定位部，进行多层排列的间隔件的轴向和径向的定位。另一方面，成为下侧的排气口侧的间隔件通过圆筒部内的下侧的定位部与底座的侧面抵接，与该底座一起被进行轴向和径向的定位。因而，在此情况下，也通过将上下两个间隔件在轴向和径向上定位，抑制（减轻）被多层排列的间隔件的整体在径向上移动或倾斜。由此，即使将壳体及间隔件的制造时的加工精度（公差）放松一些，也能够确保一定的定位精度，所以壳体及间隔件的制作等变得简单，能够降低制造成本。

技术方案3所记载的发明提供一种真空泵，在技术方案2所记载的结构中，所述上侧的径向定位部对应于所述最上层的间隔件的外周面而设置。

根据该结构，将固定叶片和旋转叶片交替地堆叠而多层排列的多个间隔件如果从该间隔件的吸入口侧将该间隔件的外周包围而套上壳体，则作为吸气口侧的最上层的间隔件和成为下侧的排气口侧的间隔件都被设置在壳体内的上侧的径向定位部进行轴向和径向的定位。由此，能够进一步放松壳体及间隔件的制造时的加工精度（公差）。

技术方案4所记载的发明提供一种真空泵，在技术方案1或2所记载的结构中，所述多个间隔件具备：径向支承部，被配设在所述固定叶片的外周面与所述圆筒部的内周面之间；以及间隔件部，与所述旋转叶片的外周侧对置而设置，与被层积的相邻的所述多个间隔件的所述径向支承部的内周面嵌合连结。

根据该结构，通过在与圆筒部的内周面抵接的下层侧的间隔件之上依次配置固定叶片和旋转叶片、进而配置上层侧的间隔件，能够将固定叶片、间隔件和旋转叶片交替地多层排列。

技术方案5所记载的发明提供一种真空泵，在技术方案1～4中任一项所记载的结构中，所述最上层的间隔件具备：上部径向支承部，被配设在最上层的所述固定叶片的外周面与所述圆筒部的内周面之间；下部径向支承部，被配设在配设于最上层的所述固定叶片的下侧处的所述固定叶片的外周面与所述圆筒部的内周面之间；以及间隔件部，设置在从最上层数第二层的所述旋转叶片的外周侧，将所述上部径向支承部与所述下部径向支承部连接。

根据该结构，由于最上层的所述间隔件兼作为将最上层的固定叶片和配设在最上层的固定叶片的下侧处的固定叶片的上下相邻的两个固定叶片定位的构造，所以能够减少间隔件的整体的个数，能够进一步实现成本降低。

技术方案6所记载的发明提供一种真空泵，在技术方案1～3中任一项所记载的结构中，所述最上层的间隔件是最上层的所述固定叶片，还具有与最上层的所述旋转叶片的外周侧对置设置的所述径向定位部。

根据该结构，由于最上层的间隔件一体地设置有最上层的固定叶片和与旋转叶片的外周侧对置设置的径向定位部，所以也可以不另外形成最上层的固定叶片，能够进一步实现成本降低。

技术方案7所记载的发明提供一种真空泵，在技术方案2或3所记载的结构中，所述底座部具备：圆筒底座部，向所述壳体的轴向上侧延伸，外周面与所述下侧的径向定位部的内表面抵接；以及水平底座部，从所述圆筒底座部的下部外周朝向外侧以凸边状延伸设置，与所述圆筒部的下表面抵接；在所述水平底座部与所述圆筒部的下表面之间，配设有将所述底座部与所述圆筒部之间密封的O形环。

根据该结构，通过将密封用的O形环配设在水平底座部与圆筒部的下表面之间，容易使下侧的径向定位部与圆筒底座部的周面抵接，能够使定位精度提高。

技术方案8所记载的发明提供一种圆筒部，是具备涡轮分子机构的真空泵的圆筒部，所述涡轮分子机构具有：用来将气体从外部吸入的吸气口和用来将被吸入的所述气体向外部排出的排气口；在轴向上交替地多层排列的旋转叶片及固定叶片；以及被层积而将所述固定叶片在轴向上定位的呈环状的多个间隔件；所述圆筒部将被层积的所述多个间隔件的外周包围而配置；具备径向定位部，所述径向定位部分别设置在所述圆筒部内周面的上下两个位置，将被层积的所述多个间隔件的至少最上层的间隔件和最下层的间隔件同轴地保持。

根据该结构，能够对应于真空泵的规格变更而可支承多个间隔件地变更壳体的形状，所述多个间隔件将固定叶片和旋转叶片交替地堆叠而多层排列。由此，能够减少间隔件等的设计、清扫、管理库存所需要的工夫。

技术方案9所记载的发明提供一种底座部，是具备涡轮分子机构的真空泵的底座部，所述涡轮分子机构具有：用来将气体从外部吸入的吸气口和用来将被吸入的所述气体向外部排出的排气口；在轴向上交替地多层排列的旋转叶片及固定叶片；以及被层积而将所述固定叶片在轴向上定位的呈环状的多个间隔件；所述底座部被安装在将被层积的所述多个间隔件的外周包围而配置的圆筒部的下部；与所述圆筒部进行径向的定位。

根据该结构，能够对应于真空泵的规格变更而可支承多个间隔件地变更底座部的形状，所述多个间隔件将固定叶片和旋转叶片交替地堆叠而多层排列。由此，能够减少间隔件等的设计、清扫、管理库存所需要的工夫。

发明效果

根据发明，如果在将固定叶片和旋转叶片交替地堆叠而多层排列的多个间隔件处将该间隔件的外周包围而套上壳体，则成为上侧的吸气口侧的间隔件和成为下侧的排气口侧的间隔件都被设置在壳体内的定位部将轴向和径向定位，所以抑制（减轻）被多层排列的间隔件的整体在径向上移动或倾斜的量。因而，即使将壳体及间隔件的制造时的加工精度（公差）放松一些，也能够确保一定的定位精度，所以壳体及间隔件的制作等变得简单，能够降低制造成本。

附图说明

图1是作为本发明的一实施例表示的真空泵的垂直剖视图。

图2是图1的放大图，图2（a）是图1的D部放大图，图2（b）是图1的E部放大图。

图3是图1所示的真空泵的间隔件的剖视图。

图4是作为本发明的第1变形例表示的真空泵的垂直剖视图。

图5是图4的F部放大图。

图6是作为本发明的第2变形例表示的真空泵的垂直剖视图。

图7是表示以往的真空泵的垂直剖视图。

图8是图7的H部放大图。

图9是图7所示的以往的真空泵的间隔件的放大剖视图。

具体实施方式

本发明为了达成提供做成即使将制造时的尺寸公差放松一些也能够确保间隔件的一定的定位精度、且能够降低真空泵的制造成本的构造的真空泵、以及在该真空泵中使用的圆筒部及底座之目的，通过做成以下的结构来实现，一种真空泵，在壳体内具备涡轮分子机构，所述壳体具有用来将气体从外部吸入的吸气口和用来将被吸入的所述气体向外部排出的排气口，所述涡轮分子机构具有在轴向上交替地多层排列的旋转叶片及固定叶片，所述真空泵具备：多个间隔件，被层积而将所述固定叶片在轴向上定位，呈环状；所述壳体，至少由将被层积的所述多个间隔件的外周包围而配置的圆筒部和被安装于所述圆筒部的下部处的底座部这两个零件构成；以及径向定位部，分别设置在所述圆筒部内的上下两个位置，将被层积的所述多个间隔件的至少最上层的间隔件和最下层的间隔件同轴地定位保持。

以下，基于附图详细地说明用来实施本发明的方式。另外，在以下的说明中，贯穿实施方式的说明的整体，对于相同的要素赋予相同的附图标记。此外，上下、左右等的表示方向的表达不是绝对性的，在本发明的真空泵的各部是被描绘的姿势的情况下是适当的，而在其姿势变化的情况下应该对应于姿势的变化而变更来解释。

实施例

图1是作为本发明的一实施例表示的真空泵10的垂直剖视图。图2是图1的部分放大图，图2（a）是图1的D部放大图，图2（b）是图1的E部放大图。

在图1中，真空泵10具备形成真空泵10的外装体的壳体11、具有在壳体11内可旋转地被支承的转子轴杆12的转子13、使转子轴杆12旋转的驱动马达14、和将转子轴杆12的一部分及驱动马达14收容的定子柱15。

壳体11具有圆筒部11A和设置在该圆筒部11A的下部处的底座11B，形成真空泵10的箱体。

壳体11的圆筒部11A被形成为上下开口的筒状体，将上部开口作为气体吸气口16。此外，在上部开口的外周，一体地形成有上方凸缘部17，在下部开口的外周，一体地形成有下方凸缘部18。此外，在下方凸缘部18的下表面，形成有用来将密封用的O形环19定位配置的具有环状的O形环用凹部18a。另一方面，在圆筒部11A的内周面侧，在圆筒部11A的上部设置有上部径向定位部（也称作“上侧的定位部”）20，在圆筒部11A的下部设置有下部径向定位部（也称作“下侧的定位部”）21。

上部径向定位部20由从圆筒部11A的内周面11AC向内侧水平地伸出的第1环状壁部20a、和从该第1环状壁部20a的内表面朝向上方垂直地凹陷、从该凹陷的位置向内侧水平地伸出的第2环状壁部20b构成。

下部径向定位部21使用圆筒部11A的内周面11AC的一部分、即下部内周面。

壳体11的底座11B一体地具有：圆筒底座部22，向壳体11的轴向上侧延伸，外周面22a被与圆筒部11A的下部径向定位部21的内表面（内周面11AC）嵌合连结；以及水平底座部23，从圆筒底座部22的下部外周朝向外侧水平地以凸边状延伸设置，与圆筒部11A的下方凸缘部18的下表面抵接，呈环状。另外，在圆筒底座部22的上部，设置有将后述的呈环状的间隔件39的第1径向支承部39a的下部装接的小径部22b。

而且，壳体11如果从圆筒部11A的下端将圆筒底座部22和圆筒部11A嵌合，则如图1所示那样在圆筒部11A被载置于底座11B上的状态下被与底座11B连结。此外，在该连结中，在下方凸缘部18与水平底座部23之间夹装密封用的O形环19，进而将下方凸缘部18与水平底座部23之间用螺栓25固定，从而使圆筒部11A和底座11B一体化。

转子13具备转子轴杆12和旋转叶片26，所述旋转叶片26被固定在转子轴杆12的上部，相对于转子轴杆12的轴线O1以同心圆状并设。在本实施例中，设置有10层的旋转叶片26。

旋转叶片26由以规定的角度倾斜的叶片（blade）构成，一体地形成在转子13的上部外周面。此外，旋转叶片26绕转子13的轴线O1以放射状设置有多个。

转子轴杆12被磁轴承27非接触支承。磁轴承27具备径向电磁铁28和轴向电磁铁29。径向电磁铁28及轴向电磁铁29与未图示的控制单元连接。

控制单元基于径向方向变位传感器28a及轴向方向变位传感器29a的检测值对径向电磁铁28、轴向电磁铁29的励磁电流进行控制，从而转子轴杆12在浮起的状态下被支承在规定的位置。

转子轴杆12的上部及下部被插通在着陆（touchdown）轴承30内。在转子轴杆12成为不能控制的情况下，通过以高速旋转的转子轴杆12与着陆轴承30接触，防止真空泵10内的过度的损伤。

转子13通过在将转子轴杆12的上部插通于毂（boss）孔31的状态下将螺栓32插通于转子凸缘33并且螺纹连接于轴杆凸缘34，被一体地安装在转子轴杆12。以下，将转子轴杆12的轴线方向称作“轴向M”，将转子轴杆12的径向称作“径向R”。

驱动马达14具备被安装于转子轴杆12的外周的旋转件35、和以将旋转件35包围的方式配置的固定件36。固定件36与上述的未图示的控制单元连接，通过控制单元，控制转子13的旋转。

定子柱15在载置于底座11B上的状态下经由螺栓37被固定于底座11B。

在旋转叶片26、26的轴向附近，设置有固定叶片38。即，旋转叶片26和固定叶片38沿着轴向M交替地且多层地排列。在本实施例中，设置有10层的固定叶片38。

固定叶片38被形成为环状，具备向与旋转叶片26相反方向倾斜的叶片和与该叶片的两端连结的环，被间隔件39夹持，在轴向M和径向R上被定位，所述间隔件3层积设置于壳体11的圆筒部11A的内周面。此外，固定叶片38的叶片也绕转子13的轴线O1以放射状设置有多个。

此外，在底座11B的圆筒底座部22的外周面，设置有通向外部的气体排气口24。气体排气口24以与未图示的辅助泵连通的方式被连接。真空泵10通过旋转叶片26和固定叶片38的相互作用，将被从气体吸气口16吸入的气体（gas）G从轴向M的上方向下方移送，从气体排气口24向外部排出。

最下层的固定叶片38被载置在底座11B的圆筒底座部22的小径部22b上。具体而言，固定叶片38的基端部通过被圆筒底座部22、小径部22b的上表面和间隔件39夹持，在轴向M和径向R上被支承。

间隔件39是呈大致圆筒形状的固定部件，沿着壳体11的轴向延伸，并且具备：第1径向支承部39a，与固定叶片38的外周面环绕对置，且与圆筒部11A的内周面11AC隔开稍稍的间隙对置；以及第2径向支承部39b，与旋转叶片26的外周面环绕对置，与第1径向支承部39a的内周面抵接。此外，在第2径向支承部39b的外周，形成有将依次被在上侧堆叠的间隔件39的第1径向支承部39a的下部装接的小径部（台阶部）39c。

另外，间隔件39的小径部39c的径向上的凹陷量与第1径向支承部39a的径向的厚度大致相等，被设定为，如果被堆叠于上侧的间隔件39的第1径向支承部39a的下部被装接，则被堆叠于上侧的间隔件39的外周面和下侧的间隔件39的外周面相互成为同面。另一方面，间隔件39的第1径向支承部39a的内周面侧的径向上的凹陷量与第2径向支承部39b的径向的厚度大致相等，被设定为，如果被堆叠的下侧的间隔件39的第2径向支承部39b的上部被装接，则被堆叠于上侧的间隔件39的内周面和下侧的间隔件39的内周面相互成为同面。此外，各间隔件39的轴向的高度以与旋转叶片26及固定叶片38的叶片的高度（厚度）成比例的方式被任意地设定。

而且，该真空泵10的固定叶片38和间隔件39的组装，是在将作为旋转部的转子13设置在底座11B上之后，首先在底座11B的圆筒底座部22的小径部22b之上载置成为最下层的固定叶片38，接着堆叠成为最下层的间隔件39。此时，成为最下层的间隔件39设为在第1径向支承部39a内内包着成为最下层的固定叶片38及小径部22b的状态而被装接，使小径部22b与第1径向支承部39a嵌合连结，将成为最下层的间隔件39相对于底座11B定位。此外，通过成为最下层的间隔件39的配置，最下层的旋转叶片26以非接触的状态被该间隔件39内包。

接着，在成为最终层的间隔件39的第2径向支承部39b之上载置第二层的固定叶片38，接着堆叠成为第二层的间隔件39。此时，成为第二层的间隔件39设为在第1径向支承部39a内内包着成为最下层的固定叶片38及成为最下层的间隔件39的第2径向支承部39b的状态，使成为最下层的间隔件39的第2径向支承部39b与成为第二层的间隔件39的第1径向支承部39a分别嵌合连结，将成为第二层的间隔件39相对于成为最下层的间隔件39定位。而且，通过成为第二层的间隔件39的配置，最下层的旋转叶片26以非接触的状态被该间隔件39内包。以下，通过将该作业依次反复进行，组装形成具有将旋转叶片26及固定叶片38在轴向交替地多层排列的旋转部及筒状的固定部的气体移送机构40。

在固定叶片38及间隔件39的组装后，为了将气体移送机构40收纳到壳体11内，如果将壳体11从最上层的间隔件39侧的上方套上，则气体移送机构40被收纳在壳体11内。另外，向壳体11的收纳作业设为从圆筒部11A的下部开口将最上层的间隔件39插入的状态，以气体移送机构40为引导部而使壳体11落入。此时，在圆筒部11A的内周面11AC与间隔件39的外周面滑动接触的状态下落入。而且，如果被插入到最终位置的紧跟前，则设置在圆筒部11A的内周面11AC处的下部径向定位部21与圆筒底座部22的外周面22a抵接，气体移送机构40的下部侧被相对于底座11B定位。此外，如果壳体11落入到大致最终位置，则设置在圆筒部11A的内周面11AC处的上部径向定位部20与最上层的间隔件39对应，最上层的间隔件39的上部被与第1环状壁部20a及第2环状壁部20b嵌合连结，气体移送机构40的上部侧被相对于壳体11定位。即，气体移送机构40的上下两个位置被上部径向定位部20和下部径向定位部21定位，抑制（减轻）被多层排列的间隔件39的整体在径向R上移动或倾斜。

这样构成的真空泵10如上述那样设置有气体吸气口16的壳体11的上方凸缘部17被安装于未图示的腔室等真空容器，在设置在底座11B的气体排气口24安装未图示的辅助泵。在此状态下，如果真空泵10的驱动马达14被驱动，则旋转叶片26与转子13一起高速旋转。由此，来自气体吸气口16的气体G向真空泵10内流入，该气体G在气体移送机构40内依次被移送，被从底座11B的气体排气口24排出。即，进行真空容器内的抽真空。

因而，在该实施例的真空泵10中，成为气体移送机构40的上下两个位置被上部径向定位部20和下部径向定位部21定位的构造，做成了抑制被多层排列的间隔件39的整体在径向上移动或倾斜的构造，所以抑制（减轻）被多层排列的间隔件39的整体在径向R上移动或倾斜。由此，即使将壳体11及间隔件39的制造时的加工精度（公差）放松一些，也能够确保一定的定位精度，所以壳体11及间隔件39的制作等变得简单，能够降低制造成本。另外，在仅将气体移送机构的上侧位置定位的以往构造中，将第1径向支承部的内周尺寸A、间隔件的外周尺寸B、小径部（台阶部）的外周尺寸C的各公差严格地要求为较小，但在本发明的情况下，与以往构造相比能够放松约3成左右，加工被简略化，能够使制造成本提高。

图4是作为图1所示的真空泵的第1变形例表示的真空泵10的垂直剖视图。图4所示的第1变形例是将最上层的间隔件139变形的结构，其他的结构与图1及图2所示的真空泵10相同，所以对相同的构成部分赋予相同的附图标记而省略重复说明。

图4所示的呈环状的最上层的间隔件139被配置在最上层的固定叶片38（38a）的外周面、该最上层的固定叶片38a的紧接着下侧的固定叶片即从上数第二个固定叶片38（38b）的外周面和第二个旋转叶片26a的外周面之间。该最上层的间隔件139由保持最上层的固定叶片38（38a）和从上数第二个固定叶片38（38b）的轴向的间隔的间隔件部139d、从间隔件部139d的下表面外周缘向轴向下侧垂直地延伸的作为下部径向支承部的第1径向支承部139a、和从间隔件部139d的上表面外周缘向轴向上侧垂直地延伸的作为上部径向支承部的第2径向支承部139b构成。

而且，最上层的间隔件139设为第1径向支承部139a将从上数第二个固定叶片38b内包、同样间隔件部139d将从上数第二个旋转叶片26内包的状态，使其与从上数第二个间隔件39的小径部（台阶部）139c嵌合连结，将最上层的间隔件139堆叠于从上数第二个间隔件39而定位。接着，将最终层的固定叶片38a载置于最上层的间隔件139的间隔件部139d的上表面，然后将壳体11的圆筒部11A套上。

此外，在将圆筒部11A套上的状态下，设置在圆筒部11A的内周面11AC处的上部径向定位部20与最上层的间隔件139对应，最上层的间隔件139的上部被与第1环状壁部20a抵接嵌合，并且最终层的间隔件139的上表面与第2环状壁部20b抵接，气体移送机构40的上部侧被相对于壳体11定位。另一方面，壳体11的下部径向定位部21与圆筒底座部22的外周面22a抵接，将气体移送机构40的下部侧相对于底座11B定位。

因而，作为该第1变形例表示的真空泵10也是气体移送机构40的上下两个位置被上部径向定位部20和下部径向定位部21定位，抑制被多层排列的间隔件39的整体在径向上移动或倾斜。由此，在该变形例的构造中，能够节省与最上层的旋转叶片26环绕对置的空间，与图1所示的真空泵10相比，零件件数变少，能够实现制造成本的减少。

图6是作为图1及图2所示的真空泵的第2变形例表示的真空泵10的垂直剖视图。图6所示的第2变形例是将最上层的间隔件239与最上层的固定叶片238一体化的结构，其他的结构与图1及图2相同，所以相同的构成部分赋予相同的附图标记而省略重复说明。

图6所示的呈环状的最上层的间隔件239是呈环状的部件，设为从该最上层的间隔件239的内周面朝向轴线O1大致水平地延伸的状态而最上层的固定叶片238被一体地设置。此外，在间隔件239的下部，设置有与从上数第二个间隔件39的第2径向支承部39b嵌合连结的第1径向支承部239a，在上部设置有与上部径向定位部20的第1环状壁部20a及第2环状壁部20b抵接而被定位卡合的作为径向定位部的第2径向支承部239b。

而且，最上层的间隔件239设为第2径向支承部239b将最上层的旋转叶片26内包的状态，使第1径向支承部239a与从上数第二个间隔件39的小径部（台阶部）39c嵌合连结，将该最上层的间隔件239堆叠于从上数第二个间隔件39而定位。然后，将壳体11的圆筒部11A套上。

此外，在将壳体11的圆筒部11A套上的状态下，设置在圆筒部11A的内周面11AC处的上部径向定位部20与最上层的间隔件239对应，最上层的间隔件239的上部与第1环状壁部20a嵌合连结，并且第2径向支承部239b的上表面与第2环状壁部20b抵接，气体移送机构40的上部侧被相对于壳体11定位。另一方面，壳体11的下部径向定位部21与圆筒底座部22的外周面22a抵接，将气体移送机构40的下部侧相对于底座11B定位。

因而，作为该第2变形例表示的真空泵10也是气体移送机构40的上下两个位置被上部径向定位部20和下部径向定位部21定位，抑制被多层排列的间隔件39的整体在径向上移动或倾斜。此外，在该第2变形例的构造中，由于将最上层的间隔件239和最上层的固定叶片238一体化，所以与图1所示的真空泵10的情况相比，零件件数变少，能够实现制造成本的减轻。

另外，本发明只要不脱离本发明的主旨，就能够做各种改变，而且，本发明当然包含该改变的形态。

附图标记说明

10 真空泵

11 壳体（箱体）

11A 圆筒部

11AC 内周面

11B 底座

12 转子轴杆

13 转子

14 驱动马达

15 定子柱

16 气体吸气口

17 上方凸缘部

18 下方凸缘部

18a O形环用凹部

19 O形环

20 上部径向定位部

20a 第1环状壁部

20b 第2环状壁部

21 下部径向定位部

22 圆筒底座部

22a 外周面

22b 小径部

23 水平底座部

24 气体排气口

25 螺栓

26 旋转叶片

27 磁轴承

28 径向电磁铁

28a 径向方向偏倚传感器

29 轴向电磁铁

29a 轴向方向变位传感器

30 着陆轴承

31 毂孔

32 螺栓

33 转子凸缘

34 轴杆凸缘

35 旋转件

36 固定件

37 螺栓

38 固定叶片

38a 最上层的固定叶片

38b 从上数第二个固定叶片

39 间隔件

39a 第1径向支承部

39b 第2径向支承部

39c 小径部（台阶部）

139 间隔件

139a 第1径向支承部（下部径向支承部）

139b 第2径向支承部（上部径向支承部）

139d 间隔件部

238 最上层的固定叶片

239 最上层的间隔件

239a 第1径向支承部（下部径向支承部）

239b 第2径向支承部（上部径向支承部且径向定位部）

40 气体移送机构

M 轴向

R 径向

G 气体

O1 轴线。

Claims (6)

1.一种真空泵，在壳体内具备涡轮分子机构，所述壳体具有用来将气体从外部吸入的吸气口和用来将被吸入的所述气体向外部排出的排气口，所述涡轮分子机构具有在轴向上交替地多层排列的旋转叶片及固定叶片，其特征在于，

所述真空泵具备：

多个间隔件，被层积而将所述固定叶片在轴向上定位，呈环状；

所述壳体，至少由圆筒部和被安装于所述圆筒部的下部处的底座部这两个零件构成，所述圆筒部将被层积的所述多个间隔件的外周包围而配置且与所述固定叶片分体；以及

径向定位部，分别设置在所述圆筒部内的上下两个位置，将被层积的所述多个间隔件的至少最上层的间隔件和最下层的间隔件同轴地保持；

所述固定叶片之中的最上层的固定叶片在与所述圆筒部之间空开间隙而被配置，所述最上层的间隔件被设置在所述旋转叶片之中的从最上层数第二层的旋转叶片的外周侧，将所述固定叶片之中的最上层的固定叶片在径向上定位。

2.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，

所述圆筒部的内周面的上侧的径向定位部对应于所述多个间隔件的外周面而设置；

所述圆筒部的内周面的下侧的径向定位部对应于所述底座部的侧面而设置。

3.如权利要求2所述的真空泵，其特征在于，

所述上侧的径向定位部对应于所述最上层的间隔件的外周面而设置。

4.如权利要求1～3中任一项所述的真空泵，其特征在于，

所述多个间隔件具备：

径向支承部，被配设在所述固定叶片的外周面与所述圆筒部的内周面之间；以及

间隔件部，与所述旋转叶片的外周侧对置而设置，与被层积的相邻的所述多个间隔件的所述径向支承部的内周面嵌合连结。

5.如权利要求1～3中任一项所述的真空泵，其特征在于，

所述最上层的间隔件具备：

上部径向支承部，被配设在所述最上层的固定叶片的外周面与所述圆筒部的内周面之间；

下部径向支承部，被配设在配设于所述最上层的固定叶片的下侧处的固定叶片的外周面与所述圆筒部的内周面之间；以及

间隔件部，将所述上部径向支承部与所述下部径向支承部连接。

6.如权利要求2或3所述的真空泵，其特征在于，

所述底座部具备：

圆筒底座部，向所述壳体的轴向上侧延伸，外周面与所述下侧的径向定位部的内表面抵接；以及

水平底座部，从所述圆筒底座部的下部外周朝向外侧以凸边状延伸设置，与所述圆筒部的下表面抵接；

在所述水平底座部与所述圆筒部的下表面之间，配设有将所述底座部与所述圆筒部之间密封的O形环。

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