JPH11230084A - ターボ分子ポンプ - Google Patents
ターボ分子ポンプInfo
- Publication number
- JPH11230084A JPH11230084A JP10052986A JP5298698A JPH11230084A JP H11230084 A JPH11230084 A JP H11230084A JP 10052986 A JP10052986 A JP 10052986A JP 5298698 A JP5298698 A JP 5298698A JP H11230084 A JPH11230084 A JP H11230084A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotor
- molecular pump
- fixed
- turbo
- stator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C2360/00—Engines or pumps
- F16C2360/44—Centrifugal pumps
- F16C2360/45—Turbo-molecular pumps
Landscapes
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 軸方向にコンパクトであって、かつ充分な排
気・圧縮能力を有するようなターボ分子ポンプを提供す
る。 【解決手段】 高速回転可能なロータＲと、ケーシング
１０，１２に固定されたステータＳと、前記ロータ側の
回転翼３０と前記ステータ側の固定翼３２が交互に配置
されて構成された翼排気部Ｌ1と、前記翼排気部の下流
側において前記ロータ側の回転筒状部３６ａ，３６ｂ，
３６ｃと前記ステータ側の固定筒状部３８ａ，３８ｂの
間にねじ溝排気流路４０ａ，４０ｂ，４０ｃ，４０ｄ，
４０ｅが形成されたねじ溝排気部Ｌ2とを有するターボ
分子ポンプにおいて、前記ねじ溝排気流路は同心状に少
なくとも２つ以上設けられ、ポンプ本体高さＨと最大径
Ｄの比Ｈ／Ｄは０．７以下である。
気・圧縮能力を有するようなターボ分子ポンプを提供す
る。 【解決手段】 高速回転可能なロータＲと、ケーシング
１０，１２に固定されたステータＳと、前記ロータ側の
回転翼３０と前記ステータ側の固定翼３２が交互に配置
されて構成された翼排気部Ｌ1と、前記翼排気部の下流
側において前記ロータ側の回転筒状部３６ａ，３６ｂ，
３６ｃと前記ステータ側の固定筒状部３８ａ，３８ｂの
間にねじ溝排気流路４０ａ，４０ｂ，４０ｃ，４０ｄ，
４０ｅが形成されたねじ溝排気部Ｌ2とを有するターボ
分子ポンプにおいて、前記ねじ溝排気流路は同心状に少
なくとも２つ以上設けられ、ポンプ本体高さＨと最大径
Ｄの比Ｈ／Ｄは０．７以下である。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造工程等
においてチャンバを排気するために用いられるターボ分
子ポンプに関し、特に、コンパクトでかつ高い排気性能
を有するターボ分子ポンプに関するものである。
においてチャンバを排気するために用いられるターボ分
子ポンプに関し、特に、コンパクトでかつ高い排気性能
を有するターボ分子ポンプに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】高性能化した半導体デバイスの製造プロ
セスにおいては、高真空、又は超高真空状態を得るため
に、ターボ分子ポンプが用いられる。これは、筒状のケ
ーシングの中に回転自在に支持されたロータに回転翼
（軸流羽根）を多段に形成し、ケーシングの内壁に固定
翼を回転翼の間に突出して設け、ロータを高速回転させ
ることにより、吸気口から排気口へ気体分子を移動させ
て高度の真空を得るものである。
セスにおいては、高真空、又は超高真空状態を得るため
に、ターボ分子ポンプが用いられる。これは、筒状のケ
ーシングの中に回転自在に支持されたロータに回転翼
（軸流羽根）を多段に形成し、ケーシングの内壁に固定
翼を回転翼の間に突出して設け、ロータを高速回転させ
ることにより、吸気口から排気口へ気体分子を移動させ
て高度の真空を得るものである。
【０００３】高度の真空状態を達成するためには、気体
に対する圧縮比を大きくする必要があり、回転翼と固定
翼を多段に設けたり、或いはロータの回転翼の後段側に
ねじ溝を形成したりしている。主軸及びロータは、メン
テナンスや清浄度の観点から磁気軸受が採用されてい
る。
に対する圧縮比を大きくする必要があり、回転翼と固定
翼を多段に設けたり、或いはロータの回転翼の後段側に
ねじ溝を形成したりしている。主軸及びロータは、メン
テナンスや清浄度の観点から磁気軸受が採用されてい
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】最近の半導体製造装置
においては、ウエハの大口径化に伴い多量のガスを使用
する傾向にあり、従って、ターボ分子ポンプもそれに伴
い大流量を排気し、チャンバ圧力を一定圧力以下に保
ち、かつ高い圧縮能力を有することが求められる。
においては、ウエハの大口径化に伴い多量のガスを使用
する傾向にあり、従って、ターボ分子ポンプもそれに伴
い大流量を排気し、チャンバ圧力を一定圧力以下に保
ち、かつ高い圧縮能力を有することが求められる。
【０００５】しかし、このような大排気量、高い圧縮能
力を有するターボ分子ポンプは、段数も増え、軸方向の
長さや重量が大きくなって、それ自体が高価なものとな
るだけでなく、クリーンルーム内のチャンバ周りの高価
な空間を占有してしまう。また、ロータの異常破壊時に
発生する破壊トルクも大きく、安全性の確保も難しくな
ってしまう。
力を有するターボ分子ポンプは、段数も増え、軸方向の
長さや重量が大きくなって、それ自体が高価なものとな
るだけでなく、クリーンルーム内のチャンバ周りの高価
な空間を占有してしまう。また、ロータの異常破壊時に
発生する破壊トルクも大きく、安全性の確保も難しくな
ってしまう。
【０００６】本発明は、これらの問題点を解決し、軸方
向にコンパクトであって、かつ充分な排気・圧縮能力を
有するようなターボ分子ポンプを提供することを目的と
するものである。
向にコンパクトであって、かつ充分な排気・圧縮能力を
有するようなターボ分子ポンプを提供することを目的と
するものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、高速回転可能なロータと、ケーシングに固定された
ステータと、前記ロータ側の回転翼と前記ステータ側の
固定翼が交互に配置されて構成された翼排気部と、前記
翼排気部の下流側において前記ロータ側の回転筒状部と
前記ステータ側の固定筒状部の間にねじ溝排気流路が形
成されたねじ溝排気部とを有するターボ分子ポンプにお
いて、前記ねじ溝排気流路は同心状に少なくとも２つ以
上設けられ、ポンプ本体高さＨと最大径Ｄの比Ｈ／Ｄは
０．７以下であることを特徴とするターボ分子ポンプで
ある。
は、高速回転可能なロータと、ケーシングに固定された
ステータと、前記ロータ側の回転翼と前記ステータ側の
固定翼が交互に配置されて構成された翼排気部と、前記
翼排気部の下流側において前記ロータ側の回転筒状部と
前記ステータ側の固定筒状部の間にねじ溝排気流路が形
成されたねじ溝排気部とを有するターボ分子ポンプにお
いて、前記ねじ溝排気流路は同心状に少なくとも２つ以
上設けられ、ポンプ本体高さＨと最大径Ｄの比Ｈ／Ｄは
０．７以下であることを特徴とするターボ分子ポンプで
ある。
【０００８】ねじ溝排気流路を同心状に少なくとも２つ
以上設けたことにより、軸方向にコンパクトであってし
かも充分な圧縮・排気性能を持たせることができ、従っ
て、ラジアル方向の回転の安定性を向上させるととも
に、軸受装置などを省略してコンパクトで低コストのタ
ーボ分子ポンプを提供することができる。
以上設けたことにより、軸方向にコンパクトであってし
かも充分な圧縮・排気性能を持たせることができ、従っ
て、ラジアル方向の回転の安定性を向上させるととも
に、軸受装置などを省略してコンパクトで低コストのタ
ーボ分子ポンプを提供することができる。
【０００９】請求項２に記載の発明は、前記ロータに
は、同一の素材を加工することによって前記回転翼と複
数の前記回転筒状部が一体に形成されていることを特徴
とする請求項１に記載のターボ分子ポンプである。
は、同一の素材を加工することによって前記回転翼と複
数の前記回転筒状部が一体に形成されていることを特徴
とする請求項１に記載のターボ分子ポンプである。
【００１０】これにより、溝排気部の複数段の溝排気流
路を構成する複数の回転筒状部を有するロータを例えば
アルミニウム等で一体に製作することで、強度的に問題
のある結合部をなくして、ターボ分子ポンプの信頼性を
向上させることができる。
路を構成する複数の回転筒状部を有するロータを例えば
アルミニウム等で一体に製作することで、強度的に問題
のある結合部をなくして、ターボ分子ポンプの信頼性を
向上させることができる。
【００１１】請求項３に記載の発明は、前記ロータを、
アキシャル磁気軸受と、軸方向１個所のラジアル磁気軸
受により、それぞれ能動的制御を行って支持しているこ
とを特徴とする請求項１に記載のターボ分子ポンプであ
る。従来の５軸制御に比べて磁気軸受の数を省略し、低
コストとコンパクトさを確保しながら円滑な回転制御を
行なうことができる。
アキシャル磁気軸受と、軸方向１個所のラジアル磁気軸
受により、それぞれ能動的制御を行って支持しているこ
とを特徴とする請求項１に記載のターボ分子ポンプであ
る。従来の５軸制御に比べて磁気軸受の数を省略し、低
コストとコンパクトさを確保しながら円滑な回転制御を
行なうことができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照して説明する。このターボ分子ポンプは、ポンプ
ケーシングの内部にロータ（回転部）Ｒとステータ（固
定部）Ｓが収容され、これらの間に翼排気部Ｌ1及び溝
排気部Ｌ2が構成されている。ポンプケーシングは、そ
れぞれ筒状の吸気側ケーシング１０と排気側のねじ溝ケ
ーシング１２から構成されている。
を参照して説明する。このターボ分子ポンプは、ポンプ
ケーシングの内部にロータ（回転部）Ｒとステータ（固
定部）Ｓが収容され、これらの間に翼排気部Ｌ1及び溝
排気部Ｌ2が構成されている。ポンプケーシングは、そ
れぞれ筒状の吸気側ケーシング１０と排気側のねじ溝ケ
ーシング１２から構成されている。
【００１３】ステータＳは、基部１４と、その中央に立
設された筒状のスリーブ部１６と、翼排気部Ｌ1及び溝
排気部Ｌ2の固定側部分とから主に構成されている。ま
た、ロータＲは、スリーブ部１６の内部に挿入された主
軸１８と、それに取り付けられたロータ本体２０から構
成されている。
設された筒状のスリーブ部１６と、翼排気部Ｌ1及び溝
排気部Ｌ2の固定側部分とから主に構成されている。ま
た、ロータＲは、スリーブ部１６の内部に挿入された主
軸１８と、それに取り付けられたロータ本体２０から構
成されている。
【００１４】主軸１８の外周面とスリーブ部１６の内周
面の間には、ロータＲを回転する駆動用モータ２２と、
ロータＲを非接触で支持するラジアル軸受２４及びアキ
シャル軸受２６が設けられている。アキシャル軸受２６
は主軸１８の下端のターゲットディスク２６ａと、ステ
ータＳ側の上下の電磁石２６ｂを有している。このよう
な構成によって、ロータＲは（３軸の）能動制御を受け
ながら高速回転するようになっている。なお、スリーブ
部１６の上下２ヶ所には、タッチダウン軸受２８ａ，２
８ｂが形成されている。
面の間には、ロータＲを回転する駆動用モータ２２と、
ロータＲを非接触で支持するラジアル軸受２４及びアキ
シャル軸受２６が設けられている。アキシャル軸受２６
は主軸１８の下端のターゲットディスク２６ａと、ステ
ータＳ側の上下の電磁石２６ｂを有している。このよう
な構成によって、ロータＲは（３軸の）能動制御を受け
ながら高速回転するようになっている。なお、スリーブ
部１６の上下２ヶ所には、タッチダウン軸受２８ａ，２
８ｂが形成されている。
【００１５】翼排気部Ｌ1のロータ本体２０の上部外周
には、（中空）円盤状の回転翼３０が一体に設けられ、
吸気側ケーシング１２の内面には、固定翼３２が回転翼
３０と交互に配置されて設けられている。各固定翼３２
は、その縁部を固定翼スペーサ３４で上下から押さえら
れて固定されている。
には、（中空）円盤状の回転翼３０が一体に設けられ、
吸気側ケーシング１２の内面には、固定翼３２が回転翼
３０と交互に配置されて設けられている。各固定翼３２
は、その縁部を固定翼スペーサ３４で上下から押さえら
れて固定されている。
【００１６】ねじ溝排気部Ｌ2は、翼排気部Ｌ1の下流側
に多段に設けられている。すなわち、ロータ本体２０に
は回転翼３０の下側部分で外側に広がる連絡部３１が形
成され、この連絡部３１には、所定の間隔をもって同軸
に延びる３つの回転筒状部３６ａ，３６ｂ，３６ｃが形
成されている。一方、基部１４には、その下端に外側に
延びるフランジ１３ａ，１３ｂが形成された２つの固定
筒状部３８ａ，３８ｂが設けられ、これらの固定筒状部
３８ａ，３８ｂは、回転筒状部３６ａ，３６ｂ，３６ｃ
の間の空間にこれらと同軸に突出している。
に多段に設けられている。すなわち、ロータ本体２０に
は回転翼３０の下側部分で外側に広がる連絡部３１が形
成され、この連絡部３１には、所定の間隔をもって同軸
に延びる３つの回転筒状部３６ａ，３６ｂ，３６ｃが形
成されている。一方、基部１４には、その下端に外側に
延びるフランジ１３ａ，１３ｂが形成された２つの固定
筒状部３８ａ，３８ｂが設けられ、これらの固定筒状部
３８ａ，３８ｂは、回転筒状部３６ａ，３６ｂ，３６ｃ
の間の空間にこれらと同軸に突出している。
【００１７】これらの固定側の排気側ケーシング１２の
内面、固定筒状部３８ａ，３８ｂ及び回転筒状部３６
ａ，３６ｂ，３６ｃの互いに対向する筒状面の少なくと
も一方（この例では固定筒状部３８ａ，３８ｂの内外
面）にねじ溝が形成されている。これにより、排気側ケ
ーシング１２の内面と回転筒状部３６ａの外面の間に第
１段目の溝排気流路４０ａが形成され、以下、固定筒状
部３８ａ，３８ｂと回転筒状部３６ａ，３６ｂ，３６ｃ
のそれぞれ対向する面の間に第２〜５段目の溝排気流路
４０ｂ〜４０ｅが順次形成され、多段のねじ溝排気部Ｌ
2を構成している。
内面、固定筒状部３８ａ，３８ｂ及び回転筒状部３６
ａ，３６ｂ，３６ｃの互いに対向する筒状面の少なくと
も一方（この例では固定筒状部３８ａ，３８ｂの内外
面）にねじ溝が形成されている。これにより、排気側ケ
ーシング１２の内面と回転筒状部３６ａの外面の間に第
１段目の溝排気流路４０ａが形成され、以下、固定筒状
部３８ａ，３８ｂと回転筒状部３６ａ，３６ｂ，３６ｃ
のそれぞれ対向する面の間に第２〜５段目の溝排気流路
４０ｂ〜４０ｅが順次形成され、多段のねじ溝排気部Ｌ
2を構成している。
【００１８】ねじ溝排気部Ｌ2は、高速回転する回転筒
状部３６ａ，３６ｂ，３６ｃとねじ溝のドラッグ作用に
よって排気を行なうもので、各段の溝排気流路４０ａ，
４０ｂ，４０ｃ，４０ｄ，４０ｅの間隔は下流側の方が
狭くなるように構成されている。翼排気部Ｌ1を出た気
体は、第１〜５段目の溝排気流路４０ａ〜４０ｅを通過
する過程で順次圧縮されて排気口４２より外部に排気さ
れる。
状部３６ａ，３６ｂ，３６ｃとねじ溝のドラッグ作用に
よって排気を行なうもので、各段の溝排気流路４０ａ，
４０ｂ，４０ｃ，４０ｄ，４０ｅの間隔は下流側の方が
狭くなるように構成されている。翼排気部Ｌ1を出た気
体は、第１〜５段目の溝排気流路４０ａ〜４０ｅを通過
する過程で順次圧縮されて排気口４２より外部に排気さ
れる。
【００１９】回転筒状部３６ａ，３６ｂ，３６ｃを有す
るロータＲは、例えばアルミニウム等で一体に製作され
ている。この例では、インゴットから切削加工して作製
した扁平な円柱状の素材をさらに切削して、内側に主軸
１８を形成し、その外側にスリーブ部１６が収容される
空洞部２１を加工する。一方、外側に、各回転翼３０
と、外側の回転筒状部３６ａの外周面を加工し、さら
に、このように形成された厚肉の筒状部の内側を下から
刳り抜いて同心筒状の空洞部３７ａ，３７ｂを形成し、
各回転筒状部３６ａ〜３６ｃを分離する。
るロータＲは、例えばアルミニウム等で一体に製作され
ている。この例では、インゴットから切削加工して作製
した扁平な円柱状の素材をさらに切削して、内側に主軸
１８を形成し、その外側にスリーブ部１６が収容される
空洞部２１を加工する。一方、外側に、各回転翼３０
と、外側の回転筒状部３６ａの外周面を加工し、さら
に、このように形成された厚肉の筒状部の内側を下から
刳り抜いて同心筒状の空洞部３７ａ，３７ｂを形成し、
各回転筒状部３６ａ〜３６ｃを分離する。
【００２０】この実施の形態では、回転筒状部３６ａ，
３６ｂ，３６ｃにはねじ溝が設けられていないので、前
記のような加工が容易になっている。なお、固定側の排
気側ケーシング１２と固定筒状部３８ａ，３８ｂは、強
度的な要請も小さく、内外面にそれぞれねじ溝が形成さ
れているので、一体に形成する必要性は小さいが、可能
であればそのようにしてもよい。
３６ｂ，３６ｃにはねじ溝が設けられていないので、前
記のような加工が容易になっている。なお、固定側の排
気側ケーシング１２と固定筒状部３８ａ，３８ｂは、強
度的な要請も小さく、内外面にそれぞれねじ溝が形成さ
れているので、一体に形成する必要性は小さいが、可能
であればそのようにしてもよい。
【００２１】このように構成されたこのターボ分子ポン
プでは、翼排気部Ｌ1において５枚の回転翼３２を有
し、ねじ溝排気部Ｌ2において３枚の回転筒状部３６ａ
〜３６ｃを有するものでありながら、ポンプ本体高さＨ
と最大径Ｄの比Ｈ／Ｄが約０．５であり、従来のものに
比べて大変扁平になっている。このように扁平比が大き
いため、ロータＲの安定性が増し、実用上ラジアル軸受
２４を軸方向に１ヶ所設けるだけで安定な制御ができる
ようになっている。
プでは、翼排気部Ｌ1において５枚の回転翼３２を有
し、ねじ溝排気部Ｌ2において３枚の回転筒状部３６ａ
〜３６ｃを有するものでありながら、ポンプ本体高さＨ
と最大径Ｄの比Ｈ／Ｄが約０．５であり、従来のものに
比べて大変扁平になっている。このように扁平比が大き
いため、ロータＲの安定性が増し、実用上ラジアル軸受
２４を軸方向に１ヶ所設けるだけで安定な制御ができる
ようになっている。
【００２２】なお、この実施の形態においては、３個の
回転筒状部３６ａ，３６ｂ，３６ｃを備えることで、３
段の溝排気流路４０ａ，４０ｂ，４０ｃを設けた例を示
しているが、２個以上の回転筒状部を備えることで、３
段或いはそれ以上の溝排気流路を設けるようにすること
もできる。また、ねじ溝排気部Ｌ2のねじ溝翼をステー
タＳ側に形成した例を示しているが、ロータＲ側に形成
しても良いことは勿論である。
回転筒状部３６ａ，３６ｂ，３６ｃを備えることで、３
段の溝排気流路４０ａ，４０ｂ，４０ｃを設けた例を示
しているが、２個以上の回転筒状部を備えることで、３
段或いはそれ以上の溝排気流路を設けるようにすること
もできる。また、ねじ溝排気部Ｌ2のねじ溝翼をステー
タＳ側に形成した例を示しているが、ロータＲ側に形成
しても良いことは勿論である。
【００２３】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
軸方向にコンパクトであってしかも充分な圧縮・排気性
能を持たせることができ、従って、ラジアル方向の回転
の安定性を向上させるとともに、軸受装置などを省略し
てコンパクトで低コストのターボ分子ポンプを提供する
ことができる。
軸方向にコンパクトであってしかも充分な圧縮・排気性
能を持たせることができ、従って、ラジアル方向の回転
の安定性を向上させるとともに、軸受装置などを省略し
てコンパクトで低コストのターボ分子ポンプを提供する
ことができる。
【図１】本発明の実施の形態のターボ分子ポンプの断面
図である。
図である。
１０ 吸気側ケーシング １２ 排気側ケーシング １８ 主軸 ２０ ロータ本体 ２２ 駆動用モータ ３０ 回転翼 ３２ 固定翼 ３６ａ，３６ｂ，３６ｃ 回転筒状部 ３８ａ，３８ｂ 固定筒状部 ４０ａ，４０ｂ，４０ｃ，４０ｄ，４０ｅ 溝排気流
路 Ｒ ロータ Ｓ ステータ Ｌ1 翼排気部 Ｌ2 溝排気部
路 Ｒ ロータ Ｓ ステータ Ｌ1 翼排気部 Ｌ2 溝排気部
Claims (3)
- 【請求項１】 高速回転可能なロータと、 ケーシングに固定されたステータと、 前記ロータ側の回転翼と前記ステータ側の固定翼が交互
に配置されて構成された翼排気部と、 前記翼排気部の下流側において前記ロータ側の回転筒状
部と前記ステータ側の固定筒状部の間にねじ溝排気流路
が形成されたねじ溝排気部とを有するターボ分子ポンプ
において、 前記ねじ溝排気流路は少なくとも２つ以上設けられ、 ポンプ本体高さＨと最大径Ｄの比Ｈ／Ｄは０．７以下で
あることを特徴とするターボ分子ポンプ。 - 【請求項２】 前記ロータには、同一の素材を加工する
ことによって前記回転翼と複数の前記回転筒状部が一体
に形成されていることを特徴とする請求項１に記載のタ
ーボ分子ポンプ。 - 【請求項３】 前記ロータを、アキシャル磁気軸受と、
軸方向１個所のラジアル磁気軸受により、それぞれ能動
的制御を行って支持していることを特徴とする請求項１
に記載のターボ分子ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10052986A JPH11230084A (ja) | 1998-02-18 | 1998-02-18 | ターボ分子ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10052986A JPH11230084A (ja) | 1998-02-18 | 1998-02-18 | ターボ分子ポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11230084A true JPH11230084A (ja) | 1999-08-24 |
Family
ID=12930253
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10052986A Pending JPH11230084A (ja) | 1998-02-18 | 1998-02-18 | ターボ分子ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11230084A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011027049A (ja) * | 2009-07-28 | 2011-02-10 | Shimadzu Corp | ターボ分子ポンプ |
| WO2020031927A1 (ja) * | 2018-08-08 | 2020-02-13 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ、及びこの真空ポンプに用いられる円筒部、並びにベース部 |
-
1998
- 1998-02-18 JP JP10052986A patent/JPH11230084A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011027049A (ja) * | 2009-07-28 | 2011-02-10 | Shimadzu Corp | ターボ分子ポンプ |
| WO2020031927A1 (ja) * | 2018-08-08 | 2020-02-13 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ、及びこの真空ポンプに用いられる円筒部、並びにベース部 |
| JP2020023949A (ja) * | 2018-08-08 | 2020-02-13 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ、及びこの真空ポンプに用いられる円筒部、並びにベース部 |
| CN112469902A (zh) * | 2018-08-08 | 2021-03-09 | 埃地沃兹日本有限公司 | 真空泵、以及在该真空泵中使用的圆筒部及底座部 |
| US11480182B2 (en) | 2018-08-08 | 2022-10-25 | Edwards Japan Limited | Vacuum pump, cylindrical portion used in vacuum pump, and base portion |
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Legal Events
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| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040629 |