JPH11210674A - ターボ分子ポンプ - Google Patents
ターボ分子ポンプInfo
- Publication number
- JPH11210674A JPH11210674A JP2915998A JP2915998A JPH11210674A JP H11210674 A JPH11210674 A JP H11210674A JP 2915998 A JP2915998 A JP 2915998A JP 2915998 A JP2915998 A JP 2915998A JP H11210674 A JPH11210674 A JP H11210674A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotor
- exhaust
- molecular pump
- fixed
- blade
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 コンパクトで高い排気性能を有し、しかも高
い信頼性と安全性を備えたターボ分子ポンプを提供す
る。 【解決手段】 ポンプケーシング１０，２０内部にロー
タＲとステータＳが設けられ、これにより、回転翼３０
と固定翼３２によって構成される翼排気部Ｌ1と、回転
筒状部３６ａ，３６ｂと固定筒状部３８の少なくとも一
方にねじ溝４２ｂ，４２ｃが形成された溝排気部Ｌ2と
が構成されたターボ分子ポンプにおいて、ロータには、
同一の素材を加工することによって回転翼と複数の回転
筒状部が一体に形成されている。
い信頼性と安全性を備えたターボ分子ポンプを提供す
る。 【解決手段】 ポンプケーシング１０，２０内部にロー
タＲとステータＳが設けられ、これにより、回転翼３０
と固定翼３２によって構成される翼排気部Ｌ1と、回転
筒状部３６ａ，３６ｂと固定筒状部３８の少なくとも一
方にねじ溝４２ｂ，４２ｃが形成された溝排気部Ｌ2と
が構成されたターボ分子ポンプにおいて、ロータには、
同一の素材を加工することによって回転翼と複数の回転
筒状部が一体に形成されている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、高速回転するロー
タにより気体の排気を行うようにしたターボ分子ポンプ
に関する。
タにより気体の排気を行うようにしたターボ分子ポンプ
に関する。
【０００２】
【従来の技術】ポンプケーシングの内部に、ロータとス
テータにより翼排気部及び溝排気部を構成することで、
広い流量範囲に対応可能とした広域型のターボ分子ポン
プが知られている。翼排気部は、固定翼と回転翼を組み
合わせて構成され、回転翼によって気体分子に運動エネ
ルギーを与えて排気を行なう。また、溝排気部は、ロー
タとステータの互いに対向する筒状面の一方又は双方に
ねじ溝構造を形成し、ロータの回転に伴うねじ溝構造に
よるドラッグ作用により気体を排気するものである。
テータにより翼排気部及び溝排気部を構成することで、
広い流量範囲に対応可能とした広域型のターボ分子ポン
プが知られている。翼排気部は、固定翼と回転翼を組み
合わせて構成され、回転翼によって気体分子に運動エネ
ルギーを与えて排気を行なう。また、溝排気部は、ロー
タとステータの互いに対向する筒状面の一方又は双方に
ねじ溝構造を形成し、ロータの回転に伴うねじ溝構造に
よるドラッグ作用により気体を排気するものである。
【０００３】ここで、ターボ分子ポンプを大型化するこ
となく排気性能を向上させるため、ロータとステータの
間に複数段の溝排気部を設けることが行われている。こ
れは、ロータの溝排気部側に複数の同軸の筒状部を設
け、ロータの下部の開放端よりステータの筒状部を挿入
し、これらの対向面間に複数段の溝排気部を設けて構成
されている。このようなロータは、加工の容易性等を考
慮して、ロータ本体と回転筒状部とを別部材で個々に加
工成形した後、両者を溶接等で結合することで一般に製
作されていた。
となく排気性能を向上させるため、ロータとステータの
間に複数段の溝排気部を設けることが行われている。こ
れは、ロータの溝排気部側に複数の同軸の筒状部を設
け、ロータの下部の開放端よりステータの筒状部を挿入
し、これらの対向面間に複数段の溝排気部を設けて構成
されている。このようなロータは、加工の容易性等を考
慮して、ロータ本体と回転筒状部とを別部材で個々に加
工成形した後、両者を溶接等で結合することで一般に製
作されていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような従来の技術においては、２つの素材を組み合わせ
るために、製造の工数が増えるのみでなく、ロータの高
速回転に伴って発生する応力や振動によって接合部に緩
みやガタが生じ、信頼性や安全性が阻害されるという課
題が有った。
ような従来の技術においては、２つの素材を組み合わせ
るために、製造の工数が増えるのみでなく、ロータの高
速回転に伴って発生する応力や振動によって接合部に緩
みやガタが生じ、信頼性や安全性が阻害されるという課
題が有った。
【０００５】本発明は上記に鑑み、コンパクトで高い排
気性能を有し、しかも高い信頼性と安全性を備えたター
ボ分子ポンプを提供することを目的とする。
気性能を有し、しかも高い信頼性と安全性を備えたター
ボ分子ポンプを提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、ポンプケーシング内部にロータとステータが設けら
れ、これにより、回転翼と固定翼によって構成される翼
排気部と、回転筒状部と固定筒状部の少なくとも一方に
ねじ溝が形成された溝排気部とが構成されたターボ分子
ポンプにおいて、前記ロータには、同一の素材を加工す
ることによって前記回転翼と複数の前記回転筒状部が一
体に形成されていることを特徴とするターボ分子ポンプ
である。
は、ポンプケーシング内部にロータとステータが設けら
れ、これにより、回転翼と固定翼によって構成される翼
排気部と、回転筒状部と固定筒状部の少なくとも一方に
ねじ溝が形成された溝排気部とが構成されたターボ分子
ポンプにおいて、前記ロータには、同一の素材を加工す
ることによって前記回転翼と複数の前記回転筒状部が一
体に形成されていることを特徴とするターボ分子ポンプ
である。
【０００７】これにより、溝排気部の複数段の溝排気流
路を構成する複数の回転筒状部を有するロータを例えば
アルミニウム等で一体に製作することで、強度的に問題
のある結合部をなくして、ターボ分子ポンプの信頼性を
向上させることができる。
路を構成する複数の回転筒状部を有するロータを例えば
アルミニウム等で一体に製作することで、強度的に問題
のある結合部をなくして、ターボ分子ポンプの信頼性を
向上させることができる。
【０００８】請求項２に記載の発明は、前記ねじ溝が前
記固定筒状部に形成されていることを特徴とする請求項
１に記載のターボ分子ポンプである。これにより、一体
に形成される回転筒状部の間の面にねじ溝を形成する必
要がなくなり、加工が容易になる。
記固定筒状部に形成されていることを特徴とする請求項
１に記載のターボ分子ポンプである。これにより、一体
に形成される回転筒状部の間の面にねじ溝を形成する必
要がなくなり、加工が容易になる。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照して説明する。このターボ分子ポンプは、ポンプ
ケーシングの内部にロータ（回転部）Ｒとステータ（固
定部）Ｓが収容され、これらの間に翼排気部Ｌ1及び溝
排気部Ｌ2が構成されている。ポンプケーシングは、そ
れぞれ筒状の吸気側ケーシング１０と排気側ケーシング
１２から構成されている。ステータＳは、基部１４と、
その中央に立設された筒状のスリーブ部１６と、翼排気
部Ｌ1及び溝排気部Ｌ2の固定側部分とから主に構成され
ている。また、ロータＲは、スリーブ部１６の内部に挿
入された主軸１８と、それに取り付けられたロータ本体
２０から構成されている。
を参照して説明する。このターボ分子ポンプは、ポンプ
ケーシングの内部にロータ（回転部）Ｒとステータ（固
定部）Ｓが収容され、これらの間に翼排気部Ｌ1及び溝
排気部Ｌ2が構成されている。ポンプケーシングは、そ
れぞれ筒状の吸気側ケーシング１０と排気側ケーシング
１２から構成されている。ステータＳは、基部１４と、
その中央に立設された筒状のスリーブ部１６と、翼排気
部Ｌ1及び溝排気部Ｌ2の固定側部分とから主に構成され
ている。また、ロータＲは、スリーブ部１６の内部に挿
入された主軸１８と、それに取り付けられたロータ本体
２０から構成されている。
【００１０】主軸１８の外周面とスリーブ部１６の内周
面の間には、ロータＲを回転する駆動用モータ２２と、
ロータＲを非接触で支持する上部ラジアル軸受２４、下
部ラジアル軸受２６及びアキシャル軸受２８が設けられ
ている。アキシャル軸受２８は主軸１８の下端のターゲ
ットディスク２８ａと、ステータＳ側の上下の電磁石２
８ｂを有している。このような構成によって、ロータＲ
は５軸の能動制御を受けながら高速回転するようになっ
ている。
面の間には、ロータＲを回転する駆動用モータ２２と、
ロータＲを非接触で支持する上部ラジアル軸受２４、下
部ラジアル軸受２６及びアキシャル軸受２８が設けられ
ている。アキシャル軸受２８は主軸１８の下端のターゲ
ットディスク２８ａと、ステータＳ側の上下の電磁石２
８ｂを有している。このような構成によって、ロータＲ
は５軸の能動制御を受けながら高速回転するようになっ
ている。
【００１１】ロータ本体２０の上部外周には、回転翼３
０が一体に設けられて羽根車を構成し、一方吸気側ケー
シング１２の内面には、固定翼３２が回転翼３０と交互
に配置されて設けられ、これによって高速回転する回転
翼３０と静止している固定翼３２との相互作用によって
排気を行う翼排気部Ｌ1が構成されている。各固定翼３
２は、その縁部を固定翼スペーサ３４で上下から押さえ
られて固定されている。
０が一体に設けられて羽根車を構成し、一方吸気側ケー
シング１２の内面には、固定翼３２が回転翼３０と交互
に配置されて設けられ、これによって高速回転する回転
翼３０と静止している固定翼３２との相互作用によって
排気を行う翼排気部Ｌ1が構成されている。各固定翼３
２は、その縁部を固定翼スペーサ３４で上下から押さえ
られて固定されている。
【００１２】さらに、翼排気部Ｌ1の下流側には、ねじ
溝排気部Ｌ2が多段に設けられている。すなわち、ロー
タ本体３０には回転翼の下側部分で外側に広がる連絡部
３１が形成され、この連絡部３１には、所定の間隔をも
って同軸に延びる２個の回転筒状部３６ａ，３６ｂが形
成されている。一方、排気側ケーシング１２には、その
下端が内側に延びる連絡部１３が形成され、その内端に
は、回転筒状部３６ａ，３６ｂの間にこれらと同軸に延
びる固定筒状部３８が設けられている。この例では固定
側の排気側ケーシング１２の内面及び固定筒状部３８の
内外面にそれぞれねじ溝４２ａ，４２ｂ，４２ｃが形成
されているが、回転側に設けても、双方に設けても良
い。
溝排気部Ｌ2が多段に設けられている。すなわち、ロー
タ本体３０には回転翼の下側部分で外側に広がる連絡部
３１が形成され、この連絡部３１には、所定の間隔をも
って同軸に延びる２個の回転筒状部３６ａ，３６ｂが形
成されている。一方、排気側ケーシング１２には、その
下端が内側に延びる連絡部１３が形成され、その内端に
は、回転筒状部３６ａ，３６ｂの間にこれらと同軸に延
びる固定筒状部３８が設けられている。この例では固定
側の排気側ケーシング１２の内面及び固定筒状部３８の
内外面にそれぞれねじ溝４２ａ，４２ｂ，４２ｃが形成
されているが、回転側に設けても、双方に設けても良
い。
【００１３】これにより、外側の回転筒状部３６ａの外
周面と排気側ケーシング１２の内周面との間に第１段目
の溝排気流路４０ａが、外側の回転筒状部３６ａの内周
面と固定筒状部３８の外周面との間に第２段目の溝排気
流路４０ｂが、内側の回転筒状部３６ｂの外周面と固定
筒状部３８の内周面との間に第３段目の溝排気流路４０
ｃが順次形成され、多段のねじ溝排気部Ｌ2を構成して
いる。
周面と排気側ケーシング１２の内周面との間に第１段目
の溝排気流路４０ａが、外側の回転筒状部３６ａの内周
面と固定筒状部３８の外周面との間に第２段目の溝排気
流路４０ｂが、内側の回転筒状部３６ｂの外周面と固定
筒状部３８の内周面との間に第３段目の溝排気流路４０
ｃが順次形成され、多段のねじ溝排気部Ｌ2を構成して
いる。
【００１４】ねじ溝排気部Ｌ2は、高速回転する回転筒
状部３６ａ，３６ｂと対面するねじ溝翼４２ａ，４２
ｂ，４２ｃのドラッグ作用によって排気を行うもので、
各段の溝排気流路４０ａ，４０ｂ，４０ｃは、それぞれ
下流に行くに従ってその間隔が徐々に狭くなるように構
成されている。翼排気部Ｌ1を出た気体は、第１段目の
溝排気流路４０ａ、第２段目の溝排気流路４０ｂ、第３
段目の溝排気流路４０ｃを通過する過程で順次圧縮され
て外部に排気される。
状部３６ａ，３６ｂと対面するねじ溝翼４２ａ，４２
ｂ，４２ｃのドラッグ作用によって排気を行うもので、
各段の溝排気流路４０ａ，４０ｂ，４０ｃは、それぞれ
下流に行くに従ってその間隔が徐々に狭くなるように構
成されている。翼排気部Ｌ1を出た気体は、第１段目の
溝排気流路４０ａ、第２段目の溝排気流路４０ｂ、第３
段目の溝排気流路４０ｃを通過する過程で順次圧縮され
て外部に排気される。
【００１５】回転筒状部３６ａ，３６ｂを有する回転体
３０は、例えばアルミニウム等で一体に製作されてい
る。この例では、インゴットから切削加工して作製した
円柱状の素材をさらに切削して、内側に主軸１８を装着
する装着孔１９を形成し、その下側にスリーブ部１６が
収容される空洞部２１を加工する。一方、外側に、各回
転翼３０と、外側の回転筒状部３６ａの外周面を加工
し、さらに、このように形成された厚肉の円筒部の厚さ
方向中央部を周方向に刳り抜いて筒状の空洞部３７を形
成し、外側の回転円筒部３６ａと内側の回転円筒部３６
ｂを分離する。
３０は、例えばアルミニウム等で一体に製作されてい
る。この例では、インゴットから切削加工して作製した
円柱状の素材をさらに切削して、内側に主軸１８を装着
する装着孔１９を形成し、その下側にスリーブ部１６が
収容される空洞部２１を加工する。一方、外側に、各回
転翼３０と、外側の回転筒状部３６ａの外周面を加工
し、さらに、このように形成された厚肉の円筒部の厚さ
方向中央部を周方向に刳り抜いて筒状の空洞部３７を形
成し、外側の回転円筒部３６ａと内側の回転円筒部３６
ｂを分離する。
【００１６】この実施の形態では、回転円筒部３６ａ，
３６ｂにはねじ溝が設けられていないので、上記のよう
な加工が容易になっている。なお、固定側の排気側ケー
シング１２と固定筒状部３８は、強度的な要請も小さ
く、内外面にそれぞれねじ溝４２ａ，４２ｂ，４２ｃが
形成されているので、一体に形成する必要性は小さい
が、可能であればそのようにしてもよい。
３６ｂにはねじ溝が設けられていないので、上記のよう
な加工が容易になっている。なお、固定側の排気側ケー
シング１２と固定筒状部３８は、強度的な要請も小さ
く、内外面にそれぞれねじ溝４２ａ，４２ｂ，４２ｃが
形成されているので、一体に形成する必要性は小さい
が、可能であればそのようにしてもよい。
【００１７】なお、この実施の形態においては、２個の
回転円筒部３６ａ，３６ｂを備えることで、３段の溝排
気流路４０ａ，４０ｂ，４０ｃを設けた例を示している
が、３個以上の回転円筒部を備えることで、５段或いは
それ以上の溝排気流路を設けるようにすることもでき
る。また、ねじ溝排気部Ｌ2のねじ溝翼をステータＳ側
に形成した例を示しているが、ロータＲ側に形成しても
良いことは勿論である。
回転円筒部３６ａ，３６ｂを備えることで、３段の溝排
気流路４０ａ，４０ｂ，４０ｃを設けた例を示している
が、３個以上の回転円筒部を備えることで、５段或いは
それ以上の溝排気流路を設けるようにすることもでき
る。また、ねじ溝排気部Ｌ2のねじ溝翼をステータＳ側
に形成した例を示しているが、ロータＲ側に形成しても
良いことは勿論である。
【００１８】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
溝排気部に複数段の溝排気流路を設けて圧縮性能を向上
させ、しかも溝排気流路を多段に形成する回転円筒体を
ロータと一体に製作して強度的に問題のある結合部をな
くすことで、信頼性の高いターボ分子ポンプを提供する
ことができる。
溝排気部に複数段の溝排気流路を設けて圧縮性能を向上
させ、しかも溝排気流路を多段に形成する回転円筒体を
ロータと一体に製作して強度的に問題のある結合部をな
くすことで、信頼性の高いターボ分子ポンプを提供する
ことができる。
【図１】本発明の実施の形態のターボ分子ポンプの断面
図である。
図である。
１０ 吸気側ケーシング １２ 排気側ケーシング １８ 主軸 ２０ ロータ本体 ２２ 駆動用モータ ３０ 回転翼 ３２ 固定翼 ３６ａ，３６ｂ 回転筒状部 ３８ 固定筒状部 ４０ａ，４０ｂ，４０ｃ 溝排気流路 ４２ａ，４２ｂ，４２ｃ ねじ溝 Ｒ ロータ Ｓ ステータ Ｌ1 翼排気部 Ｌ2 溝排気部
Claims (2)
- 【請求項１】 ポンプケーシング内部にロータとステー
タが設けられ、これにより、回転翼と固定翼によって構
成される翼排気部と、回転筒状部と固定筒状部の少なく
とも一方にねじ溝が形成された溝排気部とが構成された
ターボ分子ポンプにおいて、 前記ロータには、同一の素材を加工することによって前
記回転翼と複数の前記回転筒状部が一体に形成されてい
ることを特徴とするターボ分子ポンプ。 - 【請求項２】 前記ねじ溝は、前記固定筒状部に形成さ
れていることを特徴とする請求項１に記載のターボ分子
ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2915998A JPH11210674A (ja) | 1998-01-27 | 1998-01-27 | ターボ分子ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2915998A JPH11210674A (ja) | 1998-01-27 | 1998-01-27 | ターボ分子ポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11210674A true JPH11210674A (ja) | 1999-08-03 |
Family
ID=12268492
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2915998A Pending JPH11210674A (ja) | 1998-01-27 | 1998-01-27 | ターボ分子ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11210674A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1318308A2 (en) * | 2001-12-04 | 2003-06-11 | BOC Edwards Technologies, Limited | Vacuum pump |
| KR20030045598A (ko) * | 2001-12-04 | 2003-06-11 | 비오씨 에드워즈 테크놀로지스 리미티드 | 진공 펌프 |
| JP2004360697A (ja) * | 2003-06-05 | 2004-12-24 | Varian Spa | 真空ポンプ用固定翼の製造方法およびそれにより得られる固定翼 |
| JP5115627B2 (ja) * | 2008-06-19 | 2013-01-09 | 株式会社島津製作所 | ターボ分子ポンプ |
| EP3657021A1 (de) * | 2018-11-21 | 2020-05-27 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vakuumpumpe |
-
1998
- 1998-01-27 JP JP2915998A patent/JPH11210674A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1318308A2 (en) * | 2001-12-04 | 2003-06-11 | BOC Edwards Technologies, Limited | Vacuum pump |
| KR20030045598A (ko) * | 2001-12-04 | 2003-06-11 | 비오씨 에드워즈 테크놀로지스 리미티드 | 진공 펌프 |
| EP1318309A2 (en) * | 2001-12-04 | 2003-06-11 | BOC Edwards Technologies, Limited | Vacuum pump |
| EP1318308A3 (en) * | 2001-12-04 | 2003-12-03 | BOC Edwards Technologies, Limited | Vacuum pump |
| EP1318309A3 (en) * | 2001-12-04 | 2003-12-03 | BOC Edwards Technologies, Limited | Vacuum pump |
| JP2004360697A (ja) * | 2003-06-05 | 2004-12-24 | Varian Spa | 真空ポンプ用固定翼の製造方法およびそれにより得られる固定翼 |
| JP5115627B2 (ja) * | 2008-06-19 | 2013-01-09 | 株式会社島津製作所 | ターボ分子ポンプ |
| EP3657021A1 (de) * | 2018-11-21 | 2020-05-27 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vakuumpumpe |
| JP2020094582A (ja) * | 2018-11-21 | 2020-06-18 | プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー | 真空ポンプ |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4395210B2 (ja) | 真空ポンプの改良 | |
| JP3788558B2 (ja) | ターボ分子ポンプ | |
| JP4935527B2 (ja) | 固定翼の製造方法、およびその固定翼を備えたターボ分子ポンプ | |
| JP6331491B2 (ja) | 真空ポンプ | |
| WO2017099182A1 (ja) | 連結型ネジ溝スペーサ、および真空ポンプ | |
| JPH09177695A (ja) | 真空ポンプ | |
| JP4667043B2 (ja) | 真空ポンプ排出装置 | |
| JP3048583B2 (ja) | 高真空ポンプ用のポンプ段 | |
| JPH0261387A (ja) | ターボ分子ポンプ | |
| JP4195743B2 (ja) | ターボ分子真空ポンプ | |
| JPH11210674A (ja) | ターボ分子ポンプ | |
| JP2003172291A (ja) | 真空ポンプ | |
| JP2002005078A5 (ja) | ||
| JP5786639B2 (ja) | ターボ分子ポンプ | |
| JP2006291794A (ja) | 真空ポンプのロータ | |
| JP7088355B2 (ja) | ターボ分子ポンプ | |
| JP4920975B2 (ja) | ターボ型真空ポンプ | |
| JP2004510100A (ja) | コンパウンド・摩擦真空ポンプ | |
| JPH01190990A (ja) | 真空ポンプ | |
| JP2000110771A (ja) | ターボ分子ポンプ | |
| JPS6361799A (ja) | タ−ボ分子ポンプ | |
| JP2006090231A (ja) | ターボ分子ポンプ固定翼の製造方法および真空ポンプ | |
| JP2004360697A (ja) | 真空ポンプ用固定翼の製造方法およびそれにより得られる固定翼 | |
| JPH10246195A (ja) | ターボ分子ポンプ | |
| JPH03237297A (ja) | ターボ分子ポンプ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040213 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20040217 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040415 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20050222 |
|
| A521 | Written amendment |
Effective date: 20050324 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
|
| A521 | Written amendment |
Effective date: 20050420 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
|
| A911 | Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Effective date: 20050428 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 |
|
| A912 | Removal of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20050603 |