JP4935527B2 - 固定翼の製造方法、およびその固定翼を備えたターボ分子ポンプ - Google Patents
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Description
請求項2の発明によるターボ分子ポンプは、請求項1に記載の製造方法により形成された固定翼を備えたことを特徴とする。
次に、図3〜5を用いて固定翼2Bの製造方法について説明する。図3(a)に示す第1の工程では、板材100を打ち抜き加工することにより、破線で示すような半リング形状板材101を形成する。図3(b)の第2の工程では、半リング形状板材101に対して、ハッチングで示したスリット部102をレーザービーム加工により抜き加工する。その結果、ブレード200、内周リブ部201、外周リブ部202および曲げ部203の形状が形成される。
上述したブレード200は、内周側から外周側まで翼角度が一定な平板翼であったが、内周側と外周側の翼角度を変えた「ねじれ翼」とすることにより、排気性能の向上を図ることができる。図7に示す斜視図は、固定翼2Bのブレード500を「ねじれ翼」とした場合のブレード形状を示したものである。ブレード500は、内周側から外周側に近付くにつれて翼角度が小さくなっている。
Claims (2)
- レーザービームにより金属板材にスリット加工を施して、円弧状の支持部および該支持部に支持されたタービンブレードを形成するスリット加工工程と、
前記スリット加工工程で形成された前記タービンブレードを前記支持部に対して折り曲げて、該タービンブレードに翼角度を形成する曲げ加工工程とを有し、タービンブレードがねじれ翼であるターボ分子ポンプの固定翼の製造方法であって、
前記スリット加工工程において、
前記金属板材をスリット加工して前記タービンブレードの上流側端面および/または下流側端面を形成する際に、前記金属板材の表面に対してレーザービームを斜入射させて、前記表面に対して斜めに傾いた前記上流側端面および/または下流側端面を形成し、
前記金属板材にレーザービームを斜入射させる際の斜入射角度が、前記上流側端面および/または下流側端面のブレード内周側とブレード外周側とで異なることを特徴とするターボ分子ポンプの固定翼の製造方法。 - 請求項1に記載の製造方法により形成された固定翼を備えたことを特徴とするターボ分子ポンプ。
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