JP2002005078A5 - - Google Patents

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Description

【００１０】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載の発明は、ケーシング内部に、ロータ側の回転翼とステータ側の固定翼が交互に配置され、前記固定翼または回転翼の互いに対向する面の少なくとも一方に気体を径方向に排気する凹凸面を備えた径方向翼排気部を有するターボ分子ポンプにおいて、前記径方向翼排気部の１段目の固定翼または回転翼の少なくとも一方が、流れ方向に向かって薄肉となる形状に形成されていることを特徴とするターボ分子ポンプである。
【００１２】
請求項２に記載の発明は、ケーシング内部に、ロータ側の回転翼とステータ側の固定翼が交互に配置され、前記固定翼または回転翼の互いに対向する面の少なくとも一方に気体を径方向に排気する凹凸面を備えた径方向翼排気部を有するターボ分子ポンプにおいて、前記径方向翼排気部の少なくとも１段目の固定翼の内周面とロータ外周面との間に区画形成される軸方向に沿ったガス流路の流路断面積が、それ以降の段における固定翼の内周面とロータ外周面との間に区画形成される軸方向に沿ったガス流路の流路断面積より広く設定されていることを特徴とするターボ分子ポンプである。
【００１４】
請求項３に記載の発明は、ケーシング内部に、ロータ側の回転翼とステータ側の固定翼が交互に配置され、前記固定翼または回転翼の互いに対向する面の少なくとも一方に気体を径方向に排気する凹凸面を備えた径方向翼排気部を有するターボ分子ポンプにおいて、前記径方向翼排気部の少なくとも１段目の回転翼の外周面とステータ内周面との間に区画形成される軸方向に沿ったガス流路の流路断面積が、それ以降の段における回転翼の外周面とステータ外周面との間に区画形成される軸方向に沿ったガス流路の流路断面積より広く設定されていることを特徴とするターボ分子ポンプである。
【００１６】
請求項４に記載の発明は、ケーシング内部に、ロータ側の回転翼とステータ側の固定翼が交互に配置され、前記固定翼または回転翼の互いに対向する面の少なくとも一方に気体を径方向に排気する凹凸面を備えた径方向翼排気部を有するターボ分子ポンプにおいて、前記径方向翼排気部の固定翼の内周面とロータ外周面との間に区画形成される軸方向に沿ったガス流路の流路断面積が、前記凹凸面の内周側の流路面積と同等以上に設定されていることを特徴とするターボ分子ポンプである。
【００１７】
請求項５に記載の発明は、ケーシング内部に、ロータ側の回転翼とステータ側の固定翼が交互に配置され、前記固定翼または回転翼の互いに対向する面の少なくとも一方に気体を径方向に排気する凹凸面を備えた径方向翼排気部を有するターボ分子ポンプにおいて、前記径方向翼排気部の回転翼の外周面とステータ内周面との間に区画形成される軸方向に沿ったガス流路の流路断面積が、前記凹凸面の外周側の流路面積と同等以上に設定されていることを特徴とするターボ分子ポンプである。
請求項６に記載の発明は、ケーシング内部に、ロータ側の回転翼とステータ側の固定翼が交互に配置され、前記固定翼または回転翼の互いに対向する面の少なくとも一方に気体を径方向に排気する凹凸面を備えた径方向翼排気部を有するターボ分子ポンプにおいて、前記径方向翼排気部の少なくとも１段目の固定翼の内周面と該内周面に対向する内周側ロータ外径との距離が、それ以降の段における固定翼の内周面と該内周面に対向する内周側ロータ外径との距離より大きく設定されていることを特徴とするターボ分子ポンプである。
請求項７に記載の発明は、ケーシング内部に、ロータ側の回転翼とステータ側の固定翼が交互に配置され、前記固定翼または回転翼の互いに対向する面の少なくとも一方に気体を径方向に排気する凹凸面を備えた径方向翼排気部を有するターボ分子ポンプにおいて、前記径方向翼排気部の少なくとも１段目の回転翼の外周面と該外周面に対向する内周側ステータ外径との距離が、それ以降の段における回転翼の外周面と該外周面に対向する内周側ステータ外径との距離より大きく設定されていることを特徴とするターボ分子ポンプである。

Claims (7)

  1. ケーシング内部に、ロータ側の回転翼とステータ側の固定翼が交互に配置され、前記固定翼または回転翼の互いに対向する面の少なくとも一方に気体を径方向に排気する凹凸面を備えた径方向翼排気部を有するターボ分子ポンプにおいて、
    前記径方向翼排気部の１段目の固定翼または回転翼の少なくとも一方が、流れ方向に向かって薄肉となる形状に形成されていることを特徴とするターボ分子ポンプ。
  2. ケーシング内部に、ロータ側の回転翼とステータ側の固定翼が交互に配置され、前記固定翼または回転翼の互いに対向する面の少なくとも一方に気体を径方向に排気する凹凸面を備えた径方向翼排気部を有するターボ分子ポンプにおいて、
    前記径方向翼排気部の少なくとも１段目の固定翼の内周面とロータ外周面との間に区画形成される軸方向に沿ったガス流路の流路断面積が、それ以降の段における固定翼の内周面とロータ外周面との間に区画形成される軸方向に沿ったガス流路の流路断面積より広く設定されていることを特徴とするターボ分子ポンプ。
  3. ケーシング内部に、ロータ側の回転翼とステータ側の固定翼が交互に配置され、前記固定翼または回転翼の互いに対向する面の少なくとも一方に気体を径方向に排気する凹凸面を備えた径方向翼排気部を有するターボ分子ポンプにおいて、
    前記径方向翼排気部の少なくとも１段目の回転翼の外周面とステータ内周面との間に区画形成される軸方向に沿ったガス流路の流路断面積が、それ以降の段における回転翼の外周面とステータ外周面との間に区画形成される軸方向に沿ったガス流路の流路断面積より広く設定されていることを特徴とするターボ分子ポンプ。
  4. ケーシング内部に、ロータ側の回転翼とステータ側の固定翼が交互に配置され、前記固定翼または回転翼の互いに対向する面の少なくとも一方に気体を径方向に排気する凹凸面を備えた径方向翼排気部を有するターボ分子ポンプにおいて、
    前記径方向翼排気部の固定翼の内周面とロータ外周面との間に区画形成される軸方向に沿ったガス流路の流路断面積が、前記凹凸面の内周側の流路面積と同等以上に設定されていることを特徴とするターボ分子ポンプ。
  5. ケーシング内部に、ロータ側の回転翼とステータ側の固定翼が交互に配置され、前記固定翼または回転翼の互いに対向する面の少なくとも一方に気体を径方向に排気する凹凸面を備えた径方向翼排気部を有するターボ分子ポンプにおいて、
    前記径方向翼排気部の回転翼の外周面とステータ内周面との間に区画形成される軸方向に沿ったガス流路の流路断面積が、前記凹凸面の外周側の流路面積と同等以上に設定されていることを特徴とするターボ分子ポンプ。
  6. ケーシング内部に、ロータ側の回転翼とステータ側の固定翼が交互に配置され、前記固定翼または回転翼の互いに対向する面の少なくとも一方に気体を径方向に排気する凹凸面を備えた径方向翼排気部を有するターボ分子ポンプにおいて、
    前記径方向翼排気部の少なくとも１段目の固定翼の内周面と該内周面に対向する内周側ロータ外径との距離が、それ以降の段における固定翼の内周面と該内周面に対向する内周側ロータ外径との距離より大きく設定されていることを特徴とするターボ分子ポンプ。
  7. ケーシング内部に、ロータ側の回転翼とステータ側の固定翼が交互に配置され、前記固定翼または回転翼の互いに対向する面の少なくとも一方に気体を径方向に排気する凹凸面を備えた径方向翼排気部を有するターボ分子ポンプにおいて、
    前記径方向翼排気部の少なくとも１段目の回転翼の外周面と該外周面に対向する内周側ステータ外径との距離が、それ以降の段における回転翼の外周面と該外周面に対向する内周側ステータ外径との距離より大きく設定されていることを特徴とするターボ分子ポンプ。
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