JP2002519575A5 - - Google Patents

Claims (6)

1. ロータ部の回転翼をステータ部の固定翼と交互に配置した翼排気部を収容したケーシングと、前記回転翼を支持する電磁石を備えた能動型磁気軸受とを備え、
   前記翼排気部は、前記固定翼又は回転翼の互いに対向する面の少なくとも一方に気体を径方向に排気する凹凸面を備えた径方向翼排気部を備えたことを特徴とするターボ分子ポンプ。
2. 前記凹凸面の少なくとも１つを前記回転翼に設けたことを特徴とする請求項１に記載のターボ分子ポンプ。
3. 前記翼排気部は、軸方向翼排気部を備え、
   前記径方向翼排気部は、該軸方向翼排気部の下流に配置されることを特徴とする請求項１又は２に記載のターボ分子ポンプ。
4. 前記径方向翼排気部の上流位置に、ねじ溝により前記ポンプの軸方向に気体を排気するねじ溝排気部が設けられていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載のターボ分子ポンプ。
5. ロータ部の回転翼をステータ部の固定翼と交互に配置した翼排気部を収容したケーシングを備え、
   前記翼排気部は、前記固定翼又は回転翼の互いに対向する面の少なくとも一方に気体を径方向に排気する凹凸面を備えた径方向翼排気部を備え、
   前記径方向翼排気部の上流位置に、ねじ溝により前記ポンプの軸方向に気体を排気するねじ溝排気部が設けられていることを特徴とするターボ分子ポンプ。
6. 前記固定翼及び／又は回転翼が耐熱性合金で形成されていることを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載のターボ分子ポンプ。