DE4314418A1 - Reibungsvakuumpumpe mit unterschiedlich gestalteten Pumpenabschnitten - Google Patents
Reibungsvakuumpumpe mit unterschiedlich gestalteten PumpenabschnittenInfo
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- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
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- F04D23/008—Regenerative pumps
Description
Die Erfindung bezieht sich auf eine Reibungsvakuumpumpe mit
unterschiedlich gestalteten Pumpenabschnitten, von denen der
einlaßseitige Pumpenabschnitt aus Turbomolekularpumpenstufen
und ein weiterer Pumpenabschnitt aus Siegbahn-Stufen mit
jeweils spiralförmig gestalteten Nuten besteht, wobei die
pumpaktiven Flächen der Siegbahn-Stufen jeweils von den einan
der zugewandten Flächen einer Rotor- und einer Statorring
scheibe gebildet werden.
Zu den Reibungsvakuumpumpen gehören Gaede-Pumpen (in einem
Gehäuse rotierender Zylinder mit Pumpspalt und zwischen Einlaß
und Auslaß gelegenem Sperrspalt), Holweck-Pumpen (in einem
Gehäuse rotierender Zylinder mit wendelförmigen, stator- oder
rotorseitig angeordneten Nuten), Siegbahn-Pumpen (rotierende
und stehende Ringscheiben mit spiralförmig gestalteten Nuten)
und Turbomolekular-Pumpen, die mit Lauf- und Leitschaufeln
ausgerüstet sind. Es ist bekannt, Reibungspumpen mit unter
schiedlich gestalteten Pumpenabschnitten auszurüsten.
Aus der DE-OS 39 22 782 ist eine Reibungspumpe der eingangs
erwähnten Art bekannt. Bei dieser vorbekannten Reibungspumpe
sind jeweils die Rotorscheiben der Siegbahnstufe mit den
spiralförmig gestalteten Nuten ausgerüstet. Die Herstellung
einer Reibungspumpe dieser Art ist relativ aufwendig, da nicht
nur ihr Stator sondern auch ihr Rotor aus einer Vielzahl von
Einzelteilen hergestellt und montiert werden muß.
Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die
Herstellung einer Reibungsvakuumpumpe der eingangs genannten
Art zu vereinfachen.
Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe dadurch gelöst, daß bei
einer Reibungsvakuumpumpe der eingangs genannten Art jeweils
die Statorringscheiben mit den spiralförmigen Nuten ausgerüstet
sind. Durch diese Maßnahme wird zum einen erreicht, daß es
nicht mehr erforderlich ist, den Rotor aus einer Vielzahl von
Einzelteilen herzustellen. Der Rotor kann einteilig ausgebildet
und z. B. aus dem Vollen gedreht sein. Weiterhin ist die Anpas
sung einer Reibungspumpe der hier betroffenen Art an unter
schiedliche Einsatzfälle einfacher. Bei Vakuumpumpen dieser Art
bestimmen nämlich die Eigenschaften der spiralförmigen Nuten
(Tiefe, Breite, Steigung) die Pumpeigenschaften. Bei einer
Änderung der Pumpeigenschaften müssen deshalb bei einer Rei
bungsvakuumpumpe nach dem Stand der Technik nacheinander Stator
und Rotor demontiert, die Rotorscheiben mit den spiralförmigen
Nuten ausgetauscht und dann wieder Rotor und Stator montiert
werden. Bei einer Reibungsvakuumpumpe nach der Erfindung muß
nur der Stator demontiert und mit Austausch-Scheiben wieder
montiert werden.
Eine weitere vorteilhafte Maßnahme nach der Erfindung besteht
darin, daß sich an den Pumpenabschnitt mit den Siegbahn-Stufen
mindestens eine weitere Pumpstufe beliebiger Art - vorzugsweise
auf eine Reibungspumpe - anschließt, die im Zwischenbereich
zwischen Molekularströmung und viskoser Strömung gute Förder
eigenschaften hat. Mit einer in dieser Weise ausgebildeten
Vakuumpumpe kann ein relativ hoher Vorvakuumdruck (größer 10
mbar) erzeugt werden, so daß Pumpen dieser Art mit kleinen und
preiswerten Vorvakuumpumpen betrieben werden können.
Weitere Vorteile und Einzelheiten der Erfindung sollen anhand
von in den Fig. 1 bis 18 erläutert werden. Es zeigen
Fig. 1 eine Reibungsvakuumpumpe nach der Erfindung,
Fig. 2 einen Schnitt durch die Pumpe nach Fig. 1 in Höhe
der Statorscheibe einer Siegbahn-Stufe
Fig. 3 einen Schnitt durch die Pumpe nach Fig. 1 in Höhe
einer sich in Förderrichtung an den Siegbahn-Pumpenab
schnitt anschließenden weiteren Pumpstufe,
Fig. 4, 5 und 6 ein weiteres Ausführungsbeispiel für
eine Pumpe nach der Erfindung,
Fig. 7, 8 ein Ausführungsbeispiel für eine Pumpe nach
der Erfindung mit einer besonderen Rotoraufhängung,
Fig. 9 bis 12 Schnitte durch weitere Lösungen für
druckseitig angeordnete Pumpstufen und
Fig. 13 bis 18 Schnitte durch Pumpstufen, die als kom
binierte Siegbahn/Gaede-Stufen ausgebildet sind.
Beim Ausführungsbeispiel nach Fig. 1 handelt es sich um eine
Reibungsvakuumpumpe 1, deren Gehäuse mit 2 bezeichnet ist. Der
obere, zylindrisch gestaltete Gehäuseabschnitt 3 umfaßt und
zentriert den Stator 4, der eine Mehrzahl von Statorringen 5, 6
und 7 umfaßt. Der Rotor 8 stützt sich über die Lager 9 und die
Pumpenwelle 10 im Pumpengehäuse 2 ab. Der Antriebsmotor ist mit
11 bezeichnet. Während des Betriebs der Pumpe ist an den
Einlaßflansch 12 ein zu evakuierender Rezipient angeschlossen.
Infolge der Drehung des Rotors 8 werden die Gase zum Auslaß 13
gefördert, an den eine Vorvakuumpumpe angeschlossen ist.
Das Ausführungsbeispiel nach Fig. 1 ist mit insgesamt 3
Pumpenabschnitten ausgerüstet. Der hochvakuumseitige Pumpenab
schnitt besteht aus Turbomolekularpumpenstufen. Die Statorringe
5 tragen jeweils die nach innen gerichteten Statorschaufeln 14,
denen am Rotor 8 befestigte Rotorschaufeln 15 zugeordnet sind.
Der zweite Pumpabschnitt weist Siegbahnpumpenstufen auf. Diese
umfassen rotierende, am Rotor 8 befestigte Ringscheiben 16,
deren Oberflächen eben sind. Zwischen den Rotorringscheiben 16
befinden sich die Statorringscheiben 17. Die Statorringe 6
tragen die Statorringscheiben 17; vorzugsweise sind sie ein
stückig ausgebildet. Die Statorringscheiben 17 sind stirnseitig
mit spiralförmigen Vorsprüngen 18 und entsprechenden Nuten 19
ausgerüstet (vgl. Fig. 2). Die spiralförmige Gestaltung ist
jeweils so gewählt, daß eine kontinuierliche Gasströmung vom
Einlaß 12 zum Auslaß 13 sichergestellt ist, d. h. daß beim
dargestellten Ausführungsbeispiel die oberhalb einer Stator
ringscheibe 6 befindlichen pumpaktiven Flächen der Siegbahn
stufen die Gase von außen nach innen und die unterhalb einer
Statorringscheibe 6 befindlichen pumpaktiven Flächen der
Siegbahnstufen die Gase von innen nach außen fördern. Es sind
jeweils drei spiralförmige Nuten bzw. Vorsprünge vorgesehen,
die sich jeweils über etwa 360° erstrecken. Die Anzahl, Tiefe,
Breite und Steigung der Spiralen bestimmt die Pumpeigenschaften
des aus Siegbahnstufen bestehenden Pumpenabschnittes. Durch
Austauschen von Statorringscheiben 17 mit geeignet gestalteten
Spiralen können die Pumpeigenschaften unterschiedlichen Ein
satzbedingungen angepaßt werden.
Beim Ausführungsbeispiel nach Fig. 1 fördert die letzte
druckseitige Siegbahn-Stufe die Gase von außen nach innen. Von
dort aus gelangen sie in eine für den Zwischenbereich zwischen
Molekularströmung und viskoser Strömung besonders geeignete
Pumpenstufe, die nach Art einer Kreiselrad-Arbeitsmaschine
ausgebildet ist. Diese umfaßt am Rotor 8 befestigte, in Bezug
auf die Drehrichtung (Pfeil 21 in Fig. 3) nach hinten ge
krümmte, sich im wesentlichen axial erstreckende Laufschaufeln
22. Diesen sind Kreiselrad-Arbeitsmaschine Leitschaufeln 23
zugeordnet, die vom Statorring 7 getragen werden. Die Leit
schaufeln 23 bilden Strömungskanäle 24, die etwa senkrecht zu
den äußeren Bereichen der Laufschaufeln angeordnet sind und vom
Gas in etwa radialer Richtung nach außen durchströmt werden. Im
äußeren Bereich sind die Strömungskanäle 24 mit Öffnungen 25
versehen, durch die die Gase zur Vorvakuumseite der Pumpe
gelangen. In Fig. 1 ist der Strömungsweg der Gase durch den
Pfeil 26 gekennzeichnet.
Beim in Fig. 1 dargestellten Ausführungsbeispiel fördert die
erste auf die Turbomolekularpumpenstufen folgende Siegbahnstufe
die Gase von außen nach innen. Die der Statorringscheibe 17 der
ersten Siegbahnstufe vorgelagerte Rotorringscheibe 16 hat einen
kleineren Durchmesser als die übrigen Rotorringscheiben 16 und
trägt an ihrem Umfang gegenüber den übrigen Rotorschaufeln 15
verkürzte Schaufeln 27. Dadurch ist ein möglichst störungs
freier Übergang zwischen den verschiedenen Pumpenabschnitten
gewährleistet. Für den Fall, daß die erste Siegbahnstufe die
Gase von innen nach außen fördern soll, kann eine entsprechend
gestaltete erste Statorringscheibe 17 mit gegenüber den übrigen
Scheiben vergrößertem Innendurchmesser vorgesehen sein, die an
ihrer Innenseite verkürzte Statorschaufeln trägt.
Auch beim Ausführungsbeispiel nach Fig. 4 sind hochvakuum
bzw. einlaßseitig zunächst ein Turbomolekularpumpenabschnitt
und daran anschließend ein Siegbahn-Pumpenabschnitt vorgesehen.
Die sich an den Siegbahn-Pumpenabschnitt anschließende, vorva
kuumseitige Pumpstufe ist nach Art einer Seitenkanalpumpe
ausgebildet. Dazu sind in den einander zugewandten, sich radial
erstreckenden Oberflächen der letzten Rotorringscheibe 28 (Fig.
5) und der letzten Statorringscheibe 29 (Fig. 6) im Querschnitt
etwa halbrund gestaltete, einander zugewandte, im wesentliche
kreisförmige Nuten 31, 32 vorgesehen. Die saugseitig angeord
nete rotierende Nut 31 ist mit einer Vielzahl von Querstegen 33
ausgerüstet. Die druckseitig angeordnete, feststehende Nut 32
hat in Bezug auf die geförderten Gase einen Einlaß 34 und einen
Auslaß 35. Ihr Einlaß 34 ist ein sich radial nach außen er
streckender Nutabschnitt, der die durch den peripheren Pump
spalt zwischen Ringscheibe 27 und Stator 4 strömenden Gase
aufnimmt. Der Auslaß 35 ist eine sich im wesentlichen axial
erstreckende Bohrung, welche die Nut 32 mit dem Vorvakuumraum
verbindet. Einlaß 34 und Auslaß 35 liegen unmittelbar neben
einander und sind durch einen Steg voneinander getrennt, um
Rückströmungen zu vermeiden. Eine Aufteilung der Nut 32 in zwei
oder mehr Nutabschnitte, jeweils mit einem Einlaß 34 und einem
Auslaß 35, ist möglich.
Beim Ausführungsbeispiel nach den Fig. 7 und 8 stützt sich
die Welle 10 über ihre Lager 9 zunächst auf der Innenseite
eines hülsenförmigen Trägers 41 ab. Das obere Ende des Trägers
41 ist mit einem Kragen 42 ausgerüstet. Das untere Ende des
Trägers ragt in eine Ausnehmung 43 eines Gehäusebauteiles 44
hinein, welche nur einen geringfügig größeren Durchmesser hat
als der Außendurchmesser des Trägers 41. Ein O-Ring 45 zwischen
dem Träger 41 und der Innenseite der Ausnehmung 43 sichert die
zentrische Position des Trägers 41. Zur Abstützung des Trägers
41 im Gehäuse 2 sind drei sich im wesentlichen axial erstrec
kende Stäbe 46 vorgesehen, die am Kragen 42 und am Gehäusebau
teil 44 befestigt sind. Führt ein in dieser Weise auf gehängter
Rotor 8 infolge von Stößen oder beim Durchfahren von Resonanzen
Schwingungen aus, dann sind die Amplituden sehr klein und
ausschließlich radial gerichtet. Der O-Ring 45 wirkt bei
Schwingungen dieser Art als Dämpfungselement. Dadurch können
die Pumpspalte zwischen den pumpaktiven Flächen, insbesondere
zwischen den Stator- und Rotorringscheiben der Siegbahnstufen,
sehr klein ausgebildet und damit eine sehr gute Pumpenwirkung
erzielt werden.
Fig. 9 zeigt ein Ausführungsbeispiel für eine Pumpe nach der
Erfindung, bei der sich der Rotor auf einem feststehenden
Zapfen 51 des Gehäuses 2 abstützt und der Antriebsmotor 11 als
Außenläufermotor ausgebildet ist. Zur Befestigung der Stäbe 46
ist der Zapfen 51 an seinem oberen Ende mit einem Kragen 52
ausgerüstet. Der hülsenförmige Träger 41 weist an seinem
unteren Ende einen nach innen gerichteten Rand 53 auf. Zwischen
Kragen 52 und Rand 53 erstrecken sich die Stäbe 46.
Im übrigen schließt sich an den Siegbahn-Pumpenabschnitt
druckseitig ein Holweckpumpenabschnitt an, der aus dem Stator
ring 55 mit den wendelförmig gestalteten Vorsprüngen 56 und der
Außenseite des zylindrischen Rotorabschnittes 57 besteht.
Dieser trägt auf seiner Innenseite den Motorrotor.
An den Holweckpumpenabschnitt schließt sich noch ein Gaedepum
penabschnitt an. Dieser umfaßt statorseitig den Statorring 60
mit zwei umlaufenden Stegen 61, 62, welche die Nut 63 bilden,
und rotorseitig den entsprechend verlängerten Rotorabschnitt
57. Den Einlaß in die Gaedepumpenstufen bilden eine oder
mehrere Öffnungen 64 (vgl. auch Fig. 10) im oberen Steg 61.
Diese liegen unmittelbar neben einem oder mehreren feststehen
den, in die Nut 63 hineinragenden Vorsprüngen 65, die mit dem
Rotor 57 den Sperrspalt 66 bilden. Die Auslaßöffnung(en) 67
befinden sich im unteren Steg 62 und münden in den Vorvakuum
raum der Pumpe 1. Beim Ausführungsbeispiel nach Fig. 10 ist
die Nut 63 in zwei Abschnitte aufgeteilt. Es sind zwei parallel
zueinander angeordnete Gaedepumpenstufen vorgesehen. Sie weisen
jeweils die Einlaßöffnung 64 sowie die Auslaßöffnungen 67 auf
und erstrecken sich jeweils über etwa 180°. Der Pfeil 68
kennzeichnet die Drehrichtung des Rotors 57.
Bei den Ausführungen nach den Fig. 11 und 12 ist die Nut 63
nicht mehr ringförmig gestaltet. Durch entsprechende Wahl der
Nut-Tiefe (oder auch Nut-Breite) haben die sich zwischen Einlaß
64 und Auslaß 67 erstreckenden Abschnitte der Nut 63 einen
abnehmenden (Fig. 11) bzw. ständig wechselnden (Fig. 12)
Querschnitt. Dadurch wird der gewünschte Druckaufbau erzielt.
Bei der Ausführung nach Fig. 12 sind mehrere Kammern 69 vor
handen, in denen nacheinander ein relativ langsamer Druckaufbau
und eine relativ schnelle Expansion stattfinden. Der Druck
nimmt von Kammer zu Kammer zu.
Die Fig. 13 bis 18 zeigen Ausführungsformen für Siegbahn
stufen, die mit Gaedestufen kombiniert sind. Die Außendurch
messer der rotierenden Ringscheiben 17 sind dazu derart ge
wählt, daß zwischen ihrer Peripherie und dem sie umgebenden
Stator 4 jeweils ein äußerer Ringraum 71, 72 vorhanden ist.
Weiterhin ist der Innendurchmesser der Statorringscheiben 16
derart gewählt, daß jeweils ein innerer Ringraum 73, 74 vor
handen ist. Aus Fig. 13, welche eine Draufsicht auf eine
Statorringscheibe mit zwei spiralförmigen Nuten 19 zeigt, ist
ersichtlich, daß sich in den Ringräumen 71, 72 feststehende
Vorsprünge 75, 76 bzw. 77, 78 befinden, die gemeinsam mit dem
Außenumfang der Rotorringscheiben 16 bzw. dem rotierenden
Zentralteil (z. B. Rotor 8 oder Welle 10) Sperrspalte 79, 80
bilden.
Während des Betriebs dreht sich der Rotor in Richtung des
Pfeiles 81 (Fig. 13). Diese Drehung bewirkt ein Mitreißen der
Gasmoleküle in den beiden Abschnitten des Ringraumes 71 in
Richtung der Pfeile 82, 83 (Gaedepumpeffekt).
Infolge des Vorhandenseins der Vorsprünge 75, 76 werden die
Gase in die spiralförmigen Nuten nach innen gefördert (Sieg
bahnpumpeffekt) und gelangen dort in die Abschnitte des Ring
raumes 73. Dort werden sie in Richtung der Pfeile 84, 85
mitgerissen und gelangen auf der Unterseite der in Fig. 13 in
Draufsicht dargestellten Statorringscheibe 16 in die Nuten 19,
welche derart ausgebildet sind, daß sie die Gase wieder nach
außen fördern.
Beim Ausführungsbeispiel nach den Fig. 16 bis 18 sind die
pumpaktiven Oberflächen dadurch vergrößert worden, daß die Höhe
der äußeren Ringräume 71, 72 größer gewählt worden ist als die
Dicke der rotierenden Scheiben 17 und daß die Scheiben 17 mit
ihren äußeren Rändern in die Ringräume 71, 72 hineinragen. Die
Vorsprünge 75, 76 müssen bei dieser Lösung U-förmig gestaltet
sein (Fig. 18). Auch innerhalb der inneren Ringräume kann die
pumpwirksame Oberfläche vergrößert werden, wenn der rotierende
Zentralteil mit Vorsprüngen ausgerüstet ist. Ein Beispiel für
einen ringförmig gestalteten Vorsprung 86 ist in Fig. 17
gestrichelt eingezeichnet.
Die beschriebenen und in den Fig. 13 bis 18 dargestellten
Lösungen für kombinierte Gaede-/Siegbahnstufen können anstelle
der in den Pumpen nach den Fig. 1, 4 und 7 wirksamen Sieg
bahnstufen vorhanden sein. Besonders geeignet sind die kombi
nierten Stufen jedoch für in der Nähe der Vorvakuumseite
befindliche Pumpenabschnitte. Die Anzahl der in den jeweiligen
Ringräumen 71 bis 74 vorhandener Sperrspalte ist beliebig. Sie
ist der Anzahl und der Ausbildung der auf den Statorringschei
ben befindlichen Nuten 19 anzupassen.
Claims (19)
1. Reibungsvakuumpumpe (1) mit unterschiedlich gestalteten
Pumpenabschnitten, von denen der einlaßseitige Pumpenab
schnitt aus Turbomolekularpumpenstufen (14, 15) und ein
weiterer Pumpenabschnitt aus Siegbahnstufen (16, 17) mit
jeweils spiralförmig gestalteten Nuten (19) besteht, wobei
die pumpaktiven Flächen der Siegbahnstufen jeweils von den
einander zugewandten Flächen einer Rotor- und einer
Statorringscheibe (16, 17) gebildet werden, dadurch
gekennzeichnet, daß jeweils die Statorringscheiben (16)
mit den spiralförmigen Nuten (19) ausgerüstet sind.
2. Pumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die
erste, sich an die Turbomolekularpumpenstufen (14, 15)
anschließende Ringscheibe (16 oder 17) der Siegbahnstu
fen eine gegenüber den übrigen Stator- bzw. Rotorring
scheiben (16, 17) verringerte Breite hat und Stator- bzw.
Rotorschaufeln (27) trägt.
3. Pumpe nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß
sich an den aus den Siegbahnstufen (16, 17) bestehenden
Pumpenabschnitt ein oder mehrere weitere Pumpenabschnitte
anschließen, die für den Zwischenbereich zwischen Moleku
larströmung und viskoser Strömung geeignet sind.
4. Pumpe nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der
oder die weiteren Pumpenabschnitte nach Art einer Krei
selrad-Arbeitsmaschine, Seitenkanalpumpe, Holweckpumpe,
Gaedepumpe oder dergleichen ausgebildet ist.
5. Pumpe nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die
letzte, vorvakuumseitige Pumpenstufe rotorseitige Lauf
schaufeln (22) und statorseitige Leitschaufeln (23)
umfassen, wobei die Leitschaufeln (23) Strömungskanäle
(24) bilden, die mit zur Vorvakuumseite gerichteten
Öffnungen (25) ausgerüstet sind.
6. Pumpe nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die
letzte, vorvakuumseitige Pumpenstufe nach Art einer
Seitenkanalpumpe ausgebildet ist, daß eine Rotorring
scheibe (28) und eine Statorringscheibe (29) vorgesehen
sind, daß in die einander zugewandten Oberflächen der
Rotorringscheibe (28) und der Statorringscheibe (29)
einander zugewandte Nuten (31, 32) vorgesehen und als
Bestandteile der Seitenkanalpumpe ausgebildet sind.
7. Pumpe nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die
Nuten (31, 32) im wesentlichen kreisförmig gestaltet sind
und daß ein oder mehrere Nutabschnitte jeweils eine
Seitenkanalpumpenstufe bilden.
8. Pumpe nach Anspruch 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, daß
zwei konzentrisch zueinander angeordnete Nutenpaare
vorgesehen sind und Seitenkanalpumpenstufen bilden.
9. Pumpe nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der
vorvakuumseitige Pumpenabschnitt aus einer oder mehreren
Gaedepumpenstufen besteht.
10. Pumpe nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß zwei
parallel zueinander angeordnete, sich radial erstreckende
Stege (61, 62) gemeinsam mit einem zylindrischen Rotorab
schnitt (57) eine oder mehrere Gaedepumpenstufen bilden,
indem die von den Stegen (61, 62) gebildete Nut (63) mit
ein oder mehreren Einlaß- bzw. Auslaßöffnungen (64, 67)
und einem oder mehreren Vorsprüngen (65) zur Bildung eines
oder mehrerer Sperrspalte (66) ausgerüstet sind.
11. Pumpe nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die
Nut (63) oder ein sich von einem Einlaß (64) zu einem
Auslaß (67) erstreckender Abschnitt der Nut (63) einen
kontinuierlich abnehmenden Querschnitt hat.
12. Pumpe nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die
Nut (63) oder ein sich vom Einlaß (64) zum Auslaß (67)
erstreckender Abschnitt der Nut (63) einen ständig wech
selnden Querschnitt hat.
13. Pumpe nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß der
Querschnitt der Nut (63) oder eines Abschnittes der Nut
(63) derart gestaltet ist, daß nacheinander mehrfach ein
relativ langsamer Druckaufbau und eine relativ schnelle
Expansion stattfinden.
14. Pumpe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch
gekennzeichnet, daß mindestens eine der Siegbahnstufen
(16, 17) mit einer Gaedestufe kombiniert ist.
15. Pumpe nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß
mindestens eine Rotorringscheibe (17) mit dem Stator (4)
einen äußeren Ringraum (71, 72) bildet, der insgesamt oder
abschnittsweise als Gaedepumpenstufe mit einem oder
mehreren Vorsprüngen (75, 76) ausgebildet ist.
16. Pumpe nach Anspruch 14 oder 15, dadurch gekennzeichnet,
daß mindestens eine Statorringscheibe (16) mit dem Rotor
(8) einen Ringraum (73, 74) bildet, der insgesamt oder
abschnittsweise als Gaedepumpenstufe ausgebildet ist.
17. Pumpe nach einem der Ansprüche 14, 15, 16, dadurch ge
kennzeichnet, daß die Höhe der äußeren Ringräume (71, 72)
größer ist als die Dicke der Rotorringscheiben (17) und
daß die Scheiben (17) mit ihren äußeren Rändern in die
Ringräume (71, 72) hineinragen.
18. Pumpe nach einem der Ansprüche 14 bis 17, dadurch gekenn
zeichnet, daß der Rotor (8) im Bereich der inneren Ring
räume (73, 74) mit Mitteln (86) zur Vergrößerung der
pumpaktiven Oberfläche ausgerüstet ist.
19. Pumpe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch
gekennzeichnet, daß sich der Rotor (8) über Lager (9) auf
der Innenseite eines hülsenförmigen Trägers (41) abstützt
und daß sich der Träger (41) seinerseits über mehrere,
vorzugsweise drei sich im wesentlichen axial erstreckende
Stäbe (46) im Gehäuse (2) abstützt.
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