EP0697069B1 - Reibungsvakuumpumpe mit unterschiedlich gestalteten pumpenabschnitten - Google Patents
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- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
-
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- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D17/00—Radial-flow pumps, e.g. centrifugal pumps; Helico-centrifugal pumps
- F04D17/08—Centrifugal pumps
- F04D17/16—Centrifugal pumps for displacing without appreciable compression
- F04D17/168—Pumps specially adapted to produce a vacuum
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- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
- F04D19/046—Combinations of two or more different types of pumps
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D23/00—Other rotary non-positive-displacement pumps
- F04D23/008—Regenerative pumps
Definitions
- the invention relates to a friction vacuum pump with the features of the preamble of the independent claims 1 and 2.
- Frictional vacuum pumps include Gaede pumps (in one Housing rotating cylinder with pump gap and between Inlet and outlet located barrier gap), Holweck pumps (rotating cylinder in a housing with arranged helically, stator or rotor side Grooves), Siegbahn pumps (rotating and standing Washers with spiral grooves) and Turbomolecular pumps with rotor and guide vanes are equipped. It is known to use different friction pumps designed pump sections.
- the present invention is based on the object as smooth a flow as possible between the different pump sections.
- the pump section with the Siegbahn stages at least one further pump stage any Type - preferably a friction pump - that in the intermediate range between molecular flow and viscous flow has good pumping properties.
- a vacuum pump designed in this way a relatively high backing pressure (greater than 10 mbar) is generated so that pumps of this type with small and inexpensive backing pumps can be operated.
- the embodiment according to FIG. 1 is a Friction vacuum pump 1, the housing of which is designated 2.
- The includes upper, cylindrical housing section 3 and centers the stator 4, which has a plurality of stator rings 5, 6 and 7.
- the rotor 8 is supported on the bearings 9 and Pump shaft 10 in the pump housing 2.
- the drive motor is with Designated 11.
- the Inlet flange 12 a recipient to be evacuated connected.
- the gases become the outlet 13 promoted to which a backing pump is connected.
- the embodiment according to FIG. 1 is 3 in total Pump sections equipped.
- the high vacuum pump section consists of turbomolecular pump stages.
- the stator rings 5 each carry the inward stator blades 14, which are associated with rotor blades 15 attached to the rotor 8.
- the second pump section has Siegbahn pump stages. This comprise rotating ring disks 16 fastened to the rotor 8, whose surfaces are flat. Between the rotor ring disks 16 are the stator ring washers 17.
- the stator rings 6 wear the stator washers 17; they are preferably in one piece educated.
- the stator washers 17 are on the end face with spiral projections 18 and corresponding grooves 19 equipped (see FIG. 2).
- the spiral shape is each chosen so that a continuous gas flow from Inlet 12 to outlet 13 is secured, i.e. that at embodiment shown the above a stator washer 6 pump active areas of the Siegbahnhaven the gases from the outside in and those below one Stator ring 6 located pump active areas of the Siegbahnhaven convey the gases from the inside out.
- There are three spiral grooves or projections are provided, which each extend over approximately 360 °.
- the number, depth, The width and slope of the spirals determine the pump properties of the pump section consisting of Siegbahn stages.
- the first Siegbahn stage following the turbomolecular pump stages the gases from the outside in.
- the stator washer 17 rotor ring disk 16 upstream of the first Siegbahn stage has one smaller diameter than the other rotor ring disks 16 and bears on its circumference in relation to the other rotor blades 15 Shortened blades 27. This is as trouble-free as possible Transition between the different pump sections guaranteed.
- the first Siegbahnlope If gases are to be conveyed from the inside out, one can do this accordingly designed first stator washer 17 with compared to the rest Disks with an enlarged inner diameter may be provided the inside carries shortened stator blades.
- high vacuum or initially a turbomolecular pump section on the inlet side followed by a Siegbahn pump section.
- the pre-vacuum side that follows the Siegbahn pump section Pump stage is like a side channel pump educated. To do this, they face each other radially extending surfaces of the last rotor ring disk 28 (Fig. 5) and the last stator washer 29 (Fig. 6) in cross section essentially semicircular, facing each other circular grooves 31, 32 are provided.
- the arranged on the suction side rotating groove 31 is with a plurality of crosspieces 33 equipped.
- the fixed groove 32 arranged on the pressure side has an inlet 34 and an inlet with respect to the extracted gases Outlet 35.
- Its inlet 34 is a radially outwardly extending one Groove section that through the peripheral pumping gap gases flowing between the annular disc 27 and the stator 4 records.
- the outlet 35 is substantially axial extending bore, which the groove 32 with the fore-vacuum space connects. Inlet 34 and outlet 35 are immediately adjacent and are separated from each other by a web (36), to avoid backflow. A division of the groove 32 in two or more groove sections, each with an inlet 34 and an outlet 35 is possible.
- the exemplary embodiment according to FIGS. 7 and 8 is based the shaft 10 via its bearings 9 initially on the inside a sleeve-shaped carrier 41.
- the top end of the carrier 41 is equipped with a collar 42.
- the lower end of the The carrier projects into a recess 43 in a housing component 44 into it, which has only a slightly larger diameter than the outer diameter of the carrier 41.
- An O-ring 45 between the carrier 41 and the inside of the recess 43 secures the central position of the carrier 41.
- To support the carrier 41 in the housing 2 are three substantially axially extending Bars 46 are provided on the collar 42 and on the housing component 44 are attached.
- the O-ring 45 acts Vibrations of this type as a damping element. This allows the pumping gaps between the active pumping surfaces, in particular between the stator and rotor ring disks of the Siegbahn stages, very small design and therefore a very good pump effect be achieved.
- Fig. 9 shows an embodiment for a pump according to the Invention in which the rotor is on a fixed Pins 51 of the housing 2 supports and the drive motor 11 as External rotor motor is formed.
- the bars 46 is the pin 51 at its upper end with a collar 52 equipped.
- the sleeve-shaped carrier 41 has on its lower end an inward edge 53. Between Collar 52 and edge 53 extend the rods 46.
- the Siegbahn pump section follows on the pressure side to a Holweck pump section that comes from the stator ring 55 with the helically shaped projections 56 and Outside of the cylindrical rotor section 57. This carries the motor rotor on the inside.
- Gaeda pump section there is also a Gaeda pump section on.
- This includes the stator ring 60 on the stator side with two circumferential webs 61, 62 which form the groove 63, and the correspondingly elongated rotor section on the rotor side 57.
- the inlet to the Gaedepumpgen form an or several openings 64 (see also FIG. 10) in the upper web 61. These are located directly next to one or more fixed, in the groove 63 protruding projections 65 which with the Rotor 57 form the blocking gap 66.
- the outlet opening (s) 67 are located in the lower web 62 and open into the fore-vacuum space the pump 1.
- the groove 63 divided into two sections. There are two in parallel mutually arranged gate pump stages are provided. You point in each case the inlet opening 64 and the outlet openings 67 and each extend over approximately 180 °.
- the arrow 68 indicates the direction of rotation of the rotor 57.
- the groove is 63 no longer designed in a ring shape.
- Groove depth or groove width
- Fig. 11 decreasing
- Fig. 12 constantly changing
- the desired pressure build-up is thereby achieved.
- several chambers 69 are present, in which a relatively slow pressure build-up in succession and relatively rapid expansion is taking place. The pressure increases from chamber to chamber.
- Figures 13 to 18 show embodiments for Siegbahnhaven, which are combined with gaed stages.
- the outside diameter of the rotating ring disks 17 are selected in such a way that between its periphery and that surrounding it Stator 4 each have an outer annular space 71, 72.
- the inner diameter of the stator washers 15 chosen such that an inner annular space 73, 74 is present is.
- Figure 13 which is a plan view of a Stator ring disk with two spiral grooves 19 shows is can be seen that stationary in the annular spaces 71, 72 Projections 75, 76 and 77, 78 are located together with the Outer circumference of the rotor ring disks 16 or the rotating one Central part (e.g. rotor 8 or shaft 10) locking gaps 79, 80 form.
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Description
- Figur 1 eine Reibungsvakuumpumpe nach der Erfindung,
- Figur 2 einen Schnitt durch die Pumpe nach Figur 1 in Höhe der Statorscheibe einer Siegbahn-Stufe
- Figur 3 einen Schnitt durch die Pumpe nach Figur 1 in Höhe einer sich in Förderrichtung an den Siegbahn-Pumpenabschnitt anschließenden weiteren Pumpstufe,
- Figuren 4, 5 und 6 ein weiteres Ausführungsbeispiel für eine Pumpe nach der Erfindung,
- Figuren 7, 8 ein Ausführungsbeispiel für eine Pumpe nach der Erfindung mit einer besonderen Rotoraufhängung,
- Figuren 9 bis 12 Schnitte durch weitere Lösungen für druckseitig angeordnete Pumpstufen und
- Figuren 13 bis 18 Schnitte durch Pumpstufen, die als kombinierte Siegbahn/Gaede-Stufen ausgebildet sind.
Claims (20)
- Reibungsvakuumpumpe (1) mit unterschiedlich gestalteten Pumpenabschnitten, von denen der einlaßseitige Pumpenabschnitt aus Turbomolekularpumpenstufen (14, 15) und ein weiterer Pumpenabschnitt aus Siegbahnstufen (16, 17) mit jeweils spiralförmig gestalteten Nuten (19) besteht, wobei die pumpaktiven Flächen der Siegbahnstufen jeweils von den einander zugewandten Flächen einer Rotor- und einer Statorringscheibe (16, 17) gebildet werden, dadurch gekennzeichnet, dass die erste der Ringscheiben (16, 17) der Siegbahnstufen eine Rotorringscheibe (16) ist, dass diese erste Rotorringscheibe einen kleineren Durchmesser hat als die weiteren Rotorringscheiben (16) und dass sie an ihrem Umfang gegenüber den übrigen Rotorschaufeln (15) der Turbomolekularpumpenstufen (14, 15) verkürzte Rotorschaufeln (27) trägt.
- Reibungsvakuumpumpe (1) mit unterschiedlich gestalteten Pumpenabschnitten, von denen der einlaßseitige Pumpenabschnitt aus Turbomolekularpumpenstufen (14, 15) und ein weiterer Pumpenabschnitt aus Siegbahnstufen (16, 17) mit jeweils spiralförmig gestalteten Nuten (19) besteht, wobei die pumpaktiven Flächen der Siegbahnstufen jeweils von den einander zugewandten Flächen einer Rotor- und einer Statorringscheibe (16, 17) gebildet werden, dadurch gekennzeichnet, dass die erste der Ringscheiben (16, 17) der Siegbahnstufen eine Statorringscheibe (17) ist, dass diese erste Statorringscheibe einen größeren Innendurchmesser hat als die weiteren Statorringscheiben (17) und dass sie an ihrer Innenseite gegenüber den übrigen Statorschaufeln (14) der Turbomolekularpumpenstufen (14, 15) verkürzte Statorschaufeln trägt.
- Pumpe nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass jeweils die Statorringscheiben (16) mit den spiralförmigen Nuten (19) ausgerüstet sind.
- Pumpe nach Anspruch 1, 2, oder 3, dadurch gekennzeichnet, dass sich an den aus den Siegbahnstufen (16, 17) bestehenden Pumpenabschnitt ein oder mehrere weitere Pumpenabschnitte anschließen, die für den Zwischenbereich zwischen Molekularströmung und viskoser Strömung geeignet sind.
- Pumpe nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass der oder die weiteren Pumpenabschnitte nach Art einer Kreiselrad-Arbeitsmaschine, Seitenkanalpumpe, Holweckpumpe, Gaedepumpe oder dergleichen ausgebildet ist.
- Pumpe nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die letzte, vorvakuumseitige Pumpenstufe rotorseitige Laufschaufeln (22) und statorseitige Leitschaufeln (23) umfassen, wobei die Leitschaufeln (23) Strömungskanäle (24) bilden, die mit zur Vorvakuumseite gerichteten Öffnungen (25) ausgerüstet sind.
- Pumpe nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die letzte, vorvakuumseitige Pumpenstufe nach Art einer Seitenkanalpumpe ausgebildet ist, dass eine Rotorringscheibe (28) und eine Statorringscheibe (29) vorgesehen sind, dass in die einander zugewandten Oberflächen der Rotorringscheibe (28) und der Statorringscheibe (29) einander zugewandte Nuten (31, 32) vorgesehen und als Bestandteile der Seitenkanalpumpe ausgebildet sind.
- Pumpe nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Nuten (31, 32) im wesentlichen kreisförmig gestaltet sind und dass ein oder mehrere Nutabschnitte jeweils eine Seitenkanalpumpenstufe bilden.
- Pumpe nach Anspruch 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, dass zwei konzentrisch zueinander angeordnete Nutenpaare vorgesehen sind und Seitenkanalpumpenstufen bilden.
- Pumpe nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass der vorvakuumseitige Pumpenabschnitt aus einer oder mehreren Gaedepumpenstufen besteht.
- Pumpe nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass zwei parallel zueinander angeordnete, sich radial erstreckende Stege (61, 62) gemeinsam mit einem zylindrischen Rotorabschnitt (57) eine oder mehrere Gaedepumpenstufen bilden, indem die von den Stegen (61, 62) gebildete Nut (63) mit ein oder mehreren Einlass- bzw. Auslassöffnungen (64, 67) und einem oder mehreren Vorsprüngen (65) zur Bildung eines oder mehrere Sperrspalte (66) ausgerüstet sind.
- Pumpe nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass die Nut (63) oder ein sich von einem Einlass (64) zu einem Auslass (67) erstreckender Abschnitt der Nut (63) einen kontinuierlich abnehmenden Querschnitt hat.
- Pumpe nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass die Nut (63) oder ein sich vom Einlass (64) zum Auslass (67) erstreckender Abschnitt der Nut (63) einen ständig wechselnden Querschnitt hat.
- Pumpe nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass der Querschnitt der Nut (63) oder eines Abschnittes der Nut (63) derart gestaltet ist, dass nacheinander mehrfach ein relativ langsamer Druckaufbau und eine relativ schnelle Expansion stattfinden.
- Pumpe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eine der Siegbahnstufen (16, 17) mit einer Gaedestufe kombiniert ist.
- Pumpe nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eine Rotorringscheibe (17) mit dem Stator (4) einen äußeren Ringraum (71, 72) bildet, der insgesamt oder abschnittsweise als Gaedepumpenstufe mit einem oder mehreren Vorsprüngen (75, 76) ausgebildet ist.
- Pumpe nach Anspruch 15 oder 16, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eine Statorringscheibe (16) mit dem Rotor (8) einen Ringraum (73, 74) bildet, der insgesamt oder abschnittsweise als Gaedepumpenstufe ausgebildet ist.
- Pumpe nach einem der Ansprüche 15, 16, 17, dadurch gekennzeichnet, dass die Höhe der äußeren Ringräume (71, 72) größer ist als die Dicke der Rotorringscheiben (17) und dass die Scheiben (17) mit ihren äußeren Rändern in die Ringräume (71, 72) hineinragen.
- Pumpe nach einem der Ansprüche 15 bis 18, dadurch gekennzeichnet, dass der Rotor (8) im Bereich der inneren Ringräume (73, 74) mit Mitteln (86) zur Vergrößerung der pumpaktiven Oberfläche ausgerüstet ist.
- Pumpe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass sich der Rotor (8) über Lager (9) auf der Innenseite eines hülsenförmigen Trägers (41) abstützt und dass sich der Träger (41) seinerseits über mehrere, vorzugsweise drei sich im wesentlichen axial erstreckende Stäbe (46) im Gehäuse (2) abstützt.
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