EP0697069B1 - Friction vacuum pump with pump sections of different designs - Google Patents
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- EP0697069B1 EP0697069B1 EP94913098A EP94913098A EP0697069B1 EP 0697069 B1 EP0697069 B1 EP 0697069B1 EP 94913098 A EP94913098 A EP 94913098A EP 94913098 A EP94913098 A EP 94913098A EP 0697069 B1 EP0697069 B1 EP 0697069B1
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- 238000005086 pumping Methods 0.000 claims abstract description 9
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000002955 isolation Methods 0.000 claims 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 15
- 230000006978 adaptation Effects 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 238000013016 damping Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
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-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D17/00—Radial-flow pumps, e.g. centrifugal pumps; Helico-centrifugal pumps
- F04D17/08—Centrifugal pumps
- F04D17/16—Centrifugal pumps for displacing without appreciable compression
- F04D17/168—Pumps specially adapted to produce a vacuum
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
- F04D19/046—Combinations of two or more different types of pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D23/00—Other rotary non-positive-displacement pumps
- F04D23/008—Regenerative pumps
Definitions
- the invention relates to a friction vacuum pump with the features of the preamble of the independent claims 1 and 2.
- Frictional vacuum pumps include Gaede pumps (in one Housing rotating cylinder with pump gap and between Inlet and outlet located barrier gap), Holweck pumps (rotating cylinder in a housing with arranged helically, stator or rotor side Grooves), Siegbahn pumps (rotating and standing Washers with spiral grooves) and Turbomolecular pumps with rotor and guide vanes are equipped. It is known to use different friction pumps designed pump sections.
- the present invention is based on the object as smooth a flow as possible between the different pump sections.
- the pump section with the Siegbahn stages at least one further pump stage any Type - preferably a friction pump - that in the intermediate range between molecular flow and viscous flow has good pumping properties.
- a vacuum pump designed in this way a relatively high backing pressure (greater than 10 mbar) is generated so that pumps of this type with small and inexpensive backing pumps can be operated.
- the embodiment according to FIG. 1 is a Friction vacuum pump 1, the housing of which is designated 2.
- The includes upper, cylindrical housing section 3 and centers the stator 4, which has a plurality of stator rings 5, 6 and 7.
- the rotor 8 is supported on the bearings 9 and Pump shaft 10 in the pump housing 2.
- the drive motor is with Designated 11.
- the Inlet flange 12 a recipient to be evacuated connected.
- the gases become the outlet 13 promoted to which a backing pump is connected.
- the embodiment according to FIG. 1 is 3 in total Pump sections equipped.
- the high vacuum pump section consists of turbomolecular pump stages.
- the stator rings 5 each carry the inward stator blades 14, which are associated with rotor blades 15 attached to the rotor 8.
- the second pump section has Siegbahn pump stages. This comprise rotating ring disks 16 fastened to the rotor 8, whose surfaces are flat. Between the rotor ring disks 16 are the stator ring washers 17.
- the stator rings 6 wear the stator washers 17; they are preferably in one piece educated.
- the stator washers 17 are on the end face with spiral projections 18 and corresponding grooves 19 equipped (see FIG. 2).
- the spiral shape is each chosen so that a continuous gas flow from Inlet 12 to outlet 13 is secured, i.e. that at embodiment shown the above a stator washer 6 pump active areas of the Siegbahnhaven the gases from the outside in and those below one Stator ring 6 located pump active areas of the Siegbahnhaven convey the gases from the inside out.
- There are three spiral grooves or projections are provided, which each extend over approximately 360 °.
- the number, depth, The width and slope of the spirals determine the pump properties of the pump section consisting of Siegbahn stages.
- the first Siegbahn stage following the turbomolecular pump stages the gases from the outside in.
- the stator washer 17 rotor ring disk 16 upstream of the first Siegbahn stage has one smaller diameter than the other rotor ring disks 16 and bears on its circumference in relation to the other rotor blades 15 Shortened blades 27. This is as trouble-free as possible Transition between the different pump sections guaranteed.
- the first Siegbahnlope If gases are to be conveyed from the inside out, one can do this accordingly designed first stator washer 17 with compared to the rest Disks with an enlarged inner diameter may be provided the inside carries shortened stator blades.
- high vacuum or initially a turbomolecular pump section on the inlet side followed by a Siegbahn pump section.
- the pre-vacuum side that follows the Siegbahn pump section Pump stage is like a side channel pump educated. To do this, they face each other radially extending surfaces of the last rotor ring disk 28 (Fig. 5) and the last stator washer 29 (Fig. 6) in cross section essentially semicircular, facing each other circular grooves 31, 32 are provided.
- the arranged on the suction side rotating groove 31 is with a plurality of crosspieces 33 equipped.
- the fixed groove 32 arranged on the pressure side has an inlet 34 and an inlet with respect to the extracted gases Outlet 35.
- Its inlet 34 is a radially outwardly extending one Groove section that through the peripheral pumping gap gases flowing between the annular disc 27 and the stator 4 records.
- the outlet 35 is substantially axial extending bore, which the groove 32 with the fore-vacuum space connects. Inlet 34 and outlet 35 are immediately adjacent and are separated from each other by a web (36), to avoid backflow. A division of the groove 32 in two or more groove sections, each with an inlet 34 and an outlet 35 is possible.
- the exemplary embodiment according to FIGS. 7 and 8 is based the shaft 10 via its bearings 9 initially on the inside a sleeve-shaped carrier 41.
- the top end of the carrier 41 is equipped with a collar 42.
- the lower end of the The carrier projects into a recess 43 in a housing component 44 into it, which has only a slightly larger diameter than the outer diameter of the carrier 41.
- An O-ring 45 between the carrier 41 and the inside of the recess 43 secures the central position of the carrier 41.
- To support the carrier 41 in the housing 2 are three substantially axially extending Bars 46 are provided on the collar 42 and on the housing component 44 are attached.
- the O-ring 45 acts Vibrations of this type as a damping element. This allows the pumping gaps between the active pumping surfaces, in particular between the stator and rotor ring disks of the Siegbahn stages, very small design and therefore a very good pump effect be achieved.
- Fig. 9 shows an embodiment for a pump according to the Invention in which the rotor is on a fixed Pins 51 of the housing 2 supports and the drive motor 11 as External rotor motor is formed.
- the bars 46 is the pin 51 at its upper end with a collar 52 equipped.
- the sleeve-shaped carrier 41 has on its lower end an inward edge 53. Between Collar 52 and edge 53 extend the rods 46.
- the Siegbahn pump section follows on the pressure side to a Holweck pump section that comes from the stator ring 55 with the helically shaped projections 56 and Outside of the cylindrical rotor section 57. This carries the motor rotor on the inside.
- Gaeda pump section there is also a Gaeda pump section on.
- This includes the stator ring 60 on the stator side with two circumferential webs 61, 62 which form the groove 63, and the correspondingly elongated rotor section on the rotor side 57.
- the inlet to the Gaedepumpgen form an or several openings 64 (see also FIG. 10) in the upper web 61. These are located directly next to one or more fixed, in the groove 63 protruding projections 65 which with the Rotor 57 form the blocking gap 66.
- the outlet opening (s) 67 are located in the lower web 62 and open into the fore-vacuum space the pump 1.
- the groove 63 divided into two sections. There are two in parallel mutually arranged gate pump stages are provided. You point in each case the inlet opening 64 and the outlet openings 67 and each extend over approximately 180 °.
- the arrow 68 indicates the direction of rotation of the rotor 57.
- the groove is 63 no longer designed in a ring shape.
- Groove depth or groove width
- Fig. 11 decreasing
- Fig. 12 constantly changing
- the desired pressure build-up is thereby achieved.
- several chambers 69 are present, in which a relatively slow pressure build-up in succession and relatively rapid expansion is taking place. The pressure increases from chamber to chamber.
- Figures 13 to 18 show embodiments for Siegbahnhaven, which are combined with gaed stages.
- the outside diameter of the rotating ring disks 17 are selected in such a way that between its periphery and that surrounding it Stator 4 each have an outer annular space 71, 72.
- the inner diameter of the stator washers 15 chosen such that an inner annular space 73, 74 is present is.
- Figure 13 which is a plan view of a Stator ring disk with two spiral grooves 19 shows is can be seen that stationary in the annular spaces 71, 72 Projections 75, 76 and 77, 78 are located together with the Outer circumference of the rotor ring disks 16 or the rotating one Central part (e.g. rotor 8 or shaft 10) locking gaps 79, 80 form.
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Abstract
Description
Die Erfindung bezieht sich auf eine Reibungsvakuumpumpe
mit den Merkmalen des Oberbegriffs der unabhängigen Patentansprüche
1 und 2.The invention relates to a friction vacuum pump
with the features of the preamble of the
Zu den Reibungsvakuumpumpen gehören Gaede-Pumpen (in einem Gehäuse rotierender Zylinder mit Pumpspalt und zwischen Einlass und Auslass gelegenem Sperrspalt), Holweck-Pumpen (in einem Gehäuse rotierender Zylinder mit wendelförmigen, Stator- oder rotorseitig angeordneten Nuten), Siegbahn-Pumpen (rotierende und stehende Ringscheiben mit spiralförmig gestalteten Nuten) und Turbomolekular-Pumpen, die mit Lauf- und Leitschaufeln ausgerüstet sind. Es ist bekannt, Reibungspumpen mit unterschiedlich gestalteten Pumpenabschnitten auszurüsten.Frictional vacuum pumps include Gaede pumps (in one Housing rotating cylinder with pump gap and between Inlet and outlet located barrier gap), Holweck pumps (rotating cylinder in a housing with arranged helically, stator or rotor side Grooves), Siegbahn pumps (rotating and standing Washers with spiral grooves) and Turbomolecular pumps with rotor and guide vanes are equipped. It is known to use different friction pumps designed pump sections.
Aus der DE-A 39 22 782 und der FR-A-22 80 809 sind Reibungspumpen
der eingangs erwähnten Art bekannt. Pumpen
dieser Art sollen nicht nur im Molekularströmungsbereich
sondern auch bei viskoser Strömung gute Fördereigenschaften
haben. Als besonderes Problem haben sich die
Übergangsbereiche zwischen den unterschiedlich gestalteten
Pumpenabschnitten erwiesen. Störungen der Strömung
oder gar Strömungsabrisse finden in diesen Bereichen
statt.From DE-A 39 22 782 and FR-
Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen möglichst störungsfreien Übergang der Strömung zwischen den verschiedenen Pumpenabschnitten sicherzustellen. The present invention is based on the object as smooth a flow as possible between the different pump sections.
Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe durch die kennzeichnenden
Merkmale der Patentansprüche 1 und 2 gelost. Die Besonderheit
der erfindungsgemäß vorgeschlagenen Rotor- bzw.
Statorringscheibe liegt darin, dass sie einerseits bereits
Bestandteil einer Siegbahnstufe ist, andererseits
aber noch verkürzte Rotorschaufeln trägt. Störungen der
Strömung sind minimiert, Strömungsabrisse finden nicht
mehr statt.According to the invention, this object is achieved by the characterizing
Features of
Eine weitere vorteilhafte Maßnahme besteht darin, die Statorringscheiben der Siegbahnstufen mit den spiralförmigen Nuten auszurüsten. Durch diese Maßnahme wir zum einen erreicht, dass es nicht mehr erforderlich ist, den Rotor aus einer Vielzahl von Einzelteilen herzustellen. Der Rotor kann einteilig ausgebildet und z.B. aus dem Vollen gedreht sein. Weiterhin ist die Anpassung einer Reibungspumpe der hier betroffenen Art an unterschiedliche Einsatzfälle einfacher. Bei Vakuumpumpen dieser Art bestimmen nämlich die Eigenschaften der spiralförmigen Nuten (Tiefe, Breite, Steigung) die Pumpeigenschaften. Bei einer Änderung der Pumpeigenschaften müssen deshalb bei einer Reibungsvakuumpumpe nach dem Stand der Technik nacheinander Stator und Rotor demontiert, die Rotorscheiben mit den spiralförmigen Nuten ausgetauscht und dann wieder Rotor und Stator montiert werden. Bei einer Reibungsvakuumpumpe nach der Erfindung muss nur der Stator demontiert und mit Austausch-Scheiben wieder montiert werden.Another advantageous measure is that Stator ring washers of the Siegbahn levels with the spiral Equip grooves. Through this measure we become achieved one that it is no longer necessary to Manufacture rotor from a variety of individual parts. The rotor can be made in one piece and e.g. from the Be fully turned. Furthermore, the adaptation of a Friction pump of the type concerned here to different Use cases easier. With vacuum pumps of this type determine the properties of the spiral Grooves (depth, width, slope) the pump properties. Therefore, when changing the pump properties in a friction vacuum pump according to the prior art the stator and rotor are dismantled one after the other, the rotor disks exchanged with the spiral grooves and then the rotor and stator are mounted again. At a Friction vacuum pump according to the invention only the stator disassembled and reassembled with replacement discs become.
Eine weitere vorteilhafte Maßnahme nach der Erfindung besteht darin, dass sich an den Pumpenabschnitt mit den Siegbahn-Stufen mindestens eine weitere Pumpstufe beliebiger Art - vorzugsweise auf eine Reibungspumpe - anschließt, die im Zwischenbereich zwischen Molekularströmung und viskoser Strömung gute Fördereigenschaften hat. Mit einer in dieser Weise ausgebildeten Vakuumpumpe kann ein relativ hoher Vorvakuumdruck (größer 10 mbar) erzeugt werden, so dass Pumpen dieser Art mit kleinen und preiswerten Vorvakuumpumpen betrieben werden können.Another advantageous measure according to the invention is that the pump section with the Siegbahn stages at least one further pump stage any Type - preferably a friction pump - that in the intermediate range between molecular flow and viscous flow has good pumping properties. With a vacuum pump designed in this way a relatively high backing pressure (greater than 10 mbar) is generated so that pumps of this type with small and inexpensive backing pumps can be operated.
Weitere Vorteile und Einzelheiten der Erfindung sollen anhand von in den Figuren 1 bis 18 erläutert werden. Es zeigen
Figur 1 eine Reibungsvakuumpumpe nach der Erfindung,Figur 2 einen Schnitt durch die Pumpe nachFigur 1 in Höhe der Statorscheibe einer Siegbahn-StufeFigur 3 einen Schnitt durch die Pumpe nachFigur 1 in Höhe einer sich in Förderrichtung an den Siegbahn-Pumpenabschnitt anschließenden weiteren Pumpstufe,Figuren 4, 5 und 6 ein weiteres Ausführungsbeispiel für eine Pumpe nach der Erfindung, 7, 8 ein Ausführungsbeispiel für eine Pumpe nach der Erfindung mit einer besonderen Rotoraufhängung,Figuren Figuren 9 bis 12 Schnitte durch weitere Lösungen für druckseitig angeordnete Pumpstufen undFiguren 13 bis 18 Schnitte durch Pumpstufen, die als kombinierte Siegbahn/Gaede-Stufen ausgebildet sind.
- FIG. 1 shows a friction vacuum pump according to the invention,
- Figure 2 shows a section through the pump of Figure 1 at the level of the stator disk of a Siegbahn stage
- 3 shows a section through the pump according to FIG. 1 at the level of a further pump stage adjoining the Siegbahn pump section in the conveying direction, FIG.
- FIGS. 4, 5 and 6 show a further exemplary embodiment of a pump according to the invention,
- FIGS. 7, 8 an exemplary embodiment of a pump according to the invention with a special rotor suspension,
- Figures 9 to 12 sections through further solutions for pump stages and arranged on the pressure side
- Figures 13 to 18 sections through pump stages, which are designed as a combined Siegbahn / Gaede stages.
Beim Ausführungsbeispiel nach Figur 1 handelt es sich um eine
Reibungsvakuumpumpe 1, deren Gehäuse mit 2 bezeichnet ist. Der
obere, zylindrisch gestaltete Gehäuseabschnitt 3 umfaßt und
zentriert den Stator 4, der eine Mehrzahl von Statorringen 5,6
und 7 umfaßt. Der Rotor 8 stützt sich über die Lager 9 und die
Pumpenwelle 10 im Pumpengehäuse 2 ab. Der Antriebsmotor ist mit
11 bezeichnet. Während des Betriebs der Pumpe ist an den
Einlaßflansch 12 ein zu evakuierender Rezipient angeschlossen.
Infolge der Drehung des Rotors 8 werden die Gase zum Auslaß 13
gefördert, an den eine Vorvakuumpumpe angeschlossen ist.The embodiment according to FIG. 1 is a
Das Ausführungsbeispiel nach Figur 1 ist mit insgesamt 3
Pumpenabschnitten ausgerüstet. Der hochvakuumseitige Pumpenabschnitt
besteht aus Turbomolekularpumpenstufen. Die Statorringe
5 tragen jeweils die nach innen gerichteten Statorschaufeln 14,
denen am Rotor 8 befestigte Rotorschaufeln 15 zugeordnet sind.
Der zweite Pumpabschnitt weist Siegbahnpumpenstufen auf. Diese
umfassen rotierende, am Rotor 8 befestigte Ringscheiben 16,
deren Oberflächen eben sind. Zwischen den Rotorringscheiben 16
befinden sich die Statorringscheiben 17. Die Statorringe 6
tragen die Statorringscheiben 17; vorzugsweise sind sie einstückig
ausgebildet. Die Statorringscheiben 17 sind stirnseitig
mit spiralförmigen Vorsprüngen 18 und entsprechenden Nuten 19
ausgerüstet (vgl. Figur 2). Die spiralförmige Gestaltung ist
jeweils so gewählt, daß eine kontinuierliche Gasströmung vom
Einlaß 12 zum Auslaß 13 sichergestellt ist, d.h. daß beim
dargestellten Ausführungsbeispiel die oberhalb einer Statorringscheibe
6 befindlichen pumpaktiven Flächen der Siegbahnstufen
die Gase von außen nach innen und die unterhalb einer
Statorringscheibe 6 befindlichen pumpaktiven Flächen der
Siegbahnstufen die Gase von innen nach außen fördern. Es sind
jeweils drei spiralförmige Nuten bzw. Vorsprünge vorgesehen,
die sich jeweils über etwa 360° erstrecken. Die Anzahl, Tiefe,
Breite und Steigung der Spiralen bestimmt die Pumpeigenschaften
des aus Siegbahnstufen bestehenden Pumpenabschnittes. Durch
Austauschen von Statorringscheiben 17 mit geeignet gestalteten
Spiralen können die Pumpeigenschaften unterschiedlichen Einsatzbedingungen
angepaßt werden.The embodiment according to FIG. 1 is 3 in total
Pump sections equipped. The high vacuum pump section
consists of turbomolecular pump stages. The
Beim Ausführungsbeispiel nach Figur 1 fördert die letzte
druckseitige Siegbahn-Stufe die Gase von außen nach innen. Von
dort aus gelangen sie in eine für den Zwischenbereich zwischen
Molekularströmung und viskoser Strömung besonders geeignete
Pumpenstufe, die nach Art einer Kreiselrad-Arbeitsmaschine
ausgebildet ist. Diese umfaßt am Rotor 8 befestigte, in Bezug
auf die Drehrichtung (Pfeil 21 in Figur 3) nach hinten gekrümmte,
sich im wesentlichen axial erstreckende Laufschaufeln
22. Diesen sind Kreiselrad-Arbeitsmaschine Leitschaufeln 23
zugeordnet, die vom Statorring 7 getragen werden. Die Leitschaufeln
23 bilden Strömungskanäle 24, die etwa senkrecht zu
den äußeren Bereichen der Laufschaufeln angeordnet sind und vom
Gas in etwa radialer Richtung nach außen durchströmt werden. Im
äußeren Bereich sind die Strömungskanäle 24 mit Öffnungen 25
versehen, durch die die Gase zur Vorvakuumseite der Pumpe
gelangen. In Figur 1 ist der Strömungsweg der Gase durch den
Pfeil 26 gekennzeichnet. In the embodiment of Figure 1, the last promotes
Siegbahn stage on the pressure side, the gases from outside to inside. Of
from there you get into a for the intermediate area between
Molecular flow and viscous flow particularly suitable
Pump stage, the type of a gyroscopic work machine
is trained. This includes attached to the
Beim in Figur 1 dargestellten Ausführungsbeispiel fördert die
erste auf die Turbomolekularpumpenstufen folgende Siegbahnstufe
die Gase von außen nach innen. Die der Statorringscheibe 17 der
ersten Siegbahnstufe vorgelagerte Rotorringscheibe 16 hat einen
kleineren Durchmesser als die übrigen Rotorringscheiben 16 und
trägt an ihrem Umfang gegenüber den übrigen Rotorschaufeln 15
verkürzte Schaufeln 27. Dadurch ist ein möglichst störungsfreier
Übergang zwischen den verschiedenen Pumpenabschntten
gewährleistet. Für den Fall, daß die erste Siegbahnstufe die
Gase von innen nach außen fördern soll, kann eine entsprechend
gestaltete erste Statorringscheibe 17 mit gegenüber den übrigen
Scheiben vergrößertem Innendurchmesser vorgesehen sein, die an
ihrer Innenseite verkürzte Statorschaufeln trägt.In the embodiment shown in Figure 1, the
first Siegbahn stage following the turbomolecular pump stages
the gases from the outside in. The stator washer 17
Auch beim Ausführungsbeispiel nach Figur 4 sind hochvakuum- bzw.
einlaßseitig zunächst ein Turbomolekularpumpenabschnitt
und daran anschließend ein Siegbahn-Pumpenabschnitt vorgesehen.
Die sich an den Siegbahn-Pumpenabschnitt anschließende, vorvakuumseitige
Pumpstufe ist nach Art einer Seitenkanalpumpe
ausgebildet. Dazu sind in den einander zugewandten, sich radial
erstreckenden Oberflächen der letzten Rotorringscheibe 28 (Fig.
5) und der letzten Statorringscheibe 29 (Fig. 6) im Querschnitt
etwa halbrund gestaltete, einander zugewandte, im wesentliche
kreisförmige Nuten 31, 32 vorgesehen. Die saugseitig angeordnete
rotierende Nut 31 ist mit einer Vielzahl von Querstegen 33
ausgerüstet. Die druckseitig angeordnete, feststehende Nut 32
hat in Bezug auf die geförderten Gase einen Einlaß 34 und einen
Auslaß 35. Ihr Einlaß 34 ist ein sich radial nach außen erstreckender
Nutabschnitt, der die durch den peripheren Pumpspalt
zwischen Ringscheibe 27 und Stator 4 strömenden Gase
aufnimmt. Der Auslaß 35 ist eine sich im wesentlichen axial
erstreckende Bohrung, welche die Nut 32 mit dem Vorvakuumraum
verbindet. Einlaß 34 und Auslaß 35 liegen unmittelbar nebeneinander
und sind durch einen Steg (36) voneinander getrennt,
um Rückströmungen zu vermeiden. Eine Aufteilung der Nut 32 in
zwei oder mehr Nutabschnitte, jeweils mit einem Einlaß 34 und
einem Auslaß 35, ist möglich. In the exemplary embodiment according to FIG. 4, high vacuum or
initially a turbomolecular pump section on the inlet side
followed by a Siegbahn pump section.
The pre-vacuum side that follows the Siegbahn pump section
Pump stage is like a side channel pump
educated. To do this, they face each other radially
extending surfaces of the last rotor ring disk 28 (Fig.
5) and the last stator washer 29 (Fig. 6) in cross section
essentially semicircular, facing each other
Beim Ausführungsbeispiel nach den Figuren 7 und 8 stützt sich
die Welle 10 über ihre Lager 9 zunächst auf der Innenseite
eines hülsenförmigen Trägers 41 ab. Das obere Ende des Trägers
41 ist mit einem Kragen 42 ausgerüstet. Das untere Ende des
Trägers ragt in eine Ausnehmung 43 eines Gehäusebauteiles 44
hinein, welche nur einen geringfügig größeren Durchmesser hat
als der Außendurchmesser des Trägers 41. Ein O-Ring 45 zwischen
dem Träger 41 und der Innenseite der Ausnehmung 43 sichert die
zentrische Position des Trägers 41. Zur Abstützung des Trägers
41 im Gehäuse 2 sind drei sich im wesentlichen axial erstreckende
Stäbe 46 vorgesehen, die am Kragen 42 und am Gehäusebauteil
44 befestigt sind. Führt ein in dieser Weise aufgehängter
Rotor 8 infolge von Stößen oder beim Durchfahren von Resonanzen
Schwingungen aus, dann sind die Amplituden sehr klein und
ausschließlich radial gerichtet. Der O-Ring 45 wirkt bei
Schwingungen dieser Art als Dämpfungselement. Dadurch können
die Pumpspalte zwischen den pumpaktiven Flächen, insbesondere
zwischen den Stator- und Rotorringscheiben der Siegbahnstufen,
sehr klein ausgebildet und damit eine sehr gute Pumpenwirkung
erzielt werden.The exemplary embodiment according to FIGS. 7 and 8 is based
the
Fig. 9 zeigt ein Ausführungsbeispiel für eine Pumpe nach der
Erfindung, bei der sich der Rotor auf einem feststehenden
Zapfen 51 des Gehäuses 2 abstützt und der Antriebsmotor 11 als
Außenläufermotor ausgebildet ist. Zur Befestigung der Stäbe 46
ist der Zapfen 51 an seinem oberen Ende mit einem Kragen 52
ausgerüstet. Der hülsenförmige Träger 41 weist an seinem
unteren Ende einen nach innen gerichteten Rand 53 auf. Zwischen
Kragen 52 und Rand 53 erstrecken sich die Stäbe 46.Fig. 9 shows an embodiment for a pump according to the
Invention in which the rotor is on a fixed
Pins 51 of the
Im übrigen schließt sich an den Siegbahn-Pumpenabschnitt
druckseitig ein Holweckpumpenabschnitt an, der aus dem Statorring
55 mit den wendelförmig gestalteten Vorsprüngen 56 und der
Außenseite des zylindrischen Rotorabschnittes 57 besteht.
Dieser trägt auf seiner Innenseite den Motorrotor.For the rest, the Siegbahn pump section follows
on the pressure side to a Holweck pump section that comes from the
An den Holweckpumpenabschnitt schließt sich noch ein Gaedepumpenabschnitt
an. Dieser umfaßt statorseitig den Statorring 60
mit zwei umlaufenden Stegen 61, 62, welche die Nut 63 bilden,
und rotorseitig den entsprechend verlängerten Rotorabschnitt
57. Den Einlaß in die Gaedepumpenstufen bilden eine oder
mehrere Öffnungen 64 (vgl. auch Fig. 10) im oberen Steg 61.
Diese liegen unmittelbar neben einem oder mehreren feststehenden,
in die Nut 63 hineinragenden Vorsprüngen 65, die mit dem
Rotor 57 den Sperrspalt 66 bilden. Die Auslaßöffnung(en) 67
befinden sich im unteren Steg 62 und münden in den Vorvakuumraum
der Pumpe 1. Beim Ausführungsbeispiel nach Figur 10 ist
die Nut 63 in zwei Abschnitte aufgeteilt. Es sind zwei parallel
zueinander angeordnete Gaedepumpenstufen vorgesehen. Sie weisen
jeweils die Einlaßöffnung 64 sowie die Auslaßöffnungen 67 auf
und erstrecken sich jeweils über etwa 180°. Der Pfeil 68
kennzeichnet die Drehrichtung des Rotors 57.At the Holweck pump section there is also a Gaeda pump section
on. This includes the
Bei den Ausführungen nach den Figuren 11 und 12 ist die Nut 63
nicht mehr ringförmig gestaltet. Durch entsprechende Wahl der
Nut-Tiefe (oder auch Nut-Breite) haben die sich zwischen Einlaß
64 und Auslaß 67 erstreckenden Abschnitte der Nut 63 einen
abnehmenden (Fig. 11) bzw. ständig wechselnden (Fig. 12)
Querschnitt. Dadurch wird der gewünschte Druckaufbau erzielt.
Bei der Ausführung nach Fig. 12 sind mehrere Kammern 69 vorhanden,
in denen nacheinander ein relativ langsamer Druckaufbau
und eine relativ schnelle Expansion stattfinden. Der Druck
nimmt von Kammer zu Kammer zu.In the embodiments according to FIGS. 11 and 12, the groove is 63
no longer designed in a ring shape. By appropriate choice of
Groove depth (or groove width) are between the
Die Figuren 13 bis 18 zeigen Ausführungsformen für Siegbahnstufen,
die mit Gaedestufen kombiniert sind. Die Außendurchmesser
der rotierenden Ringscheiben 17 sind dazu derart gewählt,
daß zwischen ihrer Peripherie und dem sie umgebenden
Stator 4 jeweils ein äußerer Ringraum 71, 72 vorhanden ist.
Weiterhin ist der Innendurchmesser der Statorringscheiben 15
derart gewählt, daß jeweils ein innerer Ringraum 73, 74 vorhanden
ist. Aus Figur 13, welche eine Draufsicht auf eine
Statorringscheibe mit zwei spiralförmigen Nuten 19 zeigt, ist
ersichtlich, daß sich in den Ringräumen 71, 72 feststehende
Vorsprünge 75, 76 bzw. 77, 78 befinden, die gemeinsam mit dem
Außenumfang der Rotorringscheiben 16 bzw. dem rotierenden
Zentralteil (z.B. Rotor 8 oder Welle 10) Sperrspalte 79, 80
bilden.Figures 13 to 18 show embodiments for Siegbahnstufen,
which are combined with gaed stages. The outside diameter
of the
Während des Betriebs dreht sich der Rotor in Richtung des
Pfeiles 81 (Fig. 13). Diese Drehung bewirkt ein Mitreißen der
Gasmoleküle in den beiden Abschnitten des Ringraumes 71 in
Richtung der Pfeile 82, 83 (Gaedepumpeffekt).During operation, the rotor turns in the direction of the
Arrow 81 (Fig. 13). This rotation causes the
Gas molecules in the two sections of the
Infolge des Vorhandenseins der Vorsprünge 75, 76 werden die
Gase in die spiralförmigen Nuten nach innen gefördert (Siegbahnpumpeffekt)
und gelangen dort in die Abschnitte des Ringraumes
73. Dort werden sie in Richtung der Pfeile 84, 85
mitgerissen und gelangen auf der Unterseite der in Figur 13 in
Draufsicht dargestellten Statorringscheibe 16 in die Nuten 19,
welche derart ausgebildet sind, daß sie die Gase wieder nach
außen fördern.Due to the presence of the
Beim Ausführungsbeispiel nach den Figuren 16 bis 18 sind die
pumpaktiven Oberflächen dadurch vergrößert worden, daß die Höhe
der äußeren Ringräume 71, 72 größer gewählt worden ist als die
Dicke der rotierenden Scheiben 17 und daß die Scheiben 17 mit
ihren äußeren Rändern in die Ringräume 71, 72 hineinragen. Die
Vorsprünge 75, 76 müssen bei dieser Lösung U-förmig gestaltet
sein (fig. 18). Auch innerhalb der inneren Ringräume kann die
pumpwirksame Oberfläche vergrößert werden, wenn der rotierende
Zentralteil mit Vorsprüngen ausgerüstet ist. Ein Beispiel für
einen ringförmig gestalteten Vorsprung 86 ist in Figur 17
gestrichelt eingezeichnet.In the embodiment according to Figures 16 to 18 are the
pump-active surfaces have been increased in that the height
the outer
Die beschriebenen und in den Figuren 13 bis 18 dargestellten
Lösungen für kombinierte Gaede-/Siegbahnstufen können anstelle
der in den Pumpen nach den Figuren 1, 4 und 7 wirksamen Siegbahnstufen
vorhanden sein. Besonders geeignet sind die kombinierten
Stufen jedoch für in der Nähe der Vorvakuumseite
befindliche Pumpenabschnitte. Die Anzahl der in den jeweiligen
Ringräumen 71 bis 74 vorhandener Sperrspalte ist beliebig. Sie
ist der Anzahl und der Ausbildung der auf den Statorringscheiben
befindlichen Nuten 19 anzupassen.The described and shown in Figures 13 to 18
Solutions for combined Gaede / Siegbahn levels can be used instead
the Siegbahnstufen effective in the pumps according to Figures 1, 4 and 7
to be available. The combined ones are particularly suitable
However, steps for near the fore-vacuum side
located pump sections. The number of in each
Claims (20)
- Friction vacuum pump (1) with differently shaped pump sections, of which the pump section on the inlet side consists of turbomolecular pump stages (14, 15) and another pump section consists of Siegbahn stages (16, 17) with spirally shaped grooves (19) in each case, the active pumping faces of the Siegbahn stages being formed, in each case, by those faces of an annular rotor disc and annular stator disc (16, 17) that face one another, characterised in that the first of the annular discs (16, 17) of the Siegbahn stages is an annular rotor disc (16), that the said first annular rotor disc has a smaller diameter than the other annular rotor discs (16), and that it carries, on its periphery, rotor blades (27) which are shortened compared with the rest of the rotor blades (15) of the turbomolecular pump stages (14, 15).
- Friction vacuum pump (1) with differently shaped pump sections, of which the pump section on the inlet side consists of turbomolecular pump stages (14, 15) and another pump section consists of Siegbahn stages (16, 17) with spirally shaped grooves (19) in each case, the active pumping faces of the Siegbahn stages being formed, in each case, by those faces of an annular rotor disc and annular stator disc (16, 17) that face one another, characterised in that the first of the annular discs (16, 17) of the Siegbahn stages is an annular stator disc (17), that the said first annular stator disc has a larger internal diameter than the other annular stator discs (17), and that it carries, on its inner side, stator blades which are shortened compared with the rest of the stator blades (14) of the turbomolecular pump stages (14, 15).
- Pump according to claim 1 or 2, characterised in that the annular stator discs (16) are furnished with the spiral grooves (19) in each case.
- Pump according to claim 1, 2 or 3, characterised in that the pump section consisting of the Siegbahn stages (16, 17) is adjoined by one or more other pump sections which are suitable for the intermediate range between molecular flow and viscous flow.
- Pump according to claim 4, characterised in that the other pump section or sections is/are constructed after the fashion of an impeller-type working machine, side-channel pump, Holweck pump, Gaede pump or the like.
- Pump according to claim 5, characterised in that the last pump stage on the fore-vacuum side comprises moving blades (22) on the rotor side and guide blades (23) on the stator side, the said guide blades (23) forming flow channels (24) which are furnished with apertures (25) directed towards the fore-vacuum side.
- Pump according to claim 5, characterised in that the last pump stage on the fore-vacuum side is constructed after the fashion of a side-channel pump, that an annular rotor disc (28) and an annular stator disc (29) are provided, that grooves (31, 32) which face one another are provided in those surfaces of the annular rotor disc (28) and annular stator disc that face one another, and the said grooves are constructed as components of the side-channel pump.
- Pump according to claim 7, characterised in that the grooves (31, 32) are essentially circularly shaped, and that one or more groove sections, in each case, form a side-channel pump stage.
- Pump according to claim 7 or 8, characterised in that two pairs of grooves, which are disposed so as to be concentric with one another, are provided and form side-channel pump stages.
- Pump according to claim 5, characterised in that the pump section on the fore-vacuum side consists of one or more Gaede pump stages.
- Pump according to claim 10, characterised in that two webs (61, 62), which are disposed parallel to one another and extend radially, form, jointly with a cylindrical rotor section (57), one or more Gaede pump stages, through the fact that the groove (63) formed by the webs (61, 62) is furnished with one or more inlet or outlet apertures (64, 67) and one or more projections (65) for forming one or more isolation gaps (66).
- Pump according to claim 11, characterised in that the groove (63), or a section of the said groove (63) that extends from an inlet (64) to an outlet (67), has a continuously decreasing cross-section.
- Pump according to claim 11, characterised in that the groove (63), or a section of the said groove (63) that extends from the inlet (64) to the outlet (67), has a constantly changing cross-section.
- Pump according to claim 13, characterised in that the cross-section of the groove (63), or of a section of the said groove (63), is shaped in such a way that a relatively slow pressure build-up and a relatively rapid expansion take place one after the other repeatedly.
- Pump according to one of the preceding claims, characterised in that at least one of the Siegbahn stages (16, 17) is combined with a Gaede stage.
- Pump according to claim 15, characterised in that at least one annular rotor disc (17) forms, with the stator (4), an outer annular space (71, 72) which, as a whole or in sections, is constructed as a Gaede pump stage with one or a number of projections (75, 76).
- Pump according to claim 15 or 16, characterised in that at least one annular stator disc (16) forms, with the rotor (8), an annular space (73, 74) which, as a whole or in sections, is constructed as a Gaede pump stage.
- Pump according to one of claims 15, 16, 17, characterised in that the height of the outer annular spaces (71, 72) is greater than the thickness of the annular rotor discs (17), and that the discs (17) project with their outer rims into the annular spaces (71, 72).
- Pump according to one of claims 15 to 18, characterised in that the rotor (8) is furnished, in the region of the inner annular spaces (73, 74), with means (86) for enlarging the active pumping surface.
- Pump according to one of the preceding claims, characterised in that the rotor (8) is supported on the inner side of a sleeve-shaped carrier (41) via bearings (9), and that the said carrier (41), for its part, is supported in the housing (2) via a number of bars (46), preferably three, which extend essentially axially.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
EP98110191A EP0874159A3 (en) | 1993-05-03 | 1994-03-31 | Friction vacuum pump with Gaede pump stage |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE4314418 | 1993-05-03 | ||
DE4314418A DE4314418A1 (en) | 1993-05-03 | 1993-05-03 | Friction vacuum pump with differently designed pump sections |
PCT/EP1994/001011 WO1994025760A1 (en) | 1993-05-03 | 1994-03-31 | Friction vacuum pump with pump sections of different designs |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
EP98110191A Division EP0874159A3 (en) | 1993-05-03 | 1994-03-31 | Friction vacuum pump with Gaede pump stage |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
EP0697069A1 EP0697069A1 (en) | 1996-02-21 |
EP0697069B1 true EP0697069B1 (en) | 2000-05-24 |
Family
ID=6486923
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
EP98110191A Withdrawn EP0874159A3 (en) | 1993-05-03 | 1994-03-31 | Friction vacuum pump with Gaede pump stage |
EP94913098A Expired - Lifetime EP0697069B1 (en) | 1993-05-03 | 1994-03-31 | Friction vacuum pump with pump sections of different designs |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
EP98110191A Withdrawn EP0874159A3 (en) | 1993-05-03 | 1994-03-31 | Friction vacuum pump with Gaede pump stage |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5695316A (en) |
EP (2) | EP0874159A3 (en) |
JP (1) | JPH08511071A (en) |
DE (2) | DE4314418A1 (en) |
WO (1) | WO1994025760A1 (en) |
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-
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- 1994-03-31 DE DE59409375T patent/DE59409375D1/en not_active Expired - Fee Related
- 1994-03-31 US US08/545,646 patent/US5695316A/en not_active Expired - Fee Related
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- 1994-03-31 EP EP98110191A patent/EP0874159A3/en not_active Withdrawn
- 1994-03-31 JP JP6523801A patent/JPH08511071A/en active Pending
- 1994-03-31 EP EP94913098A patent/EP0697069B1/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP0874159A3 (en) | 1998-11-18 |
DE59409375D1 (en) | 2000-06-29 |
WO1994025760A1 (en) | 1994-11-10 |
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US5695316A (en) | 1997-12-09 |
DE4314418A1 (en) | 1994-11-10 |
JPH08511071A (en) | 1996-11-19 |
EP0874159A2 (en) | 1998-10-28 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PUAI | Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase |
Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012 |
|
17P | Request for examination filed |
Effective date: 19950930 |
|
AK | Designated contracting states |
Kind code of ref document: A1 Designated state(s): CH DE FR GB IT LI |
|
17Q | First examination report despatched |
Effective date: 19960528 |
|
GRAG | Despatch of communication of intention to grant |
Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOS AGRA |
|
GRAG | Despatch of communication of intention to grant |
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RAP1 | Party data changed (applicant data changed or rights of an application transferred) |
Owner name: LEYBOLD VAKUUM GMBH |
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GRAG | Despatch of communication of intention to grant |
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GRAG | Despatch of communication of intention to grant |
Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOS AGRA |
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GRAH | Despatch of communication of intention to grant a patent |
Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOS IGRA |
|
GRAH | Despatch of communication of intention to grant a patent |
Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOS IGRA |
|
GRAA | (expected) grant |
Free format text: ORIGINAL CODE: 0009210 |
|
AK | Designated contracting states |
Kind code of ref document: B1 Designated state(s): CH DE FR GB IT LI |
|
REG | Reference to a national code |
Ref country code: CH Ref legal event code: EP |
|
REF | Corresponds to: |
Ref document number: 59409375 Country of ref document: DE Date of ref document: 20000629 |
|
ITF | It: translation for a ep patent filed | ||
REG | Reference to a national code |
Ref country code: CH Ref legal event code: NV Representative=s name: ISLER & PEDRAZZINI AG |
|
GBT | Gb: translation of ep patent filed (gb section 77(6)(a)/1977) |
Effective date: 20000717 |
|
ET | Fr: translation filed | ||
PGFP | Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo] |
Ref country code: FR Payment date: 20010208 Year of fee payment: 8 |
|
PGFP | Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo] |
Ref country code: CH Payment date: 20010216 Year of fee payment: 8 |
|
PGFP | Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo] |
Ref country code: GB Payment date: 20010219 Year of fee payment: 8 |
|
PGFP | Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo] |
Ref country code: DE Payment date: 20010222 Year of fee payment: 8 |
|
PLBE | No opposition filed within time limit |
Free format text: ORIGINAL CODE: 0009261 |
|
STAA | Information on the status of an ep patent application or granted ep patent |
Free format text: STATUS: NO OPPOSITION FILED WITHIN TIME LIMIT |
|
26N | No opposition filed | ||
REG | Reference to a national code |
Ref country code: GB Ref legal event code: IF02 |
|
PG25 | Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo] |
Ref country code: LI Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES Effective date: 20020331 Ref country code: GB Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES Effective date: 20020331 Ref country code: CH Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES Effective date: 20020331 |
|
PG25 | Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo] |
Ref country code: DE Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES Effective date: 20021001 |
|
REG | Reference to a national code |
Ref country code: CH Ref legal event code: PL |
|
GBPC | Gb: european patent ceased through non-payment of renewal fee |
Effective date: 20020331 |
|
PG25 | Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo] |
Ref country code: FR Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES Effective date: 20021129 |
|
REG | Reference to a national code |
Ref country code: FR Ref legal event code: ST |
|
PG25 | Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo] |
Ref country code: IT Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES Effective date: 20050331 |