SU528388A1

SU528388A1 - Molecular Vacuum Pump

Info

Publication number: SU528388A1
Application number: SU966793A
Authority: SU
Inventors: Борис Афанасьевич Осанов
Original assignee: Институт Металлургии Имени А.А.Байкова Ан Ссср
Priority date: 1965-06-25
Filing date: 1965-06-25
Publication date: 1976-09-15

Description

1one

Изобретение относитс к области вакуумной техники.The invention relates to the field of vacuum technology.

14звестны молекул рные вакуумные насосы, содержащие герметичный цилиндрический корпус с патрубками откачки и выпуска газа и помещепный в ием ротор. Однако такие насосы не обеспечивают эффективной работы вследствие малоГ) откачки.14, molecular vacuum pumps are known, comprising a sealed cylindrical body with gas pumping and gas exhaust nozzles and a rotor placed in it. However, such pumps do not provide efficient operation due to low pumping.

С целью повышени скорости откачки дл создани глубокого вакуума в иредлагаемо насосе pojop выполнен в виде пакета симметричио оребренны.ч дисков, образуюигих :пнральные каналы с убывающей от нер 1феРИИ к центру глубиной.In order to increase the pumping speed to create a high vacuum, the pojop pump is made in the form of a package of symmetrical ribbed disks that form: the depth of the channels going down from the center to the center.

На фнг. изображен описываемый пасос, продольный разрез; на фиг. 2 - сечение по А - у на фиг. 1.On fng. depicts described Pasos, a longitudinal section; in fig. 2 is a section along A-y in FIG. one.

Насос содержнт герметичныГ корнус 1 с патрубками 2 и 3 откачки и выпуска газа, соответственио, и размещенный в нем вал 4 с ротором, выполненным в виде пакета симметрично оребреппых дисков 5, образующих спиральные каналы а с убывающей от периферии к центру глубииой. Вал 4 выполнен с внутренним продольным каналом б, сообщаюни-Мс со спиральными каналами а при номоии-1 отверстий в и с патрубком 3 выпускаThe pump contains hermetic cornea 1 with nozzles 2 and 3 for pumping out and gas release, corresponding to, and shaft 4 placed in it with a rotor made in the form of a package of symmetrically ribbed disks 5 forming spiral channels a with depth decreasing from the periphery to the center. The shaft 4 is made with an internal longitudinal channel b, communicating-MS with spiral channels and with nom-1 holes in and with the nozzle 3 release

Откачиваемы) газ подаетс в насос через патрубок 2 откачки. При вращении ротора молекулы газа увлекаютс поверхностью дисков 5 в иаправленпи к центру спирали, а затем наиравл ютс через отверсти в, канал о и отверетне г в патрубок 3 выпуска.Pumped out) gas is fed to the pump through pumping outlet 2. When the rotor rotates, the gas molecules are entrained by the surface of the disks 5 in direction to the center of the helix, and then they are guided through the holes in the channel o and the hole in the outlet 3 of the outlet.

Таким образом, выиолнепие ротора в виде пакета симметрично оребренных дисков, образхющих сииральные каналы, нозвол ет повыС1ггь скорость откачки без увеличени числа оборотов враихенп ротора, так как такое выполненне обеснечивает возможность увеличени илощадп иоверхностн, увле1 аюн1,ей молекулы откачиваемого газа.Thus, the rotation of the rotor in the form of a package of symmetrically finned disks forming siiral channels, increases the pumping speed without increasing the speed of the rotor rotor, since this does not make it possible to increase the surface area and the surface of the rotor, because it doesn’t make it possible to increase the surface area of the rotor, because it doesn’t make it possible to increase the size and surface of the rotor.

Фо р м у л а и 3 обре те и и For p m u l a and 3 find and

Молекул рный вакуумный насос, содержащий герметнчньп цилиндрический корпус с патрубками откачки и выпуска газа и помещенный в нем ротор, отличающийс тем, что, с целью новыщени скорости откачки дл создани глубокого вакуума в емкости, ротор выполнен в виде пакета спмметрнчно оребренных дисков, образующих сииральные каналы с убывающей от периферии к центру глубиiioii .A molecular vacuum pump comprising a sealed cylindrical body with gas pumping and gas exhaust nozzles and a rotor placed in it, characterized in that, in order to increase the pumping speed to create a high vacuum in the tank, the rotor is made in the form of a package of optically ribbed disks forming siiral channels with decreasing depth from the periphery to the center.

Г Г77777 :-/ t///-///GG77777: - / t /// - ///

J -1J -1

Рл/г. /Rl / g. /