SU395621A1

SU395621A1 - TURBOMOLECULAR RADIAL VACUUM

Info

Publication number: SU395621A1
Application number: SU1454144A
Authority: SU
Inventors: В. И. Кузнецов И. Д. Анохин
Priority date: 1970-07-03
Filing date: 1970-07-03
Publication date: 1973-08-28

Description

1one

Изобретение относитс к вакуумной технике .The invention relates to vacuum technology.

Известны турбомолекул рные радиальные ваккумные насосы, содержаш,ие ротор с лотгаткамн , расположенными по концентрическим окружност м параллельно оси насоса, между которыми помещены р ды статорных лопаток, укрепленных на фланце.Turbomolecular radial vacuum pump pumps are known that contain a rotor with a lotkamn located in concentric circles parallel to the axis of the pump, between which there are rows of stator vanes mounted on the flange.

Предлагаемый насос отличаетс тем, что фланец с укрепленными статорными лопатками присоединен к откачиваемой камере, и проточна часть насоса оказываетс расположенной непосредственно в рециниепте.The proposed pump is characterized in that a flange with reinforced stator vanes is attached to the pumped chamber, and the flow part of the pump is located directly in the recipe.

Это позвол ет повысить производительность насоса и уменьшить его габариты.This makes it possible to increase the pump capacity and reduce its size.

Иа чертеже схематично изображен предложенный насос. Он содержит фланец /, на котором но концентрическим окружност м параллельно оси вращени ротора 2 -креплены статорные лопатки 3. Рабочие лопатки 4 жесткоIa drawing schematically shows the proposed pump. It contains a flange /, on which the but concentric circles are parallel to the axis of rotation of the rotor 2 — the stator vanes 3 are fastened. The rotor blades 4 are rigidly

св заны с ротором п расположены между р дами неподвижных лопаток.connected with the rotor and located between rows of fixed blades.

При вращении ротора происходит перемещение молекул газл по радиусу к оси насоса, откуда откачизаемьп г;;з через окна во фланце проходит через фор,акуумную камеру 5 в выхлопной патрубок 6, к которому нрисоедпн етс насос предварительного разрежени .When the rotor rotates, the gas molecules move along the radius to the pump axis, from where it is pumped out ;; through the windows in the flange passes through the form, the vacuum chamber 5 into the exhaust pipe 6, to which the preliminary vacuum pump is attached.

П ji с д Л1 е т изобретени P ji with d L1 e t inventions

Турбомолекул рный радиальный вакуумный насос, содержащий ротор с лопатками, расположенными по концентрическим окружност м параллельно оси насоса, между которыми помещены р ды статорных лопаток, укрепленных на фланце, отличающийс тем, что, с целью повыщени производительности и уменьщени габаритов насоса, фланец со статорными лопатками присоединен непосредственно к откачиваемой камере.A turbomolecular radial vacuum pump comprising a rotor with blades arranged in concentric circles parallel to the axis of the pump, between which are placed rows of stator blades mounted on a flange, characterized in that, in order to increase productivity and reduce the dimensions of the pump, a flange with stator blades attached directly to the pumped chamber.