JP6586275B2 - 真空ポンプ - Google Patents

Description

本発明は、真空ポンプに関する。詳しくは、分割構造をもつ固定円板を備える真空ポンプに関する。

真空ポンプのうちシーグバーン型の構成を有するシーグバーン型分子ポンプは、回転円板か、その回転円板と軸方向に隙間（クリアランス）をもって設置された固定円板か少なくともいずれか一方の隙間に対向する表面に、らせん溝（スパイラル状溝または渦巻状溝ともいう）流路が刻設されている。
そして、らせん溝流路内に拡散して入ってきた気体分子に、回転円板によって回転円板接線方向（すなわち、回転円板の回転方向の接線方向）の運動量を与えることで、らせん溝により吸気口から排気口に向けて優位な方向性を与えて排気を行う。

実用新案登録公報第２５０１２７５号公報 特開２０１１−０７４９０３号公報 特許第５０６２２５７号公報

特許文献１には、シーグバーン型真空ポンプについて記載されている。
特許文献２には、ターボ分子ポンプにおいて、部品点数の削減および組み付け作業の効率化を図るために、複数段の固定翼の少なくとも一段は周方向に接するように配置された複数の分割固定翼で構成し、分割固定翼は、周方向に並設された複数の翼ブレードと、その翼ブレードの外周部が連結されて所定位置に位置決めするための円弧状のスペーサ部を配設することで、従来のスペーサリングを必要としない構成が記載されている。
特許文献３には、排気口側の固定翼およびスペーサリングを順に積層することを容易にするために、スペーサリングの内径が最大外径よりも大きくする構成が記載されている。

図６から図１１は、従来技術を説明するための図である。
図７および図８は、図６のｂ−ｂ断面を排気口６側から見たときの断面図である。
図８（ｂ）は、図８（ａ）のγ部を拡大した図である。
図１０は、図９のδ部を拡大した図であり、図１１は、図９に図示したターボ分子ポンプ１０００の組立時を説明するための図である。
図６に示したように、特許文献１に記載されているようなシーグバーン構造を有するシーグバーン型ポンプであるターボ分子ポンプ１０００は、ホルベック型ポンプに比べ、ターボ分子ポンプ１０００の軸方向の高さ寸法をコンパクトにすることができる。
その反面、ターボ分子ポンプ１０００においてシーグバーン構造を複数段採用する場合、上下の回転翼９の段の間に挿入するように配置される固定円板５０００は、回転翼９の側方から組み付け可能にするために、図７に示したように軸線ｎを切断面とした半円形状に分割する分割構造にする必要がある。
そして、こうした分割構造を有する固定円板５０００を圧力が高くなる部分（例えば、排気口６側）で採用する場合、固定円板５０００の分割構造を接合する端面（以後、接合端面とする）から、排気するガスが図６に矢印で示したように逆流してしまい、その結果、排気性能が低下してしまうという問題があった。

また、図８（ａ）および（ｂ）に示したように、固定円板５０００側にスパイラル状溝が設けられる場合、接合端面（軸線ｌ）でズレが生じると、スパイラル状溝の連続性が損なわれてしまい、その結果、設計通りの排気性能が得られなくなってしまう虞があった。

上述したような接合端面（あるいは接合端部）での性能低下を防止するための構造として、特許文献２に記載された構造がある。
上述した特許文献２に記載の技術では、図９および図１０に図示したように、固定円板５１００は、位置決めのための固定部材であるスペーサリング７０００の外周側で接するように配設され、上下のスペーサリング７０００で挟み込まれるように配設される。つまり、スペーサリング７０００の外周面が固定円板５１００とのインロー位置（Ｅ）となる。
固定円板５１００の内周面がインロー位置になっているため、固定円板５１００の接合端面には、より隙間やズレが生じやすくなるという問題があった。
また、この構造では、図１０および図１１に示したように、固定円板５１００をターボ分子ポンプ１０００に組み付けて、さらに弾性部材としてＯリング６０００で固定しなければならず、作業効率が悪いという問題があった。
さらに、ターボ分子ポンプ１０００においてシーグバーン型（固定円板５０００、５１００）が配設される領域は、固定翼１０が配設される領域に比べて排気するガスの圧力が高いため、隙間やズレが生じていると、当該排気するガスの逆流がより起こりやすくなってしまうという問題があった。

また、特許文献３記載の技術では、上述したように、スペーサリングの内周側壁面をテーパ形状にし、ターボ分子ポンプの軸方向に荷重をかけることによって半径方向にも荷重が加わる構成にすることで、半円形状の固定翼の半径方向の位置決めをしている。
しかしながら、テーパ形状を有する面を形成する構造では、軸方向の精度が出にくくなる虞があった。

そこで、本発明は、分割構造をもつ固定円板を有する真空ポンプにおいて、当該分割構造が接合される接合面に生じる隙間やズレを少なくすることを目的とする。

上記目的を達成するために、請求項１記載の本願発明では、吸気口と排気口が形成された外装体と、前記外装体に内包され、回転自在に支持された回転軸と、前記回転軸または前記回転軸に配設された回転円筒体の外周面に、放射状に配設された回転円板状部と、前記回転円板状部と、隙間を介して軸方向において対向し、かつ同心で配置された固定円板状部と、前記固定円板状部を固定するスペーサ部と、前記回転円板状部と前記固定円板状部との相互作用により前記吸気口側から吸気した気体を前記排気口側へ移送する真空排気機構と、を備える真空ポンプにおいて、前記スペーサ部は、前記固定円板状部の前記吸気口側と前記排気口側に配置され、前記軸方向に離れており、前記固定円板状部は、少なくとも２つに分割され、分割された前記固定円板状部の接合面が流路を分断しており、前記固定円板状部の外周面と前記スペーサ部の内周面により、前記固定円板状部の前記吸気口側と前記排気口側で位置決めされることを特徴とする真空ポンプを提供する。
請求項２記載の本願発明では、前記固定円板状部は、前記外周面の一部に突起部を備えていることを特徴とする請求項１に記載の真空ポンプを提供する。
請求項３記載の本願発明では、前記固定円板状部は、前記スペーサ部の前記内周面により外周側から圧力を加えられて固定されることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の真空ポンプを提供する。
請求項４記載の本願発明では、前記固定円板状部が前記スペーサ部の前記内周面により加えられる前記圧力は、前記固定円板状部の前記外周面の一部に加えられることを特徴とする請求項３に記載の真空ポンプを提供する。
請求項５記載の本願発明では、前記固定円板状部の外周側の上端または下端の角部にニゲ構造を有することを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の真空ポンプを提供する。
請求項６記載の本願発明では、前記外装体は、前記吸気口が形成されるケーシング部と前記排気口が形成されるベース部を有し、前記スペーサ部のうち、前記排気口側に最も近く配設される第１スペーサ部は、前記ベース部と一体で構成されることを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の真空ポンプを提供する。
請求項７記載の本願発明では、前記回転円板状部と所定の間隔を設けて配置された固定翼を更に備え、前記固定翼は、前記固定円板状部を位置決めする前記第１スペーサ部とは異なる第２スペーサ部の内周面により位置決めされることを特徴とする請求項６に記載の真空ポンプを提供する。
請求項８記載の本願発明では、前記回転円板状部または前記固定円板状部は、少なくとも一方の前記軸方向における対向面の少なくとも一部に、谷部と山部を有するスパイラル状溝が配設されるシーグバーン型であることを特徴とする請求項１から請求項７のいずれか１項に記載の真空ポンプを提供する。

本発明によれば、分割構造をもつ固定円板を有する真空ポンプにおいて、当該分割構造が接合される接合面に生じる隙間やズレを少なくすることができるので、真空ポンプの排気性能の低下を可能な限り抑えることができる。
また、本発明によれば、シーグバーン構造を有し、分割構造を有する固定円板を、真空ポンプのベースに挿入する（すなわち、ベースの内周面にインロー構造を設ける構成にする）。この構成により、固定円板の半径方向は、ベースによって規制されるので、隙間やズレを生じにくくすることができる。
さらに、本発明によれば、高さ方向については、スペーサリングで挟持されるので、固定円板の半径方向と軸方向の両方について、精度良く位置決めを行うことができる。

真空ポンプの概略構成例を示した図である。 インロー位置を説明するための拡大図である。 変形例１を説明するための図である。 変形例２を説明するための図である。 変形例３を説明するための図である。 従来技術を説明するための図である。 従来技術を説明するための図である。 従来技術を説明するための図である。 従来技術を説明するための図である。 従来技術を説明するための図である。 従来技術を説明するための図である。

（ｉ）実施形態の概要
本実施形態に係るターボ分子ポンプでは、固定円板と芯出しする固定部材とのインロー関係を、外側から拘束する構造に統一する。つまり、ベースと固定円板の嵌め合い構造において、ベースの内周面によって固定円板の外周面を押さえ込んで接合する（外側から拘束する）構造によって中心出し（位置決め／センタリング）を行う。
また、本実施形態に係るターボ分子ポンプでは、固定円板のインロー構造を一体部品で構成する。
さらに、本実施形態に係るターボ分子ポンプでは、固定翼とシーグバーン構造を有する固定円板のインロー位置を別に設ける。

（ｉｉ）実施形態の詳細
以下、本発明の好適な実施の形態について、図１から図５を参照して詳細に説明する。
図１は、本発明の第１実施形態に係る真空ポンプ（ターボ分子ポンプ１）の概略構成例を示した図であり、ターボ分子ポンプ１の軸線方向の断面図を示している。
なお、本発明の実施形態では、便宜上、回転翼の直径方向を「径（直径・半径）方向」、回転翼の直径方向と垂直な方向を「軸線方向」として説明する。

ターボ分子ポンプ１の外装体を形成するケーシング２は、略円筒状の形状をしており、ケーシング２の下部（排気口６側）に設けられたベース３と共にターボ分子ポンプ１の筐体を構成している。そして、この筐体の内部には、ターボ分子ポンプ１に排気機能を発揮させる構造物である気体移送機構が収納されている。
この気体移送機構は、大きく分けて、回転自在に支持（軸支）された回転部（ロータ部）と筐体に対して固定された固定部から構成されている。
また、図示しないが、ターボ分子ポンプ１の外装体の外部には、ターボ分子ポンプ１の動作を制御する制御装置が専用線を介して接続されている。

ケーシング２の端部には、当該ターボ分子ポンプ１へ気体を導入するための吸気口４が形成されている。また、ケーシング２の吸気口４側の端面には、外周側へ張り出したフランジ部５が形成されている。
また、ベース３には、当該ターボ分子ポンプ１から気体を排気するための排気口６が形成されている。

回転部は、回転軸であるシャフト７、このシャフト７に配設されたロータ８、ロータ８に設けられた複数枚の回転翼９を備える。なお、シャフト７、ロータ８、および回転翼９によりロータ部が構成される。
回転翼９は、吸気口４側（９ａ、９ｂ、９ｃ、９ｄ）では、ブレード形状となっており、排気口６側（９ｅ）では円板形状で形成されている。
シャフト７の軸線方向中程には、シャフト７を高速回転させるためのモータ部２０が設けられ、ステータコラム８０に内包されている。
更に、シャフト７のモータ部２０に対して吸気口４側、および排気口６側には、シャフト７をラジアル方向（径方向）に非接触で支持（軸支）するための径方向磁気軸受装置３０、３１が設けられている。また、シャフト７の下端には、シャフト７を軸線方向（アキシャル方向）に非接触で支持するための軸方向磁気軸受装置４０が設けられている。
固定翼１０は、シャフト７の軸線に垂直な平面から所定の角度だけ傾斜してケーシング２の内周面からシャフト７に向かって伸びたブレードから構成されている。そして、固定翼１０は、ケーシング２の内周側において回転翼９と互い違いに、軸線方向に複数段配設されている。
なお、段数については、真空ポンプに要求される排出性能（排気性能）を満たすために必要な任意の数の固定翼１０および（あるいは）回転翼９を設ける構成にすればよい。
固定円板５０は、シャフト７の軸線に対して垂直に放射状に伸びた円板形状をし、スパイラル状溝が刻設された円板部材である。本実施形態では、半円形状の部材を接合することにより円形形状に形成される。
スペーサリング７０は、円筒形状をした固定部材であり、各段の固定翼１０や固定円板５０は、このスペーサリング７０によって互いに隔てられて固定される。
このように構成されたターボ分子ポンプ１により、ターボ分子ポンプ１は、ターボ分子ポンプ１に配設される真空室（図示しない）内の真空排気処理を行う。

図２は、図１のα部を拡大した図であり、本実施形態のインロー位置（Ａ）を説明するための拡大図である。
図２（ａ）に示したように、スペーサリング７０の内周に固定円板５０を嵌め合わせる構成でインロー位置Ａを形成する。
より詳しくは、スペーサリング７０に、２つの異なる内径を有する二段構造の内周面を形成する。そして、スペーサリング７０における大きい方の内径の内周面と、固定円板５０の外周面とがインロー構造（インロー位置Ａ）を形成するように、固定円板５０の外周の寸法を決める。
この構成により、固定円板５０とスペーサリング７０を嵌め合わせて組み立てるときに、固定円板５０はスペーサリング７０によって外側から拘束される。すなわち、固定円板５０はスペーサリング７０によって外側から位置決めされる。
その結果、固定円板５０を内側で位置決めする場合と比較して、固定円板５０の分割の隙間やズレを少なくすることができるので、真空ポンプの排気性能の低下を抑えることができる。
また、この時のインロー構造を、すきまバメの寸法関係ではなく、中間バメや軽度のしまりバメの寸法関係にすることで、接合端面が密着するため、より固定円板５０の分割のズレや隙間を少なくすることができる。
また、この構成により、固定円板５０とスペーサリング７０を嵌め合わせて固定するためのＯリングが不要になるので、構成部材を少なくすることができるので、組み立てが容易になり製造コストを低減させることができる。

さらに、排気口６側から２番目に配設される固定円板５０については、図２（ｂ）に示したように、ベース３の内周に固定円板５０を嵌め合わせる構成でインロー位置Ａ’を形成する構成にしてもよい。すなわち、ベース３の上面と、最も排気口６に近い位置に配設されるスペーサリング７０が一体化されたような構成になる。
より詳しくは、ベース３の上面に、２つの異なる内径を有する二段構造の内周面（内周側面）を形成する構成にする。そして、ベース３における大きい方の内径の内周面と、固定円板５０の外周面（外周側面）とがインロー構造（インロー位置Ａ’）を形成するように、固定円板５０の外周の寸法を決める。
この構成により、固定円板５０とベース３の上面を嵌め合わせて組み立てるときに、固定円板５０はベース３によって外側から拘束される。すなわち、固定円板５０はベース３によって外側から位置決めされる。
その結果、固定円板５０は、基準となるベース３とインロー構造を形成することができるので、より中心ズレが生じ難くなるという効果を得ることができる。

さらに、図２（ａ）（ｂ）に示したように、インロー位置（Ａ、Ａ’）における固定円板５０の外周側の下端（排気口６側）の角部は、Ｃ面取りもしくはＲ形状を有する「ニゲ」構造にする。また、下端のみだけではなく、上端または上端と下端の両方の角部を、前述したような「ニゲ」構造にしてもよい。
この構成により、嵌め込まれる側（スペーサリング７０、ベース３）の接合面よりも、嵌め込む側（固定円板５０）の接合面の方が、丸み形状が大きくなる（弧の丸みがゆるやかになる）ので、加工によって角部のバリや返りなどが生じた場合でも干渉することなく、嵌め込みやすくなり組み立てがより容易になる。

上述した実施形態は、以下のように変形することができる。
（ｉｉｉ）変形例１
図３（ａ）は、図１のａ−ａ断面を排気口６側からみた断面図であり、図３（ｂ）は、図３（ａ）のβ部を拡大した図である。
本実施形態の変形例１に係る固定円板５００は、図３（ｂ）に示したように、インロー用凸部５０１を有する。
より詳しくは、本実施形態の変形例１では、ターボ分子ポンプ１の組立性を考慮し、固定円板５００とスペーサリング７０（あるいはベース３）によるインロー構造を、固定円板５００の外周全周に形成させるのではなく、固定円板５００の外周において部分的に形成させる。
つまり、固定円板５００の外周面に、インロー構造を形成するためのインロー用凸部５０１を等間隔に数カ所配置する構成にする。
なお、このインロー用凸部５０１は、固定円板５００の外周面において、少なくとも、円筒形における位置決め（センタリング）の最小単位である３カ所に形成されることが望ましい。なお、３カ所以上であれば、偶数箇所に形成される構成であるとよい。

（ｉｖ）変形例２
図４は、図１のα部を拡大した図である。
本実施形態の変形例２に係る固定円板５１０は、ターボ分子ポンプ１の組立および分解作業時のサポート構造として、突起部５１１を有する。
この突起部５１１を有する構成により、固定円板５１０を持ち上げる際に、取り上げやすくすることができるので、組立および分解時の作業効率を高めることができる。
なお、突起部５１１は、固定円板５１０の外周全周に設けられてもよいし、一部に設ける構成にしてもよい。

（ｖ）変形例３
図５は、図１のα部付近を拡大した図である。
本実施形態の変形例３では、ターボ分子ポンプ１において、固定円板５０のインロー位置（Ｂ）、スペーサリング７０１のインロー位置（Ｃ）、および固定翼１０のインロー位置（Ｄ）は、各々が別に設けられた構成にする。
より詳しくは、図５に示したように、ベース３の内周面に固定円板５０を嵌め合わせる構成でインロー位置Ｂを形成し、また、スペーサリング７０１の第１の内周面にベース３の外周面を嵌め合わせる構成でインロー位置Ｃを形成し、さらに、スペーサリング７０１の第２の内周面に固定翼１０を嵌め合わせる構成でインロー位置Ｄを形成する。
（ｖ−ｉ）インロー位置Ｂ
インロー位置Ｂは、固定円板５０の外周面と、ベース３（またはスペーサリング７０）の内周面とにより形成されるインロー構造の位置を示す。このインロー位置Ｂのインロー構造は、ベース３（または、スペーサリング７０）に形成された２つの異なる内径を有する二段構造の内周面のうち、大きい方の内径の内周面と、固定円板５０の外周面とにより構成される。
この構成により、固定円板５０とベース３（またはスペーサリング７０）を嵌め合わせて組み立てるときに、固定円板５０はベース３（またはスペーサリング７０）によって外側から拘束される。すなわち、固定円板５０はベース３（またはスペーサリング７０）によって外側から位置決めされる。
また、スペーサリング７００は固定円板５０によって内側から拘束される。すなわち、スペーサリング７００は固定円板５０によって内側から位置決めされる。
（ｖ−ｉｉ）インロー位置Ｃ
インロー位置Ｃは、ベース３（またはスペーサリング７０）の外周面と、スペーサリング７０１の内周面により形成されるインロー構造の位置を示す。このインロー位置Ｃのインロー構造は、スペーサリング７０１に形成された３つの異なる内径を有する三段構造の内周面のうち、最も大きい内径の内周面（最も外側の内周面）の端部（排気口６側）と、ベース３（またはスペーサリング７０）の外周面の端部（吸気口４側）とにより構成される。
この構成によりスペーサリング７０１とベース３（またはスペーサリング７０）を嵌め合わせて組み立てるときに、スペーサリング７０１はベース３（またはスペーサリング７０）によって内側から拘束される。すなわち、スペーサリング７０１はベース３（またはスペーサリング７０）によって内側から位置決めされる。
（ｖ−ｉｉｉ）インロー位置Ｄ
インロー位置Ｄは、固定翼１０の外周面と、スペーサリング７０１の内周面により形成されるインロー構造の位置を示す。このインロー位置Ｄのインロー構造は、スペーサリング７０１に形成された３つの異なる内径を有する三段構造の内周面のうち、二番目に大きい内径の内周面と、固定翼１０の外周面とにより構成される。
この構成によりスペーサリング７０１と固定翼１０を嵌め合わせて組み立てるときに、固定翼１０はスペーサリング７０１によって外側から拘束される。すなわち、固定翼１０はスペーサリング７０１によって外側から位置決めされる。

この構成により、固定翼１０がインロー構造を形成する部材と、固定円板５０がインロー構造を形成する部材は、各々別部材であるため、基準からの誤差をより生じ難くすることができるという効果を得ることができる。

上述した構成により、本実施形態および変形例では、スペーサリング７０に固定円板５０を挿入して内側のインロー構造を設ける構成にしたので、分割構造を有する固定円板での接合面での隙間やズレを少なくすることができ、排気性能の低下を抑えることができる。
また、排気口６側においては、基準となるベース３に固定円板５０を挿入して内側のインロー構造を設ける構成にすることにより、分割構造を有する固定円板５０での接合面での隙間やズレをより少なくすることができ、排気性能の低下をより抑えることができる。
さらに、インロー構造は、固定円板５００における外周全周に形成させるのではなく部分的に形成する構成にしたので、排気性能の低下を防ぎつつ、真空ポンプの組立性をよくすることができる。
上述したインロー構造によって半径方向の隙間やズレを少なくすることができるため、接合面のズレによる回転側部品との接触を低減させることができる。
また、高さ方向については、スペーサリング７０で挟持されるので、固定円板の半径方向と軸方向（高さ方向）の両方について、精度良く位置決めを行うことができる。

本発明の実施形態および変形例は、各々を組み合わせた構成にしてもよい。前述のようなシーグバーン型分子ポンプ部とターボ分子ポンプ部を備える複合型ポンプだけではなく、シーグバーン型分子ポンプ部とねじ溝式ポンプ部を備えた複合型ポンプ、あるいは、シーグバーン型分子ポンプ部とターボ分子ポンプ部とねじ溝式ポンプ部とを備えた複合型ポンプに適用することができる。
また、シーグバーン型分子ポンプ部のみやターボ分子ポンプ部のみの構成であっても適用することができる。

１ ターボ分子ポンプ
２ ケーシング
３ ベース
４ 吸気口
５ フランジ部
６ 排気口
７ シャフト
８ ロータ
９（９ａ、９ｂ、９ｃ、９ｄ、９ｅ） 回転翼
１０ 固定翼
２０ モータ部
３０ 径方向磁気軸受装置
３１ 径方向磁気軸受装置
４０ 軸方向磁気軸受装置
５０ 固定円板
５００ 固定円板
５０１ インロー用凸部
５１０ 固定円板
５１１ 突起部
７０ スペーサリング
７００ スペーサリング
７０１ スペーサリング
８０ ステータコラム
１０００ ターボ分子ポンプ（従来）
５０００ 固定円板（従来）
５１００ 固定円板（従来）
６０００ Ｏリング（従来）
７０００ スペーサリング（従来）
Ａ （固定円板５０の）インロー位置（ベース３内周面）
Ｂ （固定円板５０の）インロー位置（ベース３内周面）
Ｃ （スペーサリング７０１の）インロー位置（ベース３外周面）
Ｄ （固定翼１０の）インロー位置（スペーサリング内周面）
Ｅ （固定円板５１００の）インロー位置（スペーサリング外周面）

Claims (8)

1. 吸気口と排気口が形成された外装体と、
   前記外装体に内包され、回転自在に支持された回転軸と、
   前記回転軸または前記回転軸に配設された回転円筒体の外周面に、放射状に配設された回転円板状部と、
   前記回転円板状部と、隙間を介して軸方向において対向し、かつ同心で配置された固定円板状部と、
   前記固定円板状部を固定するスペーサ部と、
   前記回転円板状部と前記固定円板状部との相互作用により前記吸気口側から吸気した気体を前記排気口側へ移送する真空排気機構と、
   を備える真空ポンプにおいて、
   前記スペーサ部は、前記固定円板状部の前記吸気口側と前記排気口側に配置され、前記軸方向に離れており、
   前記固定円板状部は、少なくとも２つに分割され、分割された前記固定円板状部の接合面が流路を分断しており、前記固定円板状部の外周面と前記スペーサ部の内周面により、前記固定円板状部の前記吸気口側と前記排気口側で位置決めされることを特徴とする真空ポンプ。
   
2. 前記固定円板状部は、前記外周面の一部に突起部を備えていることを特徴とする請求項１に記載の真空ポンプ。
   
3. 前記固定円板状部は、前記スペーサ部の前記内周面により外周側から圧力を加えられて固定されることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の真空ポンプ。
   
4. 前記固定円板状部が前記スペーサ部の前記内周面により加えられる前記圧力は、前記固定円板状部の前記外周面の一部に加えられることを特徴とする請求項３に記載の真空ポンプ。
   
5. 前記固定円板状部の外周側の上端または下端の角部にニゲ構造を有することを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の真空ポンプ。
   
6. 前記外装体は、前記吸気口が形成されるケーシング部と前記排気口が形成されるベース部を有し、
   前記スペーサ部のうち、前記排気口側に最も近く配設される第１スペーサ部は、前記ベース部と一体で構成されることを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の真空ポンプ。
   
7. 前記回転円板状部と所定の間隔を設けて配置された固定翼を更に備え、前記固定翼は、前記固定円板状部を位置決めする前記第１スペーサ部とは異なる第２スペーサ部の内周面により位置決めされることを特徴とする請求項６に記載の真空ポンプ。
   
8. 前記回転円板状部または前記固定円板状部は、少なくとも一方の前記軸方向における対向面の少なくとも一部に、谷部と山部を有するスパイラル状溝が配設されるシーグバーン型であることを特徴とする請求項１から請求項７のいずれか１項に記載の真空ポンプ。

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