JP2005036798A - ターボ分子ポンプ - Google Patents

Abstract

【課題】通常の構造に比較して構造部分の数が明らかに低減されているターボ分子ポンプを提供する。
【解決手段】本発明は、ステータ・ディスク（１６）がスペーサ・リング（１８、１９）により間隔をなして保持される、ロータ・ディスク（１４）およびステータ・ディスク（１６）を備えたターボ分子ポンプに関するものである。スペーサ・リング（１８、１９）は、それぞれの隣接リングと固定結合をなし、これによりそれらが全体としてステータ・ディスク（１６）の固定および心出しを行うように形成されている。
【選択図】 図１

Description

本発明は請求項１の上位概念に記載のターボ分子ポンプに関するものである。

ターボ分子ポンプのポンプ作用要素は、羽根を備えたロータ・ディスクおよびステータ・ディスクから構成され、ロータ・ディスクおよびステータ・ディスクは相前後して交互に配置されている。ロータ・ディスクおよびステータ・ディスクは一般にそれぞれ１つの内部支持リングを有し、支持リングの外側に羽根が装着されている。高速で回転するロータ・ディスクの羽根はステータの羽根と協働してポンプ効果を与える。外周においてステータ・ディスク間に存在するスペーサ・リングにより、ステータ・ディスクは間隔をなして保持され、これによりロータ・ディスクはステータ・ディスク間で接触することなく回転可能である。ステータ・ディスクおよびスペーサ・リングは共にステータを形成する。ステータはポンプ・ハウジングの内壁により心出しされる。しかしながら、ターボ分子ポンプのこの通常タイプの構造は、多数の構造部分によりきわめて複雑であるという欠点を有している。さらに、これはきわめてフレキシビリティのない構造を有し、これにより、種々の適用例における適合が困難である。ドイツ特許第３７２２１６４号に、ステータ・ディスク、スペーサ・リングおよびハウジングを備えたこのような構造が記載されている。

ステータ・ディスク、スペーサ・リングおよびハウジングの一部がそれぞれ一体に形成されていることにより構造部分の数が低減されているターボ分子ポンプをドイツ特許公開第１９９５１９５４号が示している。しかしながら、この構造は、ステータ構造部分を固定且つ組立保持するための追加要素が存在しなければならないという欠点を有している。これにより組立は複雑となり且つ大きな場所が必要となる。

通常の構造に比較して構造部分の数が明らかに低減されているターボ分子ポンプを提供することが本発明の課題である。製作費が低減されたときには簡単な組立が可能になるはずである。適用装置用への組込が容易となり、したがって種々の状況における使用および用途に適した使用が達成されることになる。

この課題は請求項１の特徴項に記載の特徴により解決される。請求項２−５は本発明の他の実施形態を示す。
本発明の装置により、ターボ分子ポンプの構造部分の数は通常構造に比較して低減される。製作費が低減されたときには簡単な組立が可能になる。スペーサ・リングが相互に結合されていることにより、スペーサ・リングはハウジングの本質的な役目を果たし、即ちステータ・ディスクの固定および心出しを行う。ハウジングのその他の機能はポンピング排出されるべき容器の部分により受け持たれる。したがって、ポンプおよび容器の最適適合が達成される。これにより、ポンプ作用構造要素を、真空にすべき空間のすぐ近くに装着可能にすることもまた可能である。スペーサ・リングが全体としてポンプ・ハウジングの機能を受け持つことにより、ポンプ・ハウジングは不要となる。

図１−５により本発明を詳細に説明する。

本発明によりほとんどがスペーサ・リング１８により形成されるターボ分子ポンプのハウジング１に、吸込開口２およびガス流出開口４が設けられている。ロータ軸６は軸受８および９内に固定され且つモータ１１により駆動される。ロータ軸６上にロータ・ディスク１４が固定されている。スペーサ・リング１８により間隔をなして保持されるステータ・ディスク１６はロータ・ディスク１４間に装着されている。ロータ・ディスク１４およびステータ・ディスク１６はそれぞれポンプ作用構造を備え且つそれらの協働によりポンプ効果を発生する。

本発明により、スペーサ・リング１８は、それらがポンプ・ハウジングの機能を受け持つように組み合わされ且つ結合される。即ち、スペーサ・リング１８はステータ・ディスク１６の固定および心出しのためにも使用される。

図２に２つのスペーサ・リング１８ａおよび１９ａが示され、これらはステータ・ディスク１６を固定している。２つのスペーサ・リング１８ａおよび１９ａは位置２０においてねじ部により相互に固定結合されている。

図３はステータ・ディスク１６を有する２つのスペーサ・リング１８ｂおよび１９ｂを示し、この場合、スペーサ・リング１８ｂおよび１９ｂはウェブ２２および溝２３からなるクリップ結合により相互に固定結合されている。

図４はステータ・ディスク１６を有する２つのスペーサ・リング１８ｃおよび１９ｃを示す。スペーサ・リング１８ｃおよび１９ｃはピン２４により相互に固定結合されている。

図５にステータ・ディスク１６を有する２つのスペーサ・リング１８ｄおよび１９ｄが示されている。ここでは、スペーサ・リング１８ｄおよび１９ｄは位置２６におけるはめ合い部を介して圧着により相互に摩擦固定結合されている。

個々のスペーサ・リング間のシールおよびスペーサ・リングと他の構造部分との間のシールはここには示されていない。これらのシールは、例えばドイツ特許公開第１９９５１９５４号に示されているようなそれ自身既知の設計により行われてもよい。

本発明によるタイプのターボ分子ポンプの縦断面図である。 スペーサ・リングの第１の結合方法を示した図１の断面図である。 スペーサ・リングの第２の結合方法を示した図１の断面図である。 スペーサ・リングの第３の結合方法を示した図１の断面図である。 スペーサ・リングの第４の結合方法を示した図１の断面図である。

符号の説明

１ ハウジング
２ 吸込開口
４ ガス流出開口
６ ロータ軸
８、９ 軸受
１１ モータ
１４ ロータ・ディスク
１６ ステータ・ディスク
１８、１９、１８ａ、１９ａ、１８ｂ、１９ｂ、１８ｃ、１９ｃ、１８ｄ、１９ｄ スペーサ・リング
２０ ねじ部
２２ ウェブ
２３ 溝
２４ ピンはめ合い（ピン）
２６ はめ合い部

Claims (6)

1. ステータ・ディスク（１６）がスペーサ・リング（１８、１９）により間隔をなして保持される、ロータ・ディスク（１４）およびステータ・ディスク（１６）が相前後して交互に配置され且つそれらの協働がポンプ効果を発生する前記ロータ・ディスク（１４）およびステータ・ディスク（１６）を備えたターボ分子ポンプにおいて、
   スペーサ・リング（１８、１９、１８ａ、１９ａ、１８ｂ、１９ｂ、１８ｃ、１９ｃ、１８ｄ、１９ｄ）は、それらがそれぞれの隣接リングと固定結合をなすことにより全体としてステータ・ディスクの固定および心出しを行うように形成されていることを特徴とするターボ分子ポンプ。
2. スペーサ・リング（１８ａ、１９ａ）間の固定結合が、ねじ部（２０）を介してのねじ込みにより形成されることを特徴とする請求項１のターボ分子ポンプ。
3. スペーサ・リング（１８ｂ、１９ｂ）間の固定結合が、ウェブ（２２）および溝（２３）からなるクリップ結合により形成されることを特徴とする請求項１のターボ分子ポンプ。
4. スペーサ・リング（１８ｃ、１９ｃ）間の固定結合が、半径方向のピンはめ合い（２４）により形成されることを特徴とする請求項１のターボ分子ポンプ。
5. スペーサ・リング（１８ｄ、１９ｄ）間の結合が、はめ合い部（２６）を介して圧着により摩擦をなして形成されることを特徴とする請求項１のターボ分子ポンプ。
6. スペーサ・リングが全体としてポンプ・ハウジングの機能を受け持ち、したがってポンプ・ハウジングを不要とすることを特徴とする請求項１ないし５のいずれかのターボ分子ポンプ。

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