JP2017137840A - 真空ポンプ並びにこれに用いられるロータ及びステータ - Google Patents

Abstract

【課題】ロータ翼の強度を確保しつつロータ及びステータの破損を抑制する真空ポンプ並びにこれに用いられるロータ及びステータを提供する。【解決手段】真空ポンプ１は、ロータシャフト２１に円環部２２を介して連接されたロータ翼２３を備えたロータ２０と、ロータ翼２３の間に配設されるステータ翼７２が形成されたステータ７０と、を備えている。円環部２２は、ロータ径方向Ｒに亘って略同厚に形成されている。ステータ７０は、ロータ軸方向Ａの撓み変形でロータ２０に接触する際に円環部２２に接触する。【選択図】図１

Description

本発明は、真空ポンプ並びにこれに用いられるロータ及びステータに関するものであり、特に、低真空から超高真空に亘る圧力範囲で利用可能な真空ポンプ並びにこれに用いられるロータ及びステータに関する。

メモリや集積回路等の半導体を製造する際、空気中の塵等による影響を避けるために高真空状態のチャンバ内で高純度の半導体基板（ウェハ）にドーピングやエッチングを行う必要があり、チャンバ内の排気には、例えば、ターボ分子ポンプとネジ溝ポンプとを組み合わせた複合ポンプ等の真空ポンプが使用されている。

このような真空ポンプとして、例えば、ロータの回転軸方向に複数段設けられたロータ翼が形成されたロータと、複数段のロータ翼の間にそれぞれ配設される複数のステータ翼が形成されたステータと、を備えたものが知られている。このような真空ポンプでは、ロータ翼をステータ翼に対して相対的に高速回転させることにより、吸気口から吸い込まれたガスを真空排気する。

しかしながら、ステータは、自重で真空排気の下流側に沈み込むように撓むと、ステータがロータに接触して破断する虞があった。

そこで、ステータとロータとの接触を回避するために、特許文献１では、ロータに連設されると共に上面に環状溝が形成された円環部と、円環部から径方向の外方に延在する翼部と、を備えるロータ翼を備えた真空ポンプが開示されている。このような真空ポンプでは、円環部が凹設された分だけ、ステータの内周側リムとロータ翼とが接触しにくくなっている。

特開２０１５−１３５０７４号公報

しかしながら、上述したような真空ポンプでは、ポンプ運転中に、ロータ翼の環状溝に応力集中が発生し、それが原因となって翼部が環状溝で破断してポンプ内に飛散し真空ポンプを故障させる虞があった。また、ステータ翼が自重で真空排気下流側に大きく撓んだり真空ポンプの大気開放によって真空排気上流側に大きく撓んだりすると、ステータ翼とロータ翼とがお互いに飛び飛び（非連続）で接触するため、ステータ翼及びロータ翼に過度の衝撃が伝わり易く破損する虞があった

そこで、ロータ及びステータの破損を抑制するために解決すべき技術的課題が生じてくるのであり、本発明は、この課題を解決することを目的とする。

本発明は、上記目的を達成するために提案するものであり、請求項１記載の発明は、ロータシャフトと該ロータシャフトに少なくとも円環部を介して連接されると共にロータ軸方向に複数段に形成されたロータ翼とを備えたロータと、前記ロータ翼の間に配設されるステータ翼が形成されたステータと、を備え、前記ロータ翼を前記ステータ翼に対して相対的に回転させることにより気体を排気する真空ポンプであって、前記ステータは、前記ロータ軸方向の撓み変形で前記ロータに接触する際に前記円環部に接触する真空ポンプを提供する。

この構成によれば、ステータがロータ軸方向に撓み変形した際に円環部に接触することにより、ロータ翼とステータ翼との接触に起因するロータ及びステータの破損を抑制することができる。

請求項２記載の発明は、請求項１記載の真空ポンプの構成に加えて、前記ステータは、前記ステータ翼の内周側に設けられ、前記ロータ軸方向の撓み変形で前記ロータに接触する際に前記円環部に接触する受け部を備えている真空ポンプを提供する。

この構成によれば、ステータが受け部を介して円環部に接触することにより、ロータ翼とステータ翼との接触が抑制されるため、ロータ及びステータの破損をさらに抑制することができる。

請求項３記載の発明は、請求項２記載の真空ポンプの構成に加えて、前記受け部は、前記ステータの内周側リム部である真空ポンプを提供する。

この構成によれば、ステータの内周側リム部が円環部に接触することにより、ステータ翼がロータ翼に接触することが抑制されるため、ステータの破損をさらに抑制することができる。

請求項４記載の発明は、請求項３記載の真空ポンプの構成に加えて、前記内周側リム部は、前記ロータ軸方向の上段側に傾斜して形成されている真空ポンプを提供する。

この構成によれば、ステータ翼がロータ翼に接触することが抑制されるとともに、ステータの剛性が増大して、ステータのねじれを抑制することができる。

請求項５記載の発明は、請求項２記載の真空ポンプの構成に加えて、前記受け部は、前記ステータの内周縁から前記ロータ軸方向の上段側に突設した突部である真空ポンプを提供する。

この構成によれば、突部がロータ軸方向の上段側に突設されていることにより、ステータ翼がロータ軸方向の上段側のロータ翼に接触することが抑制されるため、ステータの破損をさらに抑制することができる。

請求項６記載の発明は、請求項２記載の真空ポンプの構成に加えて、前記受け部は、前記ステータの内周縁から前記ロータ軸方向の下段側に突設した突部である真空ポンプを提供する。

この構成によれば、突部がロータ軸方向下段側に突設されていることにより、ステータ翼がロータ軸方向下段側のロータ翼に接触することが抑制されるため、ステータの破損をさらに抑制することができる。

請求項７記載の発明は、請求項１記載の真空ポンプの構成に加えて、前記ステータ翼は、前記ロータ軸方向の撓み変形で前記ロータに接触する際に前記円環部に接触する真空ポンプを提供する。

この構成によれば、ステータ翼とロータ翼とが接触することが回避されるため、ロータ翼とステータ翼との接触に起因するロータ及びステータの破損を抑制することができる。

請求項８記載の発明は、請求項１乃至７の何れか１項記載の真空ポンプの構成に加えて、前記ステータは、プレス成型で作製されている真空ポンプを提供する。

この構成によれば、ステータを短期間で簡便に作製することができる。

請求項９記載の発明は、請求項１乃至８の何れか１項記載の真空ポンプの構成に加えて、前記円環部及び前記ステータは、少なくとも各々の最下段に設けられている真空ポンプを提供する。

この構成によれば、プレス成型で強度が低下しがちなステータの破損を抑制することができる。

請求項１０記載の発明は、請求項１乃至９の何れか１項記載の真空ポンプに用いられるロータを提供する。

この構成によれば、ステータが円環部に接触することにより、ロータ翼とステータ翼との接触に起因するロータ及びステータの破損を抑制することができる。

請求項１１記載の発明は、請求項１乃至１０の何れか１項記載の真空ポンプに用いられるステータを提供する。

この構成によれば、ステータが円環部に接触することにより、ロータ翼とステータ翼との接触に起因するロータ及びステータの破損を抑制することができる。

本発明に係る真空ポンプは、ステータがロータ軸方向に撓み変形した際に円環部に接触することにより、ロータ翼とステータ翼との接触に起因するロータ及びステータの破損を抑制することができる。

本発明の第１実施例に係る真空ポンプを示す断面図。 ステータを示す平面図。 図２のステータを示す斜視図。 図１のステータとロータとを示す要部拡大図。 図４のステータが真空排気下流側に撓む様子を示す模式図。 図４のステータが真空排気上流側に撓んだ様子を示す模式図。 本発明の第２実施例に係る真空ポンプに用いられるステータを示す斜視図。 図７のステータが真空排気下流側に撓む様子を示す模式図。 図７のステータが真空排気上流側に撓む様子を示す模式図。 図７のステータの変形例を示す模式図。 本発明の第３実施例に係る真空ポンプに用いられるステータを示す斜視図。 図１１のステータとロータとを示す要部拡大図。 ステータ翼の変形例を示す平面図及び側面図。

本発明は、ロータ翼の強度を確保しつつロータ及びステータの破損を抑制するという目的を達成するために、ロータシャフトと該ロータシャフトに少なくとも円環部を介して連接されると共にロータ軸方向に複数段に形成されたロータ翼とを備えたロータと、ロータ翼の間に配設されるステータ翼が形成されたステータと、を備え、ロータ翼をステータ翼に対して相対的に回転させることにより気体を排気する真空ポンプであって、ステータは、ロータ軸方向の撓み変形で前記ロータに接触する際に円環部に接触することにより実現した。

以下、本発明の第１実施例に係る真空ポンプ１について、図面に基づいて説明する。なお、以下の実施例において、構成要素の数、数値、量、範囲等に言及する場合、特に明示した場合及び原理的に明らかに特定の数に限定される場合を除き、その特定の数に限定されるものではなく、特定の数以上でも以下でも構わない。

また、構成要素等の形状、位置関係に言及するときは、特に明示した場合及び原理的に明らかにそうでないと考えられる場合等を除き、実質的にその形状等に近似又は類似するもの等を含む。

また、図面は、特徴を分かり易くするために特徴的な部分を拡大する等して誇張する場合があり、構成要素の寸法比率等が実際と同じであるとは限らない。なお、以下において、「上」、「下」の語は、ロータ軸方向における吸気口側、排気口側がそれぞれ上方、下方に対応するものである。

図１は、真空ポンプ１を示す縦断面図である。真空ポンプ１は、略上半分に配置されたターボ分子ポンプ機構ＰＡと略下半分に配置されたネジ溝ポンプ機構ＰＢとから成る複合ポンプである。

真空ポンプ１は、ケーシング１０と、ケーシング１０内に回転可能に支持されたロータシャフト２１を有するロータ２０と、ロータシャフト２１を回転させる駆動モータ３０と、ロータシャフト２１の一部及び駆動モータ３０を収容するステータコラム４０とを備えている。

ケーシング１０は、円筒状に形成されている。ケーシング１０の上端には、ガス吸気口１１が形成されている。ケーシング１０は、上方フランジ１２を介して図示しない半導体製造装置のチャンバ等の真空容器に取り付けられる。ケーシング１０は、ベース５０上に載せられた状態でベース５０に固定されている。

ロータ２０は、ロータシャフト２１と、後述するロータフランジ２７及び円環部２２を介してロータシャフト２１に連なった状態で設けられたロータ翼２３と、を備えている。ロータ翼２３は、ロータシャフト２１の軸心に対して同心円状に並べて設けられている。本実施例では、５段のロータ翼２３が設けられている。以下、ロータシャフト２１の軸線方向を「ロータ軸方向Ａ」、ロータシャフト２１の径方向を「ロータ径方向Ｒ」と称す。

ロータ翼２３は、所定の角度で傾斜したブレードからなり、ロータシャフト２１の上部外周面にロータフランジ２７及び円環部２２を介して一体に形成されている。また、ロータ翼２３は、ロータシャフト２１の軸線回りに放射状に複数設置されている。ロータ翼２３の長さは、ロータ軸方向Ａの上段側から下段側、すなわちロータ軸方向Ａの上方から下方に向かって徐々に短くなるように設定されている。

ロータシャフト２１の上部及び下部は、タッチダウン軸受２４内に挿通されている。ロータシャフト２１が制御不能になった場合には、高速で回転するロータシャフト２１がタッチダウン軸受２４に接触して真空ポンプ１の損傷を防止するようになっている。

ロータ２０は、ボス孔２５にロータシャフト２１の上部を挿通した状態で、ボルト２６をロータフランジ２７に挿通すると共にシャフトフランジ２８にねじ込んで取り付けることで、ロータシャフト２１に一体に取り付けられている。また、ロータ２０は、ロータ軸方向Ａに沿って延びたロータ円筒部２９を備えている。

駆動モータ３０は、ロータシャフト２１の外周に取り付けられた回転子３１と、回転子３１を取り囲むように配置された固定子３２とで構成されている。固定子３２は、上述した図示しない制御ユニットに接続されており、制御ユニットによってロータ２０の回転が制御されている。

ステータコラム４０は、ベース５０上に載置された状態で、ボルト４１を介してベース５０に固定されている。

ベース５０の下部側方には、ガス排気口５１が形成されている。ガス排気口５１は、図示しない補助ポンプに連通するように接続される。ケーシング１０とベース５０との間には、Ｏリング５２が介装されている。ベース５０上には、内周面にネジ溝部５３が刻設されたネジステータ５４が載置されている。

ロータシャフト２１は、磁気軸受６０により非接触支持されている。磁気軸受６０は、ラジアル方向電磁石６１と、アキシャル方向電磁石６２と、を備えている。ラジアル方向電磁石６１及びアキシャル方向電磁石６２は、図示しない制御ユニットに接続されている。

制御ユニットは、図示しないラジアル方向変位センサ及びアキシャル方向変位センサ６２ａの検出値に基づいて、ラジアル方向電磁石６１及びアキシャル方向電磁石６２の励磁電流を制御することにより、ロータシャフト２１が所定の位置に浮上した状態で支持されるようになっている。

ケーシング１０の内周には、ロータ軸方向Ａに５段のステータ７０が設けられている。ステータ７０は、スベーサ７１と交互に段積みされている。ステータ７０は、ロータ翼２３、２３の間に配置されたステータ翼７２を備えている。ステータ翼７２の長さは、ロータ軸方向Ａの上方から下方に向かって徐々に短くなるように設定されている。

ターボ分子ポンプ機構ＰＡは、ロータ翼２３の回転により、ガス吸気口１１を通してケーシング１０内に吸入されたガスをロータ軸方向Ａの上方から下方に移送し、ネジ溝ポンプ機構ＰＢに移送する。

ネジ溝ポンプ機構ＰＢは、ガス吸気口１１からロータ軸方向Ａの下方に移送されたガスを、ロータ円筒部２９の高速回転によるドラッグ効果によって圧縮して、ガス排気口５１に向かって移送する。具体的には、ガスは、ロータ円筒部２９とネジステータ５４との隙間に移送された後に、ネジ溝部５３内で圧縮されてガス排気口５１に移送される。

次に、ステータ７０の構造について、図２〜４に基づいて説明する。図２は、ステータ７０を示す平面図である。図３は、ステータ７０を示す斜視図である。図４は、ロータ２０とステータ７０とを示す要部拡大図である。

ステータ７０は、扇状に形成されており、２つのステータ７０を円環状に並べて、ケーシング１０内に配置される。ステータ翼７２は、ステータ７０の周方向Ｃに等間隔に配置されている。ステータ７０は、ステータ翼７２の両端に配置された内周側リム部７３と外周側リム部７４とを備えている。本実施例に係るステータ７０では、内周側リム部７３が受け部として作用する。外周側リム部７４がロータ軸方向Ａにおいてスペーサ７１に挟まれていることにより、ステータ７０は所定の位置に位置決めされている。

ステータ翼７２は、ステータ７０の中心回りに放射状に複数設置されている。ステータ翼７２は、ロータ翼２３とは反対方向に傾斜したブレードからなる。ステータ７０の配置位置に応じて、ステータ翼７２の仰角は調整される。一般的に、ロータ軸方向Ａの上方から下方に向かうにしたがって、ステータ翼７２の仰角は小さくなっている。

一般的に、ステータ７０は、切削加工またはプレス成型により作製される。ロータ軸方向Ａの上方に配置されるステータ７０は、ロータ軸方向Ａの下方に配置されるステータ７０と比べて厚みが必要とされることから母材からの切削加工で作製されることが多い。一方、ロータ軸方向Ａの下方に配置されるステータ７０は、前述したステータ７０と比べて厚みを必要としないため、コストの観点からプレス成型で作製されることが多い。

円環部２２は、ロータ径方向Ｒに亘って略同厚に形成されている。なお、円環部２２は、応力集中で破断しなければ必ずしも同じ厚みである必要はなく、例えば、ロータ径方向Ｒの内側から外側に向かってテーパ状に形成されたものであっても構わない。ステータ翼７２の内周は、円環部２２の外周よりロータ径方向Ｒの内側になるように配置されるのが好ましい。すなわち、円環部２２の外周端２２ａとステータ翼７２の内周端７２ａとは、ロータ軸方向Ａから見て少なくとも一部が重なるように配置されているのが好ましい。これにより、ガスの逆流を抑制することができる。

次に、ステータ７０の作用について、図５、６に基づいて説明する。図５は、ステータ７０が真空排気下流側に撓む様子を示す模式図である。図６は、ステータ７０が真空排気上流側に撓んだ様子を示す模式図である。

図５に示すように、ステータ７０が自重等でロータ軸方向Ａの下方、すなわち、真空排気下流側に撓むと、ステータ翼７２がロータ翼２３に接触する前に、内周側リム部７３が真空排気下流側の円環部２２に接触する。円環部２２はロータ２０の周方向に亘って連続しており、内周側リム部７３と円環部２２とが連続的に接触する。これにより、ステータ７０が真空排気下流側に撓む場合であっても、ロータ翼２３とステータ翼７２との接触が回避され、円環部２２と内周側リム部７３とが緩やかに接触する。

また、図６に示すように、真空ポンプ１を大気開放する等して、ステータ７０がロータ軸方向Ａの上方、すなわち、真空排気上流側に撓むと、ステータ翼７２がロータ翼２３に接触する前に、ステータ翼７２が真空排気上流側の円環部２２に接触する。ステータ翼７２は、円環部２２に対して飛び飛びで接触する。これにより、ステータ７０が真空排気上流側に撓む場合に、従来のようにロータ翼２３とステータ翼７２とが互いに飛び飛びで接触するときと比べて、ステータ翼７２が円環部２２に対して飛び飛びで接触するため、ロータ２０とステータ７０との衝撃をやや緩和することができる。

なお、上述した構造は、最下段に配置された円環部２２及びステータ７０を含むロータ軸方向Ａの下方に配置された少なくとも各々の最下段の円環部２２及びステータ７０に適用されるのが好ましい。ロータ軸方向Ａの下方に配置されたステータ７０は、ロータ軸方向Ａの上方に配置されたステータ７０よりも強度が低くなりがちなため、従来のようにロータ翼２３とステータ翼７２とが互いに飛び飛びで接触することを防止するメリットが大きいためである。

次に、本発明の第２実施例に係る真空ポンプに用いられるステータ７０について、図７〜１０に基づいて説明する。なお、本実施例のステータ７０と上述した第１実施例のステータ７０とで共通する構成については、共通の符号を付し、重複する説明を省略する。図７は、本発明の第２実施例に係る真空ポンプに用いられるステータ７０を示す斜視図である。図８は、図７のステータ７０が真空排気下流側に撓む様子を示す模式図である。図９は、図７のステータ７０が真空排気上流側に撓む様子を示す模式図である。図１０は、図７のステータ７０の変形例を示す模式図である。

ステータ７０は、内周側リム部７３からロータ軸方向Ａの下方に突設された（突き出た状態で設けられた）下向き突部７５と、内周側リム部７３からロータ軸方向Ａの上方に突設された上向き突部７６と、からなる受け部７７を備えている。下向き突部７５と上向き突部７６とは、ステータ７０の周方向Ｃにおいて、交互に設けられている。

図８に示すように、ステータ７０が真空排気下流側に撓むと、ステータ翼７２がロータ翼２３に接触する前に、下向き突部７５が真空排気下流側の円環部２２に接触する。これにより、ステータ７０が真空排気下流側に撓む場合であっても、ロータ翼２３とステータ翼７２との接触が回避される。

また、図９に示すように、ステータ７０が真空排気上流側に撓むと、ステータ翼７２がロータ翼２３に接触する前に、上向き突部７６が真空排気上流側の円環部２２に接触する。これにより、ステータ７０が真空排気上流側に撓む場合であっても、ロータ翼２３とステータ翼７２との接触が回避される。

さらに、下向き突部７５と上向き突部７６とは、円環部２２に接触する角部を面取り加工又はＲ加工等したり、円環部２２に接触する表面を研磨加工等したりすることにより、ロータ２０とステータ７０とが接触した場合でも、接触時の抵抗が小さくなり、接触時の衝撃をさらに緩和することができる。なお、下向き突部７５と上向き突部７６とは、独立して設けられたものに限定されず、図１０に示すように、一体に設けられたものであっても構わない。

次に、本発明の第３実施例に係る真空ポンプに用いられるステータ７０について、図１１、１２に基づいて説明する。なお、本実施例のステータ７０と上述した第１実施例のステータ７０とで共通する構成については、共通の符号を付し、重複する説明を省略する。図１１は、本発明の第３実施例に係る真空ポンプに用いられるステータ７０を示す斜視図である。図１２は、図１１のステータ７０とロータ２０とを示す要部拡大図である。

ステータ７０は、内周側リム部７３をロータ軸方向Ａの上方に折り曲げて形成された受け部７８を備えている。受け部７８は、ステータ７０の周方向Ｃに亘って連続して設けられている。

ステータ７０が真空排気下流側に撓む場合には、ステータ翼７２が真空排気下流側のロータ翼２３に接触する前に、受け部７８の下端７８ａが真空排気下流側の円環部２２に接触する。また、ステータ７０が真空排気上流側に撓む場合には、ステータ翼７２が真空排気上流側のロータ翼２３に接触する前に、受け部７８の上端７８ｂが真空排気上流側の円環部２２に接触する。また、受け部７８は、上述した第２実施例に用いられるステータ７０と比べて、受け部７８が円環部２２に連続して周方向Ｃで当たることにより、受け部７８が円環部２２に緩やかに接触する。

なお、ステータ７０は、上述したようなロータ軸方向Ａの上方に向かって立設されたステータ翼７２を備えたものに限定されず、図１３（ａ）に示すように、２つのステータ翼７２を互いに隙間を空けて打ち抜き、図１３（ｂ）に示すように、翼の中心から捩ることで、ロータ軸方向Ａの上方及び下方の両側に向かって立設されるものであっても構わない。また、ステータ翼７２の形状は、図１３（ａ）、（ｂ）に示すように、ロータ径方向Ｒの内側から外側に向かって同幅に形成され、立設した際の高さが同じものであっても構わない。

このようにして、本実施例に係る真空ポンプ１は、円環部２２がロータ軸方向Ａに亘って略同厚に形成されていることにより、円環部２２の強度を確保することができ、また、ステータ７０が円環部２２に接触することにより、ロータ翼２３とステータ翼７２との接触に起因するロータ２０及びステータ７０の破損を抑制することができる。

また、本発明は、ターボ分子ポンプ機構を備えるものであれば適用可能であり、上述した複合ポンプに限定されるものではなく、ターボ分子ポンプ機構のみのポンプに適用しても構わない。

なお、本発明は、本発明の精神を逸脱しない限り種々の改変をなすことができ、そして、本発明が該改変されたものにも及ぶことは当然である。

１ ・・・ 真空ポンプ
１０・・・ ケーシング
１１・・・ガス吸気口
２０・・・ ロータ
２１・・・ ロータシャフト
２２・・・ 円環部
２２ａ・・・（円環部の）外周端
２３・・・ ロータ翼
３０・・・ 駆動モータ
３１・・・ 回転子
３２・・・ 固定子
４０・・・ ステータコラム
５０・・・ ベース
５１・・・ ガス排気口
５２・・・ Ｏリング
５３・・・ ネジ溝部
５４・・・ ネジステータ
６０・・・ 磁気軸受
６１・・・ ラジアル方向電磁石
６２・・・ アキシャル方向電磁石
６２ａ・・・アキシャル方向変位センサ
７０・・・ ステータ
７１・・・ スペーサ
７２・・・ ステータ翼
７２ａ・・・（ステータ翼の）内周端
７３・・・ 内周側リム部
７４・・・ 外周側リム部
７５・・・ 下向き突部
７６・・・ 上向き突部
７７・・・ 受け部
７８・・・ 受け部
Ａ ・・・ ロータ軸方向
Ｒ ・・・ ロータ径方向
Ｃ ・・・ （ステータの）周方向
ＰＡ・・・ ターボ分子ポンプ機構
ＰＢ・・・ ネジ溝ポンプ機構

Claims (11)

1. ロータシャフトと該ロータシャフトに少なくとも円環部を介して連接されると共にロータ軸方向に複数段に形成されたロータ翼とを備えたロータと、
   前記ロータ翼の間に配設されるステータ翼が形成されたステータと、
   を備え、
   前記ロータ翼を前記ステータ翼に対して相対的に回転させることにより気体を排気する真空ポンプであって、
   前記ステータは、前記ロータ軸方向の撓み変形で前記ロータに接触する際に前記円環部に接触することを特徴とする真空ポンプ。
2. 前記ステータは、前記ステータ翼の内周側に設けられ、前記ロータ軸方向の撓み変形で前記ロータに接触する際に前記円環部に接触する受け部を備えていることを特徴とする請求項１記載の真空ポンプ。
3. 前記受け部は、前記ステータの内周側リム部であることを特徴とする請求項２記載の真空ポンプ。
4. 前記内周側リム部は、前記ロータ軸方向の上段側に傾斜して形成されていることを特徴とする請求項３記載の真空ポンプ。
5. 前記受け部は、前記ステータの内周縁から前記ロータ軸方向の上段側に突設した突部であることを特徴とする請求項２記載の真空ポンプ。
6. 前記受け部は、前記ステータの内周縁から前記ロータ軸方向の下段側に突設した突部であることを特徴とする請求項２記載の真空ポンプ。
7. 前記ステータ翼は、前記ロータ軸方向の撓み変形で前記ロータに接触する際に前記円環部に接触することを特徴とする請求項１記載の真空ポンプ。
8. 前記ステータは、プレス成型で作製されていることを特徴とする請求項１乃至７の何れか１項記載の真空ポンプ。
9. 前記円環部及び前記ステータは、少なくとも各々の最下段に設けられていることを特徴とする請求項１乃至８の何れか１項記載の真空ポンプ。
10. 請求項１乃至９の何れか１項記載の真空ポンプに用いられることを特徴とするロータ。
11. 請求項１乃至９の何れか１項記載の真空ポンプに用いられることを特徴とするステータ。