JP6436731B2 - 真空ポンプ及び該真空ポンプの異常原因推定方法 - Google Patents
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Description
これらの半導体は、極めて純度の高い半導体基板に不純物をドープして電気的性質を与えたり、エッチングにより半導体基板上に微細な回路を形成したりなどして製造される。
そこで、従来は、特許文献1に記載されている技術を用いてメンテナンスの時期を予測していた。そして、適切な時期にメンテナンスの実行を促すことによって、未然にターボ分子ポンプが再利用不可能な状態に至ることを防止していた。
しかしながら、特許文献2による方法では、ステータからの振動信号の信頼性を上げるために、バンドパスフィルタや、弾性部材を用いた固定方法を取らなければならないといった課題も存在している。
以上により、振動センサや弾性部材を追加することなく回転体とステータとの物理的な接触状況を把握できる。また、いずれの原因に起因してその接触が生じたのかが分かる。原因が分かることで適切な対処が可能である。
固定部の加速度を振動センサにより検出した場合には、この加速度信号と変位センサによる変位信号を利用して回転体とステータとの物理的な接触状況を高精度に把握できる。従って、生成物堆積による適切なオーバーホール時期を把握することができる。原因が分かることで適切な対処が可能である。
更に、本発明(請求項6)は真空ポンプの発明であって、前記異常原因推定手段が、前記保存手段に保存された前記接触推定時刻より以前の前記変位の信号が前記回転体保存変位用しきい値を超えていなかった場合に、外部衝撃もしくは生成物堆積に起因する接触であると推定することを特徴とする。
更に、本発明(請求項8)は真空ポンプの発明であって、固定部の物理量を保存する保存手段と、該保存手段に保存された前記接触推定時刻より以前の前記物理量の信号に対し設定された固定部保存物理量用しきい値とを備え、前記異常原因推定手段が、前記保存手段に保存された前記接触推定時刻より以前の前記物理量の信号が前記固定部保存物理量用しきい値を超えていなかった場合に、外部衝撃もしくは生成物堆積に起因する接触であると推定することを特徴とする。
そして、固定翼123の一端は、複数の段積みされた固定翼スペーサ125a、125b、125c・・・の間に嵌挿された状態で支持されている。
ネジ溝131aの螺旋の方向は、回転体103の回転方向に排気ガスの分子が移動したときに、この分子が排気口133の方へ移送される方向である。
ネジ付きスペーサ131に移送されてきた排気ガスは、ネジ溝131aに案内されつつ排気口133へと送られる。
なお、図1において、加速度ピックアップ等の振動センサ201がネジ付きスペーサ131又はベース部129中に埋設されている。但し、後述するようにこの振動センサ201は省略されてもよい。
先述したように、回転翼102とネジ付きスペーサ131や固定翼123を含むステータ部分とが物理的に接触する場合には、主として3つの態様がある。
第1の態様は外部衝撃に起因して接触が生ずるものである。外部衝撃は、外筒127、ベース部129、ステータコラム122、磁気軸受104、105、106の磁気支持を介して回転体103側に伝わる。このように振動が回転体103側に伝わるのは、上側径方向センサ107、下側径方向センサ108、軸方向センサ109がロータ軸113とステータ間の相対変位を検出しており、ステータの振動は外部衝撃に追従すると考えられるためである。
第2の態様は回転体のアンバランス量増加に起因して接触が生ずるものである。例えば、回転体103側で回転体の経時変化等が原因により回転体103にアンバランス量増加が生じた場合、図3の信号フロー図(a)に示すように変位信号は回転体接触判定用閾値B1を超えた接触推定時刻(イ)より前から連続的に大きく変動している。そして、接触推定時刻(イ)付近で更に増加している。そして、この振動の大きさはアンバランス量増加判定用閾値A1をも超えている。
一方、アンバランス量増加による変位量増加は、接触前までは、ステータへ与える振動にほとんど影響しないため、図3の信号フロー図の加速度信号(b)はアンバランス量増加判定用閾値A2を超えていない。
第3の態様は生成物堆積に起因して接触が生ずるものである。
ステータ側に生成物が堆積した場合、図4の信号フロー図(a)に示すように変位信号は急変し回転体接触判定用閾値B1を超える。一方、生成物堆積による接触は、接触前までは、ステータへ与える振動にほとんど影響しないため、図4の信号フロー図の加速度信号(b)はアンバランス量増加判定用閾値A2を超えていない。
変位信号と加速度信号については接触推定時刻(イ)よりも例えば100ms程度以前までのデータを保存しておく。
データ保存時間は、回転数(例えば、20,000〜60,000rpm)から設定した値であり、接触判定前の少なくとも10周期分の信号データを取得できる時間に設定することが望ましい。
この場合に更に、変位信号がアンバランス量増加判定用閾値A1を超えた状況で加速度信号がアンバランス量増加判定用閾値A2を超えている場合を図2に示す外部衝撃に起因する振動と判定することもできる。
また、変位信号がアンバランス量増加判定用閾値A1を超えた状況で加速度信号がアンバランス量増加判定用閾値A2を超えていない場合を図3に示すアンバランス量増加に起因する振動と判定することもできる。
一方、この所定時間内にいずれもアンバランス量増加判定用閾値A1若しくはアンバランス量増加判定用閾値A2を超えていなかったら、生成物の堆積増加に起因する接触と判断する。
この場合に、接触推定時刻の判定は変位信号についての回転体接触判定用閾値B1だけで行う。
変位信号の値が、接触推定時刻(イ)より以前の所定時間(例えば100ms)内にアンバランス量増加判定用閾値A1を超えていたら、第1の態様である外部衝撃または第2の態様である回転体のアンバランス量増加に起因した接触であり、生成物の堆積増加に起因する接触ではないと判断する。
一方、接触推定時刻(イ)より以前の所定時間(例えば100ms)内にアンバランス量増加判定用閾値A1を超えていなかったら第3の態様である生成物堆積に起因するものと判断する。
更に、接触が外部衝撃と回転体のアンバランス量増加のどちらに起因した接触かの判定は、アンバランス量増加判定用閾値A1を、外部衝撃と回転体のアンバランス量増加を区別できるような値にすることで判定可能である。
例えば、アンバランス量増加の判定の為のアンバランス量増加判定用閾値A1を大きな値(回転体接触判定用閾値B1の近く)に設定したりすることによって、アンバランス量の増加による接触と判定できるような、連続的に大きな振幅を繰り返す回転体変位であるかどうか判定可能である。
具体的には、アンバランス量増加が起きている場合は、接触推定時刻(イ)より以前の所定時間内において、ほぼ全ての変位信号のピーク値がアンバランス量増加判定用閾値A1を超えていると考えられるので、外部衝撃の場合の変位信号がアンバランス量増加判定用閾値A1を超える回数に比べ、著しく多いと考えられる。
次に、別な方法での第1の態様である外部衝撃もしくは第2の態様であるアンバランス量増加に起因する接触と第3の態様である生成物堆積に起因する接触とを振動センサ201を設置せずに区別する方法について説明する。
図5に生成物が堆積しているときのメカ設計上のクリアランスと回転体の変位の関係を示す。図1中に丸点線枠で範囲を示した回転円筒102d及びネジ付きスペーサ131付近が最も生成物が堆積しやすいと思われる部分なので、例えば、この箇所について回転体が可動可能なメカ設計上のクリアランスを設定したとして以下説明する。
なお、回転体103側に生成物が付着したことによってアンバランス量が増えた場合であっても、生成物による接触かどうかはメカ設計上のクリアランスと実際の振れ量との比較で同様に判断が可能である。
そして、外部衝撃とアンバランス量の増加に起因する接触推定時刻の判別においては、回転体103とステータとの間で起こる相対変位によっておこる振幅によって判断する為、磁気軸受剛性は関係なく、剛性が高くても低くても判断可能である。
また、接触する固定部として、ネジ付きスペーサを例にした説明を記載したが、固定部についてはそれに限定されるものではなく、例えば、磁気軸受のバックアップ用として使用される保護ベアリングの場合もある。
102 回転翼
103 回転体
104 上側径方向電磁石
105 下側径方向電磁石
106A、B 軸方向電磁石
107 上側径方向センサ
108 下側径方向センサ
109 軸方向センサ
113 ロータ軸
121 モータ
122 ステータコラム
123 固定翼
125 固定翼スペーサ
201 振動センサ
Claims (12)
- 回転体の変位を信号として検出する回転体変位検出手段と、
前記変位の信号に対し設定された回転体変位用しきい値と、
前記変位の信号が前記回転体変位用しきい値を超えたときを接触推定時刻と判定する接触判定手段と、
前記変位の信号を保存する保存手段と、
該保存手段に保存された前記接触推定時刻より以前の前記変位の信号に対し設定された回転体保存変位用しきい値と、
前記保存手段に保存された前記接触推定時刻より以前の前記変位の信号が、前記回転体保存変位用しきい値を超えたか否かで接触の原因を推定する異常原因推定手段とを備えたことを特徴とする真空ポンプ。 - 固定部の物理量を信号として検出する固定部物理量検出手段と、
前記物理量の信号に対し設定された固定部物理量用しきい値と、
前記物理量の信号が前記固定部物理量用しきい値を超えたときを接触推定時刻と判定する接触判定手段と、
回転体の変位を信号として検出する回転体変位検出手段と、
前記変位の信号を保存する保存手段と、
該保存手段に保存された前記接触推定時刻より以前の前記変位の信号に対し設定された回転体保存変位用しきい値と、
前記保存手段に保存された前記接触推定時刻より以前の前記変位の信号が、前記回転体保存変位用しきい値を超えたか否かで接触の原因を推定する異常原因推定手段とを備えたことを特徴とする真空ポンプ。 - 前記固定部の物理量が、前記固定部の加速度もしくは前記固定部に作用する力であることを特徴とする請求項2記載の真空ポンプ。
- 前記固定部の物理量が、前記固定部の加速度を所定の回数だけ微分または積分した結果に相当する物理量であることを特徴とする請求項2記載の真空ポンプ。
- 前記異常原因推定手段が、前記保存手段に保存された前記接触推定時刻より以前の前記変位の信号が前記回転体保存変位用しきい値を超えていなかった場合に、外部衝撃もしくは生成物堆積に起因する接触であると推定することを特徴とする請求項2乃至請求項4のいずれか一項に記載の真空ポンプ。
- 前記異常原因推定手段が、前記保存手段に保存された前記接触推定時刻より以前の前記変位の信号が前記回転体保存変位用しきい値を超えていなかった場合に、外部衝撃もしくは生成物堆積に起因する接触であると推定することを特徴とする請求項1記載の真空ポンプ。
- 前記物理量を保存する保存手段と、
該保存手段に保存された前記接触推定時刻より以前の前記物理量の信号に対し設定された固定部保存物理量用しきい値とを備え、
前記異常原因推定手段が、前記保存手段に保存された前記接触推定時刻より以前の前記物理量の信号が前記固定部保存物理量用しきい値を超えていなかった場合に、外部衝撃もしくは生成物堆積に起因する接触であると推定することを特徴とする請求項2乃至請求項5のいずれか一項に記載の真空ポンプ。 - 固定部の物理量を保存する保存手段と、
該保存手段に保存された前記接触推定時刻より以前の前記物理量の信号に対し設定された固定部保存物理量用しきい値とを備え、
前記異常原因推定手段が、前記保存手段に保存された前記接触推定時刻より以前の前記物理量の信号が前記固定部保存物理量用しきい値を超えていなかった場合に、外部衝撃もしくは生成物堆積に起因する接触であると推定することを特徴とする請求項6記載の真空ポンプ。 - 前記接触推定時刻より以後において、
前記回転体と該回転体に対向する固定部との隙間量もしくは該隙間量を基に定められた所定値と、前記回転体の変位の最大値との差を基に前記接触の原因を生成物堆積であると推定することを特徴とする請求項1乃至請求項8のいずれか一項に記載の真空ポンプ。 - 前記保存手段に保存された前記接触推定時刻より以前の前記変位の信号が、前記回転体保存変位用しきい値を超えた回数により前記接触の原因を推定することを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか一項に記載の真空ポンプ。
- 回転体の変位を信号として検出し、
該変位の信号を保存手段に保存し、
前記変位の信号が回転体変位用しきい値を超えたときを接触推定時刻と判定し、
前記保存手段に保存された該接触推定時刻より以前の前記変位の信号が回転体保存変位用しきい値を超えたか否かで前記接触の原因を推定することを特徴とする真空ポンプの異常原因推定方法。 - 固定部の物理量を信号として検出し、
該物理量の信号を保存手段に保存し、
前記物理量の信号が固定部物理量用しきい値を超えたときを接触推定時刻と判定し、
前記保存手段に保存された該接触推定時刻より以前の前記物理量の信号が固定部保存物理量用しきい値を超えたか否かで前記接触の原因を推定することを特徴とする真空ポンプの異常原因推定方法。
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