JP6766533B2 - 堆積物監視装置および真空ポンプ - Google Patents
堆積物監視装置および真空ポンプ Download PDFInfo
- Publication number
- JP6766533B2 JP6766533B2 JP2016173828A JP2016173828A JP6766533B2 JP 6766533 B2 JP6766533 B2 JP 6766533B2 JP 2016173828 A JP2016173828 A JP 2016173828A JP 2016173828 A JP2016173828 A JP 2016173828A JP 6766533 B2 JP6766533 B2 JP 6766533B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- current value
- motor current
- pump
- gas
- state
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D27/00—Control, e.g. regulation, of pumps, pumping installations or pumping systems specially adapted for elastic fluids
- F04D27/001—Testing thereof; Determination or simulation of flow characteristics; Stall or surge detection, e.g. condition monitoring
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D17/00—Radial-flow pumps, e.g. centrifugal pumps; Helico-centrifugal pumps
- F04D17/08—Centrifugal pumps
- F04D17/10—Centrifugal pumps for compressing or evacuating
- F04D17/12—Multi-stage pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D17/00—Radial-flow pumps, e.g. centrifugal pumps; Helico-centrifugal pumps
- F04D17/08—Centrifugal pumps
- F04D17/16—Centrifugal pumps for displacing without appreciable compression
- F04D17/168—Pumps specially adapted to produce a vacuum
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
- F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D25/00—Pumping installations or systems
- F04D25/02—Units comprising pumps and their driving means
- F04D25/06—Units comprising pumps and their driving means the pump being electrically driven
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R19/00—Arrangements for measuring currents or voltages or for indicating presence or sign thereof
- G01R19/165—Indicating that current or voltage is either above or below a predetermined value or within or outside a predetermined range of values
- G01R19/16533—Indicating that current or voltage is either above or below a predetermined value or within or outside a predetermined range of values characterised by the application
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/34—Testing dynamo-electric machines
- G01R31/343—Testing dynamo-electric machines in operation
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Description
さらに好ましい実施形態では、前記所定排気プロセス状態は、前記真空ポンプにガスが流入される通ガス状態、または、前記真空ポンプにガスが流入されない非通ガス状態のいずれか一方である。
さらに好ましい実施形態では、前記堆積量指標には、前記モータのモータ電流値および前記真空ポンプの吸気口側に設けられたバルブの開度のいずれか一方が用いられ、前記状態判定部は、前記モータ電流値および前記バルブの開度のいずれか一方に基づいて前記通ガス状態および前記非通ガス状態を判定する。
本発明の好ましい実施形態による堆積物監視装置は、ロータをモータで回転駆動してガスを排気する真空ポンプの堆積物監視装置であって、前記真空ポンプに所定のプロセスガスが流入される所定通ガス状態における第1のモータ電流値と、前記所定通ガス状態の直前または直後の非通ガス状態における第2のモータ電流値とを取得する取得部と、前記第1のモータ電流値と前記第2のモータ電流値との差分が所定のプロセスガスに対して定められた閾値以上の場合に、前記真空ポンプの堆積物の堆積量が過剰であると判定する判定部と、を備え、前記所定のプロセスガスが流入される所定通ガス状態は、複数のプロセスガスに対応する複数の通ガス状態のうちの少なくとも一つである。
本発明の好ましい実施形態による真空ポンプは、ロータと、前記ロータを回転駆動するモータと、前記堆積物監視装置のいずれかと、を備える。
−第1の実施の形態−
図1は本発明の一実施の形態を示す図であり、ターボ分子ポンプのポンプ本体1の概略構成を示す断面図である。ポンプ本体1は、図2に示すコントロールユニット2によって制御される。
図3に示すように、プロセスに応じてモータ電流値が異なり、また、プロセス中と非プロセス中とではモータ電流値が大きく異なる。例えば、ポンプメンテナンス後の処理開始直後においては、生成物堆積の影響のないモータ電流値Ia,Ib,IcがAプロセス、Bプロセス、Cプロセスにおいて検出される。各モータ電流値Ia,Ib,Icが継続時間して検出される時間は、各プロセスの処理時間(すなわち、処理ガスが流される期間)にほぼ対応している。また、A,B,Cプロセスのプロセス間には、電流値が大きく低下する期間(すなわち、処理ガスが流れていない期間)が存在する。
上述した実施の形態では、図4に示すような方法でAプロセスのモータ電流値を抽出した。変形例では、ガスがポンプに流入している状態におけるモータ電流値とガスが流れていない状態におけるモータ電流値との差分ΔIを求め、その差分ΔIが予め設定された差分閾値(堆積量が過剰か否かを判定する閾値)ΔIth以上となったならば、生成物が過剰に堆積していると判断する。
図6は、第2の実施の形態を説明するブロック図である。ポンプ本体1は、ポンプ本体1の吸気口フランジ30b(図1参照)には、開度調整によりコンダクタンス可変な圧力調整バルブ100が設けられている。ポンプ本体1は圧力調整バルブ100を介してエッチング装置等のチャンバ(不図示)に装着される。チャンバ圧力の制御は、チャンバに流入されるガスと圧力調整バルブ100の開度αとを調整することにより行われる。堆積物監視部25の取得部251は、モータ電流値の他に圧力調整バルブ100からの開度αを取得する。その他の構成は、図2に示した構成と同様である。
Claims (1)
- ロータをモータで回転駆動してガスを排気する真空ポンプの堆積物監視装置であって、
前記真空ポンプが、プロセス条件が各々異なる複数の排気プロセス状態と前記各排気プロセス状態の間に存在する非プロセス状態とが含まれる一連の処理が繰り返し実行されている状態において、前記プロセス条件が異なる複数の排気プロセス状態のうちのいずれの所定排気プロセス状態で運転されているかを判定する状態判定部と、
ポンプ内の堆積物の量を表す堆積量指標が入力され、前記所定排気プロセス状態における前記堆積量指標が前記所定排気プロセス状態に対して定められた許容堆積閾値以上のときに堆積過剰と判定する堆積量判定部と、を備える堆積物監視装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016173828A JP6766533B2 (ja) | 2016-09-06 | 2016-09-06 | 堆積物監視装置および真空ポンプ |
CN201710415007.3A CN107795498B (zh) | 2016-09-06 | 2017-06-05 | 堆积物监视装置及真空泵 |
US15/694,815 US10415577B2 (en) | 2016-09-06 | 2017-09-03 | Deposition substance monitoring device and vacuum pump |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016173828A JP6766533B2 (ja) | 2016-09-06 | 2016-09-06 | 堆積物監視装置および真空ポンプ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018040277A JP2018040277A (ja) | 2018-03-15 |
JP6766533B2 true JP6766533B2 (ja) | 2020-10-14 |
Family
ID=61282008
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016173828A Active JP6766533B2 (ja) | 2016-09-06 | 2016-09-06 | 堆積物監視装置および真空ポンプ |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10415577B2 (ja) |
JP (1) | JP6766533B2 (ja) |
CN (1) | CN107795498B (ja) |
Families Citing this family (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6436731B2 (ja) * | 2014-11-12 | 2018-12-12 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ及び該真空ポンプの異常原因推定方法 |
JP6692777B2 (ja) * | 2017-07-25 | 2020-05-13 | 株式会社東芝 | 移載装置および判定方法 |
JP7164981B2 (ja) * | 2018-07-19 | 2022-11-02 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ |
JP6988726B2 (ja) * | 2018-07-30 | 2022-01-05 | 株式会社島津製作所 | 堆積物監視装置および真空ポンプ |
JP2020041455A (ja) * | 2018-09-07 | 2020-03-19 | 株式会社島津製作所 | ポンプ監視装置および真空ポンプ |
JP2020112133A (ja) * | 2019-01-16 | 2020-07-27 | 株式会社島津製作所 | 真空ポンプ |
JP7450405B2 (ja) * | 2019-03-14 | 2024-03-15 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ |
WO2020194852A1 (ja) * | 2019-03-27 | 2020-10-01 | 株式会社島津製作所 | ポンプ監視装置、真空ポンプおよび生成物堆積診断用データ処理プログラム |
JP2020176555A (ja) * | 2019-04-18 | 2020-10-29 | 株式会社島津製作所 | 真空ポンプシステム |
JP2021179187A (ja) * | 2020-05-12 | 2021-11-18 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ |
JP7437254B2 (ja) * | 2020-07-14 | 2024-02-22 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ、及び、真空ポンプの洗浄システム |
JP7409269B2 (ja) * | 2020-09-23 | 2024-01-09 | 株式会社島津製作所 | ポンプ監視装置、真空ポンプ、ポンプ監視方法およびポンプ監視プログラム |
JP7480691B2 (ja) | 2020-12-10 | 2024-05-10 | 株式会社島津製作所 | 真空ポンプの解析装置、真空ポンプおよび解析プログラム |
JP2022104305A (ja) * | 2020-12-28 | 2022-07-08 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ及び制御装置 |
CN114790993B (zh) * | 2021-01-25 | 2024-05-14 | 株式会社岛津制作所 | 推断装置、真空阀及真空泵 |
JP7491239B2 (ja) * | 2021-02-18 | 2024-05-28 | 株式会社島津製作所 | 真空ポンプおよび真空ポンプ制御方法 |
JP7484843B2 (ja) | 2021-07-30 | 2024-05-16 | 株式会社島津製作所 | 真空ポンプの堆積物量推定装置 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61175284A (ja) * | 1985-01-30 | 1986-08-06 | Anelva Corp | 真空ポンプの監視装置 |
JPH09189290A (ja) * | 1995-12-29 | 1997-07-22 | Kokusai Electric Co Ltd | 真空処理装置 |
JP2004328822A (ja) * | 2003-04-22 | 2004-11-18 | Boc Edwards Kk | モータ制御装置、モータ装置、真空ポンプ、補正電流値計測装置、及びモータ制御方法 |
JP4261252B2 (ja) * | 2003-06-17 | 2009-04-30 | 株式会社荏原製作所 | 真空ポンプの故障診断装置及び故障診断方法 |
JP2009074512A (ja) * | 2007-09-25 | 2009-04-09 | Shimadzu Corp | ターボ分子ポンプ |
JP5767632B2 (ja) * | 2010-05-21 | 2015-08-19 | エドワーズ株式会社 | 排気ポンプの堆積物検知装置と、該装置を備えた排気ポンプ |
CN202091225U (zh) * | 2011-06-20 | 2011-12-28 | 李明 | 一种间歇式太阳能换气扇 |
US9613339B2 (en) * | 2011-06-30 | 2017-04-04 | International Business Machines Corporation | Information exchange in the social network environment |
WO2013161399A1 (ja) | 2012-04-24 | 2013-10-31 | エドワーズ株式会社 | 排気ポンプの堆積物検知装置及び排気ポンプ |
-
2016
- 2016-09-06 JP JP2016173828A patent/JP6766533B2/ja active Active
-
2017
- 2017-06-05 CN CN201710415007.3A patent/CN107795498B/zh active Active
- 2017-09-03 US US15/694,815 patent/US10415577B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US10415577B2 (en) | 2019-09-17 |
CN107795498B (zh) | 2021-03-02 |
US20180066669A1 (en) | 2018-03-08 |
JP2018040277A (ja) | 2018-03-15 |
CN107795498A (zh) | 2018-03-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6766533B2 (ja) | 堆積物監視装置および真空ポンプ | |
US10753363B2 (en) | Monitoring device and vacuum pump | |
CN110192036B (zh) | 用于检测泵设备的异常运行状态的方法 | |
KR102020693B1 (ko) | 배기 펌프의 퇴적물 검지 장치 및 배기 펌프 | |
JP2010186234A (ja) | 流量コントローラ | |
US20090252617A1 (en) | Method for operation of a compressor supplied by a power converter | |
CN107191388B (zh) | 温度控制装置以及涡轮分子泵 | |
US11162499B2 (en) | Vacuum pump system | |
KR20190133148A (ko) | 진공 펌프, 주센서, 및, 나사홈 스테이터 | |
US20200080564A1 (en) | Pump monitoring device and vacuum pump | |
JP6988726B2 (ja) | 堆積物監視装置および真空ポンプ | |
CN114251295B (zh) | 泵监视装置、真空泵、泵监视方法及存储介质 | |
EP3971538B1 (en) | Gas safety device | |
JPWO2018198288A1 (ja) | ポンプ監視装置、真空処理装置および真空ポンプ | |
JP5985182B2 (ja) | 真空ポンプの通気方法および真空ポンプを備えた装置 | |
JP2011247823A (ja) | 堆積物検知装置と、該装置を備えた排気ポンプ | |
JP2020176525A (ja) | ポンプ監視装置および真空ポンプ | |
JP7484843B2 (ja) | 真空ポンプの堆積物量推定装置 | |
JP2001241550A (ja) | シール装置の異常検出装置及び異常予知診断装置 | |
JPS63194709A (ja) | 循環濾過システムのモニタ装置 | |
JP2019173579A (ja) | ポンプシステム、プラント | |
KR20230130277A (ko) | 진공 펌프의 이상 모니터링 장치 및 방법 | |
JP2020133643A (ja) | 異常検出装置および異常検出方法 | |
WO2009034290A1 (en) | Powered flow meter | |
JP2011074893A (ja) | ターボ分子ポンプおよび真空装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20181228 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20190925 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20191001 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20191126 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20191126 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20200407 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200701 |
|
C60 | Trial request (containing other claim documents, opposition documents) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C60 Effective date: 20200701 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20200720 |
|
C21 | Notice of transfer of a case for reconsideration by examiners before appeal proceedings |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C21 Effective date: 20200721 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20200818 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20200831 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 6766533 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |