JP2011247823A - 堆積物検知装置と、該装置を備えた排気ポンプ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】堆積物検知装置1は、ガス流路R内の堆積物を検知する堆積物検知装置であって、感圧部2Aで圧力を検出し出力する圧力計測手段2と、圧力計測手段2の感圧部2Aとガス流路Rとに開口した連通路3と、圧力計測手段2からの出力である圧力の変動幅を監視することにより堆積物を検知する検知処理手段4と、を備える。
【選択図】図1
Description
≪堆積物検知装置の基本構成≫
図1は、本発明の第1の実施形態である堆積物検知装置のブロック図である。本堆積物検知装置1は、ガス流路R内の堆積物(図2参照)を検知する装置であり、具体的には、感圧部2Aで圧力を検出し出力する圧力計測手段2と、圧力計測手段2の感圧部2Aとガス流路Rとに開口した連通路3と、圧力計測手段2からの出力である圧力の変動幅を監視することにより堆積物を検知する検知処理手段4と、を備えている。
圧力計測手段2は、既存の熱電対ゲージ、ピラニゲージ、隔膜真空計などを採用することができるが、これらに限定されることはなく、連通路3を通じてガス流路R内の圧力を検出でき、かつ、検出した圧力を出力できるものであれば、圧力計測手段2として採用してもよい。
≪堆積物検知装置の基本構成≫
図5は、本発明の第2の実施形態である堆積物検知装置のブロック図である。本堆積物検知装置1は、ガス流路R内の堆積物を検知する装置であり、具体的には、感圧部2Aで圧力を検出し出力する2以上(図5の例では2つ)の圧力計測手段21、22と、それぞれの圧力計測手段21、22の感圧部2A、2Aとガス流路Rとに開口した2以上(図5の例では2つ)の連通路31、32と、それぞれの圧力計測手段21、22からの出力である圧力の差分を監視することにより堆積物を検知する検知処理手段41と、を備えている。
前記2つの圧力計測手段21、22の具体的な構成は、先に説明した第1の実施形態の圧力計測手段2と同様であるため、その詳細説明は省略する。
図10は、本発明に係る堆積物検知装置を適用したプロセス装置のブロック図である。同図のプロセス装置100は、プロセスチャンバ101とその排気装置102とを備え、プロセスチャンバ101内でCVD、エッチング等のプロセスを行うものである。
2、21、22 圧力計測手段
2A 感圧部
3、31、32 連通路
4、41 検知処理手段
4A 記録手段
4B データ処理手段
4C 閾値設定部
100 プロセス装置
101 プロセスチャンバ
102 排気装置
103 ガス供給制御バルブ
104 チャンバ圧力計
105 制御ユニット
106 演算ユニット
B 吸気口バルブ
CD ガス回収装置
K1 電線ケーブル
K2 通信ケーブル
M1、M2 メッシュ
PP 圧力溜り
P1 分岐管
R ガス流路
R1 ポンプ内ガス流路
RP 配管
S 補助ポンプ
S1 補助ポンプの吸気口
S2 補助ポンプの排気口
T ターボ分子ポンプ
T1 ターボ分子ポンプの吸気口
T2 ターボ分子ポンプの排気口
T3 円筒部(ロータ)
T4 ブレード部(回転翼)
T5 回転体
T6 駆動モータ
T7 回転軸(ロータ軸)
T8 ネジ溝部
T9 磁気軸受
Claims (10)
- ガス流路内の堆積物を検知する堆積物検知装置であって、
前記堆積物検知装置は、
感圧部で圧力を検出し出力する圧力計測手段と、
前記圧力計測手段の感圧部と前記ガス流路とに開口した連通路と、
前記圧力計測手段からの出力である圧力の変動幅を監視することにより堆積物を検知する検知処理手段と、を備えてなること
を特徴とする堆積物検知装置。 - 前記検知処理手段における圧力の変動幅の監視は、その圧力の変動幅が閾値以下か否かを判定するものであり、
前記検知処理手段における堆積物の検知は、前記圧力の変動幅が閾値以下となったときに、堆積物が所定量に達したものとして信号を出力するものであること
を特徴とする請求項1に記載の堆積物検知装置。 - ガス流路内の堆積物を検知する堆積物検知装置であって、
前記堆積物検知装置は、
感圧部で圧力を検出し出力する2以上の圧力計測手段と、
前記各圧力計測手段の感圧部と前記ガス流路とに開口した2以上の連通路と、
前記各圧力計測手段からの出力である圧力の差分を監視することにより堆積物を検知する検知処理手段と、を備えてなること
を特徴とする堆積物検知装置。 - 前記検知処理手段における圧力の差分の監視は、その圧力の差分が閾値か否かを判定するものであり、
前記検知処理手段における堆積物の検知は、前記圧力の差分が閾値となったときに、堆積物が所定量に達したものとして信号を出力するものであること
を特徴とする請求項3に記載の堆積物検知装置。 - 前記ガス流路がその上流から下流に向けて圧力が変化する場合において、前記2以上の連通路のうち、少なくとも1つの連通路は、他の連通路とは圧力の異なる箇所に開口するように設けたこと
を特徴とする請求項3に記載の堆積物検知装置。 - 前記ガス流路がその上流から下流に向けて圧力が変化する場合において、前記2以上の連通路のうち、少なくとも1つの連通路は、他の連通路よりも上流に開口するように設けたこと
を特徴とする請求項3に記載の堆積物検知装置。 - 前記2以上の連通路のうち、少なくとも1つの連通路の開口面積は、それ以外の他の連通路の開口面積と異なるように設けたこと
を特徴とする請求項3に記載の堆積物検知装置。 - 前記ガス流路は、ガスを排気するターボ分子ポンプのポンプ内ガス流路であって、
前記2以上の連通路は、前記ポンプ内ガス流路の圧力溜りとなる箇所に開口するように設けたこと
を特徴とする請求項3に記載の堆積物検知装置。 - 前記2以上の連通路のうち、少なくとも1つの連通路が前記ガス流路に開口している開口部近傍に、温度調節手段が設けられていて、この温度調節手段により前記開口部付近の温度をそれ以外の部位より上げる、若しくは下げるように構成したこと
を特徴とする請求項3に記載の堆積物検知装置。 - 前記請求項1から9のいずれか1項に記載の堆積物検知装置を備えた排気ポンプ。
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JP2010123310A JP2011247823A (ja) | 2010-05-28 | 2010-05-28 | 堆積物検知装置と、該装置を備えた排気ポンプ |
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- 2010-05-28 JP JP2010123310A patent/JP2011247823A/ja active Pending
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