CN115693354A - 激光器的净化方法、系统及装置 - Google Patents

Abstract

本申请实施例提供一种激光器的净化方法、系统及装置。在本申请实施例中，通过第一真空泵进行抽气，向对应连接的第二真空泵提供预置压力；当预置压力低于阈值后，开启第二真空泵，通过第二真空泵向对应连接的激光器进行抽气，以使激光器达到对应的压力值，从而净化激光器。通过第一真空泵以及第二真空泵向激光器进行抽气，从而提高激光器内部真空度，将激光器内气体或水汽有效的从激光器内清除，达到净化激光器的目的。

Description

激光器的净化方法、系统及装置

技术领域

本发明涉及激光器领域，具体一种激光器的净化方法、系统及装置。

背景技术

在准分子激光器装配过程中，有水汽被金属固体俘获而附着在其表面上。在密封激光器后，激光器内部存有空气。这些气体或水汽会一直存留在激光器内部，影响激光器正常工作。传统方法是激光器通入工作气体，通过工作气体与内部气体的化学反应进行清除，这种方式只能简单的清除空气，对于吸附在金属固体上的水汽无法有效的清除。激光器在工作时由于自身温度较高，此时吸附在金属固体上的气体或水汽会从表面释放出来重新回到空间，严重的污染激光器内部工作环境，造成激光器无法有效的正常工作。

发明内容

本发明要解决的技术问题在于，克服现有的技术的不足，提供一种激光器的净化方法、系统及装置，用于有效地将激光器内的气体或水汽清除。

为达到上述技术目的，一方面，本发明提供的一种激光器的净化方法，包括：通过第一真空泵进行抽气，向对应连接的第二真空泵提供预置压力；当所述预置压力低于阈值后，开启所述第二真空泵，通过所述第二真空泵向对应连接的激光器进行抽气，以使所述激光器达到对应的压力值，从而净化所述激光器。

另一方面，本发明提供的一种激光器的净化系统，包括：所述真空获取系统包括第一真空泵以及对应连接的第二真空泵，在所述第一真空泵以及所述第二真空泵之间设置有阀门，当所述第一真空泵异常时，关闭所述阀门，所述第一真空泵以及第二真空泵是面向激光器进行抽气的，所述第二真空泵属于无油真空泵；所述加热系统包括用于加热激光器的加热板、以及用于对所述加热板的加热温度进行设置的温控仪和调功器。

另一方面，本发明提供的一种激光器的净化装置，包括：提供模块，用于通过第一真空泵进行抽气，向对应连接的第二真空泵提供预置压力；抽气模块，用于当所述预置压力低于阈值后，开启所述第二真空泵，通过所述第二真空泵向对应连接的激光器进行抽气，以使所述激光器达到对应的压力值，从而净化所述激光器。

在本申请实施例中，通过第一真空泵进行抽气，向对应连接的第二真空泵提供预置压力；当预置压力低于阈值后，开启第二真空泵，通过第二真空泵向对应连接的激光器进行抽气，以使激光器达到对应的压力值，从而净化激光器。通过第一真空泵以及第二真空泵向激光器进行抽气，从而提高激光器内部真空度，将激光器内气体或水汽有效的从激光器内清除，达到净化激光器的目的。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。

图1为本申请实施例的激光器的净化方法的流程示意图；

图2为本申请实施例的真空获取系统的示意图；

图3为本申请实施例的加热系统的示意图；

图4为本申请实施例的测控系统的示意图；

图5为本申请实施例的激光器的净化装置的结构框架示意图；

其中，图2中：第一真空泵201、第二真空泵202、激光器203、第一阀门204、第二阀门205、第三阀门206、第一真空测量器件207、第四阀门208、第二真空器件209、第五阀门210、第二管路211、第一管路212、公共管路213；

图3中：加热板301、快插302、调功器303、温控仪304、温控点PT100 305；

图4中：触摸屏401、PLC402、真空规、真空计403、涡旋干泵DP404、磁悬浮分子泵TMP405。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

如图1以及图2所示，本申请提供了一种激光器的净化方法，该方法100包括：

101：通过第一真空泵201进行抽气，向对应连接的第二真空泵202提供预置压力。

102：当预置压力达到阈值后，开启第二真空泵202，通过第二真空泵202向对应连接的激光器203进行抽气，以使激光器203达到对应的压力值，从而净化激光器203。

其中，在第一真空泵201和第二真空泵202之间设置有第一阀门204，当第一真空泵201异常时，关闭第一阀门204，第二真空泵202属于无油真空泵。

其中，在本申请实施例中第一真空泵201可以为涡旋干泵DP，第二真空泵202可以为磁悬浮分子泵TMP。

其中，第一真空泵201可以包括但不限于涡旋干泵DP，旋片泵、螺杆泵或滑阀泵等真空泵。

第二真空泵202属于无油真空泵，可以包括但不限于：磁悬浮分子泵TMP等其它无油真空泵。其中，磁悬浮分子泵TMP的冷却方式：水冷方式。

无油真空泵的开启需要一定压力，所以在本实施例中，让第一真空泵201先对第二真空泵202进行抽气，当对第二真空泵202的预置压力符合无油真空泵的开启条件后，就可以对激光器203进行抽气。第二真空泵202即使在未开启的情况下，也不会影响所在通路导通。另外，属于无油真空泵的第二真空泵202不会污染激光器203。

需要说明的是，该方法100的执行主体可以为具有计算功能的设备，如，图4所示中的可编程逻辑控制器PLC402。也可以是其它的控制器设备等。对于PLC402而言，其可以配置有对应的触摸屏等以使人工进行操作。

以下针对上述步骤进行详细地阐述：

例如，如图4所示，操作人员可以通过PLC402的触摸屏401对涡旋干泵DP404进行开启，涡旋干泵DP开启后，可以通过对应的管路向与其连接的磁悬浮分子泵TMP405提供对应的压力。

为了防止避免因停电等突发情况或异常情况使第一真空泵201中的泵油逆流污染对应的抽气过程，或者说真空获取系统。在第一真空泵201和第二真空泵202之间设置有第一阀门204，当第一真空泵201异常时，关闭第一阀门204。

在本实施例中，第一阀门204可以为压差式充气阀V1。

当具有压差式充气阀V1的时候，可以通过PLC402打开涡旋干泵DP后，再打开压差式充气阀V1，然后为磁悬浮分子泵TMP提供压力。

需要说明的是，真空获取系统包括上文所述的第一真空泵201与第二真空泵202组成的泵组。对于该系统而言，可以通过该系统的连接部件与激光器203进行连接，如通过KF40卡箍将激光器203与真空获取系统连接。具体的，通过第一真空泵201进行抽气，向对应连接的第二真空泵202提供预置压力，包括：开启第一真空泵201以及第一阀门204，使得第一真空泵201通过对应的管路向第二真空泵202进行抽气，并向激光器203进行抽气，以提供预置压力。

更具体的，开启第一真空泵201以及第一阀门204，使得第一真空泵201通过对应的管路向第二真空泵202进行抽气，并向激光器203进行抽气，包括：开启第一真空泵201后，在间隔预置时间后，打开第一阀门204，打开对应第一管路212的第二阀门205，以使第一真空泵201通过第一阀门204、第一管路212以及第一管路212上的第二阀门205，向在第一管路212上的第二真空泵202进行抽气；打开对应第二管路211的第三阀门206，以使第一真空泵201通过第一阀门204、第二管路211以及第二管路211上的第三阀门206，向激光器203进行抽气；第一管路212与第二管路211通往至激光器203。

在本实施例中，第二阀门205可以为电磁挡板阀V2，第三阀门206可以为气动挡板阀V4，预置时间为15s。

例如，如上文，如图2以及图4所示，操作人员可以通过PLC402的触摸屏401对涡旋干泵DP404进行开启，15s后压差式充气阀V1自动开启，然后，打开第一管路212上的阀门开启电磁挡板阀V2，以使涡旋干泵DP404通过公共管路213上的压差式充气阀V1进行抽气，然后再通过分支的第一管路212以及电磁挡板阀V2向磁悬浮分子泵TMP405进行抽气。同时开启气动挡板阀V4，该气动挡板阀V4在第二管路211上，使得涡旋干泵DP404通过公共管路213上的压差式充气阀V1进行抽气，然后再通过分支的第二管路211以及气动挡板阀V4向激光器203进行抽气。如图2所示，第一管路212和第二管路211通往至激光器203。

由于净化激光器203需对激光器203进行抽气，随着激光器203内压强逐渐变小，容易引起第一真空泵201出现异常情况，从而导致泵油逆流。由此，在净化激光器203时，需要设置无油真空泵对激光器203进行抽气。然而无油真空泵的启动又需要一定压力。因此，在本实施例中，真空获取系统设置为无油真空泵和有油真空泵的组合。

还需要说明的是，上述真空获取系统除了包括上述泵组以外，还可以包括图2中所示的各个阀门等。

此外，对于第二真空泵202而言，其除了可以是无油真空泵外，如，除了磁悬浮分子泵TMP外，也可以是有油真空泵，如涡旋干泵，当第二真空泵可以是涡旋干泵的时候，如图2所示，则可以将涡旋干泵替换磁悬浮分子泵TMP，并可以在替换了的涡旋干泵其周围，即其所在第一管路212位置的前后各设置一个压差式充气阀V1，以使该涡旋干泵异常的情况下，关闭这些压差式充气阀V1，使得防止涡旋干泵中的泵油逆流污染对应的抽气过程，或者说污染激光器203。

在本实施例中，第二真空测量器件209可以为皮拉尼规G1。

例如，接上文，可以通过皮拉尼规G1以及电离真空计组成的真空规计或者皮拉尼规G1，确定激光器203附近的预置压力。如图4所示，真空规计可以是真空规、真空计403，将测量到的压力数值返回至PLC402，并通过其触摸屏401进行展示。当压力数值达到阈值后，操作人员可以通过触摸屏401控制PLC402开启磁悬浮分子泵TMP405，使得磁悬浮分子泵TMP405向对应的激光器203进行抽气。

其中，真空规可以包括皮拉尼规G1、冷阴极电离规及冷阴极复合规、热阴极电离规及热阴极复合规等。真空计可以包括：电离真空计、冷磁控真空计和复合真空计等。真空规计采用皮拉尼规和冷阴极复合规，检测精度高、范围大。

具体的，该方法100还包括：通过第一真空测量器件207，测量预置压力。具体地：

通过所述第一真空测量器件207测量所述激光器203侧的压力，将测到的压力作为所述预置压力，所述第一真空测量器件207设置在第二管路211上，以测量所述激光器203侧的压力。

在本实施例中，第一真空测量器件207可以为冷阴极复合规G2。

例如，接上文，如图2所示，冷阴极复合规G2可以设置在第二管路211上，用于测量激光器203的一侧预置压力。同时将测量的该压力视为是磁悬浮分子泵TMP一侧的预置压力。

在本实施例中，第四阀门208可以为手动插板阀V5。所述阈值包括：第一阈值和第二阈值。

所述当所述预置压力低于阈值后，开启所述第二真空泵202，通过所述第二真空泵202向对应连接的所述激光器203进行抽气，包括：

当第一真空测量器件207对应的压力测量值低于第一阈值后，打开第一管路212上的第四阀门208，以使第一真空泵201依次通过第一阀门204、第一管路212上的第二阀门205、第二真空泵202以及第四阀门208，向所述激光器203抽气，并关闭第二管路211上的第三阀门206；

基于第一管路212，当第一真空测量器件207对应的压力测量值低于第二阈值后，打开第二真空泵202，以使所述第二真空泵202通过第四阀门208向所述激光器203抽气。

例如，接上文，如图2所示，当冷阴极复合规G2测量到激光器203一侧的压力低于300Pa帕(第一阈值)时，可以通过PLC402开启第一管路212上的手动插板阀V5，并关闭气动挡板阀V4，使得第一管路212可以通畅至激光器203。而第二管路211则被中断，无法再向激光器203进行抽气，但是冷阴极复合规G2依旧可以测量激光器203一侧的压力。后续当冷阴极复合规G2测量到激光器203压力低于100Pa(即第二阈值)时，开启磁悬浮分子泵TMP，真空获取系统启动完毕。此时，可以通过第一管路212由磁悬浮分子泵TMP向激光器203进行抽气，使得激光器203的真空度＜1*10^-3Pa(对应的压力值)，可以通过冷阴极复合规G2进行测量和确定该真空度，从而清除激光器203中的水汽或气体等杂质。

所述方法100还包括：通过第二真空测量器件209对所述第一真空泵201以及所述第一真空泵201所在的公共管路213。

此外，还可以对上述涡旋干泵DP以及所在公共管路213进行异常检测，可以通过第二真空测量器件209，即，皮拉尼规G1进行检测。

如图2所示，接上文，在公共管路213上设置有皮拉尼规G1用于测量涡旋干泵DP一侧的压力。当开启了涡旋干泵DP以及压差式充气阀后，通过皮拉尼规G1来测量涡旋干泵DP一侧的压力。当测量到的压力值符合预置阈值，则确定当前公共管路213以及涡旋干泵DP无异常，如果不符合，则确定存在异常，则可以进行异常排查。

此外，上文的手动插板阀V5、气动挡板阀V4以及电磁挡板阀V2的应用，适用范围：1*10^-5-1*10⁵Pa；接口密封形式：CF、KF、ISO；驱动方式：手动、气动、电磁。

需要说明的是，真空规计的使用可以使得操作人员直观读取激光器203一侧的真空度，便于关键信息记录。

此外，该方法100还包括：通过加热板301对将所述激光器203进行加热，并通过温控仪304以及调功器303设置所述加热板301的加热温度；通过对应的测温元件，分别对所述加热板301以及激光器203对应的加热温度进行测量，并将测量到的温度值返回至所述温控仪304，以使所述温控仪304根据对应的温度值，通过调功器303对加热板301进行温度的调整，以使所述激光器203达到预定温度。

为了加快激光器203内气体或水汽的解吸过程，还可以通过加热系统对激光器203进行加热。如图3所示，该加热系统可以包括加热板301、温控仪304、调功器303、测温元件。

其中，加热板301采用电阻加热方式，通过温控仪304、调功器303可直接设置加热温度；控温点、测温点可以及时反馈加热板301和激光器203的实际温度，便于温度监控和关键信息的记录。其中，控温点是指在加热板301的温度，测温点是指激光器203的温度。加热板301是将电能转换为热能以加热物体，可以属于电阻加热方式。其中，加热方式还可以为：感应、电弧、电子束、红外线和介质加热等。测温元件是热电阻，如温控点PT100305。测温方式可以是接触式，如：热电阻、热电偶、双金属温度计；也可以是非接触式：红外测温仪。测温点可以采用热电阻也可以采用红外测温仪。如图3所示，加热板301通过快插302，也可以称为快插接口，与调功器303连接，调功器303与温控仪304连接。温控仪接收温控点PT100 305以及测温点的热电阻返回的温度。

例如，接上文，如图2-4所示，将激光器203放置在加热板301中间区域，使用螺钉将测温元件，如固定在激光器203上。操作人员可以通过触摸屏401来使得PLC402控制温控仪304，通过温控仪304设置加热温度，并启动加热功能。当温控仪304接收到加热板301内部的温控点PT100 305以及激光器203的热电阻返回的温度，确定达到设定温度后，并返回给PLC402，并通过触摸屏401进行显示，PLC402会自动维持设置的加热温度，确保激光器203持续进行加热。

需要说明：在返回到温控仪304上的温度没有达到预置温度，则温控仪304会根据预置温度，通过调功器303来调整温度，直至到达预置温度为止，然后进行维持。

在一定预置时间后，则完成了激光器203的真空烘烤工作。然后，操作人员可以通过触摸屏401控制PLC402首先关闭加热系统。然后依次关闭手动插板阀V5、磁悬浮分子泵TMP、电磁挡板阀和涡旋干泵DP。注意在磁悬浮分子泵TMP频率未降到0Hz时，禁止断电。

在本实施例中，第五阀门210可以为电磁放气阀V3。

真空获取系统关闭后，激光器203内部处于真空状态，此时需将激光器203内部恢复至常压状态。如图2以及图4所示，确认手动插板阀V5和电磁挡板阀V2关闭后，操作人员可以通过触摸屏401控制PLC402开启气动挡板阀V4、电磁放气阀V3，从而使得通过第二管路211，以及电磁放气阀V3让激光器203恢复到常压状态。当激光器203内部处于常压状态后，依次关闭电磁放气阀V3、气动挡板阀V4即可。将KF40卡箍和测温元件拆下后，激光器203真空烘烤工作结束。

前文所述的插板阀、挡板阀在真空获取系统中准确的开启、关闭，配合真空泵组的工作，确保激光器203处于较好的真空状态，阀体可接受的烘烤温度较高，通过气动或电磁驱动，操作方便，便于实现自动化操作。

本申请实施例还提供了一种激光器的净化系统，如图2以及图3所示，包括：真空获取系统以及加热系统；真空获取系统包括第一真空泵201以及对应连接的第二真空泵202，在第一真空泵201以及第二真空泵202之间设置有阀门，当第一真空泵201异常时，关闭阀门，第一真空泵201以及第二真空泵202是面向激光器203进行抽气的，第二真空泵202属于无油真空泵；加热系统包括用于加热激光器203的加热板301、以及用于对加热板301的加热温度进行设置的温控仪304和调功器303。

由于前文已经阐述过了，此处就不再赘述。仅说明：该系统还可以包括测控系统，如图4所示，该系统配备触摸屏401，通过PLC402可以控制设备的启停，显示各测量点的温度、压力和作业持续时间等参数。提高整个装置自动化程度，便于操作、维护和存储。由于前文也阐述过，此处就不再赘述。阀门为前文所述的第一阀门204。

将真空获取系统和加热系统有效结合，触摸屏401、PLC402的配置使整个净化系统的操作直观、便捷。

本申请实施例还提供了一种激光器的净化装置，该装置可以应用在PLC中。如图5所示，该装置500包括：

提供模块501，用于通过第一真空泵201进行抽气，向对应连接的第二真空泵202提供预置压力；

抽气模块502，用于当预置压力低于阈值后，开启第二真空泵202，通过第二真空泵202向对应连接的激光器203进行抽气，以使激光器203达到对应的压力值，从而净化激光器203；

其中，在第一真空泵201和第二真空泵202之间设置有第一阀门204，当第一真空泵201异常时，关闭第一阀门204，第二真空泵202属于无油真空泵。

具体的，提供模块501，具体用于：开启第一真空泵201以及第一阀门204，使得第一真空泵201通过对应的管路向第二真空泵202进行抽气，并向激光器203进行抽气，以提供预置压力。

具体的，提供模块501，包括：第一开启单元，用于开启第一真空泵201后，在间隔预置时间后，打开第一阀门204，打开对应第一管路212的第二阀门205，以使第一真空泵201通过第一阀门204、第一管路212以及第一管路212上的第二阀门205，向在第一管路212上的第二真空泵202进行抽气；第二开启单元，用于打开对应第二管路211的第三阀门206，以使第一真空泵201通过第一阀门204、第二管路211以及第二管路211上的第三阀门206，向激光器203进行抽气；第一管路212与第二管路211通往至激光器203。

此外，该装置500还包括：测量模块，用于通过第一真空测量器件207，测量预置压力。

具体的，测量模块，具体用于：通过第一真空测量器件207测量激光器侧的压力，将测到的压力作为预置压力，第一真空测量器件207设置在第二管路211上，以测量激光器203侧的压力。

具体的，抽气模块502，包括：第一抽气单元，用于当第一真空测量器件207对应的压力测量值低于第一阈值后，打开第一管路212上的第四阀门208，以使第一真空泵201依次通过第一阀门204、第一管路212上的第二阀门205、第二真空泵202以及第四阀门208，向激光器203抽气，并关闭第二管路211上的第三阀门206；第二抽气单元，用于基于第一管路212，当第一真空测量器件207对应的压力测量值低于第二阈值后，打开第二真空泵202，以使第二真空泵202通过第四阀门208向激光器203抽气。

此外，该装置500还包括：检测模块，用于通过第二真空测量器件209对所述第一真空泵201以及所述第一真空泵201所在的公共管路213进行异常检测。

此外，该装置500还包括：加热模块，用于通过加热板301对将激光器203进行加热，并通过温控仪304以及调功器303设置加热板301的加热温度。

此外，该装置500还包括：调整模块，用于通过对应的测温元件，分别对加热板301以及激光器203对应的加热温度进行测量，并将测量到的温度值返回至温控仪304，以使温控仪304根据对应的温度值，通过调功器303对加热板301进行温度的调整，以使激光器203达到预定温度。

由于该装置500的具体实现方式请参考前文所述的方式，此处就不再赘述。

应该明白，公开的过程中的步骤的特定顺序或层次是示例性方法的实例。基于设计偏好，应该理解，过程中的步骤的特定顺序或层次可以在不脱离本公开的保护范围的情况下得到重新安排。所附的方法权利要求以示例性的顺序给出了各种步骤的要素，并且不是要限于所述的特定顺序或层次。

为了使本揭示内容的叙述更加详尽与完备，上文针对本发明的实施方式与具体实施例提出了说明性的描述；但这并非实施或运用本发明具体实施例的唯一形式。实施方式中涵盖了多个具体实施例的特征以及用以建构与操作这些具体实施例的方法步骤与其顺序。然而，亦可利用其它具体实施例来达成相同或均等的功能与步骤顺序。

在上述的详细描述中，各种特征一起组合在单个的实施方案中，以简化本公开。不应该将这种公开方法解释为反映了这样的意图，即，所要求保护的主题的实施方案需要比较清楚地在每个权利要求中所陈述的特征更多的特征。相反，如所附的权利要求书所反映的那样，本发明处于比所公开的单个实施方案的全部特征少的状态。因此，所附的权利要求书特此清楚地被并入详细描述中，其中每项权利要求独自作为本发明单独的优选实施方案。

为使本领域内的任何技术人员能够实现或者使用本发明，上面对所公开实施例进行了描述。对于本领域技术人员来说；这些实施例的各种修改方式都是显而易见的，并且本文定义的一般原理也可以在不脱离本公开的精神和保护范围的基础上适用于其它实施例。因此，本公开并不限于本文给出的实施例，而是与本申请公开的原理和新颖性特征的最广范围相一致。

上文的描述包括一个或多个实施例的举例。当然，为了描述上述实施例而描述部件或方法的所有可能的结合是不可能的，但是本领域普通技术人员应该认识到，各个实施例可以做进一步的组合和排列。因此，本文中描述的实施例旨在涵盖落入所附权利要求书的保护范围内的所有这样的改变、修改和变型。此外，就说明书或权利要求书中使用的术语“包含”，该词的涵盖方式类似于术语“包括”，就如同“包括，”在权利要求中用作衔接词所解释的那样。此外，使用在权利要求书的说明书中的任何一个术语“或者”是要表示“非排它性的或者”。

本领域技术人员还可以了解到本发明实施例列出的各种说明性逻辑块(illustrative logical block)，单元，和步骤可以通过电子硬件、电脑软件，或两者的结合进行实现。为清楚展示硬件和软件的可替换性(interchangeability)，上述的各种说明性部件(illustrative components)，单元和步骤已经通用地描述了它们的功能。这样的功能是通过硬件还是软件来实现取决于特定的应用和整个系统的设计要求。本领域技术人员可以对于每种特定的应用，可以使用各种方法实现所述的功能，但这种实现不应被理解为超出本发明实施例保护的范围。

本发明实施例中所描述的各种说明性的逻辑块，或单元都可以通过通用处理器，数字信号处理器，专用集成电路(ASIC)，现场可编程门阵列或其它可编程逻辑装置，离散门或晶体管逻辑，离散硬件部件，或上述任何组合的设计来实现或操作所描述的功能。通用处理器可以为微处理器，可选地，该通用处理器也可以为任何传统的处理器、控制器、微控制器或状态机。处理器也可以通过计算装置的组合来实现，例如数字信号处理器和微处理器，多个微处理器，一个或多个微处理器联合一个数字信号处理器核，或任何其它类似的配置来实现。

本发明实施例中所描述的方法或算法的步骤可以直接嵌入硬件、处理器执行的软件模块、或者这两者的结合。软件模块可以存储于RAM存储器、闪存、ROM存储器、EPROM存储器、EEPROM存储器、寄存器、硬盘、可移动磁盘、CD-ROM或本领域中其它任意形式的存储媒介中。示例性地，存储媒介可以与处理器连接，以使得处理器可以从存储媒介中读取信息，并可以向存储媒介存写信息。可选地，存储媒介还可以集成到处理器中。处理器和存储媒介可以设置于ASIC中，ASIC可以设置于用户终端中。可选地，处理器和存储媒介也可以设置于用户终端中的不同的部件中。

在一个或多个示例性的设计中，本发明实施例所描述的上述功能可以在硬件、软件、固件或这三者的任意组合来实现。如果在软件中实现，这些功能可以存储与电脑可读的媒介上，或以一个或多个指令或代码形式传输于电脑可读的媒介上。电脑可读媒介包括电脑存储媒介和便于使得让电脑程序从一个地方转移到其它地方的通信媒介。存储媒介可以是任何通用或特殊电脑可以接入访问的可用媒体。例如，这样的电脑可读媒体可以包括但不限于RAM、ROM、EEPROM、CD-ROM或其它光盘存储、磁盘存储或其它磁性存储装置，或其它任何可以用于承载或存储以指令或数据结构和其它可被通用或特殊电脑、或通用或特殊处理器读取形式的程序代码的媒介。此外，任何连接都可以被适当地定义为电脑可读媒介，例如，如果软件是从一个网站站点、服务器或其它远程资源通过一个同轴电缆、光纤电缆、双绞线、数字用户线(DSL)或以例如红外、无线和微波等无线方式传输的也被包含在所定义的电脑可读媒介中。所述的碟片(disk)和磁盘(disc)包括压缩磁盘、镭射盘、光盘、DVD、软盘和蓝光光盘，磁盘通常以磁性复制数据，而碟片通常以激光进行光学复制数据。上述的组合也可以包含在电脑可读媒介中。

以上所述的具体实施方式，对本发明的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本发明的具体实施方式而已，并不用于限定本发明的保护范围，凡在本发明的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种激光器的净化方法，其特征在于，包括：

通过第一真空泵(201)进行抽气，向对应连接的第二真空泵(202)提供预置压力；

当所述预置压力低于阈值后，开启所述第二真空泵(202)，通过所述第二真空泵(202)向对应连接的激光器(203)进行抽气，以使所述激光器(203)达到对应的压力值，从而净化所述激光器(203)。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，其中，在所述第一真空泵(201)和所述第二真空泵(202)之间设置有第一阀门(204)，当所述第一真空泵(201)异常时，关闭所述第一阀门(204)，所述第二真空泵(202)属于无油真空泵；

所述通过第一真空泵(201)进行抽气，向对应连接的第二真空泵(202)提供预置压力，包括：

开启所述第一真空泵(201)以及所述第一阀门(204)，使得所述第一真空泵(201)通过对应的管路向所述第二真空泵(202)进行抽气，并向所述激光器(203)进行抽气，以提供预置压力。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述开启所述第一真空泵(201)以及所述第一阀门(204)，使得所述第一真空泵(201)通过对应的管路向所述第二真空泵(202)进行抽气，并向所述激光器(203)进行抽气，包括：

开启所述第一真空泵(201)后，在间隔预置时间后，打开所述第一阀门(204)，打开对应第一管路的第二阀门(202)，以使所述第一真空泵(201)通过所述第一阀门(204)、所述第一管路(212)以及第一管路(212)上的第二阀门(205)，向在所述第一管路(212)上的所述第二真空泵(202)进行抽气；

打开对应第二管路(211)的第三阀门(206)，以使所述第一真空泵(201)通过所述第一阀门(204)、所述第二管路(211)以及第二管路(211)上的第三阀门(206)，向所述激光器(203)进行抽气；

所述第一管路(212)与所述第二管路(211)通往至所述激光器(203)。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

通过第一真空测量器件(207)，测量所述预置压力。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述通过第一真空测量器件(207)，测量所述预置压力，包括：

通过所述第一真空测量器件(207)测量所述激光器(203)侧的压力，将测到的压力作为所述预置压力，所述第一真空测量器件(207)设置在第二管路(211)上，以测量所述激光器(203)侧的压力。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述当所述预置压力低于阈值后，开启所述第二真空泵(202)，通过所述第二真空泵(202)向对应连接的所述激光器(203)进行抽气，包括：

当第一真空测量器件(207)对应的压力测量值低于第一阈值后，打开第一管路(212)上的第四阀门(208)，以使第一真空泵(201)依次通过第一阀门(204)、第一管路(212)上的第二阀门(205)、第二真空泵(202)以及第四阀门(208)，向所述激光器(203)抽气，并关闭第二管路(211)上的第三阀门(206)；

基于第一管路(212)，当第一真空测量器件(207)对应的压力测量值低于第二阈值后，打开第二真空泵(202)，以使所述第二真空泵(202)通过第四阀门(208)向所述激光器(203)抽气。

7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

通过第二真空测量器件(209)对所述第一真空泵(201)以及所述第一真空泵(201)所在的公共管路(213)进行异常检测。

8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

通过加热板(301)对将所述激光器(203)进行加热，并通过温控仪(304)以及调功器(303)设置所述加热板(301)的加热温度；

通过对应的测温元件，分别对所述加热板(301)以及激光器(203)对应的加热温度进行测量，并将测量到的温度值返回至所述温控仪(304)，以使所述温控仪(304)根据对应的温度值，通过调功器(303)对加热板(301)进行温度的调整，以使所述激光器(203)达到预定温度。

9.一种激光器的净化系统，其特征在于，包括：真空获取系统以及加热系统；

所述真空获取系统包括第一真空泵(201)以及对应连接的第二真空泵(202)，在所述第一真空泵(201)以及所述第二真空泵(202)之间设置有阀门，当所述第一真空泵(201)异常时，关闭所述阀门，所述第一真空泵(201)以及第二真空泵(202)是面向激光器(203)进行抽气的，所述第二真空泵(202)属于无油真空泵；

所述加热系统包括用于加热激光器(203)的加热板(301)、以及用于对所述加热板(301)的加热温度进行设置的温控仪(304)和调功器(303)。

10.一种激光器的净化装置，其特征在于，包括：

提供模块，用于通过第一真空泵(201)进行抽气，向对应连接的第二真空泵(202)提供预置压力；

抽气模块，用于当所述预置压力低于阈值后，开启所述第二真空泵(202)，通过所述第二真空泵(202)向对应连接的激光器(203)进行抽气，以使所述激光器(203)达到对应的压力值，从而净化所述激光器(203)。

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