JP7480691B2 - 真空ポンプの解析装置、真空ポンプおよび解析プログラム - Google Patents
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Description
本発明の第2の態様は、第1の態様の真空ポンプの解析装置を備える真空ポンプに関する。
本発明の第3の態様は、内部で対象物に対するプロセスが行われる真空容器を排気する真空ポンプの解析処理をコンピュータに行わせるための解析プログラムであって、前記解析処理は、前記プロセスの少なくとも一部の期間における、前記真空ポンプのロータの回転駆動に関する物理量の積算値に基づいて、前記真空ポンプの堆積物による負荷についての情報を生成する情報生成処理を含む、解析プログラムに関する。
図1は、本実施形態の真空ポンプシステムの構成を示す概念図である。真空ポンプシステム1000は、ターボ分子ポンプ100と、主制御部200とを備える。ターボ分子ポンプ100は、真空排気を行うポンプ部1と、ポンプ部1を駆動制御するポンプ制御部2とを備える。
なお、ヒータ51、排気管38および温度センサ56等の配置は、図1の態様に特に限定されない。
なお、図3のグラフはわかりやすく説明するための例示であり、本実施形態に係る解析方法はこれらのグラフの内容に限定されない。
なお、算出部251は、主制御部200等から各要素プロセスPiの開始または終了の時間を取得し、当該時間に基づいて、各要素プロセスPiの積算の対象となるモータ電流データを抽出してもよい。
なお、メンテナンス閾値を利用して上記のような判定を行う場合、メンテナンス閾値に基づく条件により判定が行われればその態様は特に限定されず、例えば「超えるか否か」ではなく「以上か否か」等にしてもよい。また、メンテナンスの必要性に限らず、任意の程度の負荷を防止するように適宜閾値を設定することができる。
なお、本実施形態に係る上述した処理を行うことができれば、ポンプ制御部2のモータ制御部21、軸受制御部22および解析部25、ならびに、主制御部200の運転制御部204および出力制御部205の物理的構成は特に限定されない。
なお、算出部252は、プロセスが行われている際にリアルタイムで堆積物指数を算出してもよいし、収集したモータ電流データからバッチ処理で堆積物指数を算出してもよい。
(1)本実施形態に係る真空ポンプの解析装置(ポンプ制御部2)および真空ポンプシステム1000は、対象物に対する要素プロセスPiの少なくとも一部の期間(D1、D2およびD2等)における、ポンプロータ4の回転駆動を行うモータMのモータ電流の積算値に基づいて、堆積物情報を生成する情報生成部252を備える。これにより、精度よく、かつ、効率的に、ターボ分子ポンプ100に堆積した堆積物についての情報を提供することができる。
上述の実施形態において、情報生成部252は、積算値の代わりに、積算値をガス導入時間で割った値を堆積物指数として、堆積物情報を生成してもよい。ここで、ガス導入時間とは、積算の対象となった期間のうち、ターボ分子ポンプ100が排気を行う真空容器にガスが導入されている時間である。ガス導入時間には、排気の負荷が増大する。ガス導入時間はモータ電流が上昇している期間に相当し、図3の要素プロセスP1ではD2とD3の和に相当する。例えば、T1からT2までモータ電流値を積算し、得られた積算値をガス導入時間D2+D3で割った値を堆積物指数とすることができる。ガス導入時間以外はモータ電流値が小さくなる傾向がある。従って、積算値をガス導入時間で割ることにより、ガス導入時間がプロセスPごとにばらついてもより正確に堆積物指数を算出することができる。積算値からノイズまたはバックグラウンド等を除去した後、ガス導入時間で割って堆積物指数としてもよい。
なお、ガス種によっても堆積物が生成される状況が異なるので、ガス種ごとに、各種閾値を設定することが望ましい。
上述の実施形態において、堆積物情報として、予測される将来の堆積物による負荷についての情報を含めてもよい。情報生成部252は、記憶部23等に記憶された過去の堆積物指数の変化から、将来の堆積物の量またはメンテナンス時期等を導出することができる。
上述の実施形態では、算出部251は、回転駆動に関する物理量をモータ電流として積算値を算出した。しかし、回転駆動に関する物理量はこれに限定されず、回転駆動を行うモータの電力値若しくはPWM(Pulse Width Modulation)制御のデューティー比、または、回転体ユニット45の軸であるロータシャフト5の変位を示す量とすることができる。これらの値についても、上記と同様、積算値を堆積物指数として使用することができ、上述の実施形態と同様の効果を奏することができる。ロータシャフト5の変位は磁気軸受34、35、36に配置された変位センサから取得することができる。ポンプロータの変位を示す量としては、変位のばらつきを示す分散を用いてもよい。
上述の実施形態では、ポンプ制御部2に配置された情報生成部252が堆積物情報を生成する構成とした。しかし、情報生成部252は、通信等により必要なデータが得られれば任意のコンピュータに配置することができる。情報生成部252は、主制御部200に配置されていてもよく、主制御部200およびポンプ制御部2から物理的に離れた位置にあるサーバ、パーソナルコンピュータまたは携帯端末等に配置されていてもよい。同様に、真空ポンプシステム1000が用いるデータの一部は遠隔のサーバ等に保存してもよく、解析プログラムにより行われる演算処理の少なくとも一部は遠隔のサーバ等で行ってもよい。物理的に離れた2以上の処理装置により、互いに強調して処理が行われてもよい。
上述の実施形態では、ターボ分子ポンプ100が磁気浮上型のターボ分子ポンプとして説明した。しかし、上述の実施形態の真空ポンプの解析方法は、回転駆動が行われる真空ポンプであって、流路に堆積物が堆積する可能性のあるものであれば適用できる。例えば、上述の実施形態の解析方法は、玉軸受型のターボ分子ポンプにも適用することができる。
真空ポンプシステム1000の情報処理機能を実現するためのプログラムをコンピュータ読み取り可能な記録媒体に記録して、この記録媒体に記録された、上述した情報生成部252の処理およびそれに関連する処理の制御に関するプログラムをコンピュータシステムに読み込ませ、実行させてもよい。なお、ここでいう「コンピュータシステム」とは、OS(Operating System)や周辺機器のハードウェアを含むものとする。また、「コンピュータ読み取り可能な記録媒体」とは、フレキシブルディスク、光磁気ディスク、光ディスク、メモリカード等の可搬型記録媒体、コンピュータシステムに内蔵されるハードディスクまたはソリッドステートドライブ(Solid State Drive; SSD)等の記憶装置のことをいう。さらに「コンピュータ読み取り可能な記録媒体」とは、インターネット等のネットワークや電話回線等の回線を介してプログラムを送信する場合の通信線のように、短時間の間、動的にプログラムを保持するもの、その場合のサーバやクライアントとなるコンピュータシステム内部の揮発性メモリのように、一定時間プログラムを保持するものを含んでもよい。また上記のプログラムは、前述した機能の一部を実現するためのものであってもよく、さらに前述した機能をコンピュータシステムにすでに記録されているプログラムとの組み合わせにより実現するものであってもよい。
上述した複数の例示的な実施形態またはその変形は、以下の態様の具体例であることが当業者により理解される。
2 ポンプ制御部
3 ベース
21 モータ制御部
25 解析部
30 ポンプケーシング
31 固定翼
38 排気管
41 回転翼
43 回転数センサ
100 ターボ分子ポンプ
200 主制御部
251 算出部
252 情報生成部
1000 真空ポンプシステム
M モータ
Claims (9)
- 内部で対象物に対するプロセスが行われる真空容器を排気する真空ポンプの解析装置であって、
前記プロセスの少なくとも一部の期間における、前記真空ポンプのロータの回転駆動に関する物理量の積算値を前記プロセスごとに算出し、算出された積算値と所定のメンテナンス閾値との比較に基づいて、前記真空ポンプの堆積物による負荷についての情報を生成する情報生成部を備える、真空ポンプの解析装置。 - 内部で対象物に対するプロセスが行われる真空容器を排気する真空ポンプの解析装置であって、
前記プロセスの少なくとも一部の期間における、前記真空ポンプのロータの回転駆動に関する物理量の積算値に基づいて、前記真空ポンプの堆積物による負荷についての情報を生成する情報生成部を備え、
前記情報生成部は、前記積算値と、前記期間において前記真空容器にガスが導入された導入時間とに基づいて前記情報を生成する、真空ポンプの解析装置。 - 請求項2に記載の真空ポンプの解析装置において、
前記情報生成部は、前記積算値を、前記導入時間で割って得られた値に基づいて前記情報を生成する、真空ポンプの解析装置。 - 請求項1から3までのいずれか一項に記載の真空ポンプの解析装置において、
前記積算値は、前記対象物ごと、または、前記対象物に対して特定のプロセスが行われるごとに算出される、真空ポンプの解析装置。 - 請求項1から4までのいずれか一項に記載の真空ポンプの解析装置において、
前記物理量は、前記回転駆動を行うモータの電流値、電力値若しくはPWM制御のデューティー比、または、前記ロータの軸の変位を示す量である、真空ポンプの解析装置。 - 請求項1から5までのいずれか一項に記載の真空ポンプの解析装置において、
前記真空ポンプは、ターボ分子ポンプである、真空ポンプの解析装置。 - 請求項1から6までの真空ポンプの解析装置を備える真空ポンプ。
- 内部で対象物に対するプロセスが行われる真空容器を排気する真空ポンプの解析処理をコンピュータに行わせるための解析プログラムであって、
前記解析処理は、
前記プロセスの少なくとも一部の期間における、前記真空ポンプのロータの回転駆動に関する物理量の積算値を前記プロセスごとに算出し、算出された積算値と所定のメンテナンス閾値との比較に基づいて、前記真空ポンプの堆積物による負荷についての情報を生成する情報生成処理を含む、解析プログラム。 - 内部で対象物に対するプロセスが行われる真空容器を排気する真空ポンプの解析処理をコンピュータに行わせるための解析プログラムであって、
前記解析処理は、
前記プロセスの少なくとも一部の期間における、前記真空ポンプのロータの回転駆動に関する物理量の積算値と、前記期間において前記真空容器にガスが導入された導入時間とに基づいて、前記真空ポンプの堆積物による負荷についての情報を生成する情報生成処理を含む、
解析プログラム。
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Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009287573A (ja) | 2009-09-09 | 2009-12-10 | Shimadzu Corp | ターボ分子ポンプおよびその故障予測方法 |
JP2011522166A (ja) | 2008-06-02 | 2011-07-28 | エドワーズ リミテッド | 真空圧送システム |
JP2020020272A (ja) | 2018-07-30 | 2020-02-06 | 株式会社島津製作所 | 堆積物監視装置および真空ポンプ |
WO2020194852A1 (ja) | 2019-03-27 | 2020-10-01 | 株式会社島津製作所 | ポンプ監視装置、真空ポンプおよび生成物堆積診断用データ処理プログラム |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7539549B1 (en) * | 1999-09-28 | 2009-05-26 | Rockwell Automation Technologies, Inc. | Motorized system integrated control and diagnostics using vibration, pressure, temperature, speed, and/or current analysis |
JP2004116328A (ja) * | 2002-09-25 | 2004-04-15 | Boc Edwards Technologies Ltd | 真空ポンプ |
KR101823696B1 (ko) * | 2010-05-21 | 2018-01-30 | 에드워즈 가부시키가이샤 | 배기 펌프의 퇴적물 검지 장치와, 그 장치를 구비한 배기 펌프 |
JP6766533B2 (ja) | 2016-09-06 | 2020-10-14 | 株式会社島津製作所 | 堆積物監視装置および真空ポンプ |
JP7022265B2 (ja) * | 2017-10-25 | 2022-02-18 | 株式会社島津製作所 | 真空ポンプ |
CN207946701U (zh) * | 2018-03-02 | 2018-10-09 | 江苏凯龙宝顿动力科技有限公司 | 一种电动真空泵控制器测量装置 |
JP2020041455A (ja) | 2018-09-07 | 2020-03-19 | 株式会社島津製作所 | ポンプ監視装置および真空ポンプ |
EP3660317B1 (de) * | 2018-11-28 | 2022-06-22 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vakuumgerät |
CN112946203B (zh) * | 2021-03-24 | 2022-08-30 | 厦门微控科技有限公司 | 一种使用氨水分析仪在线分析罐装氨水的系统 |
CN114106279A (zh) * | 2021-11-10 | 2022-03-01 | 广东轻工职业技术学院 | 一种有机硅改性聚氨酯的合成控制方法与系统 |
-
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-
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011522166A (ja) | 2008-06-02 | 2011-07-28 | エドワーズ リミテッド | 真空圧送システム |
JP2009287573A (ja) | 2009-09-09 | 2009-12-10 | Shimadzu Corp | ターボ分子ポンプおよびその故障予測方法 |
JP2020020272A (ja) | 2018-07-30 | 2020-02-06 | 株式会社島津製作所 | 堆積物監視装置および真空ポンプ |
WO2020194852A1 (ja) | 2019-03-27 | 2020-10-01 | 株式会社島津製作所 | ポンプ監視装置、真空ポンプおよび生成物堆積診断用データ処理プログラム |
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