CN114623066B - 真空泵的分析装置、真空泵及存储介质 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种真空泵的分析装置、真空泵及存储介质，可精度良好、且有效率地提供与堆积到真空泵的堆积物相关的信息。真空泵的分析装置对在内部进行对于对象物的工艺的真空容器进行排气，且所述真空泵的分析装置包括信息生成部，所述信息生成部基于工艺的至少一部分期间中与真空泵的转子的旋转驱动有关的物理量的累计值，生成与真空泵的由堆积物引起的负荷相关的信息。

Description

真空泵的分析装置、真空泵及存储介质

技术领域

本发明涉及一种真空泵的分析装置、真空泵及存储介质。

背景技术

在真空泵中，堆积物堆积到从真空容器排出的气体所流动的流路，因而负荷增大，排气能力可能降低。于在真空容器的内部进行半导体或液晶的蚀刻工艺等工艺的情况下，由于工艺中所生成的生成物流入真空泵，因此所述问题尤其显著。重要的是精度良好地检测堆积量的变化，事先采取维护等适当的对策来防止排气能力的降低及真空泵的故障。专利文献1中，在涡轮分子泵中，基于马达电流值来监视生成物的堆积状况。专利文献2中，基于马达电流值的实测波形与基准波形的比较结果，来进行由真空泵的负荷增大引起的异常的判定。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利特开2018-40277号公报

[专利文献2]日本专利特开2020-41455号公报

发明内容

[发明所要解决的问题]

理想的是精度良好、且有效率地获得与堆积到真空泵的堆积物相关的信息。

[解决问题的技术手段]

本发明的第一形态涉及一种真空泵的分析装置，其对在内部进行对于对象物的工艺的真空容器进行排气，且所述真空泵的分析装置包括信息生成部，所述信息生成部基于所述工艺的至少一部分期间中与所述真空泵的转子的旋转驱动有关的物理量的累计值，生成与所述真空泵的由堆积物引起的负荷相关的信息。

本发明的第二形态涉及一种真空泵，其包括第一形态的真空泵的分析装置。

本发明的第三形态涉及一种存储介质，其存储的分析程序用于使计算机进行对在内部进行对于对象物的工艺的真空容器进行排气的真空泵的分析处理，且所述分析程序中，所述分析处理包括信息生成处理，所述信息生成处理基于所述工艺的至少一部分期间中与所述真空泵的转子的旋转驱动有关的物理量的累计值，生成与所述真空泵的由堆积物引起的负荷相关的信息。

[发明的效果]

根据本发明，可精度良好、且有效率地提供与堆积到真空泵的堆积物相关的信息。

附图说明

图1是表示一实施形态的真空泵系统的概念图。

图2是表示泵控制部及主控制部的结构的概念图。

图3是用于说明马达电流的变化的概念图。

图4是表示一实施形态的真空泵的分析方法的流程的流程图。

图5是用于说明变形例的堆积物信息的概念图。

图6是用于说明分析程序的提供的概念图。

[符号的说明]

1：泵部

2：泵控制部

3：基座

21：马达控制部

25：分析部

30：泵壳体

31：固定叶片

38：排气管

41：旋转叶片

43：转速传感器

100：涡轮分子泵

200：主控制部

251：算出部

252：信息生成部

1000：真空泵系统

M：马达

具体实施方式

以下，参照图对用于实施本发明的形态进行说明。

-实施形态-

图1是表示本实施形态的真空泵系统的结构的概念图。真空泵系统1000包括涡轮分子泵100、以及主控制部200。涡轮分子泵100包括进行真空排气的泵部1、以及对泵部1进行驱动控制的泵控制部2。

泵部1具有：包括旋转叶片41及固定叶片31的涡轮泵段、以及包括圆筒部42及定子32的牵引泵段(螺纹槽泵段)。在螺纹槽泵段中，在定子32或圆筒部42形成有螺纹槽。作为旋转侧排气功能部的旋转叶片41及圆筒部42形成于泵转子4。泵转子4紧固于转子轴5。由泵转子4与转子轴5构成旋转体单元45。

多段固定叶片31相对于轴向与旋转叶片41交替地配置。各固定叶片31经由间隔环33而载置于基座3上。当将泵壳体30螺固于基座3时，所层叠的间隔环33被夹持于基座3与泵壳体30的卡止部30a之间，从而将固定叶片31定位。在基座3设置有形成了排气口38a的排气管38。在排气管38以能够排气的方式连接有未图示的前级泵(back pump)。

图1所示的涡轮分子泵100是磁悬浮式的涡轮分子泵，旋转体单元45由设置于基座3的磁轴承34、磁轴承35、磁轴承36非接触地支撑。磁轴承34、磁轴承35、磁轴承36包括轴承电磁铁、以及用于检测转子轴5的悬浮位置等的位移传感器。

旋转体单元45由马达M旋转驱动。马达M包括设置于基座3侧的马达定子10、以及设置于转子轴5侧的马达转子11。在磁轴承34、磁轴承35、磁轴承36未进行工作时，旋转体单元45由紧急用的机械轴承37a、机械轴承37b支撑。旋转体单元45的转速由配置于基座3的转速传感器43检测。由转速传感器43检测到的检测信号被输入到泵控制部2。此时，检测信号通过转速传感器43或泵控制部2而适宜地经模拟/数字(Analog/Digital，A/D)转换。

在基座3的外周设置有用于对基座3的温度进行控制的加热器51及未图示的冷却水配管。基座3的温度由温度传感器56检测。由泵控制部2基于由温度传感器56检测到的温度，利用加热器51及冷却水来控制基座3的温度。省略与温度控制相关的详细记载。

再者，加热器51、排气管38及温度传感器56等的配置并不特别限定于图1的形态。

图2是表示泵控制部2及主控制部200的结构的概念图。泵控制部2包括马达控制部21、轴承控制部22、存储部23、第一通信部24、以及分析部25。马达控制部21、轴承控制部22及分析部25是由处理装置物理性地构成。分析部25包括算出部251、以及信息生成部252。主控制部200包括第二通信部201、显示部202、输入部203、运转控制部204、以及输出控制部205。运转控制部204及输出控制部205是由处理装置物理性地构成。

泵控制部2与马达M及磁轴承34、磁轴承35、磁轴承36电性连接，并对马达M及磁轴承34、磁轴承35、磁轴承36进行控制。另外，泵控制部2作为真空泵的分析装置发挥功能。

马达控制部21基于由转速传感器43检测到的检测信号来推断转子轴5的转速，并基于所推断的转速将马达M控制为规定目标转速。当气体流量变大时，对泵转子4的负荷增加，因此马达M的转速降低。马达控制部21是设为以由转速传感器43检测到的转速与规定目标转速的差为零的方式对马达电流进行控制，由此维持规定目标转速(额定转速)。

轴承控制部22基于由配置于磁轴承34、磁轴承35、磁轴承36的位移传感器检测到的检测信号，来控制轴承电磁铁的动作。

存储部23包括存储介质，存储用于使泵控制部2执行处理的数据。存储部23可设为如下结构：存储用于进行后述的信息生成部252的分析处理的分析程序。所述情况下，通过使泵控制部2的存储器读入分析程序并使处理装置的中央处理器(Central ProcessingUnit，CPU)执行分析程序，而进行分析处理。若能够执行本实施形态的各处理，则处理装置的物理性结构并无特别限定。

第一通信部24包括能够与主控制部200的第二通信部201进行通信的通信装置。第一通信部24从主控制部200接收泵部1的各部的控制所需的信息、以及指示运转的开始或结束的信号等。第一通信部24将表示泵部1的各部的状态的信息、以及信息生成部252所生成的后述的堆积物信息等信息发送给第二通信部201。

分析部25对涡轮分子泵100的排气的负荷进行分析，并生成表示分析结果的信息。在从与涡轮分子泵100以能够排气的方式连接的真空容器排出的气体所流动的泵部1的流路，若堆积从真空容器流入的物质，则负荷增大。分析部25对由此种堆积物引起的排气的负荷进行分析。分析部25生成与涡轮分子泵100的由堆积物引起的负荷相关的信息。将所述信息称为堆积物信息。

分析部25于在真空容器的内部进行对于对象物的工艺时，生成堆积物信息。所述工艺若为有可能生成可能堆积到泵部1的流路的物质的工艺，则并无特别限定。在半导体或液晶的制造工艺、尤其是蚀刻工艺中，生成物堆积到泵部1的流路，从而成为排气的负荷的原因。因此，为了事先采取维护等适当的对策来防止排气能力的降低及真空泵的故障，因此分析部25优选为在进行此种工艺时生成堆积物信息。

分析部25的算出部251算出对于对象物的工艺中的、与旋转体单元45的旋转驱动有关的物理量的累计值。以下，在仅记载为累计值时，是指所述物理量的累计值。在本实施形态中，作为与旋转驱动有关的物理量，以与马达M相关的马达电流为例进行说明。

算出部251针对每一工艺算出累计值。算出部251优选为针对每一对象物、或者每一对于对象物进行的特定工艺，算出累计值。所谓特定工艺，可设为蚀刻工艺等容易产生生成物的工艺。算出部251优选为如量产品的制造工艺那样，在对各对象物反复进行同一工艺的情况下，针对各工艺算出累计值。

算出部251获取表示每一工艺的马达电流的马达电流数据。在马达电流数据中，示出有各时间的马达电流值。算出部251参照马达电流数据，提取与每一工艺对应的马达电流数据。

图3是用于说明本实施形态的累计值的算出方法的概念图。图3的曲线图表示在由涡轮分子泵100进行排气的真空容器的内部进行对于对象物的特定工艺P时的、各时间(横轴)的马达M的电流值(纵轴)。在从T1到T2的期间、从T2到T3的期间、从T3到T4的期间，分别对于不同的一个对象物进行第一要素工艺～第三要素工艺P1、P2、P3。通过进行第一要素工艺P1～第三要素工艺P3，而进行特定工艺P中的对于不同的对象物的工艺。如此，在本实施形态中，算出部251算出针对每一对象物进行特定工艺时的各工艺中的累计值。算出部251可在每次对于对象物进行工艺时、或者每次进行特定工艺时，针对要素工艺算出累计值。由于马达控制部21以维持额定转速的方式进行控制，因此当工艺所需的气体被导入真空容器而排气的负荷增大时，为了对此进行弥补而增加马达电流值。

再者，图3的曲线图是用于容易理解地进行说明的例示，本实施形态的分析方法并不限定于这些曲线图的内容。

算出部251基于马达电流值超出或低于预先设定的阈值的时间点，针对每一特定工艺P提取成为累计对象的马达电流数据。或者，算出部251基于马达电流值的上升或下降的梯度的值等，针对每一特定工艺P提取成为累计对象的马达电流数据。算出部251例如可从马达电流值超出马达电流的阈值C1的时间点及低于马达电流的阈值C1的时间点，提取图中的D1的期间作为成为要素工艺P1的马达电流值的累计对象的期间。或者，可基于马达电流值超出马达电流的阈值C2的时间点及低于马达电流的阈值C2的时间点，提取D2及D3的期间作为成为要素工艺P1的马达电流值的累计对象的期间。关于其他要素工艺P2、要素工艺P3也同样。如此，成为算出部251的累计对象的期间并不限于各要素工艺Pi(i在所述例子中为1、2、3的任一者)的全部期间，只要是进行各要素工艺Pi的至少一部分期间即可，若为进行一个工艺Pi的期间，则可连续也可间断。

再者，算出部251也可从主控制部200等获取各要素工艺Pi的开始或结束的时间，并基于所述时间，提取成为各要素进程Pi的累计对象的马达电流数据。

算出部251针对各要素工艺Pi对成为累计对象的期间的马达电流值进行累计，并使所获得的累计值存储于存储部23等。虚线S1示意性地示出仅供参考的、将T3到T4设为成为累计对象的期间、并从T3向T4将马达电流值加以累计时的与工艺P3相关的累计值。作为累计值，可适宜使用将噪声或背景等的贡献去除后的值。算出部251可将累计值与要素工艺Pi的编号或进行要素工艺Pi的日期等相关联来加以存储。可设为在进行维护等并去除堆积物后，重置要素工艺Pi的编号，从1开始计数。

返回到图2，分析部25的信息生成部252基于算出部251所算出的累计值来生成堆积物信息。信息生成部252使用所述累计值作为涡轮分子泵100的流路的堆积物的量或排气的负荷的指标，生成堆积物信息。就此含义而言，将累计值适宜称为堆积物指数。堆积物信息若为表示泵部1的流路中的堆积物的量、由堆积物引起的负荷的程度或维护的必要性等的信息，则其内容并无特别限定。以下，说明信息生成部252进行累计值是否超过预先规定的阈值的判定，并基于所述判定来生成包含是否需要维护的堆积物信息的例子。将所述阈值称为维护阈值。维护阈值被预先存储于存储部23等。

信息生成部252在算出部251所算出的累计值超过维护阈值的情况下，生成主旨是需要维护的堆积物信息，在累计值为维护阈值以下的情况下，生成主旨是不需要维护的堆积物信息。如此，信息生成部252作为判定是否需要如下措施的判定部发挥功能，所述措施用于防止伴随由堆积物引起的负荷增大的异常。换句话说，信息生成部252作为对由堆积物引起的异常的预兆进行检测的预兆检测部发挥功能。

再者，在利用维护阈值进行所述那样的判定的情况下，若根据基于维护阈值的条件进行判定，则其形态并无特别限定，例如也可不是“是否超过”而是“是否为以上”等。另外，并不限于维护的必要性，能够以防止任意程度的负荷的方式适宜设定阈值。

信息生成部252经由第一通信部24将堆积物信息发送给主控制部200。堆积物信息的表现方法及形式并无特别限定。例如，在堆积物信息中，可用二进制来表示是否需要维护等措施，也可用数值或符号等来阶段性地表示堆积物的量、由堆积物引起的负荷的程度或维护的必要性。或者，在堆积物信息中，也可用文字或文章来表示维护的必要性等。

主控制部200作为与真空泵系统1000的用户(以下，简称为“用户”)的接口发挥功能。

主控制部200的第二通信部201包括能够与泵控制部2的第一通信部24进行通信的通信装置。第二通信部201将泵部1的各部的控制所需的信息、以及指示运转的开始或结束的信号等发送给泵控制部2。第二通信部201从第一通信部24接收表示泵部1的各部的状态的信息、以及信息生成部252所生成的后述的堆积物信息等信息。

主控制部200的显示部202是包括液晶监视器等显示装置而构成。显示部202通过输出控制部205的控制而将堆积物信息等显示于显示装置。

主控制部200的输入部203包括鼠标、键盘、各种按钮或触摸屏等输入装置。输入部203从用户受理主控制部200或泵控制部2的处理所需的信息。

主控制部200的运转控制部204通过向泵控制部2发送信号来控制涡轮分子泵100的运转操作。例如，运转控制部204基于经由输入部203的输入等，来设定与涡轮分子泵100的运转有关的条件，并向泵控制部2发送信号，以使涡轮分子泵100以满足所述条件的方式进行动作。

再者，若可进行本实施形态的所述处理，则泵控制部2的马达控制部21、轴承控制部22及分析部25、以及主控制部200的运转控制部204及输出控制部205的物理性结构并无特别限定。

主控制部200的输出控制部205通过使堆积物信息显示于显示部202、或者经由第二通信部201发送堆积物信息，而输出堆积物信息。由信息生成部252进行的堆积物信息的生成及由输出控制部205进行的堆积物信息的输出可在预先规定的时间进行、或以预先规定的时间为间隔来进行，或者，也可在经由输入部203而有来自用户的输入时进行。堆积物信息的显示形态并无特别限定，可通过文字、文章、符号或图形等来表示堆积物信息的内容。也可使用弹出消息等在显示画面显示警告。

图4是表示本实施形态的真空泵的分析方法的流程的流程图。所述分析方法是通过配置于真空泵系统的处理装置而进行，可精度良好、且有效率地提供与堆积到真空泵的堆积物相关的信息。在步骤S1001中，运转控制部204向泵控制部2发送信号，开始由涡轮分子泵100进行的排气。当步骤S1001结束后，开始步骤S1003。在步骤S1003中，算出部251根据马达电流数据算出作为堆积物指数的累计值。当步骤S1003结束后，开始步骤S1005。

在步骤S1005中，信息生成部252基于堆积物指数生成堆积物信息。当步骤S1005结束后，开始步骤S1007。在步骤S1007中，输出控制部205输出堆积物信息。当步骤S1007结束后，处理结束。

再者，算出部251可在进行工艺时实时算出堆积物指数，也可根据所收集的马达电流数据通过批次处理算出堆积物指数。

根据所述实施形态，可获得下述作用效果。

(1)本实施形态的真空泵的分析装置(泵控制部2)及真空泵系统1000包括信息生成部252，所述信息生成部252基于对于对象物的要素工艺Pi的至少一部分期间(D1、D2及D3等)中的进行泵转子4的旋转驱动的马达M的马达电流的累计值，生成堆积物信息。由此，可精度良好、且有效率地提供与堆积到涡轮分子泵100的堆积物相关的信息。

(2)本实施形态的真空泵的分析装置(泵控制部2)针对每一对象物、或者每次进行对于对象物的特定工艺P(特定工艺)时，算出所述累计值。由此，可更准确地检测与泵转子4的旋转驱动有关的物理量的变化。

如下那样的变形也在本发明的范围内，能够与所述实施形态组合。在以下的变形例中，关于表示与所述实施形态相同的结构、功能的部位等，以同一符号进行参照，并适宜省略说明。

(变形例1)

在所述实施形态中，信息生成部252也可代替累计值而将累计值除以气体导入时间而得的值作为堆积物指数来生成堆积物信息。此处，所谓气体导入时间，是指成为累计对象的期间中的对由涡轮分子泵100进行排气的真空容器导入气体的时间。在气体导入时间内，排气的负荷增大。气体导入时间相当于马达电流上升的期间，在图3的要素工艺P1中，相当于D2与D3的和。例如，可从T1到T2将马达电流值加以累计，并将所获得的累计值除以气体导入时间D2+D3而得的值设为堆积物指数。除了气体导入时间以外，马达电流值有变小的倾向。因此，通过累计值除以气体导入时间，即便气体导入时间针对每一工艺P而有偏差，也可更准确地算出堆积物指数。也可在从累计值将噪声或背景等去除后，除以气体导入时间来设为堆积物指数。

在本实施形态的真空泵的分析装置(泵控制部2)中，信息生成部252基于累计值、与在对于对象物的要素工艺Pi中对真空容器导入气体的时间(气体导入时间)来生成堆积物信息。由此，即便气体导入时间针对每一要素工艺Pi而有偏差，也可使用根据气体导入时间而标准化后的阈值，因此即便在进行各种真空处理的情况下，也可精度良好、且有效率地提供与堆积到涡轮分子泵100的堆积物相关的信息。

再者，生成堆积物的状况也因气体种类而不同，因此理想的是针对每一气体种类来设定各种阈值。

(变形例2)

在所述实施形态中，作为堆积物信息，可包含与所预测的由将来的堆积物引起的负荷相关的信息。信息生成部252可根据存储于存储部23等的过去的堆积物指数的变化，导出将来的堆积物的量或维护时期等。

图5是用于说明本变形例的堆积物信息的生成的概念图。图5的曲线图中，横轴取进行工艺的次数，纵轴表示每一工艺的堆积物指数。在所述例子中，到目前为止进行了400次工艺，在曲线图中，用实线L1表示在比400少的次数中过去所算出的堆积物指数，用虚线L2表示在比400大的次数中所预测的堆积物指数。若进行工艺的次数增加，则堆积物指数会与堆积物的量的增加相应地增加。例如，信息生成部252可用规定的数式来表示堆积物指数的变化，根据过去所获得的堆积物指数来计算所述数式的系数并建模，由此预测将来的堆积物指数的变化。

(变形例3)

在所述实施形态中，算出部251将与旋转驱动有关的物理量设为马达电流来算出累计值。然而，与旋转驱动有关的物理量并不限定于此，可设为进行旋转驱动的马达的电力值或脉宽调制(Pulse Width Modulation，PWM)控制的占空比、或者表示作为旋转体单元45的轴的转子轴5的位移的量。关于这些值，也与所述同样地，可将累计值作为堆积物指数来使用，可发挥与所述实施形态相同的效果。转子轴5的位移可从配置于磁轴承34、磁轴承35、磁轴承36的位移传感器获取。作为表示泵转子的位移的量，也可使用表示位移的偏差的方差。

(变形例4)

在所述实施形态中，设为如下结构：由配置于泵控制部2的信息生成部252生成堆积物信息。然而，信息生成部252若通过通信等获得必要的数据，则可配置于任意的计算机。信息生成部252可配置于主控制部200，也可配置于位于与主控制部200及泵控制部2物理性地分离的位置的服务器、个人计算机或便携终端等。同样地，真空泵系统1000所使用的数据的一部分可保存于远程服务器等，由分析程序进行的运算处理的至少一部分可由远程服务器等进行。也可通过物理性地分离的两个以上的处理装置彼此强调地进行处理。

(变形例5)

在所述实施形态中，以磁悬浮型的涡轮分子泵的形式说明了涡轮分子泵100。然而，若为进行旋转驱动的真空泵、且堆积物有可能堆积到流路的泵，则可应用所述实施形态的真空泵的分析方法。例如，所述实施形态的分析方法也可应用于滚珠轴承型的涡轮分子泵。

(变形例6)

也可将用于实现真空泵系统1000的信息处理功能的程序记录于计算机能够读取的记录介质中，并使计算机系统读入并执行记录于所述记录介质的、与所述信息生成部252的处理及和其关联的处理的控制有关的程序。再者，此处所述的“计算机系统”是设为包括操作系统(Operating System，OS)或外围设备的硬件的系统。另外，所谓“计算机能够读取的记录介质”，是指软盘、磁光盘、光盘、存储卡等可移动型记录介质、内置于计算机系统的硬盘或固态驱动器(Solid State Drive，SSD)等存储装置。进而，所谓“计算机能够读取的记录介质”，也可包括如经由互联网等网络或电话线路等线路发送程序时的通信线那样在短时间的期间内动态地保持程序的介质、如所述情况下的成为服务器或客户端的计算机系统内部的易失性存储器那样在一定时间内保持程序的介质。另外，所述程序可为用于实现所述功能的一部分的程序，进而也可为通过与已经记录于计算机系统的程序的组合来实现所述功能的程序。

另外，在应用于个人计算机(Personal Computer，PC)等的情况下，与所述控制有关的程序可通过只读光盘(Compact Disc-Read Only Memory，CD-ROM)或只读式数字多功能光盘(Digital Video Disc-Read Only Memory，DVD-ROM)等记录介质或互联网等的数据信号来提供。图6是表示其情况的图。PC 950经由CD-ROM 953接受程序的提供。另外，PC 950具有与通信线路951的连接功能。计算机952是提供所述程序的服务器计算机，将程序储存于硬盘等记录介质。通信线路951是互联网、个人计算机通信等的通信线路、或专用通信线路等。计算机952使用硬盘读出程序，并经由通信线路951将程序发送给PC 950。即，利用载波将程序作为数据信号来传送，并经由通信线路951发送所述程序。如此，可将程序作为记录介质或载波等各种形态的计算机能够读入的计算机程序制品来供给。

(形态)

由本领域技术人员理解的是：所述多个例示性的实施形态或其变形是以下形态的具体例。

(第一项)一形态的真空泵的分析装置对在内部进行对于对象物的工艺的真空容器进行排气，且所述真空泵的分析装置包括信息生成部，所述信息生成部基于所述工艺的至少一部分期间中的与所述真空泵的转子的旋转驱动有关的物理量的累计值，生成与所述真空泵的由堆积物引起的负荷相关的信息。由此，所述分析装置可精度良好、且有效率地提供与堆积到真空泵的堆积物相关的信息。

(第二项)根据第一项的形态的真空泵的分析装置，在另一形态的真空泵的分析装置中，所述信息生成部可基于所述累计值、与在所述期间内向所述真空容器导入气体的导入时间来生成所述信息。由此，即便气体导入时间针对每一工艺而有偏差，所述分析装置也可精度良好地提供与堆积到真空泵的堆积物相关的信息。

(第三项)根据第二项的形态的真空泵的分析装置，在另一形态的真空泵的分析装置中，所述信息生成部可基于所述累计值除以所述导入时间而得的值来生成所述信息。由此，即便气体导入时间针对每一工艺而有偏差，所述分析装置也可进而精度良好地提供与堆积到真空泵的堆积物相关的信息。

(第四项)根据第一项至第三项的任一项的形态的真空泵的分析装置，在另一形态的真空泵的分析装置中，所述累计值是针对每一所述对象物、或者每次对所述对象物进行特定工艺时算出。由此，所述分析装置可符合条件地、进而精度良好地提供与堆积到真空泵的堆积物相关的信息。

(第五项)根据第二项的形态的真空泵的分析装置，在另一形态的真空泵的分析装置中，所述物理量可设为进行所述旋转驱动的马达的电流值、电力值或PWM控制的占空比、或者表示所述转子的轴的位移的量。由此，所述分析装置可利用这些值的特征，提供与堆积到真空泵的堆积物相关的信息。

(第六项)根据第一项至第五项的任一项的形态的真空泵的分析装置，在另一形态的真空泵的分析装置中，所述真空泵可设为涡轮分子泵。在涡轮分子泵中，由于堆积物可能堆积到流路，因此可特别优选地应用所述形态。

(第七项)一形态的真空泵包括第一项至第六项的任一项的形态的真空泵的分析装置。由此，所述真空泵可精度良好、且有效率地提供与堆积到真空泵的堆积物相关的信息。

(第八项)一形态的分析程序用于使计算机进行对在内部进行对于对象物的工艺的真空容器进行排气的真空泵的分析处理，且所述分析程序中，所述分析处理包括信息生成处理(对应于图4的流程图的步骤S1005)，所述信息生成处理基于所述工艺的至少一部分期间中的与所述真空泵的转子的旋转驱动有关的物理量的累计值，生成与所述真空泵的由堆积物引起的负荷相关的信息。由此，所述计算机可精度良好、且有效率地提供与堆积到真空泵的堆积物相关的信息。

上文中，说明了各种实施形态及变形例，但本发明并不限定于这些内容。另外，各实施形态及变形例可分别单独应用，也可组合使用。在本发明的技术思想范围内考虑到的其他形态也包含于本发明的范围内。

Claims (6)

1.一种真空泵的分析装置，其对在内部进行对于对象物的工艺的真空容器进行排气，且其特征在于，

所述真空泵的分析装置包括信息生成部，所述信息生成部基于所述工艺的至少一部分期间中与所述真空泵的转子的旋转驱动有关的物理量的累计值，生成与所述真空泵的由堆积物引起的负荷相关的信息，其中

所述信息生成部基于所述累计值除以在所述期间内向所述真空容器导入气体的导入时间而得的值来生成所述信息。

2.根据权利要求1所述的真空泵的分析装置，其特征在于，

所述累计值是针对每个所述对象物、或者每次对所述对象物进行特定工艺时算出。

3.根据权利要求1所述的真空泵的分析装置，其特征在于，

所述物理量是进行所述旋转驱动的马达的电流值、或脉宽调制控制的占空比、或者表示所述转子的轴的位移的量。

4.根据权利要求1所述的真空泵的分析装置，其特征在于，

所述真空泵是涡轮分子泵。

5.一种真空泵，其特征在于，包括根据权利要求1所述的真空泵的分析装置。

6.一种存储介质，其存储的分析程序用于使计算机进行对在内部进行对于对象物的工艺的真空容器进行排气的真空泵的分析处理，且其特征在于，所述分析程序中，

所述分析处理包括信息生成处理，所述信息生成处理基于所述工艺的至少一部分期间中与所述真空泵的转子的旋转驱动有关的物理量的累计值，生成与所述真空泵的由堆积物引起的负荷相关的信息，其中

所述信息生成处理基于所述累计值除以在所述期间内向所述真空容器导入气体的导入时间而得的值来生成所述信息。