JP2018040277A - 堆積物監視装置および真空ポンプ - Google Patents

Abstract

【課題】堆積量が過剰か否かの判定をより正確に行うことができる堆積物監視装置の提供。
【解決手段】堆積物監視部２５は、ポンプ本体１の排気状態が所定排気状態かを判定する、すなわち、通ガス状態またはガス流の殆ど無い状態のいずれにおける排気状態かを判定する状態判定部としての取得部２５１と、ポンプ内の堆積物の量を表す堆積量指標であるモータ電流値Ｉが入力され、所定排気状態における堆積量指標Ｉが許容堆積閾値以上のときに堆積過剰と判定する判定部２５２と、を備える。
【選択図】図２

Description

本発明は、堆積物監視装置および真空ポンプに関する。

半導体や液晶のエッチングプロセスでは、反応生成物がポンプ内部に付着し堆積した結果、ポンプロータと堆積物とが接触することによる損傷や、装置メンテナンス後にポンプを再起動できない等の問題があった。

ポンプ内部に生成物が堆積すると、排気流路が部分的に閉塞気味になることで局所的に圧力が上昇する。そのため、ポンプ吸気口圧やガス流量が同一条件であってもモータ負荷が増加し、モータ電流値の変化に基づいて生成物の堆積状況を推定することが可能となる。

しかし、複数のプロセスが行われる製造プロセスでは、複数のプロセスガスと処理時間の組み合わせで設定されたプロセスステップが多数存在し、それらが切り替わりながら繰り返されるプロセスとなる。そのため、モータ電流現在値自体が短時間で変化し、同一条件のプロセス中でも電流値が若干の幅を持って変化するので、モータ電流現在値の変化量に対して閾値を設定することが困難となる。

そこで、生成物の堆積状況を正確に検出する方法として、特許文献１に記載の発明のような方法が提案されている。この検出方法では、ポンプに流すガス流量とガス種を一定に設定するヘルスチェックモードを設けて、そのときに検出されるモータ電流値現在値の変化量を用いるようにしている。

国際公開第２０１１／１４５４４４号

しかし、そのようなヘルスチェックモードを設けるためには、測定用のガス供給装置を備える負担や、装置の操作モードの追加や変更等の負担が発生し、コストアップが問題となる。

本発明の好ましい実施形態による堆積物監視装置は、ロータをモータで回転駆動してガスを排気する真空ポンプの堆積物監視装置であって、前記真空ポンプが所定排気状態か否かを判定する状態判定部と、ポンプ内の堆積物の量を表す堆積量指標が入力され、前記所定排気状態における前記堆積量指標が許容堆積閾値以上のときに堆積過剰と判定する堆積量判定部と、を備える。
さらに好ましい実施形態では、前記所定排気状態は、前記真空ポンプにガスが流入される通ガス状態、または、前記真空ポンプにガスが流入されない非通ガス状態のいずれか一方である。
さらに好ましい実施形態では、前記堆積量指標には、前記モータのモータ電流値および前記真空ポンプの吸気口側に設けられたバルブの開度のいずれか一方が用いられ、前記状態判定部は、前記モータ電流値および前記バルブの開度のいずれか一方に基づいて前記通ガス状態および前記非通ガス状態を判定する。
本発明の好ましい実施形態による堆積物監視装置は、ロータをモータで回転駆動してガスを排気する真空ポンプの堆積物監視装置であって、前記真空ポンプにガスが流入される所定通ガス状態における第１のモータ電流値と、前記所定通ガス状態の直前または直後の非通ガス状態における第２のモータ電流値とを取得する取得部と、前記第１のモータ電流値と前記第２のモータ電流値との差分が所定閾値以上の場合に、前記真空ポンプの堆積物の堆積量が過剰であると判定する判定部と、を備える。
本発明の好ましい実施形態による真空ポンプは、ロータと、前記ロータを回転駆動するモータと、前記堆積物監視装置のいずれかと、を備える。

本発明によれば、精度良く堆積量の変化を検出することができ、堆積量が過剰か否かの判定をより正確に行うことができる。

図１は、ターボ分子ポンプのポンプ本体１の概略構成を示す断面図である。 図２は、コントロールユニット２の一例を説明するブロック図である。 図３は、ロータ電流値の時間的変化の一例を示す図である。 図４は、サンプリングデータの分布を示す図である。 図５は、モータ電流値Ｉａに時間変換を説明する図である。 図６は、第２の実施の形態を説明するブロック図である。 図７は、生成物堆積によるポンプ吸気口圧Ｐin、チャンバ圧力Ｐｃ、バルブ開度αの時間変化を示す図である。 図８は、Ａ，Ｂ，Ｃのプロセスを行う際の圧力調整バルブの開度変化を示す図である。

以下、図を参照して本発明を実施するための形態について説明する。
−第１の実施の形態−
図１は本発明の一実施の形態を示す図であり、ターボ分子ポンプのポンプ本体１の概略構成を示す断面図である。ポンプ本体１は、図２に示すコントロールユニット２によって制御される。

ポンプ本体１は、回転翼４１と固定翼３１とで構成されるターボポンプ段と、円筒部４２とステータ３２とで構成されるネジ溝ポンプ段とを有している。ネジ溝ポンプ段においては、ステータ３２または円筒部４２にネジ溝が形成されている。回転翼４１および円筒部４２はポンプロータ４ａに形成されている。ポンプロータ４ａはシャフト４ｂに締結されている。ポンプロータ４ａとシャフト４ｂとによって回転体ユニット４が構成される。

軸方向に配置された複数段の回転翼４１に対して、複数段の固定翼３１が交互に配置されている。各固定翼３１は、スペーサリング３３を介してベース３上に載置される。ポンプケーシング３０をベース３にボルト固定すると、積層されたスペーサリング３３がベース３とポンプケーシング３０の係止部３０ａとの間に挟持され、固定翼３１が位置決めされる。

シャフト４ｂは、ベース３に設けられた磁気軸受３４，３５，３６によって非接触支持される。詳細な図示は省略したが、各磁気軸受３４〜３６は電磁石と変位センサとを備えている。変位センサによりシャフト４ｂの浮上位置が検出される。シャフト４ｂ、の回転数（１秒当たりの回転数）は、回転センサ４３によって検出される。

シャフト４ｂはモータ１０により回転駆動される。モータ１０は、ベース３に設けられたモータステータ１０ａと、シャフト４ｂに設けられたモータロータ１０ｂとから成る。磁気軸受が作動していない時には、シャフト４ｂは非常用のメカニカルベアリング３７ａ，３７ｂによって支持される。回転体ユニット４がモータ１０により高速回転されると、ポンプ吸気口側のガスは、ターボポンプ段（回転翼４１、固定翼３１）およびネジ溝ポンプ段（円筒部４２、ステータ３２）により順に排気され、排気ポート３８から排出される。

ベース３には、ステータ３２を温度調整するためのヒータ５および冷却装置７が設けられている。図１に示す例では、冷却装置７として、冷媒が流通する流路が形成された冷却ブロックが設けられている。図示していないが、冷却装置７の冷媒流路には冷媒流入のオンオフを制御する電磁弁が設けられている。ベース３にはベース温度センサ６が設けられている。なお、図１に示す例では、ベース温度センサ６をベース３に設けているがステータ３２に設けるようにしても良い。

図２は、コントロールユニット２の一例を説明するブロック図である。ポンプ本体１はコントロールユニット２によって駆動制御される。上述したように、ポンプ本体１には磁気軸受３４〜３６、モータ１０、温度調整用のヒータ５、冷却装置７およびベース温度センサ６が設けられている。ヒータ５、冷却装置７およびベース温度センサ６は、コントロールユニット２に設けられた温度制御部２２に接続されている。温度制御部２２は、ベース温度センサ６で検出されるベース温度が所定目標温度Ｔ１となるようにヒータ５による加熱および冷却装置７による冷却を制御する。所定目標温度Ｔ１は、入力部２３を介して温度制御部２２に入力される。

コントロールユニット２には、上述した温度制御部２２および入力部２３の他に、モータ１０を制御するモータ制御部２０、磁気軸受３４〜３６を制御する軸受制御部２１、モータ電流値を検出する電流検出部２４、モータ電流値に基づいて生成物の堆積状況を監視する堆積物監視部２５を備えている。堆積物監視部２５には、取得部２５１、判定部２５２、表示部２５３を備えている。

本実施の形態では、電流検出部２４で検出されるモータ電流値の大きさを、生成物の堆積状況の指標として使用する。そして、モータ電流値が所定の閾値を超えたか否かを判定部２５２で判定する。閾値を超えたと判定した場合には、判定部２５２は、表示部２５３に警報表示を行わせると共に、警報信号Ｓを出力する。

次に、堆積部監視方法について説明する。ポンプ内部に生成物が堆積すると、排気流路が部分的に閉塞気味になることで局所的に圧力が上昇する。図１に示すターボ分子ポンプの場合、ポンプベース側の排気流路やステータ３２の部分に堆積しやすく、ポンプ背圧側の圧力が上昇し、ポンプ吸気口圧やガス流量が同一条件であっても、回転体の負荷が増加する。その結果、モータ電流値が増加することになる。また、回転体自体に生成物が付着した場合も、モータ電流値が増加する。そのため、モータ電流値の変化に基づいて生成物の堆積状況を推定することができる。

ところで、現在の製造プロセスでは複数のプロセスガスと処理時間の組み合わせで設定されたプロセスステップが多数存在し、それらが切り替わりながら繰り返されるプロセスとなるため、モータ電流値が短時間で変化する。そのため、モータ電流値を堆積量指標として使用し、堆積量に応じて増加するモータ電流値の大きさに基づいて堆積物が許容量以上か否かを判定する場合には、同一のポンプ使用条件におけるモータ電流値をサンプリングする必要がある。

図３は、複数のプロセスが行われる場合のロータ電流値の時間的変化の一例を示す図である。曲線Ｌ１はモータ電流値を示す。なお、曲線Ｌ１上に示した複数の黒丸はサンプリングデータを示している。図３に示す例では、一回の処理において符号Ａ、Ｂ、Ｃで示す３つのプロセスが行われ、それらが繰り返し実行されることになる。

各プロセスは、ガスの種類、処理圧力、処理時間がそれぞれ異なっているためポンプ負荷がそれぞれ異なり、電流検出部２４で検出されるモータ電流値もそれぞれ異なる。図２では図示しなかったが、ポンプ本体１とプロセスチャンバとの間には開度調整可能な圧力調整バルブが設けられ、各プロセス時にはプロセスチャンバ内の圧力がそれぞれの処理圧力となるように圧力調整バルブの開度が調整される。図３に示す例では、Ａプロセスにおけるモータ電流値はＩａ、Ｂプロセスにおけるモータ電流値はＩｂ、Ｃプロセスにおけるモータ電流値はＩｃであり、Ｉａ＞Ｉｃ＞Ｉｂである。

各プロセスの前後においては処理ガスの流入が停止され、プロセスチャンバ内の圧力をいったん低下させるために圧力調整バルブの開度を大きくする。図３では、ｔ２〜ｔ３、ｔ４〜ｔ５、ｔ６〜ｔ７の期間において処理ガスの流入が停止されバルブ開度が大きくされる。そのため、この期間においてはモータ電流値がＩａ〜Ｉｃよりも低下する。このようなプロセスにおいて真空ポンプを長期間使用すると、前述したように生成物の堆積量が増加し、それにつれてモータ電流値が増加する。ただし、図３に示すような短時間における電流変化は非常に小さく、特に、処理を開始してからそれほど時間が経過していない堆積量がほぼゼロとみなせる期間では、モータ電流値の変化はほとんどゼロとみなしても良い。

（ポンプ使用条件の判定方法）
図３に示すように、プロセスに応じてモータ電流値が異なり、また、プロセス中と非プロセス中とではモータ電流値が大きく異なる。例えば、ポンプメンテナンス後の処理開始直後においては、生成物堆積の影響のないモータ電流値Ｉａ，Ｉｂ，ＩｃがＡプロセス、Ｂプロセス、Ｃプロセスにおいて検出される。各モータ電流値Ｉａ，Ｉｂ，Ｉｃが継続時間して検出される時間は、各プロセスの処理時間（すなわち、処理ガスが流される期間）にほぼ対応している。また、Ａ，Ｂ，Ｃプロセスのプロセス間には、電流値が大きく低下する期間（すなわち、処理ガスが流れていない期間）が存在する。

任意の一定期間（例えば、図３の時刻ｔ１から時刻ｔ７までの期間よりも長い期間）にサンプリングされた多数のモータ電流値の分布を見ると、図４に示すように電流値Ｉａ，Ｉｂ，Ｉｃ，Ｉ０の近傍にデータが集まっている。最も電流値の大きなデータ群Ｇ１はＡプロセス中にサンプリングされたものであり、最も電流値の小さなデータ群Ｇ２はガス流入が無いときにサンプリングされたものであると考えることができる。すなわち、データ群Ｇ１の電圧平均値を算出するとほぼＩａとなり、データ群Ｇ２の電圧平均値を算出するとほぼＩ０となる。もちろん、データ群Ｇ１のいずれか一つのデータの電流値を堆積量指標としてのモータ電流値Ｉａとし、データ群Ｇ２のいずれか一つのデータの電流値を堆積量指標としてのモータ電流値Ｉ０としても良い。

なお、以下では、電圧平均値を用いる場合もばらついている個々のモータ電流値を用いる場合も、モータ電流値Ｉａと記載することにする。

上述したように、堆積量指標としてのモータ電流値Ｉａは、図５のＩab、Ｉacのようにポンプ使用時間の経過と共に増加し、曲線Ｌ２のように変化する。電流値Ｉmaxは、生成物の堆積量が許容堆積量に達したとき（時刻ｔ１０）のモータ電流値である。モータ電流値のサンプリングと、Ａプロセスのモータ電流値Ｉａの抽出は、堆積物監視部２５の取得部２５１で行われる。取得されたモータ電流値Ｉａは判定部２５２へ入力され、判定部２５２においてIａ≧Ｉmaxか否かを判定する。判定部２５２でIａ≧Ｉmaxと判定されると、判定部２５２は上述したように警報信号Ｓを出力すると共に、表示部２５３に警報表示を行わせる。

上述した説明では、検出された多数のモータ電流値からモータ電流値Ｉａを抽出してＡプロセスを検出するようにしたが、モータ電流値ＩｂまたはＩｃを抽出してＢまたはＣプロセスを抽出する場合も、同様に考えることができる。

なお、図４の電流値Ｉ０のデータを抽出して、ガスが流れていない場合を検出しても構わない。しかし、堆積量の増加に対するモータ電流値の増え方はガス流量が大きい場合ほど顕著になるので、ガス流量の最も大きなＡプロセスにおけるモータ電流値で生成物の堆積量を判定するのが最も好ましい。

（変形例）
上述した実施の形態では、図４に示すような方法でＡプロセスのモータ電流値を抽出した。変形例では、ガスがポンプに流入している状態におけるモータ電流値とガスが流れていない状態におけるモータ電流値との差分ΔＩを求め、その差分ΔＩが予め設定された差分閾値（堆積量が過剰か否かを判定する閾値）ΔＩth以上となったならば、生成物が過剰に堆積していると判断する。

図３の電流値Ｉ１は、ガスが流れているＡプロセス中のサンプリングデータＰを抽出するための閾値である。一方、電流値Ｉ２は、ガスが流れていない場合のサンプリングデータＰを抽出するための閾値である。検出されたモータ電流値ＩがＩ＞Ｉ１であれば、Ａプロセス中のサンプリングデータであると判定する。また、Ｉ＜Ｉ２であれば、ガスが流れていない場合のサンプリングデータであると判定する。

図３に示す例では、抽出範囲をｔ＝０からｔ３までとすると、Ｉ＜Ｉ２のデータとして２つのサンプリングデータＰ１，Ｐ４が抽出され、Ｉ＞Ｉ１のデータとしてＰ２からＰ３までの５つのサンプリングデータが抽出される。そして、抽出されたサンプリングデータの内、Ｉ＜Ｉ２のデータとＩ＞Ｉ１のデータとが連続している場合を、判定用のデータセットとして抽出する。すなわち、サンプリングデータＰ１，Ｐ２がデータセットとして抽出され、サンプリングデータＰ３，Ｐ４が他のデータセットとして抽出される。

サンプリングデータＰ１，Ｐ２に対しては、サンプリングデータＰ２のモータ電流値からサンプリングデータＰ１のモータ電流値Ｉ０を減算したものが差分ΔＩ（≒Ｉａ―Ｉ０）とされる。一方、サンプリングデータＰ３，Ｐ４に関しては、サンプリングデータＰ３のモータ電流値ＩａからサンプリングデータＰ４のモータ電流値を減算したものが差分ΔＩとされる。ポンプ内に生成物が堆積すると真空ポンプの負荷が増加する。ただし、真空ポンプの排気するガスの流量が少ないと堆積量の増加に対する負荷増加量が非常に少なく、ガス流量が大きくなるに従って、堆積量増加に伴う負荷増加量が大きくなる。すなわち、堆積量が増加するに従って差分ΔＩも大きくなる。取得部２５１は、取得したサンプリングデータに基づいて差分ΔＩを算出する。差分ΔＩは判定部２５２において差分閾値ΔＩthと比較され、ΔＩ≧ΔＩthの場合には生成物が過剰に堆積していると判断される。

−第２の実施の形態−
図６は、第２の実施の形態を説明するブロック図である。ポンプ本体１は、ポンプ本体１の吸気口フランジ３０ｂ（図１参照）には、開度調整によりコンダクタンス可変な圧力調整バルブ１００が設けられている。ポンプ本体１は圧力調整バルブ１００を介してエッチング装置等のチャンバ（不図示）に装着される。チャンバ圧力の制御は、チャンバに流入されるガスと圧力調整バルブ１００の開度αとを調整することにより行われる。堆積物監視部２５の取得部２５１は、モータ電流値の他に圧力調整バルブ１００からの開度αを取得する。その他の構成は、図２に示した構成と同様である。

図７は、生成物堆積によるポンプ吸気口圧Ｐin、チャンバ圧力Ｐｃ、バルブ開度αの時間変化を示したものである。すなわち、同一のポンプ運転状態における、例えば、図３に示したＡプロセスにおけるポンプ吸気口圧Ｐin、チャンバ圧力Ｐｃ、バルブ開度αを示している。時間ｔの経過と共に生成物の堆積量が増加する従い、ポンプ吸気口圧Ｐinは徐々に上昇する。

一方、チャンバ圧力Ｐｃは、バルブ開度αを調整することによりＡプロセスに要求される圧力に保持される。ポンプ吸気口圧Ｐinは図７（ａ）に示すように徐々に増加するので、ポンプ吸気口圧Ｐinの増加に応じてバルブ開度αを徐々に大きくして、チャンバ圧力Ｐｃを所定の圧力に保持するようにしている。時刻ｔ１は生成物の堆積量が許容上限堆積量となる時刻であり、そのときの開度はαa1である。

このように、圧力調整バルブ１００の開度αは、堆積量の変化に応じて敏感に変化するので、本実施の形態では、開度αを堆積量の指標として使用し、堆積量が許容上限堆積量を超えるタイミングを検出するようにした。判定部２５２は、圧力調整バルブ１００から入力される開度αが、堆積量が許容上限堆積量となるα１を超えたならば、表示部２５３に警報表示を行うとともに警報信号Ｓを出力する。

第１の実施の形態の図３のように、三種類のプロセス（Ａ，Ｂ，Ｃ）が行われる場合には、圧力調整バルブ１００の開度αは図８のように変化する。図８は、図３に示すＡ，Ｂ，Ｃのプロセスを行う際の圧力調整バルブ１００の開度変化を示したものである。Ａプロセスの開始前（ｔ＜ｔ１）においては、チャンバ圧力が十分低くなるように、開度α0は１００％か１００％に近い開度に制御される。Ａプロセス、ＢプロセスおよびＣプロセスにおいては、それぞれ開度αａ、αｂ、αｃに制御される。

堆積量の指標を開度αとした場合も、サンプリングされた開度αがαａ、αｂ、αｃ、α１であるかの判定は、第１の実施の形態のモータ電流値を指標として用いる場合と同様に、図４に示すような分布を参照することで行うことができる。例えば、Ａプロセスにおける開度αａを抽出してその変化を監視する場合には、開度αａが図７に示す開度αa1以上となったならば、表示部２５３に警報表示を行うとともに警報信号Ｓを出力する。

第２の実施の形態の場合も、上述した変形例の場合と同様の考え方で、ガスがポンプに流入している状態における開度αａとガスが流れていない状態における開度α０との差分Δαを求め、その差分Δαが予め設定された差分閾値（堆積量が過剰か否かを判定する閾値）Δαth以上となったならば、生成物が過剰に堆積していると判断するようにしても良い。

図８の開度α１はＡプロセス中のサンプリングデータＰを抽出するための閾値であり、計測された開度αがα＜α１であれば、Ａプロセス中のサンプリングデータであると判定する。また、開度α２は、開度α０（すなわち、ガスが流れていない場合）のサンプリングデータＰを抽出するための閾値であり、計測された開度αがα＞α２であれば、開度α０のサンプリングデータであると判定する。

なお、サンプリングデータＰをサンプリング時のポンプ運転状態がＡプロセスか否かを判定する際には開度αを使用し、第１の実施の形態のように、堆積量指標としてはモータ電流値を用いるようにしても良い。この場合、モータ電流値が電流値Ｉmax以上か否かで、生成物の堆積量が過剰か否かを判定する。

逆に、サンプリングデータＰをサンプリング時のポンプ運転状態がＡプロセスか否かの判定にはモータ電流値を用い、堆積量指標として開度αを用いても良い。

（１）以上のように、第１および第２の実施の形態では、堆積物監視部２５は、ポンプ本体１の排気状態が所定排気状態かを判定する、すなわち、図３に示すＡプロセス、Ｂプロセス、Ｃプロセスまたはガス流の殆ど無い状態のいずれにおける排気状態かを判定する状態判定部としての取得部２５１と、ポンプ内の堆積物の量を表す堆積量指標であるモータ電流値Ｉａが入力され、所定排気状態であるＡプロセスにおける堆積量指標Ｉａが許容堆積閾値Ｉmax以上のときに堆積過剰と判定する判定部２５２と、を備える。

このように、堆積量指標Ｉａは同一の所定排気状態であるＡプロセスにおいて計測されたモータ電流値であるので、このモータ電流値Ｉａを中長期的に取得することにより、短時間におけるモータ電流値現在値のばらつきなどの影響を低減することができる。その結果、生成物堆積によるモータ電流値の変化をより精度良く計測することができ、堆積量が過剰か否かの判定をより正確に行うことができる。

（２）なお、所定排気状態としては、上述したＡプロセス、Ｂプロセス、Ｃプロセスのような真空ポンプにガスが流入される通ガス状態だけでなく、プロセス間のように真空ポンプにガスが流入されない非通ガス状態であっても良い。

（３）また、堆積量指標には、モータ電流値Ｉおよび圧力調整バルブ１００の開度αのいずれか一方が用いられ、状態判定部として機能する取得部２５１は、モータ電流値Ｉおよび圧力調整バルブ１００の開度αのいずれか一方に基づいて通ガス状態および非通ガス状態を判定する。

（４）また、変形例に記載したように、堆積物監視部２５は、ポンプ本体１にガスが流入される所定通ガス状態（例えば、Ａプロセス）における第１のモータ電流値Ｉａと、通ガス状態の直前または直後の非通ガス状態における第２のモータ電流値Ｉ０とを取得する取得部２５１と、第１のモータ電流値Ｉａと第２のモータ電流値Ｉ０との差分ΔＩが所定閾値ΔＩth以上の場合に、堆積物の堆積量が過剰であると判定する判定部２５２と、を備える。

このように、所定通ガス状態（Ａプロセス）に関して、所定通ガス状態とその直前または直後の非通ガス状態量との間のモータ電流値の差分ΔＩを用いて堆積量が過剰であるか否かを判定しているので、同一状態における差分ΔＩの堆積量の増加に起因する変化をより精度良く検出することができる。その結果、堆積量が過剰か否かの判定をより正確に行うことができる。

なお、ポンプ内の堆積物の量を表す堆積量指標として、上述した差分ΔＩの代わりに、モータ電流値Ｉａとモータ電流値Ｉａの初期値Ｉa0との差分を用いても良い。ここで、モータ電流値Ｉａの初期値Ｉa0とは、ポンプ使用開始時の堆積量ゼロの場合におけるモータ電流値である。また、バルブ開度αａとその初期値αa0との差分を、堆積量指標として用いても良い。初期値αa0は、図７（ｂ）に示すように、堆積量ゼロの場合のＡプロセスにおけるバルブ開度である。

上記では、種々の実施の形態および変形例を説明したが、本発明はこれらの内容に限定されるものではない。例えば、上述の実施の形態では真空ポンプとして磁気軸受式のターボ分子ポンプを例に説明したが、磁気軸受式でなくても良い。さらに、ターボ分子ポンプ以外の真空ポンプにも適用が可能である。本発明の技術的思想の範囲内で考えられるその他の態様も本発明の範囲内に含まれる。

１…ポンプ本体、２…コントロールユニット、４…回転体ユニット、４ａ…ポンプロータ、１０…モータ、２５…堆積物監視部、３０ｂ…吸気口フランジ、１００…圧力調整バルブ、２５１…取得部、２５２…判定部、２５３…表示部、α…開度

Claims (5)

1. ロータをモータで回転駆動してガスを排気する真空ポンプの堆積物監視装置であって、
   前記真空ポンプが所定排気状態か否かを判定する状態判定部と、
   ポンプ内の堆積物の量を表す堆積量指標が入力され、前記所定排気状態における前記堆積量指標が許容堆積閾値以上のときに堆積過剰と判定する堆積量判定部と、を備える堆積物監視装置。
2. 請求項１に記載の堆積物監視装置において、
   前記所定排気状態は、前記真空ポンプにガスが流入される通ガス状態、または、前記真空ポンプにガスが流入されない非通ガス状態のいずれか一方である堆積物監視装置。
3. 請求項２に記載の堆積物監視装置において、
   前記堆積量指標には、前記モータのモータ電流値および前記真空ポンプの吸気口側に設けられたバルブの開度のいずれか一方が用いられ、
   前記状態判定部は、前記モータ電流値および前記バルブの開度のいずれか一方に基づいて前記通ガス状態および前記非通ガス状態を判定する、堆積物監視装置。
4. ロータをモータで回転駆動してガスを排気する真空ポンプの堆積物監視装置であって、
   前記真空ポンプにガスが流入される所定通ガス状態における第１のモータ電流値と、前記所定通ガス状態の直前または直後の非通ガス状態における第２のモータ電流値とを取得する取得部と、
   前記第１のモータ電流値と前記第２のモータ電流値との差分が所定閾値以上の場合に、前記真空ポンプの堆積物の堆積量が過剰であると判定する判定部と、を備える堆積物監視装置。
5. ロータと、
   前記ロータを回転駆動するモータと、
   請求項１から請求項４までのいずれか一項に記載の堆積物監視装置と、を備える真空ポンプ。

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