JP7164981B2 - 真空ポンプ - Google Patents
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Description
図1は、本発明を適用した真空ポンプ(その1)の断面図、図3は、図1または図2、図4の真空ポンプを制御するポンプコントローラの説明図である。
図1の真空ポンプP1では、回転体2の略中間より上流が複数の翼排気段16として機能する。以下、複数の翼排気段16を詳細に説明する。
以上の構成からなる複数の翼排気段16において、最上段の翼排気段16(16-1)では、駆動モータ15の起動により、回転軸12および回転体2と一体に複数の回転翼18が高速で回転し、回転翼18の回転方向前面かつ下向き(吸気口5から排気口6に向かう方向、以降下向きと略する)の傾斜面により吸気口5から入射したガス分子に下向き方向かつ接線方向の運動量を付与する。このような下向き方向の運動量を有するガス分子が、固定翼19に設けられている回転翼18と回転方向に逆向きの下向きの傾斜面によって、次の翼排気段16(16-2)へ送り込まれる。
図1の真空ポンプP1は、回転体2の略中間より下流がネジ溝ポンプ段17として機能する。以下、ネジ溝ポンプ段17を詳細に説明する。
先に説明した複数の翼排気段16での排気動作による移送によって最終隙間GE(ブレード間排気流路7Aの出口)に到達したガス分子は、ネジ溝排気流路7Bに移行する。移行したガス分子は、回転体2の回転によって生じるドラッグ効果によって、遷移流から粘性流に圧縮されながらポンプ内排気口側流路7Cに向かって移行する。そして、ポンプ内排気口側流路7Cに到達したガス分子は排気口6に流入し、図示しない補助ポンプを通じて外装ケース1の外へ排気される。
以上の説明から分かるように、図1の真空ポンプP1は、ブレード間排気流路7A、最終隙間GE、ネジ溝排気流路7B、および、ポンプ内排気口側流路7Cを含んで構成されるガスの流路7を備え、この流路7を通ってガスは吸気口5から排気口6に向かって移行する。
《ポンプコントローラ26の説明》
図1の真空ポンプP1は、その起動や再起動、ならびに、磁気軸受(ラジアル磁気軸受13、アキシャル磁気軸受14)による回転体2の支持制御、駆動モータ15による回転体2の回転数制御ないしは回転速度制御など、真空ポンプP1全体を統括制御するポンプコントローラ26を備えている。
図1および図3を参照すると、図1の真空ポンプP1は、回転体2の温度調整に用いられる温度調整部品30と、温度調整部品30を制御する制御手段31と、制御手段31による温度調整部品30の制御状態を時系列的に取得する取得手段32と、取得手段32で取得した制御状態の時系列的変化を監視することでポンプ内生成物の堆積量を推定しポンプメンテナンス時期を判定する判定手段33と、を備える。
真空ポンプP1の流路7、例えば、ネジ溝排気流路7Bに生成物(ポンプ内生成物)が堆積し、その堆積量が増えると、ポンプ内生成物によってネジ溝排気流路7Bの流路断面が狭まる。このため、ポンプ内生成物が堆積していない状態と比べて、回転体2の回転抵抗が増え、駆動モータ15の負荷が大となり、駆動モータ15の発熱量が増え、回転体2の温度が比較的高くなる。このことから、ヒータ34のON時間は減る(例えば、図5中の符号OT1からOT2の変化を参照)、または、ヒータ34の電流値または消費電力は減る。一方、ベース冷却管24のバルブのON時間は増える、または、ベース冷却管24を流れる冷却媒体の流量は増える、若しくは、ベース冷却管24を流れる冷却媒体の温度は上昇する。
この具体例の説明では、温度調整部品3の制御状態の時系列的変化の一事例として、ヒータ34のON時間は減り(第1の監視情報)、ヒータ34の電流値または消費電力は減っているが(第2の監視情報)、ベース冷却管24のバルブのON時間は変化していない(第3の監視情報)という監視情報が得られているものとする。
ポンプコントローラ26では、例えば、ポンプ内生成物の堆積量が所定の閾値(例えば図6中の符号OTThを参照)を超えたと推定した時点で、ポンプメンテナンス時期の到来とみなして警報を鳴らす、あるいはポンプメンテナンス時期の必要性あるいは不要性を図示しない表示装置で表示してもよい。その際、かかる閾値を段階的に複数設定し、段階ごとに、所定の閾値を超えたと推定した時点で所定の表示をする構成、例えば、第1段階ではポンプメンテナンスの必要性はない旨を表示し、第2段階では近々ポンプメンテナンスを行う必要性がある旨を表示し、第3段階では至急ポンプメンテナンスを行う必要性がある旨を表示するなど、ポンプメンテナンスの必要性のレベルを段階的に引き上げもよい。
図2は、本発明を適用した真空ポンプ(その2)の断面図である。
図4は、本発明を適用した真空ポンプ(その3)の断面図、図5は、図4の真空ポンプにおける昇温リングの拡大図である。
1A ポンプケース
1B ポンプベース
2 回転体
3 支持手段
4 駆動手段
5 吸気口
6 排気口
7 ガスの流路
7A ブレード間排気流路
7B ネジ溝排気流路
7C ポンプ内排気口側流路
8 排気ポート
9 ステータコラム
10 断熱スペーサ(第1の断熱手段)
11 ステータコラム冷却管(冷却管)
12 回転軸
13 ラジアル磁気軸受
14 アキシャル磁気軸受
15 駆動モータ
16 翼排気段
16-1 最上段の翼排気段
16-n 最下段の翼排気段
17 ネジ溝ポンプ段
18 回転翼
19 固定翼
20 固定翼スペーサ
20E 最下段の固定翼スペーサ
21 ネジ溝排気部ステータ
22 ネジ溝
24 ベース冷却管(冷却手段/温度調整部品)
25 温度センサ
26 ポンプコントローラ
30 温度調整部品
31 制御手段
32 取得手段
33 判定手段
34 ヒータ(温度調整部品)
35 第2の温度センサ
40 昇温リング
41 第2の断熱手段
42 リング部材
43 第1の当接部
44 第2の当接部
45 第1の断熱空間(第2の断熱手段)
46 シール部材(第2の断熱手段)
47 第2の断熱空間(第2の断熱手段)
GE 最終隙間
P1、P2、P3 真空ポンプ
Claims (9)
- 回転体の回転によってガスを吸気し排気する真空ポンプであって、
前記回転体の温度調整に用いられる温度調整部品と、
前記温度調整部品を制御する制御手段と、
前記制御手段による前記温度調整部品の制御状態を時系列的に取得する取得手段と、
前記取得手段で取得した前記制御状態の時系列的変化を監視することでポンプ内生成物の堆積量を推定しポンプメンテナンス時期を判定する判定手段と、
を備え、
前記温度調整部品は、加熱手段及び/又は冷却手段であり、
前記制御状態は、制御サイクルにおける前記加熱手段のON時間及び/又は前記冷却手段のON時間であることを特徴とする真空ポンプ。 - 前記冷却手段のON時間は、前記冷却手段を流れる冷却媒体の流量調節操作に用いられるバルブのON時間であること
を特徴とする請求項1に記載の真空ポンプ。 - 回転体の回転によってガスを吸気し排気する真空ポンプであって、
前記回転体の温度調整に用いられる温度調整部品と、
前記温度調整部品を制御する制御手段と、
前記制御手段による前記温度調整部品の制御状態を時系列的に取得する取得手段と、
前記取得手段で取得した前記制御状態の時系列的変化を監視することでポンプ内生成物の堆積量を推定しポンプメンテナンス時期を判定する判定手段と、
を備え、
前記温度調整部品は、加熱手段であり、
前記制御状態は、制御サイクルにおける前記加熱手段の電圧値、電流値、消費電力量のいずれか少なくとも一つであること
を特徴とする真空ポンプ。 - 回転体の回転によってガスを吸気し排気する真空ポンプであって、
前記回転体の温度調整に用いられる温度調整部品と、
前記温度調整部品を制御する制御手段と、
前記制御手段による前記温度調整部品の制御状態を時系列的に取得する取得手段と、
前記取得手段で取得した前記制御状態の時系列的変化を監視することでポンプ内生成物の堆積量を推定しポンプメンテナンス時期を判定する判定手段と、
を備え、
前記温度調整部品は、冷却手段であり、
前記制御状態は、制御サイクルにおける前記冷却手段を流れる冷却媒体の流量またはその温度であること
を特徴とする真空ポンプ。 - 前記堆積量の推定若しくは前記ポンプメンテナンス時期の判定の際の条件として、所定の種類と流量のガスを前記真空ポンプ内に流すこと
を特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の真空ポンプ。 - 前記堆積量の推定若しくは前記ポンプメンテナンス時期の判定の際の条件として、所定の種類と流量のパージガスを前記真空ポンプ内に流すこと
を特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載の真空ポンプ。 - 前記堆積量の推定若しくは前記ポンプメンテナンス時期の判定の際の条件として、前記回転体が所定の回転速度で回転していること
を特徴とする請求項1から6のいずれか1項に記載の真空ポンプ。 - 前記回転体の内側に位置するステータコラムと、
前記ステータコラムをポンプベースから断熱する第1の断熱手段と、
前記ステータコラムを冷却する冷却手段と、を備え、
前記ステータコラムの熱が前記ポンプベースに移行することを低減したこと
を特徴とする請求項1から7のいずれか1項に記載の真空ポンプ。 - 前記回転体の外周側にネジ溝排気流路を形成するネジ溝排気部ステータと、
前記ネジ溝排気部ステータを加熱する為の昇温リングと、
前記ネジ溝排気部ステータおよび前記昇温リングをポンプベースから断熱する第2の断熱手段と、
前記ネジ溝排気部ステータまたは前記昇温リングに配置した温度センサと、を備え、
前記ネジ溝排気部ステータや前記昇温リングの熱が前記ポンプベースに移行することを低減したこと
を特徴とする請求項1から8のいずれか1項に記載の真空ポンプ。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018135713A JP7164981B2 (ja) | 2018-07-19 | 2018-07-19 | 真空ポンプ |
CN201910604028.9A CN110735805B (zh) | 2018-07-19 | 2019-07-05 | 真空泵 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018135713A JP7164981B2 (ja) | 2018-07-19 | 2018-07-19 | 真空ポンプ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020012423A JP2020012423A (ja) | 2020-01-23 |
JP7164981B2 true JP7164981B2 (ja) | 2022-11-02 |
Family
ID=69170502
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018135713A Active JP7164981B2 (ja) | 2018-07-19 | 2018-07-19 | 真空ポンプ |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7164981B2 (ja) |
CN (1) | CN110735805B (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021131042A (ja) * | 2020-02-19 | 2021-09-09 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ及びコントローラ |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP6766533B2 (ja) * | 2016-09-06 | 2020-10-14 | 株式会社島津製作所 | 堆積物監視装置および真空ポンプ |
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2018
- 2018-07-19 JP JP2018135713A patent/JP7164981B2/ja active Active
-
2019
- 2019-07-05 CN CN201910604028.9A patent/CN110735805B/zh active Active
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JP2018080609A (ja) | 2016-11-15 | 2018-05-24 | 株式会社島津製作所 | ポンプ状態推定装置およびターボ分子ポンプ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2020012423A (ja) | 2020-01-23 |
CN110735805B (zh) | 2023-06-16 |
CN110735805A (zh) | 2020-01-31 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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