JP2023083773A - 真空ポンプおよび良熱伝導性部品 - Google Patents
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- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 124
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 23
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 abstract description 121
- 238000009826 distribution Methods 0.000 abstract description 19
- 230000008021 deposition Effects 0.000 abstract description 13
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 50
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 20
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 18
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 18
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 14
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 14
- 239000012071 phase Substances 0.000 description 14
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 10
- 239000000463 material Substances 0.000 description 10
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 9
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 8
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 8
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 8
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 8
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 7
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000006227 byproduct Substances 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 230000008569 process Effects 0.000 description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 5
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 5
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 4
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000000047 product Substances 0.000 description 4
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 3
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 3
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 3
- 238000010926 purge Methods 0.000 description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 description 2
- 230000008929 regeneration Effects 0.000 description 2
- 238000011069 regeneration method Methods 0.000 description 2
- 238000000859 sublimation Methods 0.000 description 2
- 230000008022 sublimation Effects 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 102100026827 Protein associated with UVRAG as autophagy enhancer Human genes 0.000 description 1
- 101710102978 Protein associated with UVRAG as autophagy enhancer Proteins 0.000 description 1
- 229910003902 SiCl 4 Inorganic materials 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MUBKMWFYVHYZAI-UHFFFAOYSA-N [Al].[Cu].[Zn] Chemical compound [Al].[Cu].[Zn] MUBKMWFYVHYZAI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 239000007790 solid phase Substances 0.000 description 1
- 239000012265 solid product Substances 0.000 description 1
- 238000007711 solidification Methods 0.000 description 1
- 230000008023 solidification Effects 0.000 description 1
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 description 1
- 238000005211 surface analysis Methods 0.000 description 1
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-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
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Abstract
Description
次に、第1実施形態に係る真空ポンプ100について説明する。
第2実施形態に係る真空ポンプ100は、図10および11に示すように、ヒータスペーサ260および良熱伝導性部品280の形態のみが、第1実施形態と異なる。
101 吸気口
103 ロータ
113 ロータ軸
131 ねじ溝スぺーサ(ステータ)
133 排気口
210 ケーシング
260 ヒータスペーサ(加熱部品)
280 良熱伝導性部品
290 加熱手段
300 温度検出部
Claims (7)
- ケーシングと、
前記ケーシングの内部に、回転自在に支持された回転軸と、
前記回転軸に固定され、前記回転軸と共に回転可能なロータと、
前記ロータと協働して、ガスを排気する排気部を形成するステータと、
前記ステータを支持して加熱する加熱部品と、
前記加熱部品に配置された少なくとも1つの加熱手段と、を備えた真空ポンプであって、
前記ステータと前記加熱手段との間の熱経路に、前記加熱部品よりも熱伝導率が高い良熱伝導性部品を備えたことを特徴とする真空ポンプ。 - 前記良熱伝導性部品は、前記ステータと接触するように配置されることを特徴とする請求項1に記載の真空ポンプ。
- 前記良熱伝導性部品は、リング状部品であることを特徴とする請求項1または2に記載の真空ポンプ。
- 前記良熱伝導性部品の形状が周方向で不均一であることを特徴とする請求項1~3のいずれか1項に記載の真空ポンプ。
- 前記加熱手段は前記加熱部品の周方向に離れた位置に複数設けられ、
前記加熱手段の位相間隔によって、前記良熱伝導性部品の形状が異なることを特徴とする請求項1~4のいずれか1項に記載の真空ポンプ。 - 前記加熱部品に配置された少なくとも1つの温度検出部を有し、
前記加熱手段は前記加熱部品の周方向に離れた位置に複数設けられ、
少なくとも1つの前記温度検出部は、周方向に隣接する2つの前記加熱手段の中間位置よりも一方の前記加熱手段の近くに配置されることを特徴とする請求項1~5のいずれか1項に記載の真空ポンプ。 - 回転可能なロータと協働してガスを排気する排気部を形成するステータと、前記ステータを支持して加熱する加熱部品と、前記加熱部品に配置された少なくとも1つの加熱手段と、を備えた真空ポンプ用の良熱伝導性部品であって、
前記良熱伝導性部品は、前記ステータと前記加熱手段との間の熱経路に配置可能であり、前記加熱部品よりも熱伝導率が高いことを特徴とする良熱伝導性部品。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2021197659A JP2023083773A (ja) | 2021-12-06 | 2021-12-06 | 真空ポンプおよび良熱伝導性部品 |
GBGB2206031.3A GB202206031D0 (en) | 2021-12-06 | 2022-04-26 | Vacuum pump and thermally conductive component |
TW111144966A TW202325988A (zh) | 2021-12-06 | 2022-11-24 | 真空泵及良好熱傳導性零件 |
PCT/JP2022/043786 WO2023106154A1 (ja) | 2021-12-06 | 2022-11-28 | 真空ポンプおよび良熱伝導性部品 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2021197659A JP2023083773A (ja) | 2021-12-06 | 2021-12-06 | 真空ポンプおよび良熱伝導性部品 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2023083773A true JP2023083773A (ja) | 2023-06-16 |
Family
ID=81851870
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021197659A Pending JP2023083773A (ja) | 2021-12-06 | 2021-12-06 | 真空ポンプおよび良熱伝導性部品 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2023083773A (ja) |
GB (1) | GB202206031D0 (ja) |
TW (1) | TW202325988A (ja) |
WO (1) | WO2023106154A1 (ja) |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2003098047A1 (fr) * | 2002-05-20 | 2003-11-27 | Ts Corporation | Pompe a vide |
JP2019090384A (ja) * | 2017-11-16 | 2019-06-13 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ、および真空ポンプに備わる昇温ステータ、排気口部材、加熱手段 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7438698B2 (ja) * | 2019-09-12 | 2024-02-27 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ、及び、真空ポンプシステム |
-
2021
- 2021-12-06 JP JP2021197659A patent/JP2023083773A/ja active Pending
-
2022
- 2022-04-26 GB GBGB2206031.3A patent/GB202206031D0/en not_active Ceased
- 2022-11-24 TW TW111144966A patent/TW202325988A/zh unknown
- 2022-11-28 WO PCT/JP2022/043786 patent/WO2023106154A1/ja unknown
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2003098047A1 (fr) * | 2002-05-20 | 2003-11-27 | Ts Corporation | Pompe a vide |
JP2019090384A (ja) * | 2017-11-16 | 2019-06-13 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ、および真空ポンプに備わる昇温ステータ、排気口部材、加熱手段 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW202325988A (zh) | 2023-07-01 |
GB202206031D0 (en) | 2022-06-08 |
WO2023106154A1 (ja) | 2023-06-15 |
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