JP7438698B2 - 真空ポンプ、及び、真空ポンプシステム - Google Patents
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Description
前記ポンプ機構を内包するケーシングと、
前記ロータを回転させるための回転駆動手段と、
温度上昇が可能な温度上昇手段と、
前記温度上昇手段を保持する昇温保持手段と、
前記温度上昇手段を、通常動作モードとクリーニング動作モードとの間で動作モードの切替えを行って制御することが可能な制御手段と、
前記温度上昇手段に係る設定温度の情報を記憶する温度情報記憶手段と、を備え、
前記温度情報記憶手段には、少なくとも、前記通常動作モードのための第1温度情報と、前記クリーニング動作モードのための第2温度情報とが記憶され、
前記第2温度情報により表される第2温度が、前記第1温度情報により表される第1温度より高く、
前記第2温度は、前記第1温度で析出した副反応生成物をガス化する温度であり、
前記制御手段は、
前記回転駆動手段を、前記通常動作モードと前記クリーニング動作モードとの間で動作モードの切替えを行って制御することが可能であり、
前記回転駆動手段に係る設定回転数の情報を記憶する回転数情報記憶手段を備え、
前記回転数情報記憶手段には、少なくとも、前記通常動作モードのための第1回転数情報と、前記クリーニング動作モードのための第2回転数情報とが記憶され、
前記第2回転数情報により表される回転数が、前記第1回転数情報により表される回転数よりも低いことを特徴とする真空ポンプにある。
(2)また、上記目的を達成するために他の本発明は、前記クリーニング動作モードで発生した被処理ガスの排気を促進するガスを導入する排気促進ガス導入ポートを有することを特徴とする(1)に記載の真空ポンプにある。
(3)また、上記目的を達成するために他の本発明は、前記排気促進ガス導入ポートとして、パージポートを兼用することを特徴とする(2)に記載の真空ポンプにある。
(4)また、上記目的を達成するために他の本発明は、前記温度上昇手段が、シースヒータ、及び、カートリッジヒータのうちの少なくともいずれかであることを特徴とする(1)~(3)のいずれかに記載の真空ポンプにある。
(5)また、上記目的を達成するために他の本発明は、前記温度上昇手段が、電磁誘導ヒータであることを特徴とする(1)~(3)のいずれかに記載の真空ポンプにある。
(6)また、上記目的を達成するために他の本発明は、前記温度上昇手段が、面状ヒータであることを特徴とする(1)~(3)のいずれかに記載の真空ポンプにある。
(7)また、上記目的を達成するために他の本発明は、前記昇温保持手段の材質が、少なくともアルミニウム合金、ステンレス合金、及び、チタン合金のうちのいずれかであることを特徴とする(1)~(6)のいずれかに記載の真空ポンプにある。
(8)また、上記目的を達成するために他の本発明は、前記ロータは、前記通常動作モードと前記クリーニング動作モードとで兼用されることを特徴とする(1)~(7)のいずれかに記載の真空ポンプにある。
(9)また、上記目的を達成するために他の本発明は、前記ロータの材質が、少なくともアルミニウム合金、及び、ステンレス合金のうちのいずれかであることを特徴とする(1)~(8)のいずれかに記載の真空ポンプにある。
(10)また、上記目的を達成するために他の本発明は、前記クリーニング動作モードで発生した被処理ガスの排気をアシストする補助ポンプと(1)~(9)のいずれかに記載の真空ポンプとを備えた真空ポンプシステムにある。
(11)
また、上記目的を達成するために他の本発明は、前記制御手段は、前記クリーニング動作モードに移行してからクリーニングを完了させるために定められた一定時間が経過したかを判定し、前記一定時間が経過していれば前記通常動作モードへの移行を可能とすることを特徴とする(1)~(9)のいずれかに記載の真空ポンプにある。
14 ケーシング本体(ケーシング)
16 モータ(回転駆動手段)
17 ターボ分子ポンプ機構部(ポンプ機構部)
28 ロータ
42 ベーススペーサ(昇温保持手段)
48 ヒータ(温度上昇手段)
63 コントローラ(制御手段)
64 記憶部(温度情報記憶手段、回転数情報記憶手段)
Claims (11)
- ロータを有するポンプ機構と、
前記ポンプ機構を内包するケーシングと、
前記ロータを回転させるための回転駆動手段と、
温度上昇が可能な温度上昇手段と、
前記温度上昇手段を保持する昇温保持手段と、
前記温度上昇手段を、通常動作モードとクリーニング動作モードとの間で動作モードの切替えを行って制御することが可能な制御手段と、
前記温度上昇手段に係る設定温度の情報を記憶する温度情報記憶手段と、を備え、
前記温度情報記憶手段には、少なくとも、前記通常動作モードのための第1温度情報と、前記クリーニング動作モードのための第2温度情報とが記憶され、
前記第2温度情報により表される第2温度が、前記第1温度情報により表される第1温度より高く、
前記第2温度は、前記第1温度で析出した副反応生成物をガス化する温度であり、
前記制御手段は、
前記回転駆動手段を、前記通常動作モードと前記クリーニング動作モードとの間で動作モードの切替えを行って制御することが可能であり、
前記回転駆動手段に係る設定回転数の情報を記憶する回転数情報記憶手段を備え、
前記回転数情報記憶手段には、少なくとも、前記通常動作モードのための第1回転数情報と、前記クリーニング動作モードのための第2回転数情報とが記憶され、
前記第2回転数情報により表される回転数が、前記第1回転数情報により表される回転数よりも低いことを特徴とする真空ポンプ。 - 前記クリーニング動作モードで発生した被処理ガスの排気を促進するガスを導入する排気促進ガス導入ポートを有することを特徴とする請求項1に記載の真空ポンプ。
- 前記排気促進ガス導入ポートとして、パージポートを兼用することを特徴とする請求項2に記載の真空ポンプ。
- 前記温度上昇手段が、シースヒータ、及び、カートリッジヒータのうちの少なくともいずれかであることを特徴とする請求項1~3のいずれかに記載の真空ポンプ。
- 前記温度上昇手段が、電磁誘導ヒータであることを特徴とする請求項1~3のいずれかに記載の真空ポンプ。
- 前記温度上昇手段が、面状ヒータであることを特徴とする請求項1~3のいずれかに記載の真空ポンプ。
- 前記昇温保持手段の材質が、少なくともアルミニウム合金、ステンレス合金、及び、チタン合金のうちのいずれかであることを特徴とする請求項1~6のいずれかに記載の真空ポンプ。
- 前記ロータは、前記通常動作モードと前記クリーニング動作モードとで兼用されることを特徴とする請求項1~7のいずれかに記載の真空ポンプ。
- 前記ロータの材質が、少なくともアルミニウム合金、及び、ステンレス合金のうちのいずれかであることを特徴とする請求項1~8のいずれかに記載の真空ポンプ。
- 前記クリーニング動作モードで発生した被処理ガスの排気をアシストする補助ポンプと請求項1~9のいずれかに記載の真空ポンプとを備えた真空ポンプシステム。
- 前記制御手段は、前記クリーニング動作モードに移行してからクリーニングを完了させるために定められた一定時間が経過したかを判定し、前記一定時間が経過していれば前記通常動作モードへの移行を可能とすることを特徴とする請求項1~9のいずれかに記載の真空ポンプ。
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