JP7150565B2 - 真空ポンプ、及び、真空ポンプ構成部品 - Google Patents
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Description
静翼や回転翼が形成されたポンプ機構部と、
前記ポンプ機構部の下流側に設けられたネジ溝排気機構部と、
前記ポンプ機構部から導出された前記ガスを冷却して前記ネジ溝排気機構部の側へ流出させる冷却トラップ部と、
前記ポンプ機構部から導出された前記ガスを前記冷却トラップ部に誘導する隔壁部と、を備え、
前記隔壁部が、前記ケーシング内に設置された円板状部材であることを特徴とする真空ポンプにある。
(2)また、上記目的を達成するために他の本発明は、前記隔壁部が、前記回転翼と一体に設けられていることを特徴とする(1)に記載の真空ポンプにある。
(3)また、上記目的を達成するために他の本発明は、前記隔壁部の下流に前記ネジ溝排気機構部を備えることを特徴とする(1)に記載の真空ポンプにある。
(4)また、上記目的を達成するために他の本発明は、前記冷却トラップ部におけるトラップ温度が、ガス成分の少なくとも1つの昇華温度を下回ることを特徴とする(1)に記載の真空ポンプにある。
(5)また、上記目的を達成するために他の本発明は、前記冷却トラップ部の取付部が断熱構造となっていることを特徴とする(1)に記載の真空ポンプにある。
(6)上記目的を達成するために他の本発明は、前記冷却トラップ部における堆積物の除去機能を備えることを特徴する(1)に記載の真空ポンプにある。
(7)上記目的を達成するために他の本発明は、前記冷却トラップ部に、前記ガスの流入出口である第1流入出口と、洗浄液の流入出口である第2流入出口を備えることを特徴とする(1)に記載の真空ポンプにある。
(8)上記目的を達成するために他の本発明は、前記冷却トラップ部における堆積物が析出し得る箇所に非粘着コーティングが施されていることを特徴とする(1)に記載の真空ポンプにある。
(9)上記目的を達成するために他の本発明は、前記ケーシングが、前記冷却トラップ部と、所定のケーシング部材を組み合せて構成されており、これらのうちの前記冷却トラップ部のみを着脱可能としていることを特徴とする(1)に記載の真空ポンプ。
本発明の第1実施形態に係るターボ分子ポンプ10について、図1及び図2に基づき説明する。図1は、本発明の第1実施形態に係る真空ポンプとしてのターボ分子ポンプ10を縦断して概略的に示している。このターボ分子ポンプ10は、例えば、半導体製造装置、電子顕微鏡、質量分析装置などといった対象機器の真空チャンバ(図示略)に接続されるようになっている。
11 ポンプ本体
12 吸気部
13 排気部
14 ケーシング本体(ケーシング)
14a 吸気側ケーシング(所定のケーシング部材)
14b 排気側ケーシング(所定のケーシング部材)
17 ターボ分子ポンプ機構部(ポンプ機構部)
18 ネジ溝ポンプ機構部(ネジ溝排気機構部)
19 ステータ翼(静翼)
20 ロータ翼(回転翼)
24 ネジステータ(隔壁部の下流に備えられたネジ溝排気機構部の一部)
28 ロータ(真空ポンプ構成部品)
29 隔壁(隔壁部)
29a 隔壁の上面(上流側ガス誘導面)
29b 隔壁の下面(下流側ガス誘導面)
41、81 冷却トラップ部
52 トラップ流入口(第1流入出口のうちの第1流入口)
53 トラップ流出口(第1流入出口のうちの第1流出口)
55 洗浄液流入管(堆積物の除去機能を発揮する部分の一部、第2流入出口のうちの第2入口を構成する部材)
56 洗浄液流出管(堆積物の除去機能を発揮する部分の一部、第2流入出口のうちの第2出口を構成する部材)
87 吸気側ケーシングのフランジ部(冷却トラップ部の取付部)
92 トラップ流入口(第1入出口のうちの第1入口)
93 トラップ流出口(第1入出口のうちの第1出口)
94 ネジステータ(隔壁部の下流に備えられたネジ溝排気機構部の一部)
109 隔壁(隔壁部、円板状部材、真空ポンプ構成部品)
111 第1ネジステータ(隔壁部の下流に備えられたネジ溝排気機構部の一部)
131 第2ネジステータ(隔壁部の上流に備えられたネジ溝排気機構部)
141 断熱環(冷却トラップ部の取付部を断熱構造とする部材)
80、100、110、120、130、140、150 ターボ分子ポンプ(真空ポンプ)
Claims (9)
- ガスの吸気部と排気部を有するケーシングと、
静翼や回転翼が形成されたポンプ機構部と、
前記ポンプ機構部の下流側に設けられたネジ溝排気機構部と、
前記ポンプ機構部から導出された前記ガスを冷却して前記ネジ溝排気機構部の側へ流出させる冷却トラップ部と、
前記ポンプ機構部から導出された前記ガスを前記冷却トラップ部に誘導する隔壁部と、を備え、
前記隔壁部が、前記ケーシング内に設置された円板状部材であることを特徴とする真空ポンプ。 - 前記隔壁部が、前記回転翼と一体に設けられていることを特徴とする請求項1に記載の真空ポンプ。
- 前記隔壁部の下流に前記ネジ溝排気機構部を備えることを特徴とする請求項1に記載の真空ポンプ。
- 前記冷却トラップ部におけるトラップ温度が、ガス成分の少なくとも1つの昇華温度を下回ることを特徴とする請求項1に記載の真空ポンプ。
- 前記冷却トラップ部の取付部が断熱構造となっていることを特徴とする請求項1に記載の真空ポンプ。
- 前記冷却トラップ部における堆積物の除去機能を備えることを特徴する請求項1に記載の真空ポンプ。
- 前記冷却トラップ部に、前記ガスの流入出口である第1流入出口と、洗浄液の流入出口である第2流入出口を備えることを特徴とする請求項1に記載の真空ポンプ。
- 前記冷却トラップ部における堆積物が析出し得る箇所に非粘着コーティングが施されていることを特徴とする請求項1に記載の真空ポンプ。
- 前記ケーシングが、前記冷却トラップ部と、所定のケーシング部材を組み合せて構成されており、これらのうちの前記冷却トラップ部のみを着脱可能としていることを特徴とする請求項1に記載の真空ポンプ。
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Families Citing this family (1)
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---|---|---|---|---|
CN113499597B (zh) * | 2021-07-17 | 2022-11-22 | 海南富山油气化工有限公司 | 一种苯类生产装置及其使用方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003254284A (ja) | 2002-03-05 | 2003-09-10 | Boc Edwards Technologies Ltd | ポンプ装置 |
US20080253903A1 (en) | 2007-04-11 | 2008-10-16 | Varian S.P.A. | Vacuum pumps with auxiliary pumping stages |
WO2015122215A1 (ja) | 2014-02-14 | 2015-08-20 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ、及びこの真空ポンプに用いられる断熱スペーサ |
JP2015190404A (ja) | 2014-03-28 | 2015-11-02 | 株式会社島津製作所 | 真空ポンプ |
Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4916655B1 (ja) | 1968-07-09 | 1974-04-24 | ||
DE3537822A1 (de) * | 1985-10-24 | 1987-04-30 | Leybold Heraeus Gmbh & Co Kg | Vakuumpumpe mit gehaeuse und rotor |
JPH03199699A (ja) * | 1989-12-27 | 1991-08-30 | Ntn Corp | ターボ分子ポンプ |
JPH0612794U (ja) * | 1992-07-13 | 1994-02-18 | 株式会社大阪真空機器製作所 | 複合型真空ポンプの加熱装置 |
JP2968188B2 (ja) * | 1994-07-28 | 1999-10-25 | 株式会社荏原製作所 | 真空ポンプ装置 |
JP2002242877A (ja) | 2001-02-15 | 2002-08-28 | Stmp Kk | 真空ポンプ |
JP2003269369A (ja) * | 2002-03-13 | 2003-09-25 | Boc Edwards Technologies Ltd | 真空ポンプ |
JP4211320B2 (ja) | 2002-08-22 | 2009-01-21 | 株式会社島津製作所 | 真空ポンプ |
JP4916655B2 (ja) | 2004-11-17 | 2012-04-18 | 株式会社島津製作所 | 真空ポンプ |
JP2007113455A (ja) * | 2005-10-19 | 2007-05-10 | Tokki Corp | 真空排気システム |
US20130309076A1 (en) * | 2011-02-04 | 2013-11-21 | Edwards Japan Limited | Rotating Body of Vacuum Pump, Fixed Member Disposed Opposite Rotating Body, and Vacuum Pump Provided with Rotating Body and Fixed Member |
JP6069981B2 (ja) * | 2012-09-10 | 2017-02-01 | 株式会社島津製作所 | ターボ分子ポンプ |
DE102013214662A1 (de) * | 2013-07-26 | 2015-01-29 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vakuumpumpe |
JP6484919B2 (ja) | 2013-09-24 | 2019-03-20 | 株式会社島津製作所 | ターボ分子ポンプ |
JP6375631B2 (ja) * | 2014-02-05 | 2018-08-22 | 株式会社島津製作所 | ターボ分子ポンプ |
DE102014102273A1 (de) | 2014-02-21 | 2015-08-27 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vakuumpumpe |
JP6390479B2 (ja) * | 2015-03-18 | 2018-09-19 | 株式会社島津製作所 | ターボ分子ポンプ |
EP3611381B1 (de) * | 2018-08-13 | 2023-10-04 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Verfahren zur herstellung einer vakuumpumpe |
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---|---|---|---|---|
JP2003254284A (ja) | 2002-03-05 | 2003-09-10 | Boc Edwards Technologies Ltd | ポンプ装置 |
US20080253903A1 (en) | 2007-04-11 | 2008-10-16 | Varian S.P.A. | Vacuum pumps with auxiliary pumping stages |
WO2015122215A1 (ja) | 2014-02-14 | 2015-08-20 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ、及びこの真空ポンプに用いられる断熱スペーサ |
JP2015190404A (ja) | 2014-03-28 | 2015-11-02 | 株式会社島津製作所 | 真空ポンプ |
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