JP7306845B2 - 真空ポンプ、及び、真空ポンプ構成部品 - Google Patents
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Description
前記ポンプ機構部を内包するケーシングと、
前記回転翼を回転させるためのモータと、
一体に成形された加熱部と冷却部との間で熱伝導が可能な真空ポンプ構成部品と、を備え、
前記真空ポンプ構成部品に、断面が前記加熱部と前記冷却部との間で細首状になるよう形成された境界部を設け、
前記冷却部にステンレス製で前記境界部を補強する水冷管が設けられたことを特徴とする真空ポンプにある。
(2)また、上記目的を達成するために他の本発明は、前記境界部が、前記真空ポンプ構成部品の外側の切欠部と内側のテーパ部との間に形成されたものであり、
前記テーパ部が、前記加熱部の側から水冷部の側へ、内径が徐々に拡大するよう斜めに形成され、
前記切欠部と前記テーパ部の軸方向に係る位置関係は、前記切欠部が前記テーパ部の排気側に位置するよう設定されていることを特徴とする(1)に記載の真空ポンプにある。
(3)また、上記目的を達成するために他の本発明は、一体に成形された加熱部と冷却部との間で熱伝導が可能であり、断面が前記加熱部と前記冷却部との間で細首状になるよう成形された境界部が設けられ、
前記冷却部にステンレス製で前記境界部を補強する水冷管が設けられたことを特徴とする真空ポンプ構成部品にある。
(4)また、上記目的を達成するために他の本発明は、前記境界部が、外側の切欠部と内側のテーパ部との間に形成されたものであり、
前記テーパ部が、前記加熱部の側から水冷部の側へ、内径が徐々に拡大するよう斜めに形成され、
前記切欠部と前記テーパ部の軸方向に係る位置関係は、前記切欠部が前記テーパ部の排気側に位置するよう設定されていることを特徴とする(3)に記載の真空ポンプ構成部品にある。
11 ポンプ本体
12 吸気部
13 排気部
14 ケーシング本体(ケーシング)
14a 吸気側ケーシング(所定のケーシング部材)
14b 排気側ケーシング(所定のケーシング部材)
16 モータ
17 ターボ分子ポンプ機構部(ポンプ機構部)
18 ネジ溝ポンプ機構部(ネジ溝排気機構部)
19 ステータ翼(静翼)
20 ロータ翼(回転翼)
24 ネジステータ(隔壁部の下流に備えられたネジ溝排気機構部の一部)
42 ベーススペーサ(真空ポンプ構成部品)
46 加熱スペーサ部(加熱部)
47 水冷スペーサ部(冷却部)
52、72 境界部
54 切欠部
56 テーパ部
Claims (4)
- 静翼や回転翼が形成されたポンプ機構部と、
前記ポンプ機構部を内包するケーシングと、
前記回転翼を回転させるためのモータと、
一体に成形された加熱部と冷却部との間で熱伝導が可能な真空ポンプ構成部品と、を備え、
前記真空ポンプ構成部品に、断面が前記加熱部と前記冷却部との間で細首状になるよう形成された境界部を設け、
前記冷却部にステンレス製で前記境界部を補強する水冷管が設けられたことを特徴とする真空ポンプ。 - 前記境界部が、前記真空ポンプ構成部品の外側の切欠部と内側のテーパ部との間に形成されたものであり、
前記テーパ部が、前記加熱部の側から水冷部の側へ、内径が徐々に拡大するよう斜めに形成され、
前記切欠部と前記テーパ部の軸方向に係る位置関係は、前記切欠部が前記テーパ部の排気側に位置するよう設定されていることを特徴とする請求項1に記載の真空ポンプ。 - 一体に成形された加熱部と冷却部との間で熱伝導が可能であり、断面が前記加熱部と前記冷却部との間で細首状になるよう成形された境界部が設けられ、
前記冷却部にステンレス製で前記境界部を補強する水冷管が設けられたことを特徴とする真空ポンプ構成部品。 - 前記境界部が、外側の切欠部と内側のテーパ部との間に形成されたものであり、
前記テーパ部が、前記加熱部の側から水冷部の側へ、内径が徐々に拡大するよう斜めに形成され、
前記切欠部と前記テーパ部の軸方向に係る位置関係は、前記切欠部が前記テーパ部の排気側に位置するよう設定されていることを特徴とする請求項3に記載の真空ポンプ構成部品。
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