JP2020070749A - 真空ポンプ、及び、真空ポンプ構成部品 - Google Patents
真空ポンプ、及び、真空ポンプ構成部品 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2020070749A JP2020070749A JP2018205003A JP2018205003A JP2020070749A JP 2020070749 A JP2020070749 A JP 2020070749A JP 2018205003 A JP2018205003 A JP 2018205003A JP 2018205003 A JP2018205003 A JP 2018205003A JP 2020070749 A JP2020070749 A JP 2020070749A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- cooling trap
- cooling
- vacuum pump
- trap
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims abstract description 211
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 91
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims abstract description 77
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims description 8
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 5
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 5
- 238000000859 sublimation Methods 0.000 claims description 5
- 230000008022 sublimation Effects 0.000 claims description 5
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 4
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 4
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 abstract description 6
- 239000007789 gas Substances 0.000 abstract 3
- 239000000112 cooling gas Substances 0.000 abstract 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 45
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 38
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 26
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 description 18
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 13
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 10
- 230000036961 partial effect Effects 0.000 description 10
- 238000010926 purge Methods 0.000 description 9
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 8
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 7
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 6
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 5
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 5
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 5
- 230000008859 change Effects 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 3
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 3
- VSCWAEJMTAWNJL-UHFFFAOYSA-K aluminium trichloride Chemical compound Cl[Al](Cl)Cl VSCWAEJMTAWNJL-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 2
- 230000012447 hatching Effects 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 230000002829 reductive effect Effects 0.000 description 2
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 description 1
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 239000002585 base Substances 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 238000007596 consolidation process Methods 0.000 description 1
- PSCMQHVBLHHWTO-UHFFFAOYSA-K indium(iii) chloride Chemical compound Cl[In](Cl)Cl PSCMQHVBLHHWTO-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 1
- 238000005339 levitation Methods 0.000 description 1
- 239000010687 lubricating oil Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000001376 precipitating effect Effects 0.000 description 1
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 1
- 238000007790 scraping Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000007711 solidification Methods 0.000 description 1
- 230000008023 solidification Effects 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
- F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D17/00—Radial-flow pumps, e.g. centrifugal pumps; Helico-centrifugal pumps
- F04D17/08—Centrifugal pumps
- F04D17/16—Centrifugal pumps for displacing without appreciable compression
- F04D17/168—Pumps specially adapted to produce a vacuum
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
- F04D19/044—Holweck-type pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
- F04D19/046—Combinations of two or more different types of pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/40—Casings; Connections of working fluid
- F04D29/52—Casings; Connections of working fluid for axial pumps
- F04D29/522—Casings; Connections of working fluid for axial pumps especially adapted for elastic fluid pumps
- F04D29/526—Details of the casing section radially opposing blade tips
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/40—Casings; Connections of working fluid
- F04D29/52—Casings; Connections of working fluid for axial pumps
- F04D29/54—Fluid-guiding means, e.g. diffusers
- F04D29/541—Specially adapted for elastic fluid pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/58—Cooling; Heating; Diminishing heat transfer
- F04D29/582—Cooling; Heating; Diminishing heat transfer specially adapted for elastic fluid pumps
- F04D29/5826—Cooling at least part of the working fluid in a heat exchanger
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/58—Cooling; Heating; Diminishing heat transfer
- F04D29/582—Cooling; Heating; Diminishing heat transfer specially adapted for elastic fluid pumps
- F04D29/5853—Cooling; Heating; Diminishing heat transfer specially adapted for elastic fluid pumps heat insulation or conduction
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/70—Suction grids; Strainers; Dust separation; Cleaning
- F04D29/701—Suction grids; Strainers; Dust separation; Cleaning especially adapted for elastic fluid pumps
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Thermal Sciences (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Abstract
Description
静翼や回転翼が形成されたポンプ機構部と、
前記ポンプ機構部の下流側に設けられたネジ溝排気機構部と、
前記ポンプ機構部から導出された前記ガスを冷却して前記ネジ溝排気機構部の側へ流出させる冷却トラップ部と、
前記ポンプ機構部から導出された前記ガスを前記冷却トラップ部に誘導する隔壁部と、を備えたことを特徴とする真空ポンプにある。
(2)また、上記目的を達成するために他の本発明は、前記隔壁部が、前記ケーシング内に設置された円板状部材であることを特徴とする(1)に記載の真空ポンプにある。
(3)また、上記目的を達成するために他の本発明は、前記隔壁部が、前記回転翼と一体に設けられていることを特徴とする(2)に記載の真空ポンプにある。
(4)また、上記目的を達成するために他の本発明は、前記隔壁部の下流に前記ネジ溝排気機構部を備えることを特徴とする(1)に記載の真空ポンプにある。
(5)また、上記目的を達成するために他の本発明は、前記隔壁部の上流に前記ネジ溝排気機構部を備えることを特徴とする(1)に記載の真空ポンプにある。
(6)また、上記目的を達成するために他の本発明は、前記冷却トラップ部におけるトラップ温度が、ガス成分の少なくとも1つの昇華温度を下回ることを特徴とする(1)に記載の真空ポンプにある。
(7)また、上記目的を達成するために他の本発明は、前記冷却トラップ部の取付部が断熱構造となっていることを特徴とする(1)に記載の真空ポンプにある。
(8)上記目的を達成するために他の本発明は、前記冷却トラップ部における堆積物の除去機能を備えることを特徴する(1)に記載の真空ポンプにある。
(9)上記目的を達成するために他の本発明は、前記冷却トラップ部に、前記ガスの流入出口である第1流入出口とは異なる第2流入出口を備えることを特徴とする(1)に記載の真空ポンプにある。
(10)上記目的を達成するために他の本発明は、前記冷却トラップ部における内面の少なくとも一部に非粘着コーティングが施されていることを特徴とする(1)に記載の真空ポンプにある。
(11)上記目的を達成するために他の本発明は、前記ケーシングが、前記冷却トラップ部と、所定のケーシング部材を組み合せて構成されており、これらのうちの前記冷却トラップ部のみを着脱可能としていることを特徴とする(1)に記載の真空ポンプ。
(12)上記目的を達成するために他の本発明は、真空ポンプのケーシング内にてガスを遠心方向に誘導するための上流側ガス誘導面と、前記ガスを求心方向に誘導するための下流側ガス誘導面と、を有する真空ポンプ構成部品にある。
本発明の第1実施形態に係るターボ分子ポンプ10について、図1及び図2に基づき説明する。図1は、本発明の第1実施形態に係る真空ポンプとしてのターボ分子ポンプ10を縦断して概略的に示している。このターボ分子ポンプ10は、例えば、半導体製造装置、電子顕微鏡、質量分析装置などといった対象機器の真空チャンバ(図示略)に接続されるようになっている。
11 ポンプ本体
12 吸気部
13 排気部
14 ケーシング本体(ケーシング)
14a 吸気側ケーシング(所定のケーシング部材)
14b 排気側ケーシング(所定のケーシング部材)
17 ターボ分子ポンプ機構部(ポンプ機構部)
18 ネジ溝ポンプ機構部(ネジ溝排気機構部)
19 ステータ翼(静翼)
20 ロータ翼(回転翼)
24 ネジステータ(隔壁部の下流に備えられたネジ溝排気機構部の一部)
28 ロータ(真空ポンプ構成部品)
29 隔壁(隔壁部)
29a 隔壁の上面(上流側ガス誘導面)
29b 隔壁の下面(下流側ガス誘導面)
41、81 冷却トラップ部
52 トラップ流入口(第1流入出口のうちの第1流入口)
53 トラップ流出口(第1流入出口のうちの第1流出口)
55 洗浄液流入管(堆積物の除去機能を発揮する部分の一部、第2流入出口のうちの第2入口を構成する部材)
56 洗浄液流出管(堆積物の除去機能を発揮する部分の一部、第2流入出口のうちの第2出口を構成する部材)
87 吸気側ケーシングのフランジ部(冷却トラップ部の取付部)
92 トラップ流入口(第1入出口のうちの第1入口)
93 トラップ流出口(第1入出口のうちの第1出口)
94 ネジステータ(隔壁部の下流に備えられたネジ溝排気機構部の一部)
109 隔壁(隔壁部、円板状部材、真空ポンプ構成部品)
111 第1ネジステータ(隔壁部の下流に備えられたネジ溝排気機構部の一部)
131 第2ネジステータ(隔壁部の上流に備えられたネジ溝排気機構部)
141 断熱環(冷却トラップ部の取付部を断熱構造とする部材)
80、100、110、120、130、140、150 ターボ分子ポンプ(真空ポンプ)
Claims (12)
- ガスの吸気部と排気部を有するケーシングと、
静翼や回転翼が形成されたポンプ機構部と、
前記ポンプ機構部の下流側に設けられたネジ溝排気機構部と、
前記ポンプ機構部から導出された前記ガスを冷却して前記ネジ溝排気機構部の側へ流出させる冷却トラップ部と、
前記ポンプ機構部から導出された前記ガスを前記冷却トラップ部に誘導する隔壁部と、を備えたことを特徴とする真空ポンプ。 - 前記隔壁部が、前記ケーシング内に設置された円板状部材であることを特徴とする請求項1に記載の真空ポンプ。
- 前記隔壁部が、前記回転翼と一体に設けられていることを特徴とする請求項2に記載の真空ポンプ。
- 前記隔壁部の下流に前記ネジ溝排気機構部を備えることを特徴とする請求項1に記載の真空ポンプ。
- 前記隔壁部の上流に前記ネジ溝排気機構部を備えることを特徴とする請求項1に記載の真空ポンプ。
- 前記冷却トラップ部におけるトラップ温度が、ガス成分の少なくとも1つの昇華温度を下回ることを特徴とする請求項1に記載の真空ポンプ。
- 前記冷却トラップ部の取付部が断熱構造となっていることを特徴とする請求項1に記載の真空ポンプ。
- 前記冷却トラップ部における堆積物の除去機能を備えることを特徴する請求項1に記載の真空ポンプ。
- 前記冷却トラップ部に、前記ガスの流入出口である第1流入出口とは異なる第2流入出口を備えることを特徴とする請求項1に記載の真空ポンプ。
- 前記冷却トラップ部における内面の少なくとも一部に非粘着コーティングが施されていることを特徴とする請求項1に記載の真空ポンプ。
- 前記ケーシングが、前記冷却トラップ部と、所定のケーシング部材を組み合せて構成されており、これらのうちの前記冷却トラップ部のみを着脱可能としていることを特徴とする請求項1に記載の真空ポンプ。
- 真空ポンプのケーシング内にてガスを遠心方向に誘導するための上流側ガス誘導面と、前記ガスを求心方向に誘導するための下流側ガス誘導面と、を有する真空ポンプ構成部品。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018205003A JP7150565B2 (ja) | 2018-10-31 | 2018-10-31 | 真空ポンプ、及び、真空ポンプ構成部品 |
KR1020217009694A KR20210082165A (ko) | 2018-10-31 | 2019-10-24 | 진공 펌프 및 진공 펌프 구성 부품 |
US17/286,968 US20210388840A1 (en) | 2018-10-31 | 2019-10-24 | Vacuum pump and vacuum pump component |
EP19879702.9A EP3875769A4 (en) | 2018-10-31 | 2019-10-24 | VACUUM PUMP AND PART OF A VACUUM PUMP |
CN201980068548.0A CN112867867B (zh) | 2018-10-31 | 2019-10-24 | 真空泵、以及真空泵构成零件 |
PCT/JP2019/041794 WO2020090632A1 (ja) | 2018-10-31 | 2019-10-24 | 真空ポンプ、及び、真空ポンプ構成部品 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018205003A JP7150565B2 (ja) | 2018-10-31 | 2018-10-31 | 真空ポンプ、及び、真空ポンプ構成部品 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020070749A true JP2020070749A (ja) | 2020-05-07 |
JP7150565B2 JP7150565B2 (ja) | 2022-10-11 |
Family
ID=70463096
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018205003A Active JP7150565B2 (ja) | 2018-10-31 | 2018-10-31 | 真空ポンプ、及び、真空ポンプ構成部品 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20210388840A1 (ja) |
EP (1) | EP3875769A4 (ja) |
JP (1) | JP7150565B2 (ja) |
KR (1) | KR20210082165A (ja) |
CN (1) | CN112867867B (ja) |
WO (1) | WO2020090632A1 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113499597B (zh) * | 2021-07-17 | 2022-11-22 | 海南富山油气化工有限公司 | 一种苯类生产装置及其使用方法 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03199699A (ja) * | 1989-12-27 | 1991-08-30 | Ntn Corp | ターボ分子ポンプ |
JPH0612794U (ja) * | 1992-07-13 | 1994-02-18 | 株式会社大阪真空機器製作所 | 複合型真空ポンプの加熱装置 |
JP2003254284A (ja) * | 2002-03-05 | 2003-09-10 | Boc Edwards Technologies Ltd | ポンプ装置 |
US20080253903A1 (en) * | 2007-04-11 | 2008-10-16 | Varian S.P.A. | Vacuum pumps with auxiliary pumping stages |
JP2015086856A (ja) * | 2013-09-24 | 2015-05-07 | 株式会社島津製作所 | ターボ分子ポンプ |
WO2015122215A1 (ja) * | 2014-02-14 | 2015-08-20 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ、及びこの真空ポンプに用いられる断熱スペーサ |
JP2015190404A (ja) * | 2014-03-28 | 2015-11-02 | 株式会社島津製作所 | 真空ポンプ |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4916655B1 (ja) | 1968-07-09 | 1974-04-24 | ||
DE3537822A1 (de) * | 1985-10-24 | 1987-04-30 | Leybold Heraeus Gmbh & Co Kg | Vakuumpumpe mit gehaeuse und rotor |
JP2968188B2 (ja) * | 1994-07-28 | 1999-10-25 | 株式会社荏原製作所 | 真空ポンプ装置 |
JP2003269369A (ja) * | 2002-03-13 | 2003-09-25 | Boc Edwards Technologies Ltd | 真空ポンプ |
JP4211320B2 (ja) | 2002-08-22 | 2009-01-21 | 株式会社島津製作所 | 真空ポンプ |
JP2007113455A (ja) * | 2005-10-19 | 2007-05-10 | Tokki Corp | 真空排気システム |
WO2012105116A1 (ja) * | 2011-02-04 | 2012-08-09 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプの回転体と、これに対向設置する固定部材、及び、これらを備えた真空ポンプ |
JP6069981B2 (ja) * | 2012-09-10 | 2017-02-01 | 株式会社島津製作所 | ターボ分子ポンプ |
DE102013214662A1 (de) * | 2013-07-26 | 2015-01-29 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vakuumpumpe |
JP6375631B2 (ja) * | 2014-02-05 | 2018-08-22 | 株式会社島津製作所 | ターボ分子ポンプ |
JP6390479B2 (ja) * | 2015-03-18 | 2018-09-19 | 株式会社島津製作所 | ターボ分子ポンプ |
EP3611381B1 (de) * | 2018-08-13 | 2023-10-04 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Verfahren zur herstellung einer vakuumpumpe |
-
2018
- 2018-10-31 JP JP2018205003A patent/JP7150565B2/ja active Active
-
2019
- 2019-10-24 WO PCT/JP2019/041794 patent/WO2020090632A1/ja unknown
- 2019-10-24 EP EP19879702.9A patent/EP3875769A4/en active Pending
- 2019-10-24 CN CN201980068548.0A patent/CN112867867B/zh active Active
- 2019-10-24 KR KR1020217009694A patent/KR20210082165A/ko not_active Application Discontinuation
- 2019-10-24 US US17/286,968 patent/US20210388840A1/en active Pending
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03199699A (ja) * | 1989-12-27 | 1991-08-30 | Ntn Corp | ターボ分子ポンプ |
JPH0612794U (ja) * | 1992-07-13 | 1994-02-18 | 株式会社大阪真空機器製作所 | 複合型真空ポンプの加熱装置 |
JP2003254284A (ja) * | 2002-03-05 | 2003-09-10 | Boc Edwards Technologies Ltd | ポンプ装置 |
US20080253903A1 (en) * | 2007-04-11 | 2008-10-16 | Varian S.P.A. | Vacuum pumps with auxiliary pumping stages |
JP2015086856A (ja) * | 2013-09-24 | 2015-05-07 | 株式会社島津製作所 | ターボ分子ポンプ |
WO2015122215A1 (ja) * | 2014-02-14 | 2015-08-20 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ、及びこの真空ポンプに用いられる断熱スペーサ |
JP2015190404A (ja) * | 2014-03-28 | 2015-11-02 | 株式会社島津製作所 | 真空ポンプ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN112867867A (zh) | 2021-05-28 |
EP3875769A1 (en) | 2021-09-08 |
JP7150565B2 (ja) | 2022-10-11 |
EP3875769A4 (en) | 2022-07-27 |
WO2020090632A1 (ja) | 2020-05-07 |
CN112867867B (zh) | 2023-10-31 |
KR20210082165A (ko) | 2021-07-02 |
US20210388840A1 (en) | 2021-12-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6484919B2 (ja) | ターボ分子ポンプ | |
CN102597527A (zh) | 涡轮分子泵及转子的制造方法 | |
JP2002513888A (ja) | 金属マトリックス複合材料のロータとステータを有するターボ分子ポンプ | |
US10704555B2 (en) | Stator-side member and vacuum pump | |
KR102016170B1 (ko) | 증기 터빈, 블레이드 및 방법 | |
JP6331491B2 (ja) | 真空ポンプ | |
CN106246563B (zh) | 涡轮分子泵 | |
CN114270049A (zh) | 真空泵及真空泵系统 | |
WO2020090632A1 (ja) | 真空ポンプ、及び、真空ポンプ構成部品 | |
JP6390478B2 (ja) | 真空ポンプ | |
JP2021134697A (ja) | 真空ポンプ、及び、真空ポンプ構成部品 | |
US20060140776A1 (en) | Vacuum pump | |
CN110199127B (zh) | 真空泵、真空泵所具备的旋转部及不平衡修正方法 | |
US20210071679A1 (en) | Coolant pump with application-optimised design | |
US20120251351A1 (en) | Gas Compressor Assembly | |
CN115103964A (zh) | 真空泵 | |
KR20220066250A (ko) | 진공 펌프 | |
CN115917147A (zh) | 真空排气系统的清洗装置 | |
US20200392901A1 (en) | High-speed dual turbo machine enabling cooling thermal equilibrium | |
JP4211320B2 (ja) | 真空ポンプ | |
KR102474772B1 (ko) | 압축기 | |
JP2008075488A (ja) | 熱発電システム | |
TWI780855B (zh) | 真空泵 | |
JP2013130079A (ja) | 軸封装置及びポンプ装置 | |
JP2009209734A (ja) | ターボ分子ポンプ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210908 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220616 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220713 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20220915 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220928 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7150565 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |